贴膜装置

摘要

本申请提供了一种贴膜装置，涉及晶圆贴膜技术领域。根据本申请提供的贴膜装置，利用供膜机构向与其间隔设置的贴膜机构输送膜，在这一过程中，膜在供膜机构和贴膜机构两者之间沿着一预定的输送路径被输送，当活动部件对供膜机构的收纳构件施力，从而将收纳构件的旋转阻止后，收纳构件被锁定而不再继续输送膜，在供膜机构和贴膜机构之间的沿着前述输送路径延伸的膜的长度是一定的，在此基础上，利用张紧构件对膜施力，使得膜的输送路径的长度增加，这种情况下膜被张紧，从而在将膜贴合到待贴合物上时，膜不会出现塌陷，而影响贴合效果。

权利要求

1.一种贴膜装置，其特征在于，所述贴膜装置包括：

贴膜机构，所述贴膜机构用于承载待贴膜物；

供膜机构，所述供膜机构与所述贴膜机构间隔设置，所述供膜机构用于向所述贴膜机构输送膜，所述供膜机构包括锁定机构和可旋转的收纳构件，所述膜绕设于所述收纳构件，所述锁定机构包括活动部件，所述活动部件被配置为能够运动，以对所述收纳构件施力，进而阻止所述收纳构件旋转；

张紧机构，所述张紧机构设置于所述贴膜机构和所述供膜机构之间，所述张紧机构包括张紧主体和张紧构件，所述张紧构件可活动地设置于所述张紧主体，以能够相对于所述张紧主体运动，所述张紧构件用于对所述膜施力，以增加所述膜在所述贴膜机构和所述供膜机构之间的输送路径的长度；

所述贴膜装置还包括可旋转的收集构件，所述收集构件与所述收纳构件并排设置，所述收集构件的转速被配置为大于所述收纳构件的转速，所述收集构件包括第一旋转部和第一传动部，所述第一传动部包括面向所述第一旋转部的第一摩擦面，所述第一旋转部包括面向所述第一传动部的第二摩擦面，所述第一摩擦面与所述第二摩擦面接合，以驱动所述第一旋转部旋转；

所述贴膜装置还包括施力构件和限位构件，所述限位构件与所述第一传动部彼此间隔设置，所述施力构件设置于所述限位构件与所述第一传动部之间，所述施力构件包括彼此相对的第一侧部和第二侧部，所述施力构件的第一侧部抵接于所述限位构件，所述施力构件的第二侧部抵接于所述第一传动部，所述施力构件用于向所述第一传动部施力，以提供所述第一摩擦面与所述第二摩擦面接合的压力。

2.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述收纳构件包括第二传动部和第二旋转部，所述第二传动部与所述第一传动部传动连接，以向所述第一传动部输出动力，所述第二旋转部具有大于所述第一旋转部的直径。

3.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述锁定机构包括锁定主体，所述活动部件包括相对于所述锁定主体可伸缩的锁定构件，所述收纳构件包括沿着所述收纳构件的周向间隔设置的多个接合部，对于所述多个接合部中的每一接合部，所述每一接合部和所述锁定构件中的一者能够嵌入到所述每一接合部和所述锁定构件中的另一者内，以锁定所述收纳构件。

4.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述锁定机构包括第一接合构件，所述活动部件包括第二接合构件，所述第一接合构件与所述收纳构件连接，所述第二接合构件被配置为能够与所述第一接合构件分离以释放所述收纳构件，所述第二接合构件被配置为能够与所述第一接合构件接合以锁定所述收纳构件。

5.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述贴膜机构包括：工作台，所述工作台开设有孔部；

工作盘，所述工作盘包括彼此相对的第一侧部和第二侧部，所述工作盘的第一侧部经由所述孔部暴露而与所述工作台平齐，所述工作盘用于承载所述待贴膜物；

抵接构件，所述抵接构件抵接于所述工作盘的第二侧部；

缓冲构件，所述缓冲构件抵接于所述抵接构件的背对所述工作盘的第二侧部的一侧，所述缓冲构件被配置为能够伸缩，以缓冲所述抵接构件对所述缓冲构件施加的力。

6.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述贴膜机构包括：工作台；

机架，所述机架包括容纳部，所述工作台设置于所述容纳部内；

盖构件，所述盖构件铰接于所述机架，以罩设于所述工作台的外侧；

切割组件，所述切割组件包括位于所述盖构件的朝向所述工作台侧切刀构件以及位于所述盖构件的背对所述工作台侧的把手构件，所述把手构件被配置为仅能够单向旋转，以带动所述切刀构件单向旋转。

7.根据权利要求6所述的贴膜装置，其特征在于，所述切割组件还包括：保持构件，所述保持构件与所述盖构件连接，所述保持构件开设有通孔；

连接构件，所述连接构件穿设于所述通孔，以连接所述切刀构件与所述把手构件，所述连接构件包括在面向所述通孔的内壁的外周面上沿着周向设置的多个阻挡部；

阻挡构件，所述阻挡构件从所述通孔的内壁向所述通孔的内部延伸，所述阻挡构件包括朝向所述连接构件的斜面，所述多个阻挡部中的每一阻挡部能够与所述斜面接合以阻止所述连接构件沿着所述单向的反方向旋转。

8.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述贴膜机构包括：工作台；

机架，所述机架包括容纳部，所述工作台设置于所述容纳部内；

盖构件，所述盖构件铰接于所述机架，以罩设于所述工作台的外侧；

切割组件，所述切割组件包括位于所述盖构件的朝向所述工作台侧切刀构件、位于所述盖构件的背对所述工作台侧的把手构件以及贯穿所述盖构件的连接构件，所述连接构件连接所述切刀构件和所述把手构件，所述切割组件所述把手构件用于带动所述切刀构件旋转；

配重构件，所述配重构件设置于所述连接构件的外周面。

说明书

贴膜装置

技术领域

[0001] 本申请涉及晶圆贴膜技术领域，尤其是涉及一种贴膜装置。

背景技术

[0002] 在半导体制造工业流程中的后道工序，晶圆在切割前，需要在晶圆背面贴一层防护膜，并固定在一个金属框架上，以利于后面的切割，在贴膜的过程中要加热60℃～80℃温度，使膜能牢固粘贴在晶圆上(一般实际加工过程时贴膜后放入烘烤箱烘烤)，防止切割过程由于粘贴不牢造成切割后的晶圆飞出。然而，在贴膜操作中加热时，膜遇热后易塌陷，提前与晶圆粘连，易造成晶圆损坏。

发明内容

[0003] 有鉴于此，本申请提供一种贴膜装置，目的在于，解决以上技术问题。

[0004] 第一方面，本申请提供一种贴膜装置，所述贴膜装置包括：

[0005] 贴膜机构，所述贴膜机构用于承载待贴膜物；

[0006] 供膜机构，所述供膜机构与所述贴膜机构间隔设置，所述供膜机构用于向所述贴膜机构输送膜，所述供膜机构包括锁定机构和可旋转的收纳构件，所述膜绕设于所述收纳构件，所述锁定机构包括活动部件，所述活动部件被配置为能够运动，以对所述收纳构件施力，进而阻止所述收纳构件旋转；

[0007] 张紧机构，所述张紧机构设置于所述贴膜机构和所述供膜机构之间，所述张紧机构包括张紧主体和张紧构件，所述张紧构件可活动地设置于所述张紧主体，以能够相对于所述张紧主体运动，所述张紧构件用于对所述膜施力，以增加所述膜在所述贴膜机构和所述供膜机构之间的输送路径的长度。

[0008] 优选地，所述贴膜装置还包括可旋转的收集构件，所述收集构件与所述收纳构件并排设置，所述收集构件的转速被配置为大于所述收纳构件的转速，

[0009] 所述收集构件包括第一旋转部和第一传动部，所述第一传动部包括面向所述第一旋转部的第一摩擦面，所述第一旋转部包括面向所述第一传动部的第二摩擦面，所述第一摩擦面与所述第二摩擦面接合，以驱动所述第一旋转部旋转。

[0010] 优选地，所述贴膜装置还包括施力构件和限位构件，所述限位构件与所述第一传动部彼此间隔设置，所述施力构件设置于所述限位构件与所述第一传动部之间，所述施力构件包括彼此相对的第一侧部和第二侧部，所述施力构件的第一侧部抵接于所述限位构件，所述施力构件的第二侧部抵接于所述第一传动部，所述施力构件用于向所述第一传动部施力，以提供所述第一摩擦面与所述第二摩擦面接合的压力。

[0011] 优选地，所述收纳构件包括第二传动部和第二旋转部，所述第二传动部与所述第一传动部传动连接，以向所述第一传动部输出动力，所述第二旋转部具有大于所述第一旋转部的直径。

[0012] 优选地，所述锁定机构包括锁定主体，所述活动部件包括相对于所述锁定主体可伸缩的锁定构件，所述收纳构件包括沿着所述收纳构件的周向间隔设置的多个接合部，对于所述多个接合部中的每一接合部，所述每一接合部和所述锁定构件中的一者能够嵌入到所述每一接合部和所述锁定构件中的另一者内，以锁定所述收纳构件。

[0013] 优选地，所述锁定机构包括第一接合构件，所述活动部件包括第二接合构件，所述第一接合构件与所述收纳构件连接，所述第二接合构件被配置为能够与所述第一接合构件分离以释放所述收纳构件，所述第二接合构件被配置为能够与所述第一接合构件接合以锁定所述收纳构件。

[0014] 优选地，所述贴膜机构包括：

[0015] 工作台，所述工作台开设有孔部；

[0016] 工作盘，所述工作盘包括彼此相对的第一侧部和第二侧部，所述工作盘的第一侧部经由所述孔部暴露而与所述工作台平齐，所述工作盘用于承载所述待贴膜物；

[0017] 抵接构件，所述抵接构件抵接于所述工作盘的第二侧部；

[0018] 缓冲构件，所述缓冲构件抵接于所述抵接构件的背对所述工作盘的第二侧部的一侧，所述缓冲构件被配置为能够伸缩，以缓冲所述抵接构件对所述缓冲构件施加的力。

[0019] 优选地，所述贴膜机构包括：

[0020] 工作台；

[0021] 机架，所述机架包括容纳部，所述工作台设置于所述容纳部内；

[0022] 盖构件，所述盖构件铰接于所述机架，以罩设于所述工作台的外侧；

[0023] 切割组件，所述切割组件包括位于所述盖构件的朝向所述工作台侧切刀构件以及位于所述盖构件的背对所述工作台侧的把手构件，所述把手构件被配置为仅能够单向旋转，以带动所述切刀构件单向旋转。

[0024] 优选地，所述切割组件还包括：

[0025] 保持构件，所述保持构件与所述盖构件连接，所述保持构件开设有通孔；

[0026] 连接构件，所述连接构件穿设于所述通孔，以连接所述切刀构件与所述把手构件，所述连接构件包括在面向所述通孔的内壁的外周面上沿着周向设置的多个阻挡部；

[0027] 阻挡构件，所述阻挡构件从所述通孔的内壁向所述通孔的内部延伸，所述阻挡构件包括朝向所述连接构件的斜面，所述多个阻挡部中的每一阻挡部能够与所述斜面接合以阻止所述连接构件沿着所述单向的反方向旋转。

[0028] 优选地，所述贴膜机构包括：

[0029] 工作台；

[0030] 机架，所述机架包括容纳部，所述工作台设置于所述容纳部内；

[0031] 盖构件，所述盖构件铰接于所述机架，以罩设于所述工作台的外侧；

[0032] 切割组件，所述切割组件包括位于所述盖构件的朝向所述工作台侧切刀构件、位于所述盖构件的背对所述工作台侧的把手构件以及贯穿所述盖构件的连接构件，所述连接构件连接所述切刀构件和所述把手构件，所述切割组件所述把手构件用于带动所述切刀构件旋转；

[0033] 配重构件，所述配重构件设置于所述连接构件的外周面。

[0034] 根据本申请提供的贴膜装置，利用供膜机构向与其间隔设置的贴膜机构输送膜，在这一过程中，膜在供膜机构和贴膜机构两者之间沿着一预定的输送路径被输送，当活动部件对供膜机构的收纳构件施力，从而将收纳构件的旋转阻止后，收纳构件被锁定而不再继续输送膜，在供膜机构和贴膜机构之间的沿着前述输送路径延伸的膜的长度是一定的，在此基础上，利用张紧构件对膜施力，使得膜的输送路径的长度增加，这种情况下膜被张紧，从而在将膜贴合到待贴合物上时，膜不会出现塌陷，而影响贴合效果。

[0035] 为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

[0036] 为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

[0037] 图1示出了根据本申请实施例提供的贴膜装置的轴测图的示意图；

[0038] 图2示出了根据本申请实施例提供的贴膜装置的主视图的示意图；

[0039] 图3示出了图2中A‑A剖面的剖视图的示意图；

[0040] 图4示出了根据本申请实施例提供的贴膜装置的右视图的示意图；

[0041] 图5示出了根据本申请实施例提供的贴膜装置的左视图的示意图；

[0042] 图6示出了根据本申请实施例提供的贴膜装置的后视图的示意图；

[0043] 图7示出了根据本申请实施例提供的贴膜装置的收纳构件的示意图；

[0044] 图8示出了图7中B‑B剖面的剖视图的示意图；

[0045] 图9示出了根据本申请实施例提供的贴膜装置的收集构件的示意图；

[0046] 图10示出了图9中C‑C剖面的剖视图的示意图；

[0047] 图11示出了根据本申请实施例提供的贴膜装置的切割组件的主视图的示意图；

[0048] 图12示出了根据本申请实施例提供的贴膜装置的切割组件的俯视图的示意图。

[0049] 附图标记：

[0050] 10‑贴膜机构；11‑工作台；12‑工作盘；13‑抵接构件；

[0051] 20‑供膜机构；21‑锁定机构；221‑第一接合构件；222‑第二接合构件；223‑法兰盘；23‑收纳构件；231‑第二传动部；232‑第二旋转部；

[0052] 30‑张紧机构；31‑张紧主体；32‑张紧构件；33‑第一导向辊；34‑第二导向辊；35‑压膜滚筒；

[0053] 40‑收集构件；41‑第一旋转部；42‑第一传动部；421‑摩擦部；

[0054] 50‑施力构件；51‑限位构件；

[0055] 60‑盖构件；61‑切割组件；62‑切刀构件；63‑把手构件；64‑压辊；65‑保持构件；66‑连接构件；67‑阻挡构件；68‑弹簧；69‑配重构件；

[0056] 70‑机架；71‑操作面板；81‑使用膜；82‑离型膜；90‑横切刀组件。

具体实施方式

[0057] 下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

[0058] 在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

[0059] 在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

[0060] 另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本申请要求的保护范围之内。

[0061] 根据本申请实施例提供一种贴膜装置，以下将结合图1至图12具体描述贴膜装置的结构和工作原理。

[0062] 根据本申请实施例提供的贴膜装置，该贴膜装置包括贴膜机构10、供膜机构20以及张紧机构30。其中，贴膜机构10用于承载待贴膜物，供膜机构20与贴膜机构10间隔设置，供膜机构20用于向贴膜机构10输送膜，供膜机构20包括锁定机构21和可旋转的收纳构件23，膜绕设于收纳构件23，锁定机构21包括活动部件，活动部件被配置为能够运动，以对收纳构件23施力，进而阻止收纳构件23旋转。张紧机构30设置于贴膜机构10和供膜机构20之间，张紧机构30包括张紧主体31和张紧构件32，张紧构件32可活动地设置于张紧主体31，以能够相对于张紧主体31运动，张紧构件32用于对膜施力，以增加膜在贴膜机构10和供膜机构20之间的输送路径的长度。

[0063] 在实施例中，根据本申请实施例提供的贴膜装置，利用供膜机构20向与其间隔设置的贴膜机构10输送膜，在这一过程中，膜在供膜机构20和贴膜机构10两者之间沿着一预定的输送路径被输送，当活动部件对供膜机构20的收纳构件23施力，从而将收纳构件23的旋转阻止后，收纳构件23被锁定而不再继续输送膜，在供膜机构20和贴膜机构10之间的沿着前述输送路径延伸的膜的长度是一定的，在此基础上，利用张紧构件32对膜施力，使得膜的输送路径的长度增加，这种情况下膜被张紧，从而在将膜贴合到待贴合物上时，膜不会出现塌陷，而影响贴合效果。

[0064] 在实施例中，结合图3，这里所提到的使膜的输送路径的长度增加是指张紧构件32压到膜的表面，使得在张紧构件32压到膜之前沿着直线输送的膜的部分向着被施压之前的膜的一侧凸出，换句话说，张紧构件32将膜支撑起来，相对于原来这段沿着直线输送的膜而言，被撑起的膜所经过的输送距离增加，即，上述输送路径的长度增加。

[0065] 在实施例中，在贴膜机构10被锁定后，贴膜机构10和供膜机构20之间的膜的长度是一定的，以上这种输送路径的长度增加可能会使膜产生一定程度的形变，来适配输送路径的长度增加，从而膜被张紧构件32所张紧。另外，根据本申请实施例提供的贴膜装置特别适于在对膜加热的场合中使用，在这种场合中，对贴膜装置处的膜加热会导致膜发生形变而塌陷，塌陷的膜会提前与待贴膜物接触并粘连，可能导致待贴膜物损坏，而膜由于塌陷而增加的长度可以用来适配增加长度的输送路径，从而确保膜被张紧而不会塌陷。

[0066] 此外，在实施例中，需要说明的是，张紧构件32对膜施力来增加膜的输送路径长度，这里张紧构件32相对于张紧主体31的活动方向与膜的输送方向是交叉的，例如是垂直的。

[0067] 如图3所示，在实施例中，张紧主体31可以包括气缸，气缸可以设置于下述机架70内。张紧构件32可以包括张紧滚筒，作为示例，气缸可以沿着竖直方向布置，气缸的活塞杆可以与张紧滚筒连接，从而驱动张紧滚筒升降。在实施例中，张紧构件32还可以包括架体，张紧滚筒可以例如经由轴承可旋转地设置于架体，如此，当气缸的活塞杆伸长时，张紧滚筒可以上升从而随经过张紧滚筒上方的膜施力，而将张紧滚筒上方的膜支撑起来，进而将膜张紧。

[0068] 进一步地，在实施例中，张紧滚筒的下游侧还可以依次设置第一导向辊33和第二导向辊34，作为示例，膜从第一导向辊33下方经过，随后从第二导向辊34的上方经过。进一步地，在第二导向辊34的下游，还可以设置有压膜滚筒35，膜从压膜滚筒35的下方经过。在实施例中，作为示例，第一导向辊33、第二导向辊34和压膜滚筒35可以均经由轴承可旋转地设置于下述机架70。

[0069] 在实施例中，以上所提到的从供膜机构20中输出的膜为使用膜81，使用膜81依次经过上述张紧构件32、第一导向辊33、第二导向辊34和压膜滚筒35输送到贴膜机构10，使用膜81用于贴合到待贴合物上，待贴合物例如可以为晶圆。在供膜机构20中，收纳构件23上除了绕设使用膜81，还绕设与使用膜81贴合的离型膜82，也就是说，离型膜82和使用膜81贴合在一起作为一张膜(下称完整膜)绕设于收纳构件23，在使用膜81从供膜机构20中输出前，根据本申请实施例提供的贴膜装置将离型膜82从使用膜81上剥离并收集，以下将具体说明。

[0070] 在实施例中，根据本申请实施例提供的贴膜装置还可以包括可旋转的收集构件40，收集构件40与收纳构件23并排设置，收集构件40的转速被配置为大于收纳构件23的转速。收集构件40可以包括第一旋转部41和第一传动部42，第一传动部42包括面向第一旋转部41的第一摩擦面，第一旋转部41包括面向第一传动部42的第二摩擦面，第一摩擦面与第二摩擦面接合，以驱动第一旋转部41旋转。

[0071] 根据本申请实施例提供的贴膜装置，收集构件40与收纳构件23并排设置，从收纳构件23上输出的完整膜被分离成使用膜81和离型膜82，使用膜81可以向贴膜机构10外输出，离型膜82可以绕设到收集构件40，通过收集构件40旋转而将离型膜82绕设到收集构件40上进行收集，由于收集构件40的转速被配置为大于收纳构件23的转速，收集构件40能够及时回收离型膜82，而不会使离型膜82堆叠影响使用膜81的使用。

[0072] 结合图9和图10，在实施例中，第一旋转部41可以为阶梯轴状，其两端可以具有直径更小轴端，轴端可以经由轴承和轴承座可旋转地安装到下述机架70。在实施例中，第一传动部42可以为皮带轮，皮带轮的靠近第一旋转部41的大直径部分的端面可以为第一摩擦面。第一传动部42的大直径部分的朝向皮带轮的端面可以为第二摩擦面，两者彼此接合，使得皮带轮可以带动第一传动部42同步旋转。

[0073] 在实施例中，由于收集构件40以更高的转速回收离型膜82，当离型膜82回收时会绷紧，从而对传动部产生拉力，这一拉力克服皮带轮和第一传动部42之间的摩擦力，则会使得皮带轮与第一旋转部41之间发生打滑，从而使得皮带轮相对于第一旋转部41的轴端旋转，如此实现皮带轮空转，如此既可以保证使用膜81的稳定供应，也能够保证及时回收离型膜82并且回收离型膜82的过程不对使用膜81造成干扰。

[0074] 在实施例中，第一传动部42的大直径部分的朝向皮带轮的端面可以由与第一传动部42的大直径部分的主体彼此分离的摩擦部421的端面，例如包括但不限于摩擦垫板的端面充当，如此有利于该摩擦垫板的拆卸和维护。

[0075] 在实施例中，贴膜装置还包括施力构件50和限位构件51，限位构件51可以与第一传动部42彼此间隔设置，施力构件50可以设置于限位构件51与第一传动部42之间，施力构件50可以包括彼此相对的第一侧部和第二侧部，施力构件50的第一侧部可以抵接于限位构件51，施力构件50的第二侧部可以抵接于第一传动部42，施力构件50可以用于向第一传动部42施力，以提供第一摩擦面与第二摩擦面接合的压力。

[0076] 根据本申请实施例提供的贴膜装置，利用限位构件51对施力构件50进行限位，并通过施力构件50对皮带轮施力，从而为第一摩擦面和第二摩擦面提供接合的压力，以确保离型膜82回收过程的进行，并且可以通过调整施力构件50对皮带轮施加的力来调整皮带轮空转的时机。在实施例中，上述第一侧部和第二侧部可以是施力构件50在第一旋转部41的轴向上彼此相对的两侧，在实施例中，作为示例，施力构件50可以包括但不限于螺旋弹簧，从动轮上可以开设有用于容纳螺旋弹簧的部分的凹槽，以确保螺旋弹簧稳定。

[0077] 在实施例中，施力构件50可以包括摩擦垫板，摩擦垫板可以供上述螺旋弹簧抵接，摩擦垫板可以抵靠在安装第一旋转部41的轴端的轴承的端面上。

[0078] 在实施例中，收纳构件23可以包括第二传动部231和第二旋转部232，第二传动部231可以与第一传动部42传动连接，以向第一传动部42输出动力，第二旋转部232可以具有大于第一旋转部41的直径。根据本申请实施例提供的贴膜装置，由收纳构件23驱动收集构件40，便于调整收纳构件23和收集构件40的转速关系，作为示例，第二传动部231也可以为皮带轮，该皮带轮可以为主动轮，上述皮带轮可以为从动轮，二者经由皮带传动连接。在实施例中，第一旋转部41和第二旋转部232之间的转速比是大于1:1的，作为示例，优选地，第一旋转部41和第二旋转部232之间的转速比为1:5，如此考虑到不对使用膜81的输出造成干扰而获得较优的离型膜82回收速率。此外，在实施例中，第二旋转部232的结构可以和第一旋转部41相同，安装方式也可以相同，在此不再赘述。

[0079] 在实施例中，锁定机构21可以包括锁定主体，活动部件可以包括相对于锁定主体可伸缩的锁定构件，收纳构件23可以包括沿着收纳构件23的周向间隔设置的多个接合部，对于所述多个接合部中的每一接合部，每一接合部和锁定构件中的一者能够嵌入到每一接合部和锁定构件中的另一者内，以锁定收纳构件23。

[0080] 结合图6，根据本申请实施例提供的贴膜装置，利用多个沿着收纳构件23的周向设置的接合部与锁定构件彼此嵌合，从而对收纳构件23进行锁定。作为示例，在实施例中，锁定主体可以包括设置于机架70的朝向第二传动部231的轴向端部的锁定气缸，锁定构件可以包括设置在锁定气缸的活塞杆的销。进一步地，接合部可以为设置在第二传动部231的轴向端部的孔部，前述销嵌入到孔部中，将第二传动部231锁定，进而将收纳构件23锁定。

[0081] 在实施例中，结合图7和图8，图7和图8给出了锁定机构21的另一示例，锁定机构21包括第一接合构件221，活动部件包括第二接合构件222，第一接合构件221与收纳构件23连接，第二接合构件222被配置为能够与第一接合构件221分离以释放收纳构件23，第二接合构件222被配置为能够与第一接合构件221接合以锁定收纳构件23。

[0082] 根据本申请实施例提供的贴膜装置，在图7和图8中给出了另一锁定机构21的示例，参见图8，在实施例中，第一接合构件221可以经由法兰盘223与第二旋转部232的轴端连接，第一接合构件221可以套设在法兰盘223的外侧，第二接合构件222可以套设在轴端的外侧。作为示例，在实施例中，第一接合构件221可以为刹车器前端，第二接合构件222可以为刹车器后端，也就是说，第二接合构件222通过第一接合构件221和法兰盘223对收纳构件23施加锁定力，而锁定机构21可以为实质上的刹车器。

[0083] 在实施例中，根据本申请实施例提供的贴膜装置的贴膜机构10可以包括工作台11、工作盘12、抵接构件13以及缓冲构件。其中，工作台11可以开设有孔部，工作盘12可以包括彼此相对的第一侧部和第二侧部，工作盘12的第一侧部可以经由孔部暴露而与工作台11平齐，工作盘12可以用于承载待贴膜物。抵接构件13可以连接于工作盘12的第二侧部，缓冲构件可以抵接于抵接构件13的背对工作盘12的第二侧部的一侧，缓冲构件可以被配置为能够伸缩，以缓冲抵接构件13对缓冲构件施加的力。

[0084] 参见图3，在实施例中，工作盘12的第一侧部可以为上侧部，工作盘12的第二侧部可以为下侧部。在实施例中，工作盘12可以呈阶梯状，工作盘12的上部分可以为圆盘状，其尺寸可以与工作台11的孔部尺寸相适配，以能够在工作台11的孔部中进行升降运动。工作台11的下部分也可以为圆盘状，工作台11的下部分可以为盘形加热组件，其直径可以大于孔部的直径，如此可以抵接于工作台11的下端面，避免工作盘12的上端面超出工作台11。

[0085] 在实施例中，抵接构件13可以为伸缩柱，伸缩柱设置于筒状的外壳当中，缓冲构件也可以设置于筒状的外壳当中，缓冲构件可以例如为弹簧(图中未示出)，如此，工作盘12对伸缩柱施加的力可以由弹簧缓冲。

[0086] 在实施例中，贴膜机构10还可以包括盖构件60和切割组件61。盖构件60可以铰接于机架70，以罩设于工作台11的外侧，例如罩设于工作台11的上方。切割组件61可以包括位于盖构件60的朝向工作台11侧切刀构件62以及位于盖构件60的背对工作台11侧的把手构件63，把手构件63被配置为仅能够单向旋转，以带动切刀构件62单向旋转。

[0087] 在实施例中，切割组件61还可以包括保持构件65、连接构件66以及阻挡构件67。保持构件65可以与盖构件60连接，保持构件65可以开设有通孔。连接构件66可以穿设于通孔，以连接切刀构件62与把手构件63，连接构件66可以包括在面向通孔的内壁的外周面上沿着周向设置的多个阻挡部。阻挡构件67可以从通孔的内壁向通孔的内部延伸，阻挡构件67可以包括朝向连接构件66的斜面，多个阻挡部中的每一阻挡部能够与斜面接合以阻止连接构件66沿着单向的反方向旋转。

[0088] 如图12所示，阻挡部可以为实质上的防逆转挡块，该挡块具有斜面，而上述阻挡部可以为容纳该挡块的凹槽，其内部轮廓与该挡块的斜面以及其余外部轮廓相适配。防逆转挡块安装到通孔的内壁上孔内，该孔内可以设置有弹簧68。当把手构件63顺时针旋转时，由于防逆转挡块的斜面引导，把手、连接构件66和切刀构件62可以顺时针旋转，防逆转挡块则周期性地被压入到通孔的内壁上孔内，反之，当把手构件63试图逆时针旋转时，阻挡部会被防逆转挡块阻挡而无法旋转。

[0089] 在实施例中，连接构件66可以包括轴构件，保持构件65可以为环形壳体，保持构件65可以与盖构件60连接，连接构件66可以经由轴承与保持构件65可旋转地连接。在实施例中，切割组件61还可以包括配重构件69，配重构件69可以设置于连接构件66的外周面，这样在盖构件60开启的状态下，由于配重构件69的重力作用，配重构件69将始终位于下方，避免切刀构件62自由旋转，配重构件69可以例如为配重块。在实施例中，切刀构件62包括与连接构件66连接的杆构件，杆构件两端可以分别设置压辊64和环切刀。

[0090] 根据以上描述的技术特征，以下将描述贴膜装置的穿膜顺序。首先将膜安装在供膜滚筒(收纳构件)上，手动撕开离型膜，将离型膜固定在回收膜滚筒(收集构件)上，膜首先穿过贴膜装置内的导向辊，再通过贴膜张紧滚筒(张紧构件)上，接下来分别穿过第一导向辊和第二导向辊，最后通过压膜滚筒后，完成整个穿膜流程。

[0091] 根据以上描述的技术特征，以下将描述贴膜装置的贴膜流程。将工件(例如晶圆)放置在工作盘上方，将绷环放置在工作台上，通过定位销定位后，手动将使用膜从断膜位置(在图3中，横切刀组件90的正下方，横切刀组件90用于沿着垂直于纸面方向即使用膜的输送方向切断膜)拉到工作台上的粘膜板上方，并粘贴在粘膜板上。

[0092] 粘贴完毕后此时点击机架前侧的操作面板71上的贴膜张紧按钮，点击触发后锁紧气缸(锁定机构的气缸)伸出，将供膜滚筒锁死，无法旋转，与此同时贴膜张紧气缸上升，贴膜张紧滚筒将膜支撑起来并张紧，防止膜塌陷。贴膜张紧动作触发后，手动将贴膜压辊组件(包括压膜滚筒)移动到粘膜板正上方，此时触发限位开关，贴膜压辊组件中的气缸伸出，使压膜滚筒下降，开始压膜。

[0093] 此时手动将贴膜压辊组件推至起点位置(即复位)，完成压膜动作。接下来将翻转上盖(盖构件)下压，手动转动旋转切刀组件(切割组件)，沿绷环四周环切膜，环形断膜后完毕后，使用横切刀组件进行横向断膜，断膜完毕后将废膜撕掉，此时工件与绷环已经通过蓝膜粘贴固定一起，手动下料，将工件取下，即可完成贴膜动作。

[0094] 总的来说，在实施例中，本申请实施例实质上提供了一种防止膜塌陷的晶圆贴膜装置，如图1所示，主要包含底部框架组件(机架)、贴膜工作台(贴膜机构)、翻转上盖(盖构件)、旋转切刀组件(切割组件)、贴膜压辊组件、贴膜张紧组件(张紧机构)和供膜系统组件(供膜机构)。

[0095] 在实施例中，贴膜工作台固定在底部框架组件中心位置，贴膜工作台底部为弹簧伸缩结构(抵接构件和缓冲构件)，贴膜时起到上下缓冲作用，防止晶片损伤、碎片。如图2所示，贴膜工作台带有加热功能，通过加热垫(工作盘的下部分)使膜能牢固粘贴在晶圆上，工作台面(工作台)、伸缩柱外壳固定在底部框架组件上。其中，工作盘被伸缩柱支撑，当压辊组件压过工作盘时，通过弹簧(缓冲构件)可以实现上下伸缩、缓冲。根据贴膜效果，调整弹簧弹力，使得贴膜质量和避免晶片损坏同时达到最优效果。

[0096] 贴膜时，由于工作盘加热会导致上方的膜出现塌陷情况，膜在压合前就会提前与晶片粘连，有损坏晶片的风险，而且还会影响贴膜的质量和效率。因此借助贴膜张紧组件在拉膜至粘膜板位置后，立即启动贴膜张紧功能按钮，启动按钮后锁紧气缸伸出，此时主动带轮(第二传动部)上带有一圈定位销孔，锁紧气缸卡入销孔内后，供膜滚筒会被锁紧。此时再将贴膜张紧辊(张紧构件)上升，膜绷紧，遇热后不会使膜塌陷，实现加热过程中紧密贴膜，有效的提升了贴膜质量和效率。

[0097] 在供膜系统中供膜滚筒和回收滚筒通过带传动，为了使离型膜回收及时，不堆叠影响使用膜的使用，因此存在大于1:1优选为1:5的速比(保障下轮在任何条件下比上轮转的快，1:5的比例能确定回收及时)。当回收滚筒不用回收离型膜时，回收滚筒内部存在如下结构，传动轴(第一旋转部)与轴承连接，通过从动带轮(第一传动部)驱动旋转，从动带轮左右两侧各一个摩擦垫板，分别是左摩擦垫板(限位构件)和右摩擦垫板(摩擦部)。左摩擦垫板和从动带轮设置一个弹簧(施力构件)。当离型膜及时回收时膜会绷紧，对回收滚筒有一个拉力，该拉力大于从动带轮与摩擦垫板之间的摩擦力后，就会实现回收滚筒空转，这样既可以保证稳定供使用膜(704)也可以保证及时回收离型膜。也就是说，为了在速比差异更大的情况下避免离型膜过拉，弹簧结构降低从动带轮与传动轴之间的摩擦力，当离型膜全部收完时，膜绷紧，拉力大于从动带轮与摩擦垫板之间的摩擦力，从动带轮与传动轴联动关系断开，从动带轮出现空转。

[0098] 旋转切刀组件由压辊和环切刀(切刀构件)两部分组成，由于环形切割，环切刀为圆型结构，旋转切割更便捷，而且有效的防止切膜存在残丝的现象。为了提升断膜后，膜与金属框架之间能够紧密贴合，因此采用压辊对断膜刀口位置进行压合，防止膜与金属框架脱落。

[0099] 当打开翻转上盖组件(盖构件)时，受重力，旋转切刀组件会自由旋转，容易伤人，因此增加配重块(配重构件)，防止旋转切刀组件自由旋转伤人。为了方便操作，该组件采用了只能顺时针旋转结构，防逆转挡块通过弹簧弹力，卡入旋转盘卡槽内，实现只能顺时针旋转的效果，当逆时针旋转时，防逆转挡块会把旋转切刀组件锁死，无法进行旋转切割。配重块直接放置在刀片中央的下端。避免开盖后自由旋转；防逆转挡块为单独装置，实现在工作时和工作后刀片均单向转动。

[0100] 此外，在另一示例中，提供供膜滚筒的刹车机构。具体地，贴膜张紧动作时，此功能可替代锁紧气缸将供膜滚筒锁紧。制动法兰(法兰盘)与主传动轴(第二旋转部)固定，制动法兰的另一端与刹车器前端(第一接合构件)固定，当刹车器后端(第二接合构件)没有得到信号时，刹车器后端与刹车器前端无关联，此时主传动轴可以正常旋转；当刹车器后端得到信号时，刹车器后端与刹车器前端之间锁死，此时可以将供膜滚筒锁紧固定。

[0101] 根据以上技术特征，本申请实施例提供的贴膜装置，工作盘弹簧伸缩结构，有效防止贴膜碎片；贴膜张紧功能有效防止工作盘加热时，膜塌陷造成工件损坏，提升贴膜质量，使膜与金属框架贴合后，处于紧绷状态；离型膜回收及时，提升效率，省膜防止膜浪费；旋转切刀的新结构，有效提升膜与金属框架切断位置的贴合度，防止逆时针旋转和自由旋转能够保证操作者安全操作。

[0102] 以上仅为本申请的优选实施例，并非因此限制本申请的保护范围，凡是在本申请的创新构思下，利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本申请的保护范围内。