一种单晶炉热场降氧保温装置

摘要

本发明涉及单晶炉的技术领域，特别是涉及一种单晶炉热场降氧保温装置，在使用过程中，可对中保温筒下半部分与坩埚之间形成的氩气流通通道进行调节，从而适应更多工况，降低含氧量；包括：固定座，呈环形，中部设置供坩埚穿过的通孔，固定座与炉体内壁连接，固定座沿径向开设若干导向孔；若干调节板，相邻调节板滑动连接，调节板端部设置有固定轴，固定轴一端穿过导向孔。

权利要求

1.一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，包括：

固定座，呈环形，中部设置供坩埚穿过的通孔，固定座与炉体内壁连接，固定座沿径向开设若干导向孔；

若干调节板，相邻调节板滑动连接，调节板端部设置有固定轴，固定轴一端穿过导向孔；

每块调节板的一侧开设滑槽，另一侧均固定有滑块，滑块与相邻调节板上的滑槽滑动配合，调节板的一侧与相邻调节板的另一侧接触；

导向孔呈长条状，固定轴能够在导向孔内滑动。

2.如权利要求1所述的一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，还包括旋转座，呈环形，与固定座同轴线，其上开设与导向孔一一对应的驱动孔，驱动孔不与旋转座同心设置，固定轴另一端穿过驱动孔。

3.如权利要求2所述的一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，还包括与炉体内壁固定连接的连接环，所述旋转座内圈与连接环转动连接。

4.如权利要求3所述的一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，旋转座上设置有齿，还包括用于与齿啮合的齿轮组。

5.如权利要求4所述的一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，旋转座上固定有两个限位装置。

6.如权利要求5所述的一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，所述限位装置包括与旋转座固定连接的连接片，连接片上螺纹连接有螺栓。

7.如权利要求6所述的一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，所述调节板率先与氩气接触的一侧进行圆角处理。

8.如权利要求7所述的一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，所述调节板为隔热材质。

9.如权利要求8所述的一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，齿轮组包括与固定座转动连接的转轴，转轴上固定有锥齿轮一和与齿啮合的齿轮二，炉体上转动安装有驱动轴，驱动轴一端伸出至炉体外部，驱动轴上固定有与锥齿轮一啮合的锥齿轮三。

10.如权利要求9所述的一种单晶炉热场降氧保温装置，其特征在于，连接环上固定有法兰盘。

说明书

一种单晶炉热场降氧保温装置

技术领域

[0001] 本发明涉及单晶炉的技术领域，特别是涉及一种单晶炉热场降氧保温装置。

背景技术

[0002] 单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

[0003] 如图7所示，中保温筒包围整个坩埚，但是中保温筒下半部分与埚邦之间的间隙空间较大，氩气流通通道较大，气流流速较慢，排杂能力不足，导致氧化物容易堆积，硅棒中氧含量较高，现有技术中，为了提高氩气流速，则减小中保温筒下半部分的内径，但是，保温筒下半部分的内径是不能进行调节的，如通过计算的方式来确定保温筒下半部分的内径，也存在不精确的情况，因此，提出一种单晶炉热场降氧保温装置。

发明内容

[0004] 为解决上述技术问题，本发明提供一种单晶炉热场降氧保温装置，在使用过程中，可对中保温筒下半部分与坩埚之间形成的氩气流通通道进行调节，从而适应更多工况，降低含氧量。

[0005] 本发明的一种单晶炉热场降氧保温装置，包括：

[0006] 固定座，呈环形，中部设置供坩埚穿过的通孔，固定座与炉体内壁连接，固定座沿径向开设若干导向孔；

[0007] 若干调节板，相邻调节板滑动连接，调节板端部设置有固定轴，固定轴一端穿过导向孔。

[0008] 本发明作进一步改进，还包括旋转座，呈环形，与固定座同轴线，其上开设与导向孔一一对应的驱动孔，驱动孔不与旋转座同心设置，固定轴另一端穿过驱动孔。

[0009] 本发明作进一步改进，还包括与炉体内壁固定连接的连接环，所述旋转座内圈与连接环转动连接。

[0010] 本发明作进一步改进，旋转座上设置有齿，还包括用于与齿啮合的齿轮组。

[0011] 本发明作进一步改进，旋转座上固定有两个限位装置。

[0012] 本发明作进一步改进，所述限位装置包括与旋转座固定连接的连接片，连接片上螺纹连接有螺栓。

[0013] 本发明作进一步改进，所述调节板率先与氩气接触的一侧进行圆角处理。

[0014] 本发明作进一步改进，所述调节板为隔热材质。

[0015] 本发明作进一步改进，齿轮组包括与固定座转动连接的转轴，转轴上固定有锥齿轮一和与齿啮合的齿轮二，炉体上转动安装有驱动轴，驱动轴一端伸出至炉体外部，驱动轴上固定有与锥齿轮一啮合的锥齿轮三。

[0016] 本发明作进一步改进，连接环上固定有法兰盘。

[0017] 与现有技术相比本发明的有益效果为：固定座与炉体内壁连接，调节板设置为十二块，这些调节板形成一个空间，坩埚就安装在这个空间内，从而调节这个空间的大小即可调节氩气流道，从而调节氩气流速，需要调节这个空间大小时，使各固定轴同时沿导向孔进行移动，由于相邻调节板还滑动连接，使得调节板沿导向孔移动的同时还以固定轴为轴进行旋转，所以使得相邻调节板之间的交错面积发生变化，使空间大小发生变化，从而调节氩气流速。

附图说明

[0018] 图1是本发明的结构示意图；

[0019] 图2是图1中A部的局部放大图；

[0020] 图3是图1的俯视图；

[0021] 图4是图1的仰视图；

[0022] 图5是调节板的结构图；

[0023] 图6是调节板的结构图；

[0024] 图7是现有技术中，炉体、坩埚和中保温筒的结构示意图；

[0025] 附图中标记：1、固定座；2、坩埚；3、炉体；4、调节板；5、滑槽；6、滑块；7、固定轴；8、导向孔；9、旋转座；10、驱动孔；11、连接环；12、连接片；13、螺栓；14、转轴；15、锥齿轮一；16、齿轮二；17、驱动轴；18、锥齿轮三；19、法兰盘；20、加热器；21、中保温筒。

具体实施方式

[0026] 下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

[0027] 在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0028] 如图1至图6所示，本发明的一种单晶炉热场降氧保温装置，包括：

[0029] 固定座1，呈环形，中部设置供坩埚2穿过的通孔，固定座1与炉体3内壁连接，固定座1沿径向开设若干导向孔8；

[0030] 若干调节板4，调节板4大致呈三角形，这些调节板4呈圆周阵列设置，相邻调节板4滑动连接，每块调节板4的一侧开设滑槽5，另一侧均固定有滑块6，滑块6与相邻调节板4上的滑槽5滑动配合，如图3、图4和图1所示，调节板4的一侧与相邻调节板4的另一侧接触，这些调节板4形成一个空间，坩埚2就安装在这个空间内；

[0031] 调节板4端部设置有固定轴7，固定轴7一端穿过导向孔8，导向孔8呈长条状，固定轴7能够在导向孔8内滑动；

[0032] 在本实施例中，固定座1与炉体3内壁连接，调节板4设置为十二块，这些调节板4形成一个空间，坩埚2就安装在这个空间内，从而调节这个空间的大小即可调节氩气流道，从而调节氩气流速；

[0033] 需要调节这个空间大小时，使各固定轴7同时沿导向孔8进行移动，由于相邻调节板4还滑动连接，使得调节板4沿导向孔8移动的同时还以固定轴7为轴进行旋转，所以使得相邻调节板4之间的交错面积发生变化，使空间大小发生变化，从而调节氩气流速。

[0034] 本发明作进一步改进，如图1所示，还包括旋转座9，呈环形，与固定座1同轴线，其上开设与导向孔8一一对应的驱动孔10，驱动孔10不与旋转座9同心设置，固定轴7另一端穿过驱动孔10；

[0035] 本发明作进一步改进，如图1所示，还包括与炉体3内壁固定连接的连接环11，连接环11处用于安装加热器20，旋转座9内圈与连接环11转动连接；

[0036] 在本实施例中，连接环11与炉体3内壁连接，旋转座9与连接环11通过轴承转动连接，从而连接环11可进行自转，当需要使固定轴7沿导向孔8移动时，使旋转座9旋转，由于旋转座9上的驱动孔10不与旋转座9同心设置，所以使所有的固定轴7同时沿导向孔8进行移动，更加方便。

[0037] 本发明作进一步改进，如图1至图2所示，旋转座9上设置有齿，还包括用于与齿啮合的齿轮组；

[0038] 在本实施例中，通过齿轮组来驱动齿和旋转座9进行旋转。

[0039] 本发明作进一步改进，如图1至图3所示，旋转座9上固定有两个限位装置；

[0040] 在本实施例中，由于旋转座9局部有齿，所以设置限位装置，防止齿轮组与齿发生脱离，无法起到调节作用。

[0041] 本发明作进一步改进，限位装置包括与旋转座9固定连接的连接片12，连接片12上螺纹连接有螺栓13；

[0042] 在本实施例中，如图2所示，旋转螺栓13可调节其与连接片12的相对位置，当齿与旋转座9旋转时，螺栓13触碰到齿轮组，即达到限位位置上。

[0043] 本发明作进一步改进，调节板4率先与氩气接触的一侧进行圆角处理；

[0044] 在本实施例中，如图1、图5和图6所示，调节板4顶部的两侧均进行圆角处理，氩气自上往下流动，进行圆角处理，可减轻对调节板4的冲击，有助于氩气快速流过。

[0045] 本发明作进一步改进，调节板4为隔热材质；

[0046] 在本实施例中，调节板4为隔热材质，起到一定的隔热保温效果。

[0047] 本发明作进一步改进，齿轮组包括与固定座1转动连接的转轴14，转轴14上固定有锥齿轮一15和与齿啮合的齿轮二16，炉体3上转动安装有驱动轴17，驱动轴17一端伸出至炉体3外部，驱动轴17上固定有与锥齿轮一15啮合的锥齿轮三18；

[0048] 在本实施例中，如图2所示，在驱动轴17处于炉体3外部的一端上安装手轮（未示出），通过旋转手轮，在驱动轴17、锥齿轮三18、锥齿轮一15和转轴14的作用下，使齿轮二16进行旋转，从而在炉体3外部即可调节空间的大小，更加方便。

[0049] 本发明作进一步改进，连接环11上固定有法兰盘19；

[0050] 在本实施例中，通过在连接环11上安装法兰盘19，来连接中保温筒21上部的部件。

[0051] 以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。