一种具有缓存功能的晶圆传输装置

摘要

本发明涉及一种具有缓存功能的晶圆传输装置，包括：传输轨道，包括多个间距相等且相互平行设置的传输辊；任意两个相邻的传输辊之间形成过道；缓存机构，包括升降驱动组件和缓存组件；升降驱动组件设置于传输轨道的一侧；缓存组件设置于传输轨道的两个侧壁之间；缓存组件包括至少两个竖直并列设置的支架组件，每个支架组件包括沿竖直方向依次设置的至少两个支撑部，至少两个支撑部均与过道的延伸方向平行，不同的支架组件之间的支撑部在水平方向上一一对应并列设置；每个支架组件均对应一个过道地设置。缓存机构与传输轨道布设紧凑，能够提高晶圆的缓存效率；支架组件在上升过程中能够缓存晶圆，在下降过程中能够卸载晶圆，缓存操作简单快捷。

权利要求

1.一种具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，包括：

传输轨道（1），其包括多个间距相等且相互平行设置的传输辊（11），用以传输晶圆（200）；任意两个相邻的所述传输辊（11）之间形成过道（12）；

缓存机构（2），其包括升降驱动组件（21）和缓存组件（22）；所述升降驱动组件（21）设置于所述传输轨道（1）的一侧；所述缓存组件（22）设置于所述传输轨道（1）的两个侧壁（13）之间且固定于所述升降驱动组件（21）的驱动端；

其中，所述缓存组件（22）包括至少两个竖直并列设置的支架组件（221），每个所述支架组件（221）包括沿竖直方向依次设置的至少两个支撑部（2211），所述至少两个支撑部（2211）均与所述过道（12）的延伸方向平行，不同的所述支架组件（221）之间的支撑部（2211）在水平方向上一一对应并列设置；

每个所述支架组件（221）均对应一个所述过道设置，所述升降驱动组件（21）能够驱动所述缓存组件（22）升降运动而使得每个所述支架组件（221）在其对应的过道中升降移动。

2.根据权利要求1所述的具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，所述缓存组件（22）包括竖直设置的安装板（222），所述安装板（222）与所述升降驱动组件（21）的驱动端连接，所有的所述支架组件（221）均固定安装于所述安装板（222），且所述支架组件（221）与所述升降驱动组件（21）分别位于所述安装板的前后两侧。

3.根据权利要求1所述的具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，每个所述支架组件（221）均包括前后相对设置的前安装架（2212）和后安装架（2213），每个所述支撑部（2211）包括前支杆（22111）和后支杆（22112），所述前支杆（22111）安装于所述前安装架上，所述后支杆（22112）安装于所述后安装架上。

4.根据权利要求3所述的具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，所述前支杆和所述后支杆的长度相等。

5.根据权利要求3所述的具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，所述前支杆和所述后支杆均为圆柱形且直径相同。

6.根据权利要求1‑3中任意一项所述的具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，所述至少两个支撑部（2211）在竖直方向上等间距地设置，且位于同一竖直平面内。

7.根据权利要求1‑3中任意一项所述的具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，所述支架组件（221）至少有四个。

8.根据权利要求3所述的具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，缓存组件（22）还包括水平设置的固定板（223），所述前安装架（2212）和所述后安装架（2213）的顶部均固定安装于所述固定板（223）。

9.根据权利要求1所述的具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，还包括第一位置检测组件（23），用以获取所述缓存组件（22）的高度位置信息。

10.根据权利要求1所述的具有缓存功能的晶圆传输装置，其特征在于，还包括第二位置检测组件，当所述晶圆（200）达到缓存位置时触发所述第二位置检测组件。

说明书

一种具有缓存功能的晶圆传输装置

技术领域

[0001] 本发明涉及晶圆传输设备技术领域，特别是涉及一种具有缓存功能的晶圆传输装置。

背景技术

[0002] 在晶圆制造工艺中，通常需借助晶圆传输装置传输晶圆。在晶圆传输过程中，若下料机器出现故障，需将传输装置上运输的晶圆进行及时转移。现有晶圆制造工艺，通过设置
缓存装置用以缓存晶圆，还需设置配套的机械手用以将传输装置上的晶圆转移至缓存装
置，整个结构相对复杂，此外，缓存步骤包括机械手自传输装置上抓取晶圆和将晶圆转移至
缓存装置两个步骤，缓存效率低。

发明内容

[0003] 基于现有技术中的上述缺陷，本发明的目的在于提供一种具有缓存功能的晶圆传输装置，结构简单、传输效率高。

[0004] 为此，本发明提供如下技术方案。

[0005] 本发明提供一种具有缓存功能的晶圆传输装置，包括：

[0006] 传输轨道，其包括多个间距相等且相互平行设置的传输辊，用以传输晶圆；任意两个相邻的所述传输辊之间形成过道；

[0007] 缓存机构，其包括升降驱动组件和缓存组件；所述升降驱动组件设置于所述传输轨道的一侧；所述缓存组件设置于所述传输轨道的两个侧壁之间且固定于所述升降驱动组
件的驱动端；

[0008] 其中，所述缓存组件包括至少两个竖直并列设置的支架组件，每个所述支架组件包括沿竖直方向依次设置的至少两个支撑部，所述至少两个支撑部均与所述过道的延伸方
向平行，不同的所述支架组件之间的支撑部在水平方向上一一对应并列设置；

[0009] 每个所述支架组件均对应一个所述过道地设置，所述升降驱动组件能够驱动所述缓存组件升降运动而使得每个所述支架组件在其对应的过道中升降移动。

[0010] 优选地，所述缓存组件包括竖直设置的安装板，所述安装板与所述升降驱动组件的驱动端连接，所有的所述支架组件均固定安装于所述安装板，且所述支架组件与所述升
降驱动组件分别位于所述安装板的前后两侧。

[0011] 优选地，每个所述支架组件均包括前后相对设置的前安装架和后安装架，每个所述支撑部包括前支杆和后支杆，所述前支杆安装于所述前安装架上，所述后支杆安装于所
述后安装架上。

[0012] 优选地，所述前支杆和所述后支杆的长度相等。

[0013] 优选地，所述前支杆和所述后支杆均为圆柱形且直径相同。

[0014] 优选地，所述至少两个支撑部在竖直方向上等间距地设置，且位于同一竖直平面内。

[0015] 优选地，所述支架组件至少有四个。

[0016] 优选地，缓存组件还包括水平设置的固定板，所述前安装架和所述后安装架的顶部均固定安装于所述固定板。

[0017] 优选地，还包括第一位置检测组件，用以获取所述缓存组件的高度位置信息。

[0018] 优选地，还包括第二位置检测组件，当所述晶圆达到缓存位置时触发所述第二位置检测组件。

[0019] 本发明具有以下技术效果：

[0020] 本发明提供一种具有缓存功能的晶圆传输装置，在传输轨道一侧设置升降驱动组件，在传输轨道的两个侧壁之间设置缓存组件，缓存组件和升降驱动组件连接并构成缓存
机构，用以缓存传输轨道上的晶圆，缓存机构与传输轨道布设紧凑，能够提高晶圆的缓存效
率。此外，缓存组件包括至少两个竖直并列设置的支架组件，支架组件在上升过程中能够完
成对晶圆的缓存，在下降过程中能够完成对晶圆的卸载，缓存操作简单快捷。

附图说明

[0021] 图1为本发明的缓存机构的立体结构示意图；

[0022] 图2为本发明的晶圆传输装置处于传输状态时的立体结构示意图；

[0023] 图3为图2中A处放大图。

[0024] 附图标记说明

[0025] 100、晶圆传输装置；

[0026] 1、传输轨道；11、传输辊；111、转轴；112、导向辊；12、过道；13、侧壁；14、第一挡板；141、第一让位缺口；15、第二挡板；151、第二让位缺口；

[0027] 2、缓存机构；21、升降驱动组件；22、缓存组件；221、支架组件；2211、支撑部；22111、前支杆；22112、后支杆；2212、前安装架；2213、后安装架；222、安装板；223、固定板；
2231、镂空部；224、加强筋；23、第一位置检测组件；231、光耦；232、挡片；24、基座；

[0028] 200、晶圆。

具体实施方式

[0029] 为使本发明的技术方案和有益效果能够更加明显易懂，下面通过列举具体实施例的方式进行详细说明。除非另有定义，本文所使用的技术和科学术语与本申请所属的技术
领域中的技术和科学术语的含义相同。

[0030] 在本发明的描述中，除非另有明确的限定，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于本发明的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、
以特定的方位构造和操作，即不能理解为对本发明的限制。

[0031] 在本发明中，术语“第一”、“第二”仅用于描述清楚的目的，不能理解为所指示特征的相对重要性或所指示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示包
括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个；“若干个”的含义是至少
一个；另有明确限定的除外。

[0032] 在本发明中，除非另有明确的限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等应作广义理解。例如，“连接”，可以是固定连接、可拆卸连接或一体成型；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件
内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体
情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0033] 在本发明中，除非另有明确的限定，第一特征在第二特征“上”、“之上”、“上方”和“上面”、“下”、“之下”、“下方”或“下面”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可
以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征的水平高度高于第二特征
的水平高度。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正
下方或斜下方，或仅仅表示第一特征的水平高度小于第二特征的水平高度。

[0034] 本发明中提及的“前”、“后”、“上”和“下”均以图1中的标示为准。

[0035] 下面根据图1至图3详细说明本发明的晶圆传输装置。

[0036] 在本实施方式中，如图2所示，晶圆传输装置100包括传输轨道1和缓存机构2，传输轨道1包括多个间距相等且相互平行设置的传输辊11，用以传输晶圆200，任意两个相邻的
传输辊11之间形成过道12。晶圆200放置于多个传输辊11形成的支撑平台上，当晶圆传输装
置100运行时，传输辊11转动以对晶圆200产生沿传输方向的推动力，实现传输。

[0037] 在本实施方式中，如图1所示，缓存机构2包括升降驱动组件21和缓存组件22；升降驱动组件21设置于传输轨道1的一侧；缓存组件22设置于传输轨道1的两个侧壁13之间且固
定于升降驱动组件21的驱动端，缓存机构2与传输轨道1布设紧凑，能够提高缓存效率。

[0038] 在本实施方式中，如图1和图2所示，缓存组件22包括至少两个竖直并列设置的支架组件221，每个支架组件221包括沿竖直方向依次设置的至少两个支撑部2211，每个支架
组件221的所有的支撑部2211均与过道12的延伸方向平行，不同的支架组件221之间的支撑
部2211在水平方向上一一对应并列设置。每个支架组件221均对应一个过道地设置，升降驱
动组件21能够驱动缓存组件22升降运动而使得每个支架组件221在其对应的过道中升降移
动。

[0039] 通过将支架组件221竖直设置且将所有的支架组件221并列设置，进而在缓存组件22的升降运动过程中，并列设置的不同支架组件221能够穿过不同的相应的过道12，以便缓
存组件22能够在传输轨道1的两个侧壁13之间顺利地进行升降运动。此外，通过将不同的支
架组件221之间的支撑部2211在水平方向上一一对应并列设置，使得缓存组件22在升降运
动过程中，在水平方向上一一对应并列设置的不同的支撑部能够对晶圆200的底壁的不同
部位进行支撑，以稳定地支撑住晶圆200，进而将该晶圆200稳定地暂存于相应的支架组件
221上。缓存机构2整体结构简单，通过控制支架组件221的升降运动即可实现缓存，缓存操
作简单快捷。

[0040] 在一实施方式中，如图1所示，缓存组件22包括竖直设置的安装板222，安装板222与升降驱动组件21的驱动端连接，所有的支架组件221均固定安装于安装板222，且支架组
件221与升降驱动组件21分别位于安装板222的前后两侧，以简化缓存组件22与升降驱动组
件21之间的装配。

[0041] 进一步地，如图1所示，缓存机构2包括基座24，升降驱动组件21固定于基座24，基座24用以安装于传输轨道1一侧的安装平台（如地面或晶圆传输装置的机床）。升降驱动组
件21包括导轨和滑块，导轨固定于基座24上，滑块与导轨滑动配合，滑块分别与安装板222
和升降驱动组件21的驱动端连接。当升降驱动组件21运行时，其驱动端驱使滑块相对导轨
滑动，进而使得安装板222带动缓存组件22进行升降运动。

[0042] 在一实施方式中，如图1和图2所示，每个支架组件221均包括前后相对设置的前安装架2212和后安装架2213，每个支撑部2211包括前支杆22111和后支杆22112，前支杆22111
安装于前安装架2212上，后支杆22112安装于后安装架2213上。通过设置前支杆22111和后
支杆22112这两个支杆构成一个支撑部2211，两个并列设置的支架组件221则包括两个前支
杆22111和两个后支杆22112，两个前支杆22111用以支撑晶圆200的下表面的前部的两个部
位，两个后支杆22112用以支撑晶圆200的下表面的后部的两个部位，进而能够稳定地将晶
圆200撑起，此外，当晶圆200发生翘曲时，两个前支杆22111和两个后支杆22112的设置，能
够保证支架组件221稳定撑起发生翘曲的晶圆200。

[0043] 应当理解，当并列设置的支架组件221超过两个时，缓存组件22则能够支撑晶圆200下表面的前部及后部的多个部位，支撑更稳定。

[0044] 进一步地，如图2所示，传输辊11包括转轴111和多个导向辊112，多个导向辊112依次套设于转轴111的外周，转轴111的两端分别转动连接于两个侧壁13上，转轴111带动多个
导向辊112转动，转动的多个导向辊112对支传输辊11上的晶圆200产生沿传输方向的推动
力，实现晶圆传输。传输轨道1包括水平设置的第一挡板14和第二挡板15，第一挡板14和第
二挡板15分别与两个侧壁13的顶部连接，第一挡板14和第二挡板15用以对传输中的晶圆
200的运动位置进行限位。

[0045] 进一步地，如图1和图2所示，第一挡板14设有与前安装架2212对应的第一让位缺口141，用于供前安装架2212升降移动穿过，第二挡板15设有与后安装架2213对应的第二让
位缺口151，用于供后安装架2213升降移动穿过。

[0046] 进一步地，如图1所示，前支杆22111和后支杆22112的长度相等，支撑部的结构对称，便于装配。

[0047] 进一步地，如图1所示，前支杆22111和后支杆22112均为圆柱形且直径相同。支杆为圆柱形，表面圆滑，以避免刮伤晶圆200。前支杆22111和后支杆22112的直径相同，以在装
配时简化前支杆22111和后支杆22112的装配高度的调配。

[0048] 在一实施方式中，如图1和图2所示，每个支架组件221的所有的支撑部2211在竖直方向上等间距地设置。当对多个晶圆200进行缓存时，缓存组件22需依次上升多次以将多个
晶圆200按顺序缓存于不同的支撑部2211上，而卸载缓存的多个晶圆200时，缓存组件22需
依次下降以将多个晶圆200按顺序卸载于传输轨道1上，通过对每个支架组件221上的所有
的支撑部2211之间的间距的限定，在缓存组件22进行缓存或卸载时可以简化升降驱动组件
21对缓存组件22单次运程的控制，即，有利于简化升降驱动组件21的控制程序。

[0049] 在一实施方式中，如图1和图2所示，每个支架组件221的所有的支撑部2211位于同一竖直平面内，在装配时有利于简化支架组件221的所有的支撑部2211与过道12的对准工
作。

[0050] 在一实施方式中，支架组件221至少有四个，可以为四个、五个、六个甚至更多个。当支架组件221为四个或更多个时，一方面能够更稳定地撑起晶圆200，另一方面能够用于
不同尺寸的晶圆200的缓存。当晶圆传输装置100用以传输8寸晶圆时，其中至少两个支架组
件221能够相配合以稳定撑起8寸晶圆；当晶圆传输装置100用以传输12寸晶圆（见图2中晶
圆200）时，其中至少四个支架组件221能够相配合以稳定撑起12寸晶圆。

[0051] 进一步地，当晶圆传输装置100设置限位机构（图中未示出）用以将晶圆200限制在待缓存区域时，通过前支杆22111和后支杆22112的设置及限定前后两个支杆之间的间距，
以避免限位机构在对小尺寸晶圆限位时与支撑部2211发生干涉。

[0052] 在一实施方式中，如图1所示，缓存组件22还包括水平设置的固定板223，前安装架2212和后安装架2213的顶部均固定安装于固定板223，以稳定固定前安装架2212和后安装
架2213。

[0053] 进一步地，如图1所示，固定板223设有多个镂空部2231，以减轻固定板223的自重，进而减轻缓存组件22的整体重量，以便于升降驱动组件21进行驱动。

[0054] 进一步地，如图1所示，固定板223与安装板222连接，以提高支架组件221与安装板222之间的连接的牢固度。

[0055] 进一步地，如图1所示，固定板223与安装板222的之间设有加强筋224，以增强固定板223与安装板222之间的连接的牢固度。

[0056] 在一实施方式中，如图2和图3所示，还包括第一位置检测组件23，用以获取缓存组件22的高度位置信息，以配合升降驱动组件21实现升降位置的控制。

[0057] 进一步地，第一位置检测组件23用以对缓存组件22进行初始定位，以便精确控制缓存组件22的行程。

[0058] 进一步地，第一位置检测组件23包括光耦231和挡片232，光耦231固定于升降驱动组件21的壳体上，挡片232固定于支架组件221的其中一个后安装架2213上，光耦231与挡片
232相配合，以实现对缓存组件22的初始定位。

[0059] 应当理解，第一位置检测组件23不限于光耦和挡片构成的位置检测组件，还可以是微动开关等其他任意可进行位置检测的组件。

[0060] 在一实施方式中，还包括第二位置检测组件（图中未示出），当晶圆200达到缓存位置时触发第二位置检测组件，进而触发缓存机构2的缓存操作，避免缓存时晶圆200相对缓
存组件22的位置发生错位，导致缓存组件22不能撑起晶圆200或者是撑起的晶圆200放置不
平稳，不利于缓存组件22稳定地撑起晶圆200。

[0061] 进一步地，第二位置检测组件包括但不限于光电传感器或微动开关。

[0062] 在一实施方式中，升降驱动组件21包括但不限于气缸、皮带传动组件或丝杆螺母传动组件或齿轮齿条传动组件。

[0063] 应当理解，以上实施例均为示例性的，不用于包含权利要求所包含的所有可能的实施方式。在不脱离本公开的范围的情况下，还可以在以上实施例的基础上做出各种变形
和改变。同样的，也可以对以上实施例的各个技术特征进行任意组合，以形成可能没有被明
确描述的本发明的另外的实施例。因此，上述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，不对
本发明专利的保护范围进行限制。