一种CVD设备的压力控制方法及系统

摘要

本发明涉及数据处理领域，公开了一种CVD设备的压力控制方法及系统，用于提高对CVD设备的压力控制的准确率。方法包括：基于第一时间区间，通过CVD设备中预置的流量传感器进行气体流量数据采集，得到对应的气体流量数据；通过预置的自适应算法对所述气体流量数据进行压力评价参数转换，确定对应的压力评价参数；通过所述压力评价参数对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间；通过所述自适应算法对所述预测压力数据进行蝶阀开度计算，确定对应的蝶阀开度数据，并通过所述蝶阀开度数据对所述CVD设备进行控制。