一种用于半导体晶圆传送的稳定性检测系统

摘要

本发明提供一种用于半导体晶圆传送的稳定性检测系统，涉及晶圆传送技术领域，具体如下：传送信息获取模块对半导体晶圆传送过程中的传送信息进行获取，将传送信息输送至数据分析模块，数据分析模块基于传送信息分析，对传送过程中的数据参数进行获取；将获取的数据参数输送至稳定计算模块，稳定计算模块接收数据参数对稳定数据进行求取；将求取的稳定数据输送至数据分析模块，数据分析模块对求取的稳定参数进行分类得出稳定阈值；稳定判断模块基于稳定阈值进行稳定性判断，本发明基于传送信息的数值对半导体晶圆在水平面和倾斜面传送进行分析，使得半导体晶圆在加工过后进行稳定的传送，提高半导体晶圆传送的稳定性。