全自动曝光系统

摘要

本申请涉及自动装载台曝光系统技术领域，尤其涉及一种全自动曝光系统，包括工作台、第一移载机构、第二移载机构、第一开合框装置、第二开合框装置以及曝光装置。工作台设置有第一上下料区、第二上下料区、第一曝光区和第二曝光区。通过一个曝光装置依次对不同位置曝光区处的待曝光件进行曝光，降低成本，保证产品的一致性。通过第一移载机构与第二移载机构分别对待曝光件进行移载，并且设置多个曝光区分别进行曝光，实现对待曝光件的高效移载、曝光，提高生产效率。在对待曝光件的运载过程中，既完成对装载台的移动，又完成对装载台的开框与合框，无需引入额外的动力以及复杂的结构，无需占用额外的开合框时间，提高生产效率。

权利要求

1.一种全自动曝光系统，其特征在于，包括：

工作台，所述工作台设置有第一上下料区、第二上下料区、第一曝光区和第二曝光区；

用于将第一待曝光件运载至第一曝光区的第一移载机构，所述第一移载机构包括第一驱动装置和第一装载台，所述第一装载台对第一待曝光件进行装载，所述第一驱动装置带动所述第一装载台移动；

用于将第二待曝光件运载至第二曝光区的第二移载机构，所述第二移载机构包括第二驱动装置和第二装载台，所述第二装载台对第二待曝光件进行装载，所述第二驱动装置带动所述第二装载台移动；

第一开合框装置，所述第一开合框装置设置于所述第一移载机构的运载路径处；

第二开合框装置，所述第二开合框装置设置于所述第二移载机构的运载路径处；

以及

曝光装置，在所述第一曝光区与所述第二曝光区之间移动；

其中，所述第一移载机构在所述第一上下料区对所述第一待曝光件进行上下料；

所述第二移载机构在所述第二上下料区对所述第二待曝光件进行上下料；

当所述第一移载机构将所述第一待曝光件从所述第一上下料区运载至所述第一曝光区后，所述曝光装置移动到所述第一曝光区对所述第一待曝光件进行曝光；

当所述第二移载机构将所述第二待曝光件从所述第二上下料区运载至所述第二曝光区后，所述曝光装置移动到所述第二曝光区对所述第二待曝光件进行曝光；

当所述第一装载台朝向所述第一曝光区移动时，所述第一开合框装置对所述第一装载台进行合框；

当所述第一装载台远离所述第一曝光区移动时，所述第一开合框装置对所述第一装载台进行开框；

当所述第二装载台朝向所述第二曝光区移动时，所述第二开合框装置对所述第二装载台进行合框；

当所述第二装载台远离所述第二曝光区移动时，所述第二开合框装置对所述第二装载台进行开框；

所述第一装载台包括上盖组件和下载物台，所述上盖组件与所述下载物台枢转连接；

所述第一开合框装置安装于安装架，包括：卡阻机构，所述卡阻机构转动安装于所述安装架；以及卡轴机构，所述卡轴机构安装于所述上盖组件；其中，所述安装架设置于第一装载台与所述第二装载台的运动路径，所述第一装载台与所述第二装载台均相对所述安装架移动；在所述第一装载台远离所述第一曝光区移动过程中，所述卡阻机构与所述卡轴机构卡接从而带动所述上盖组件使其向远离所述下载物台的方向发生枢转转动；在所述第一装载台朝向所述第一曝光区移动过程中，所述卡阻机构与所述卡轴机构脱离，所述上盖组件向靠近所述下载物台的方向发生枢转转动；所述第二装载台的结构与所述第一装载台的结构相同，所述第二开合框装置的结构与所述第一开合框装置的结构相同，所述第二开合框装置安装于所述安装架，所述卡轴机构包括轴杆；所述卡阻机构包括挂钩件和铰链组件，所述挂钩件的钩部与所述轴杆相适配，所述挂钩件通过所述铰链组件安装于所述安装架；所述钩部朝向所述第一曝光区；在所述卡阻机构处于待与所述卡轴机构卡接状态时，所述钩部入钩端的高度H与所述轴杆的下边缘高度h之间的关系为0≤h‑H。

2.根据权利要求1所述的全自动曝光系统，其特征在于，所述第一曝光区与所述第二曝光区并列布置；

所述曝光装置在所述第一曝光区与所述第二曝光区之间移动时，所述曝光装置在水平方向直线平移；

所述第一移载机构与所述第二移载机构均在水平方向直线平移；

所述第一移载机构与所述第二移载机构的移动路径相互平行且在同一水平面，所述曝光装置的移动路径与所述第一移载机构的移动路径相互垂直。

3.根据权利要求1所述的全自动曝光系统，其特征在于，还包括用于检测待曝光件与菲林是否对位的检测机构，所述检测机构在所述第一曝光区与所述第二曝光区之间移动；

当所述第一移载机构将所述第一待曝光件运载至所述第一曝光区后，所述检测机构移动到所述第一曝光区对所述第一待曝光件进行对位检测；

当所述第二移载机构将所述第二待曝光件运载至所述第二曝光区后，所述检测机构移动到所述第二曝光区对所述第二待曝光件进行对位检测；

先对所述第一待曝光件进行对位检测后，再对所述第一待曝光件进行曝光；

先对所述第二待曝光件进行对位检测后，再对所述第二待曝光件进行曝光。

4.根据权利要求3所述的全自动曝光系统，其特征在于，所述所述检测机构包括第一移动装置和相机装置，所述第一移动装置带动所述相机装置在所述第一曝光区与所述第二曝光区之间移动。

5.根据权利要求4所述的全自动曝光系统，其特征在于，所述第一移动装置包括两个第一移动轴和四个第二移动轴，所述第一移动轴相互平行并且横跨所述第一曝光区和所述第二曝光区；

每个所述第一移动轴配置两个所述第二移动轴，所述第二移动轴安装于所述第一移动轴的输出端，所述第二移动轴垂直于所述第一移动轴，每个所述第二移动轴的输出端分别安装有一个所述相机装置。

6.根据权利要求1所述的全自动曝光系统，其特征在于，所述挂钩件设置有导向斜面，所述导向斜面向内延伸至所述钩部的内侧；

所述钩部内侧壁为半圆柱形，所述轴杆的形状为圆柱形；

令所述轴杆的直径为d，所述钩部内壁的直径为D，则有，0.1mm≤D‑d≤0.5mm；

所述钩部的端部内侧设置有圆倒角。

7.根据权利要求1所述的全自动曝光系统，其特征在于，所述卡轴机构安装于所述上盖组件的两侧，所述卡轴机构的轴杆向所述上盖组件的两侧延伸；

所述安装架为龙门结构，所述安装架横跨于所述第一装载台与所述第二装载台移动路径的上方；

所述卡阻机构安装于所述安装架的横梁；

当所述第一装载台沿向远离所述第一曝光区的方向移动经过所述安装架下方时，所述卡阻机构与所述卡轴机构卡接；

所述卡阻机构的数量为两个；

令两个所述卡阻机构的安装距离为l，位于所述上盖组件两侧的轴杆的远端之间的距离为L1，位于所述上盖组件两侧的轴杆的近端之间的距离L2，则有，L2≤l≤L1。

说明书

全自动曝光系统

技术领域

[0001] 本申请涉及自动装载台曝光系统技术领域，尤其涉及一种全自动曝光系统。

背景技术

[0002] 随着科技的发展，电子技术也在飞速发展，作为电子技术中的基础单元，待曝光件的需求量也急剧提升，迫切需要提高待曝光件的产能以及改善待曝光件的产品品质。在待曝光件的生产过程中，需要对待曝光件进行曝光，以便显现出待曝光件中的电路。

[0003] 申请号为2020102493846的中国专利，公开了一种全自动影像检查双台面曝光机，包含入料工位、第一传送工位、第二传送工位、出料工位，入料工位、第一传送工位、第二传送工位、出料工位上方设有的出入移载机构，第一传送工位、第二传送工位的同一侧分别设有第一曝光区、第二曝光区，第一传送工位与第一曝光区连接，第二传送工位与第二曝光区连接，第一曝光区与第二曝光区相邻设置。

[0004] 上述现有技术中采用电机以及相关结构使装载PCB板的上框架与下框架分离，结构复杂、能耗以及设备生产成本高；并且采用两组曝光装置和CCD定位装置分别在两个工位进行曝光工作，设备成本高，曝光效果不一致；由于引入了复杂的控制系统，因此会导致控制过程复杂，对位精度难以达到预期，生产效率难以符合预期。

[0005] 可见，如何降低设备成本，降低设备能耗，保证产品的一致性，实现对物料高效移载、提高生产精度，优化控制系统，减少设备运转时的时间损耗以及提高生产效率是亟待解决的技术问题。

发明内容

[0006] 本申请提供的一种全自动曝光系统，旨在解决现有技术中如何降低设备成本，降低设备能耗，保证产品的一致性，实现对物料高效移载、提高生产精度，优化控制系统，减少设备运转时的时间损耗以及提高生产效率的技术问题。

[0007] 本申请提供的一种全自动曝光系统，包括：

[0008] 工作台，所述工作台设置有第一上下料区、第二上下料区、第一曝光区和第二曝光区；

[0009] 用于将第一待曝光件运载至第一曝光区的第一移载机构；

[0010] 用于将第二待曝光件运载至第二曝光区的第二移载机构；

[0011] 以及

[0012] 曝光装置，在所述第一曝光区与所述第二曝光区之间移动；

[0013] 其中，所述第一移载机构在所述第一上下料区对第一待曝光件进行上下料；

[0014] 所述第二移载机构在所述第二上下料区对第二待曝光件进行上下料；

[0015] 当所述第一移载机构将所述第一待曝光件从所述第一上下料区运载至所述第一曝光区后，所述曝光装置移动到所述第一曝光区对所述第一待曝光件进行曝光；

[0016] 当所述第二移载机构将所述第二待曝光件从所述第二上下料区运载至所述第二曝光区后，所述曝光装置移动到所述第二曝光区对所述第二待曝光件进行曝光。

[0017] 更进一步地，所述第一曝光区与所述第二曝光区并列布置；

[0018] 所述曝光装置在所述第一曝光区与所述第二曝光区之间移动时，所述曝光装置在水平方向直线平移；

[0019] 所述第一移载机构与所述第二移载机构均在水平方向直线平移；

[0020] 所述第一移载机构与所述第二移载机构的移动路径相互平行且在同一水平面，所述曝光装置的移动路径与所述第一移载机构的移动路径相互垂直。

[0021] 更进一步地，还包括用于检测待曝光件与菲林是否对位的检测机构，所述检测机构在所述第一曝光区与所述第二曝光区之间移动；

[0022] 当所述第一移载机构将所述第一待曝光件运载至所述第一曝光区后，所述检测机构移动到所述第一曝光区对所述第一待曝光件进行对位检测；

[0023] 当所述第二移载机构将所述第二待曝光件运载至所述第二曝光区后，所述检测机构移动到所述第二曝光区对所述第二待曝光件进行对位检测；

[0024] 先对所述第一待曝光件进行对位检测后，再对所述第一待曝光件进行曝光；

[0025] 先对所述第二待曝光件进行对位检测后，再对所述第二待曝光件进行曝光。

[0026] 更进一步地，所述所述检测机构包括第一移动装置和相机装置，所述第一移动装置带动所述相机装置在所述第一曝光区与所述第二曝光区之间移动。

[0027] 更进一步地，所述第一移动装置包括两个第一移动轴和四个第二移动轴，所述第一移动轴相互平行并且横跨所述第一曝光区和所述第二曝光区；

[0028] 每个所述第一移动轴配置两个所述第二移动轴，所述第二移动轴安装于所述第一移动轴的输出端，所述第二移动轴垂直于所述第一移动轴，每个所述第二移动轴的输出端分别安装有一个所述相机装置。

[0029] 更进一步地，还包括：

[0030] 第一开合框装置，所述第一开合框装置设置于所述第一移载机构的运载路径处；

[0031] 第二开合框装置，所述第二开合框装置设置于所述第二移载机构的运载路径处；

[0032] 所述第一移载机构包括第一驱动装置和第一装载台，所述第一装载台对所述第一待曝光件进行装载，所述第一驱动装置带动所述第一装载台移动；

[0033] 所述第二移载机构包括第二驱动装置和第二装载台，所述第二装载台对所述第二待曝光件进行装载，所述第二驱动装置带动所述第二装载台移动；

[0034] 当所述第一装载台朝向所述第一曝光区移动时，所述第一开合框装置对所述第一装载台进行合框；

[0035] 当所述第一装载台远离所述第一曝光区移动时，所述第一开合框装置对所述第一装载台进行开框；

[0036] 当所述第二装载台朝向所述第二曝光区移动时，所述第二开合框装置对所述第二装载台进行合框；

[0037] 当所述第二装载台远离所述第二曝光区移动时，所述第二开合框装置对所述第二装载台进行开框。

[0038] 更进一步地，所述第一装载台包括上盖组件和下载物台，所述上盖组件与所述下载物台枢转连接；

[0039] 所述第一开合框装置安装于安装架，包括：

[0040] 卡阻机构，所述卡阻机构转动安装于所述安装架；以及

[0041] 卡轴机构，所述卡轴机构安装于所述上盖组件；

[0042] 其中，所述安装架设置于第一装载台与所述第二装载台的运动路径，所述第一装载台与与所述第二装载台均相对所述安装架移动；

[0043] 在所述第一装载台远离所述第一曝光区移动过程中，所述卡阻机构与所述卡轴机构卡接从而带动所述上盖组件使其向远离所述下载物台的方向发生枢转转动；

[0044] 在所述第一装载台朝向所述第一曝光区移动过程中，所述卡阻机构与所述卡轴机构脱离，所述上盖组件向靠近所述下载物台的方向发生枢转转动；

[0045] 所述第二装载台的结构与所述第一装载台的结构相同，所述第二开合框装置的结构与所述第一开合框装置的结构相同，所述第二开合框装置安装于所述安装架。

[0046] 更进一步地，所述卡轴机构包括轴杆；

[0047] 所述卡阻机构包括挂钩件和铰链组件，所述挂钩件的钩部与所述轴杆相适配，所述挂钩件通过所述铰链组件安装于所述安装架；

[0048] 所述钩部朝向所述第一曝光区；

[0049] 在所述卡阻机构处于待与所述卡轴机构卡接状态时，所述钩部入钩端的高度H与所述轴杆的下边缘高度h之间的关系为0≤h‑H。

[0050] 更进一步地，所述挂钩件设置有导向斜面，所述导向斜面向内延伸至所述钩部的内侧；

[0051] 所述钩部内侧壁为半圆柱形，所述轴杆的形状为圆柱形；

[0052] 令，所述轴杆的直径为d，所述钩部内壁的直径为D，则有，0.1mm≤D‑d≤0.5mm；

[0053] 所述钩部的端部内侧设置有圆倒角。

[0054] 更进一步地，所述卡轴机构安装于所述上盖组件的两侧，所述卡轴机构的轴杆向所述上盖组件的两侧延伸；

[0055] 所述安装架为龙门结构，所述安装架横跨于所述第一装载台与所述第二装载台移动路径的上方；

[0056] 所述卡阻机构安装于所述安装架的横梁；

[0057] 当所述第一装载台沿向远离所述第一曝光区的方向移动经过所述安装架下方时，所述卡阻机构与所述卡轴机构卡接；

[0058] 所述卡阻机构的数量为两个；

[0059] 令两个所述卡阻机构的安装距离为l，位于所述上盖组件两侧的轴杆的远端之间的距离为L1，位于所述上盖组件两侧的轴杆的近端之间的距离L2，则有，L2≤l≤L1。

[0060] 本申请所达到的有益效果是：

[0061] 本申请提出的一种全自动曝光系统，包括工作台、第一移载机构、第二移载机构、第一开合框装置、第二开合框装置以及曝光装置。工作台设置有第一上下料区、第二上下料区、第一曝光区和第二曝光区。第一移载机构用于将第一待曝光件运载至第一曝光区。第二移载机构用于将第二待曝光件运载至第二曝光区。第一开合框装置设置于第一移载机构的运载路径处。第二开合框装置设置于第二移载机构的运载路径处。曝光装置在第一曝光区与第二曝光区之间移动。其中，第一移载机构包括第一驱动装置和第一装载台，第一装载台对第一待曝光件进行装载，第一驱动装置带动第一装载台移动。第二移载机构包括第二驱动装置和第二装载台，第二装载台对第二待曝光件进行装载，第二驱动装置带动第二装载台移动。当第一装载台朝向第一曝光区移动时，第一开合框装置对第一装载台进行合框。当第一装载台远离第一曝光区移动时，第一开合框装置对第一装载台进行开框。当第二装载台朝向第二曝光区移动时，第二开合框装置对第二装载台进行合框。当第二装载台远离第二曝光区移动时，第二开合框装置对第二装载台进行开框。第一移载机构在第一上下料区对第一待曝光件进行上下料。第二移载机构在第二上下料区对第二待曝光件进行上下料；当第一移载机构将第一待曝光件从第一上下料区运载至第一曝光区后，曝光装置移动到第一曝光区对第一待曝光件进行曝光。当第二移载机构将第二待曝光件从第二上下料区运载至第二曝光区后，曝光装置移动到第二曝光区对第二待曝光件进行曝光。

[0062] 通过一个曝光装置依次对不同位置曝光区处的待曝光件进行曝光，降低设备成本，保证产品的一致性。通过第一移载机构与第二移载机构分别对待曝光件进行移载，并且设置多个曝光区分别对待曝光件进行曝光，实现对待曝光件的高效移载、曝光，提高生产效率。通过第一开合框装置对第一装载台进行开合框，通过第二开合框装置对第二装载台进行开合框，在对待曝光件的运载过程中，既完成对装载台的移动，又完成对装载台的开框与合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，装载台在移动过程中即完成开合框动作，提高生产效率。

[0063] 如此，降低设备成本，降低设备能耗，保证产品的一致性，实现对物料高效移载，优化控制系统，减少设备运转时的时间损耗以及提高生产效率。

附图说明

[0064] 图1是本发明实施例一曝光设备的立体结构示意图；

[0065] 图2是本发明实施例一曝光设备的俯视图；

[0066] 图3是本发明上下料区处各装置的立体结构示意图；

[0067] 图4是本发明实施例二中移载机构与曝光区中各设备的立体结构示意图；

[0068] 图5是本发明实施例三开合框装置的立体结构示意图；

[0069] 图6是本发明实施例三开合框装置的局部结构示意图；

[0070] 图7是本发明实施例三开合框装置的侧向剖视图；

[0071] 图8是本发明实施例三开合框装置的正视图；

[0072] 图9是本发明实施例三开合框装置中卡阻机构与卡轴机构的立体结构示意图；

[0073] 图10是本发明实施例五开合框装置的立体结构示意图；

[0074] 图11是本发明实施例五开合框装置的局部结构示意图；

[0075] 图12是本发明实施例六开合框装置的立体结构示意图；

[0076] 图13是本发明实施例六开合框装置的侧视图；

[0077] 图14是本发明装载台的立体结构示意图；

[0078] 图15是本发明装载台内部结构的立体结构示意图；

[0079] 图16是本发明检测机构的立体结构示意图；

[0080] 图17是本发明曝光机构的立体结构示意图；

[0081] 图18是本发明曝光设备的控制结构框图。

[0082] 主要元件符号说明：

[0083] 1000、曝光设备；

[0084] 1100、移载机构；1101、上下料区；1102、曝光区；1110、驱动装置；1120、装载台；1121、上盖组件；11211、第二斜面；11212、卡轴机构；11213、轴杆；11214、第二安装孔；
11215、第二安装螺丝；1122、下载物台；11221、下压件；11222、第一斜面；11223、第一滚轮；
1123、枢转轴；1130、开合框装置；1131、导向组件；1132、顶升组件；11321、顶升弹簧；1133、限位组件；1134、第二滚轮；1135、安装架；1136、导轨组件；11371、第一安装孔；11372、第一安装螺丝；1138、定位组件；11381、限位件；11382、调节板；11383、调节槽；11391、卡阻机构；
113911、阻挡部；113912、第三安装孔；113913、第三安装螺丝；11392、挂钩件；113921、钩部；
113922、导向斜面；113923、铰链组件；113924、倒角；1140、第一物料感应器；1150、第二物料感应器；1160、第三物料感应器；1170、第四物料感应器；1200、进料机构；1210、校正装置；
1220、进料移载装置；1221、进料升降组件；1222、进料吸盘组件；1300、出料机构；1310、接料装置；1320、出料移载装置；1321、出料升降组件；1322、出料吸盘组件；1400、检测机构；
1410、第一移动装置；1411、第一移动轴；1412、第二移动轴；1420、相机装置；1500、对位装置；1510、真空吸板组件；1520、对位驱动组件；1600、曝光机构；1610、第二移动装置；1620、曝光装置；1630、导向装置；1631、导轨件；1632、导向滚轮；1700、直线电机；1710、第一动子；
1720、第二动子；1730、距离感应器；

[0085] 210、第一移载机构；2101、第一上下料区；2102、第一曝光区；211、第一驱动装置；212、第一装载台；213、第一开合框装置；220、第二移载机构；2201、第二上下料区；2202、第二曝光区；221、第二驱动装置；222、第二装载台；223、第二开合框装置；230、工作台。

具体实施方式

[0086] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。此外，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

[0087] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

[0088] 此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

[0089] 在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0090] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

[0091] 下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其它工艺的应用和/或其它材料的使用。

[0092] 实施例一

[0093] 请参阅图1至图3，本申请提出的曝光设备1000包括工作台230、移载机构1100、进料机构1200、出料机构1300、检测机构1400、对位装置1500以及曝光机构1600。

[0094] 移载机构1100的数量为两个或两个以上，移载机构1100并排且同向布置于工作台230，移载机构1100包括驱动装置1110、装载台1120、开合框装置1130，沿移载机构1100的输送路径设置有上下料区1101和曝光区1102，装载台1120安装于驱动装置1110的输出端，驱动装置1110将装载台1120在上下料区1101与曝光区1102之间搬运，开合框装置1130使装载台1120到达上下料区1101前打开，开合框装置1130使装载台1120出上下料区1101后关闭。

[0095] 将多个移载机构1100并列排布，各移载机构1100的上下料区1101位于同一侧并且沿移载机构1100的并排方向平齐；各移载机构1100的曝光区1102位于同一侧并且沿移载机构1100的并排方向平齐。在同一个移载机构1100中，上下料区1101与曝光区1102分别位于移载机构1100的两端，驱动装置1110位于上下料区1101与曝光区1102之间，通过驱动装置1110带动装载台1120在上下料区1101与曝光区1102之间往复移动。在装载台1120到达上下料区1101前，开合框装置1130对装载台1120进行开框，以便待曝光件能被顺利放入装载台
1120内；当装载台1120移出上下料区1101后，开合框装置1130对装载台1120进行合框，以使装载台1120在曝光区1102处能顺利被抽真空，进而使菲林与待曝光件良好贴合。

[0096] 如此，通过设置多个移载机构1100进行待曝光件的曝光生产，提高生产效率。通过开合框装置1130使装载台1120到达上下料区1101前打开，出上下料区1101后关闭，避免在装载台1120处放料以及在曝光时等待装载台1120的开框或者合框，进一步减少工作过程的时间损耗，进一步提高生产效率。

[0097] 请参阅图3，进料机构1200包括校正装置1210和进料移载装置1220，校正装置1210位于上下料区1101的进料侧。出料机构1300包括接料装置1310和出料移载装置1320，接料装置1310位于上下料区1101的出料侧。

[0098] 校正装置1210对还未曝光的待曝光件的位置校正后，进料移载装置1220到校正装置1210处取料，并将还未曝光的待曝光件搬运至空料的装载台1120。

[0099] 曝光机构1600对待曝光件的曝光完成后，移载机构1100将装载台1120运载至上下料区1101，出料移载装置1320从装载台1120处取出曝光完成的待曝光件后搬运至接料机构，使装载台1120空料。

[0100] 在对待曝光件进行进料时，外部设备将待曝光件输送至校正装置1210，通过校正装置1210对待曝光件的位置进行校正，对待曝光件进行初步的定位。校正装置1210对待曝光件的位置进行校正后，进料移载装置1220在校正装置1210处取料，并且将待曝光件搬运至停留有空料的装载台1120的上下料区1101，进而将待曝光件放入至装载台1120内。进料移载装置1220将待曝光件放入至装载台1120内后，驱动装置1110带动装载台1120移动至曝光区1102进行曝光。曝光完成后，驱动装置1110再将装载台1120搬运至上下料区1101。当装载有曝光完成的待曝光件的装载台1120到达上下料区1101后，出料移载装置1320到装载台1120处取料，并将曝光完成的待曝光件搬运至接料装置1310，进而将曝光完成的待曝光件放入接料装置1310，再由接料装置1310将待曝光件输送至后续的生产设备，对待曝光件进行进一步的加工。

[0101] 请参阅图18，可在校正装置1210、装载台1120、上下料区1101以及曝光区1102设置物料感应器。校正装置1210处的物料感应器为第一物料感应器1140，上下料区1101处的物料感应器为第二物料感应器1150，装载台1120处的物料感应器为第三物料感应器1160，曝光区1102处的物料感应器为第四物料感应器1170。当待曝光件到达校正装置1210处后即触发校正装置1210处的第一物料感应器1140，进料移载装置1220即动作，准备在校正装置1210处取料，待校正装置1210对待曝光件的位置校正好并复位后，进料移载装置1220即在校正装置1210处取料，如此，使进料移载装置1220的动作与校正装置1210的动作重叠，进一步提高生产效率。

[0102] 需要指出的是，只有在校正装置1210处的第一物料感应器1140感应到有料并且校正装置1210复位后，进料移载装置1220才到校正装置1210处取料，进而保证进料移载装置1220在待曝光件的位置被校正后才被取出，并且避免在取料过程中进料移载装置1220与校正装置1210发生碰撞，如此，提高设备的可靠性，提高生产效率。

[0103] 需要进一步指出的是，只有在上下料区1101处的第二物料感应器1150被触发以及装载台1120处的第三物料感应器1160检测到装载台1120空料，进料移载装置1220才在装载台1120处放入待曝光件，如此，保证空料的装载台1120在上下料区1101处接收待曝光件，避免进料移载装置1220在装载台1120未到达上下料区1101或者装载台1120未空料的情况下放料，从而提高设备的可靠性。

[0104] 进料移载装置1220将待曝光件放入装载台1120后，即触发装载台1120处的第三物料感应器1160，表明装载台1120中装载有待曝光件。当装载有待曝光件的装载台1120到达曝光区1102后，即触发曝光位处的第四物料感应器1170，曝光区1102处的各装置在动作，使待曝光件与菲林对齐、对装载台1120进行抽真空使待曝光件与菲林贴合、对待曝光件进行曝光。

[0105] 需要指出的是，只有当装载台1120中的第三物料感应器1160与曝光区1102处的第四物料感应器1170同时被触发，曝光区1102处的各装置才会动作，完成对待曝光件的曝光。如此，提高曝光系统的可靠性，减少不必要的动作，优化曝光工艺，提高生产效率，降低生产能耗。

[0106] 当曝光完成后，驱动装置1110即带动装载台1120向上下料区1101移动，此时，出料移载装置1320动作，准备在上下料区1101处取料。当装载台1120到达上下料区1101后，上下料区1101处的第二物料感应器1150被触发，出料移载装置1320即在装载台1120处取出曝光后的待曝光件，此时，装载台1120处的第三物料感应器1160无法感应到物料，表明装载台1120处空料。当出料移载装置1320在装载台1120处取出待曝光件并向接料装置1310移动时，在校正装置1210处取料后的进料移载装置1220开始动作，向上下料区1101处空料的装载台1120处放料。如此，只有在出料移载装置1320向接料装置1310移动或者出料移载装置
1320在上下料区1101的出料侧时，进料移载装置1220才向上下料区1101处移动，并向上下料区1101处的装载台1120放料，如此，避免进料移载装置1220与出料移载在发生碰撞，提高设备的可靠性。

[0107] 也可以在进料移载装置1220或者出料移载装置1320处设置距离感应器1730，对进料移载装置1220与出料移载装置1320之间的距离进行检测，以保证进料移载装置1220与出料移载装置1320之间的距离保持在安全范围，进一步提高设备的可靠性。

[0108] 如此，通过在校正装置1210、装载台1120、上下料区1101以及曝光区1102设置物料感应器，提高设备的可靠性，优化曝光工艺，提高生产效率，降低生产事故发生的风险。

[0109] 校正装置1210位于其中一最外侧的移载机构1100的上下料区1101的进料侧，以方便外部设备向校正装置1210送料。接料装置1310位于另一最外侧的移载机构1100的上下料区1101的出料侧，以方便接料装置1310将待曝光件向下游设备输送。

[0110] 可以通过直线电机1700带动进料移载装置1220与出料移载装置1320进行独立地移动。

[0111] 请参阅图3，直线电机1700包括第一动子1710和第二动子1720，移载机构1100沿直线电机1700的运载方向排布，直线电机1700驱动第一动子1710与第二动子1720在校正装置1210、接料装置1310以及所有移载机构1100之间分别移动。进料移载装置1220包括进料升降组件1221和进料吸盘组件1222，进料升降组件1221安装于第一动子1710，进料升降组件
1221带动进料吸盘组件1222在竖直方向移动，进料吸盘组件1222用于对未曝光的待曝光件进行取放。出料移载装置1320包括出料升降组件1321和出料吸盘组件1322，出料升降组件
1321安装于第二动子1720，出料升降组件1321带动出料吸盘组件1322在竖直方向移动，出料吸盘组件1322用于对曝光后的待曝光件进行取放。

[0112] 当进料移载装置1220到校正装置1210处取料时，直线电机1700驱动第一动子1710带动进料移载装置1220到达校正装置1210上方，进料升降组件1221使进料吸盘组件1222下降，并通过进料吸盘组件1222对校正装置1210处的待曝光件进行吸取。然后进料升降组件1221使进料吸盘组件1222上升，直线电机1700驱动第一动子1710带动进料移载装置1220到达停留有空料的装载台1120的上下料区1101处，进料升降组件1221使进料吸盘组件1222下降，并通过进料吸盘组件1222放料。如此，实现对装载台1120进行上料。

[0113] 当出料移载装置1320到停留有装载着曝光后待曝光件的装载台1120处取料时，直线电机1700驱动第二动子1720带动出料移载装置1320到达目标装载台1120上方，出料升降组件1321使出料吸盘组件1322下降，并通过出料吸盘组件1322对装载台1120出的待曝光件进行吸取。然后出料升降组件1321使出料吸盘组件1322上升，直线电机1700驱动第二动子1720带动出料移载装置1320到达接料装置1310上方，出料升降组件1321使出料吸盘组件
1322下降，并通过出料吸盘组件1322放料。如此，实现将曝光后的待曝光件移出装载台1120并将曝光后的待曝光件搬运至接料装置1310，从而实现对待曝光件的出料。

[0114] 请参阅图1至图3以及图16，检测机构1400位于曝光区1102上方，检测机构1400包括第一移动装置1410和相机装置1420，相机装置1420安装于第一移动装置1410的输出端，第一移动装置1410横跨所有移载机构1100使相机装置1420能在移载机构1100之间移动，检测机构1400用于检测菲林与待曝光件是否对齐。

[0115] 当装载有待曝光件的装载台1120被驱动装置1110带动到达曝光区1102后，第一移动装置1410带动相机装置1420到达装载台1120所在的曝光区1102，对装载台1120内的待曝光件以及菲林的特征点进行取相，并检测待曝光件的特征点与菲林的特征点是否重合，如果重合，则说明菲林与待曝光件对齐。

[0116] 待曝光件处设置有四个特征点，相对应的，菲林处也适配性地设置有四个特征点，通过四个相机装置1420分别对四个特征点进行取相，如果待曝光件中的四个特征点与菲林中的四个特征点均重合，则表明菲林与待曝光件对齐；如果待曝光件中的四个特征点与菲林中的四个特征点有偏移，则计算出偏移量，根据计算出的偏移量来调整待曝光件的位置，使待曝光件与菲林对齐。其中第一移动装置1410可包括两个第一移动轴1411，四个第二移动轴1412，两个第一移动轴1411相互平行并且横跨所有移载机构1100，使相机装置1420能在所有移载机构1100之间移动；每个第一移动轴1411配置两个第二移动轴1412，第二移动轴1412安装于第一移动轴1411的输出端，第二移动轴1412垂直于第一移动轴1411，每个第二移动轴1412的输出端分别安装有一个相机装置1420，如此，通过第一移动轴1411与第二移动轴1412的配合使相机装置1420能在平行于待曝光件的平面移动。其中，第一移动轴1411与第二移动轴1412均为电动丝杆驱动装置或直线电机驱动装置。根据待曝光件中四个特征点相互之间的距离，通过第一移动轴1411与第二移动轴1412带动四个相机装置1420移动，使四个相机装置1420相互之间的距离与待曝光件中四个特征点之间的距离相适配，进而使检测机构1400能通过四个检测相机装置1420同时检测待曝光件中的四个特征点是否与菲林中的四个特征点对其。而当要使相机装置1420在不同移载机构1100的曝光区1102进行检测时，两个第一移动轴1411同步移动，带动四个相机装置1420同步移动至需要进行检测的曝光区1102处。当待曝光件换型使待曝光件中的特征点的位置发生变化时，通过调整第一移动轴1411之间的距离和第二移动轴1412之间的距离来调整四个相机装置1420之间的距离，以使四个相机装置1420能分别捕捉到待曝光件中的四个特征点。如此，使检测结果更加准确高效，并且使检测机构1400能适应不同型号的待曝光件的检测。

[0117] 请参阅图14至图15，对位装置1500设置于装载台1120内，进料机构1200取料后将待曝光件放置于对位装置1500，对位装置1500根据检测机构1400的检测结果对待曝光件的位置进行调整，以使待曝光件与菲林对齐。

[0118] 装载有待曝光件的装载台1120被驱动装置1110带动到达曝光区1102后，检测机构1400检测菲林与待曝光件是否对齐，如果检测到菲林与待曝光件未对齐，则通过对位装置
1500根据检测机构1400的检测到的偏移量对待曝光件的位置进行调整，使待曝光件与菲林对齐。

[0119] 其中，对位装置1500包括真空吸板组件1510和对位驱动组件1520。真空吸板组件1510通过真空吸附的方式对待曝光件进行固定。真空吸板组件1510安装于对位驱动组件
1520，对位驱动组件1520带动真空吸板组件1510移动或者转动使待曝光件与菲林对位。

[0120] 待曝光件被放入装载台1120后，通过真空吸板组件1510通过抽真空的方式使待曝光件吸附于真空吸板组件1510，进而对待曝光件进行固定。当驱动装置1110带动装载有待曝光件的装载台1120到达曝光区1102后，对位驱动组件1520根据检测机构1400的检测结果对真空吸板组件1510的位置进行调整，其中包括使真空吸板组件1510在平面空间内平移、转动，以使待曝光件中的所有特征点均与菲林中的特征点对齐，进而使待曝光件与菲林对齐，提高曝光精度。

[0121] 对位完成后，再对装载台1120内的空间进行抽真空，以使菲林与待曝光件贴合。装载台1120可以包括上盖组件1121和下载物台1122，下载物台1122用于承载待曝光件，上盖组件1121用于装载菲林，真空吸板组件1510与对位驱动组件1520均安装于下载物台1122。下载物台1122朝向上盖组件1121的一侧还可以安装导向装置，通过导向装置避免在对装载台1120内的空间进行抽真空时，上盖组件1121与下载物台1122之间发生偏移，使上盖组件
1121只向下载物台1122的方向平移，进而避免菲林与待曝光件在抽真空时发生偏移，从而进一步提高曝光精度。

[0122] 请参阅图1至图3以及图17，曝光机构1600位于曝光区1102上方，曝光机构1600包括第二移动装置1610和曝光装置1620，曝光装置1620安装于第二移动装置1610的输出端，第二移动装置1610横跨所有移载机构1100使曝光装置1620能在移载机构1100之间移动。

[0123] 当装载有待曝光件的装载台1120到达曝光区1102后，第二移动装置1610带动曝光装置1620到达对应曝光区1102中装载台1120上方，当装载台1120中的菲林与待曝光件对齐并贴合后，通过曝光装置1620对待曝光件进行曝光。

[0124] 通过第一移动装置1410与第二移动装置1610分别带动检测机构1400与曝光机构1600移动，使对位与曝光分步进行。当一曝光区1102的待曝光件与菲林对齐后，第一移动装置1410带动检测机构1400到达另一待对位的曝光区1102进行菲林与待曝光件的对位检测工作，第二移动装置1610则带动曝光装置1620在待曝光件与菲林对齐后的曝光区1102处进行曝光工作。以此实现对位与曝光工序互不干涉，在曝光的同时可以进行对位，进而进一步减少曝光过程的时间损耗，提高生产效率。

[0125] 如此，提高设备可靠性，降低设备成本，降低设备能耗，保证产品的一致性，实现对物料高效移载、提高生产精度以及提高生产效率。

[0126] 实施例二

[0127] 请参阅图1至图4，一种全自动曝光设备1000包括工作台230、第一移载机构210、第二移载机构220、第一开合框装置213、第二开合框装置223以及曝光装置1620。

[0128] 工作台230设置有第一上下料区2101、第二上下料区2201、第一曝光区2102和第二曝光区2202。第一移载机构210用于将第一待曝光件运载至第一曝光区2102。第二移载机构220用于将第二待曝光件运载至第二曝光区2202。

[0129] 第一开合框装置213设置于第一移载机构210的运载路径处。第二开合框装置223设置于第二移载机构220的运载路径处。

[0130] 曝光装置1620在第一曝光区2102与第二曝光区2202之间移动。

[0131] 其中，第一移载机构210包括第一驱动装置211和第一装载台212，第一装载台212对第一待曝光件进行装载，第一驱动装置211带动第一装载台212移动。第二移载机构220包括第二驱动装置221和第二装载台222，第二装载台222对第二待曝光件进行装载，第二驱动装置221带动第二装载台222移动。

[0132] 在第一装载台212朝向第一曝光区2102移动过程中，第一开合框装置213对第一装载台212进行合框。在第一装载台212远离第一曝光区2102移动过程中，第一开合框装置213对第一装载台212进行开框。

[0133] 在第二装载台222朝向第二曝光区2202移动过程中，第二开合框装置223对第二装载台222进行合框。在第二装载台222远离第二曝光区2202移动过程中，第二开合框装置223对第二装载台222进行开框。

[0134] 第一移载机构210在第一上下料区2101对第一待曝光件进行上下料。第二移载机构220在第二上下料区2201对第二待曝光件进行上下料。

[0135] 第一曝光件在第一曝光区2102处完成曝光后，第一移载机构210将曝光后的第一待曝光件运载至第一上下料区2101处对第一待曝光件进行下料。在第一上下料区2101完成对第一待曝光件上料后，第一移载机构210将第一待曝光件运载至第一曝光区2102处进行曝光。

[0136] 第二曝光件在第二曝光区2202处完成曝光后，第二移载机构220将曝光后的第二待曝光件运载至第二上下料区2201处对第二待曝光件进行下料。在第二上下料区2201完成对第二待曝光件上料后，第二移载机构220将第二待曝光件运载至第二曝光区2202处进行曝光。

[0137] 当第一移载机构210将第一待曝光件运载至第一曝光区2102后，曝光装置1620移动到第一曝光区2102对第一待曝光件进行曝光。当第二移载机构220将第二待曝光件运载至第二曝光区2202后，曝光装置1620移动到第二曝光区2202对第二待曝光件进行曝光。

[0138] 通过一个曝光装置1620依次对不同位置曝光区处的待曝光件进行曝光，降低设备成本，保证产品的一致性。通过第一移载机构210与第二移载机构220分别对待曝光件进行移载，并且设置多个曝光区分别对待曝光件进行曝光，实现对待曝光件的高效移载、曝光，提高生产效率。通过第一开合框装置213对第一装载台212进行开合框，通过第二开合框装置223对第二装载台222进行开合框，在对待曝光件的运载过程中，既完成对装载台的移动，又完成对装载台的开框与合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，装载台在移动过程中即完成开合框动作，提高生产效率。

[0139] 如此，降低设备成本，降低设备能耗，保证产品的一致性，实现对物料高效移载，优化控制系统，减少设备运转时的时间损耗以及提高生产效率。

[0140] 第一曝光区2102与第二曝光区2202并列布置，以缩短曝光装置1620的移动路径，减少曝光装置1620移动过程所占用的时间，如此提高生产效率。

[0141] 曝光装置1620在第一曝光区2102与第二曝光区2202之间移动过程中，曝光装置1620在水平方向直线平移。第一移载机构210将第一待曝光件运载至第一曝光区2102后，第一待曝光件与第二移载机构220将第二待曝光件运载至第二曝光区2202后，第二待曝光件位于同一水平高度，使曝光装置1620在水平方向直线平移，能使曝光装置1620在第一曝光区2102进行曝光时的照射距离与在第二曝光区2202曝光时的照射距离趋于一致，如此，进一步提高产品的一致性。

[0142] 第一移载机构210在第一上下料区2101与第一曝光区2102之间移动。第二移载机构220在第二上下料区2201与第二曝光区2102之间移动。第一移载机构210与第二移载机构220均在水平方向直线平移。第一移载机构210与第二移载机构220的移动路径相互平行且在同一水平面，曝光装置1620的移动路径与第一移载机构210的移动路径相互垂直。通过对第一移载机构210、第二移载机构220以及曝光装置1620的移动路径进行限定，使曝光设备
1000的结构更加紧凑，并且缩短第一移载机构210与第二移载机构220的移动距离，减少待曝光件到达曝光区所用的时间，提高生产效率。

[0143] 请参阅图1至图4以及图17，曝光机构1600包括第二移动装置1610和曝光装置1620，曝光装置1620安装于第二移动装置1610的输出端，曝光装置1620在第二移动装置
1610的驱动下移动，第二移动装置1610是同步带驱动装置。

[0144] 在工作台230上第一曝光区2102与第二曝光区2202并排布置，第二移动装置1610横跨第一曝光区2102和第二曝光区2202。曝光机构1600的两侧设置有导向装置，在第二移动装置1610带动曝光装置1620在第一曝光区2102与第二曝光区2202之间移动过程中，通过导向装置对曝光装置1620进行导向，并且对曝光装置1620的两侧进行支撑，以提高整体结构的稳定性与可靠性，并且使曝光装置1620的移动为在水平方向直线平移。

[0145] 其中，导向装置1630可以包括导轨件1631和导向滚轮1632，导向滚轮1632安装于曝光装置1620的两侧，导向滚轮1632与导轨件1631相适配。在第二移动装置1610带动曝光装置1620移动过程中，导轨件1631对导向滚轮1632进行支撑和导向，使导向装置1630对曝光装置1620的两侧进行支撑和导向，使曝光机构1600的结构更加稳定、可靠，进而提高整体结构的稳定性与可靠性。

[0146] 当然，第二移动装置1610除了是同步带驱动装置以外，还可以是电动丝杆驱动装置等能够使曝光装置1620在水平方向直线平移的驱动结构。

[0147] 当第一移载机构210将第一待曝光件运载至第一曝光区2102后，第二移动装置1610带动曝光装置1620移动到第一曝光区2102对第一待曝光件进行曝光。当第二移载机构
220将第二待曝光件运载至第二曝光区2202后，第二移动装置1610带动曝光装置1620移动到第二曝光区2202对第二待曝光件进行曝光。

[0148] 可以理解的是，第一待曝光件在第一曝光区2102处完成曝光后，第一移载机构210带动第一待曝光件到达第一上下料区2101，在第一上下料区2101对曝光后的第一待曝光件进行卸料，然后在向第一移载机构210上料待曝光的待曝光件，此时，如果第二曝光区2202停留有待曝光的第二待曝光件，则此时曝光装置1620的状态是在第二曝光区2202对第二待曝光件进行曝光。第一移载机构210在第一上下料区2101上料后，将待曝光的第一待曝光件移动至第一曝光区2102处，待第二待曝光件曝光完成后，第二移动装置1610带动曝光装置1620移动至第一曝光区2102处对第一待曝光件进行曝光。此时第二移载机构220带动曝光后的第二待曝光件移动至第二上下料区2201处，完成对第二待曝光件的下料与补料。以此循环，实现曝光设备1000的全自动控制。

[0149] 请参阅图4，第一移载机构210包括第一驱动装置211和第一装载台212，第一装载台212对第一待曝光件进行装载，第一驱动装置211带动第一装载台212移动。第二移载机构220包括第二驱动装置221和第二装载台222，第二装载台222对第二待曝光件进行装载，第二驱动装置221带动第二装载台222移动。第一驱动装置211与第二驱动装置221均为同步带驱动装置。

[0150] 通过第一驱动装置211带动第一装载台212在第一上下料区2101与第一曝光区2102之间移动。在对第一移载机构210进行上料时，将待曝光的第一待曝光件放置于第一装载台212，通过第一装载台212对第一待曝光件进行装载、固定。通过第二驱动装置221带动第二装载台222在第二上下料区2201与第二曝光区2202之间移动。在对第二移载机构220进行上料时，将待曝光的第二待曝光件放置于第二装载台222，通过第二装载台222对第二待曝光件进行装载、固定。

[0151] 将第一待曝光件放入第一装载台212进行装载时，第一装载台212处于开框状态。装载有第一待曝光件的第一装载台212在第一驱动装置211的带动下，朝向第一曝光区2102移动，在第一装载台212经过第一开合框装置213过程中，第一开合框装置213对第一装载台
212进行合框，以便第一装载台212到达第一曝光区2102后处于合框状态，进而使第一装载台212中的菲林与第一待曝光件相对，并且经过对位、抽真空后，菲林与第一待曝光件对齐并且贴合。菲林与第一待曝光件对齐并且贴合后，再通过曝光装置对待曝光件进行曝光，使菲林中的图案印刻于第一待曝光件，以便后续的显影、蚀刻的顺利进行。

[0152] 对第一装载台212中的第一待曝光件曝光完成后，第一驱动装置211带动第一装载台212离开第一曝光区2102向第一上下料区2101移动，在第一装载台212经过第一开框装置过程中，第一开合框装置213对第一装载台212进行开框，以便第一装载台212能在第一上下料区2101进行下料和上料。

[0153] 同样地，将第二待曝光件放入第二装载台222进行装载时，第二装载台222处于开框状态。装载有第二待曝光件的第二装载台222在第二驱动装置221的带动下，朝向第二曝光区2202移动，在第二装载台222经过第二开合框装置223过程中，第二开合框装置223对第二装载台222进行合框，以便第二装载台222到达第二曝光区2202后处于合框状态，进而使第二装载台222中的菲林与第二待曝光件相对，并且经过对位、抽真空后，菲林与第二待曝光件对齐并且贴合。菲林与第二待曝光件对齐并且贴合后，再通过曝光装置对待曝光件进行曝光，使菲林中的图案印刻于第二待曝光件，以便后续的显影、蚀刻的顺利进行。

[0154] 对第二装载台222中的第二待曝光件曝光完成后，第二驱动装置221带动第二装载台222离开第二曝光区2202向第二上下料区2201移动，在第二装载台222经过第二开框装置过程中，第二开合框装置223对第二装载台222进行开框，以便第二装载台222能在第二上下料区2201进行下料和上料。

[0155] 如此，在第一装载台212在第一上下料区2101与第一曝光区2102之间往复移动过程中，通过第一开合框装置213对第一装载台212进行开框与合框；在第二装载台222在第二上下料区2201与第二曝光区2202之间往复移动过程中，通过第二开合框装置223对第二装载台222进行开框与合框。使开框与合框的过程与第一装载台212和第二装载台222的移动超过在时间上重叠，从而抵消开框与合框过程所占用的时间，提高生产效率。

[0156] 请参阅图1至图4以及图16，曝光设备1000还包括用于检测待曝光件与菲林是否对位的检测机构1400，检测机构1400在第一曝光区2102与第二曝光区2202之间移动。当第一移载机构210将第一待曝光件运载至第一曝光区2102后，检测机构1400移动到第一曝光区2102对第一待曝光件进行对位检测。当第二移载机构220将第二待曝光件运载至第二曝光区2202后，检测机构1400移动到第二曝光区2202对第二待曝光件进行对位检测。先对第一待曝光件进行对位检测后，再对第一待曝光件进行曝光。先对第二待曝光件进行对位检测后，再对第二待曝光件进行曝光。

[0157] 检测机构1400包括第一移动装置1410和相机装置1420，相机装置1420安装于第一移动装置1410的输出端，第一移动装置1410带动相机装置1420能在第一曝光区2102与第二曝光区2202之间移动，检测机构1400用于检测菲林与待曝光件是否对位。

[0158] 当装载有第一待曝光件的第一装载台212被第一驱动装置211带动到达第一曝光区2102后，第一移动装置1410带动相机装置1420到达第一曝光区2102，对第一装载台212内的第一待曝光件以及菲林的特征点进行取相，并检测第一待曝光件的特征点与菲林的特征点是否重合，如果重合，则说明菲林与第一待曝光件对齐。当检测完成后，如果第二曝光区2202有待检测的第二待曝光件，第一移动装置1410则带动相机装置1420移动至第二曝光区
2202对第二待曝光件进行对位检测；如果第二曝光区2202没有待检测的第二待曝光件，或者第二待曝光件正在进行曝光工作，相机装置1420可停留在第一曝光区2102，也可以回到初始位置，还可以移动至第二曝光区2202等待第二移载机构220将待曝光的第二待曝光件移动至第二曝光区2202。

[0159] 当装载有第二待曝光件的第二装载台222被第二驱动装置221带动到达第二曝光区2202后，第二移动装置1610带动相机装置1420到达第二曝光区2202，对第二装载台222内的第二待曝光件以及菲林的特征点进行取相，并检测第二待曝光件的特征点与菲林的特征点是否重合，如果重合，则说明菲林与第二待曝光件对齐。当检测完成后，如果第一曝光区2102有待检测的第一待曝光件，第一移动装置1410则带动相机装置1420移动至第一曝光区
2102对第一待曝光件进行对位检测；如果第一曝光区2102没有待检测的第一待曝光件，或者第一待曝光件正在进行曝光工作，相机装置1420可停留在第二曝光区2202，也可以回到初始位置，还可以移动至第一曝光区2102等待第一移载机构210将待曝光的第一待曝光件移动至第一曝光区2102。

[0160] 待曝光件处设置有四个特征点，相对应的，菲林处也适配性地设置有四个特征点，通过四个相机装置1420分别对四个特征点进行取相，如果待曝光件中的四个特征点与菲林中的四个特征点均重合，则表明菲林与待曝光件对齐；如果待曝光件中的四个特征点与菲林中的四个特征点有偏移，则计算出偏移量，根据计算出的偏移量来调整待曝光件的位置，使待曝光件与菲林对齐。

[0161] 其中第一移动装置1410可包括两个第一移动轴1411，四个第二移动轴1412，两个第一移动轴1411相互平行并且横跨第一曝光区2102与第二曝光区2202，使相机装置1420能在第一曝光区2102与第二曝光区2202之间移动；每个第一移动轴1411配置两个第二移动轴1412，第二移动轴1412安装于第一移动轴1411的输出端，第二移动轴1412垂直于第一移动轴1411，每个第二移动轴1412的输出端分别安装有一个相机装置1420，如此，通过第一移动轴1411与第二移动轴1412的配合使相机装置1420能在平行于待曝光件的平面移动。其中，第一移动轴1411与第二移动轴1412均为电动丝杆驱动装置或直线电机驱动装置。根据待曝光件中四个特征点相互之间的距离，通过第一移动轴1411与第二移动轴1412带动四个相机装置1420移动，使四个相机装置1420相互之间的距离与待曝光件中四个特征点之间的距离相适配，进而使检测机构1400能通过四个检测相机装置1420同时检测待曝光件中的四个特征点是否与菲林中的四个特征点对齐。

[0162] 而当要使相机装置1420在第一曝光区2102与第二曝光区2202之间进行移动时，两个第一移动轴1411同步移动，带动四个相机装置1420同步移动至需要进行检测的曝光区处。

[0163] 当待曝光件换型使待曝光件中的特征点的位置发生变化时，通过调整第一移动轴1411之间的距离和第二移动轴1412之间的距离来调整四个相机装置1420之间的距离，以使四个相机装置1420能分别捕捉到待曝光件中的四个特征点。如此，使检测结果更加准确高效，并且使检测机构1400能适应不同型号的待曝光件的检测。

[0164] 通过第一移动装置1410与第二移动装置1610分别带动检测机构1400与曝光机构1600移动，使对位与曝光分步进行。当一曝光区的待曝光件与菲林对齐后，第一移动装置
1410带动检测机构1400到达另一待对位的曝光区进行菲林与待曝光件的对位检测工作，第二移动装置1610则带动曝光装置1620在待曝光件与菲林对齐后的曝光区处进行曝光工作。
以此实现对位与曝光工序互不干涉，在曝光的同时可以进行对位，进而进一步减少曝光过程的时间损耗，提高生产效率。

[0165] 检测机构1400可以设置在曝光机构1600的下方，在检测机构1400与曝光机构1600在第一曝光区2102与第二曝光区2202移动过程中，曝光装置1620与相机装置1420互不干涉。当曝光装置1620在第一曝光区2102处进行曝光工作时，相机装置1420处于第一曝光区2102以外的区域，以免对曝光装置1620照射出的光线形成遮挡。而将检测机构1400设置于曝光机构1600的下方，可有效减小相机装置1420的取像距离，从而使相机装置1420的取像精度符合预期要求；还可以降低对相机装置1420的精度要求，无需选择高精度的相机装置
1420即可使取像精度符合预期，降低生产成本。

[0166] 如此，降低设备成本，降低设备能耗，保证产品的一致性，实现对物料高效移载、提高生产精度以及提高生产效率。

[0167] 而由于曝光的时间与进出料的时间以及对位、贴合所需的时间总和相近，因此如果设置两个移载机构即可使曝光工序与曝光前的准备工序进行有效衔接，从而减少各装置的等待时间，提高设备的利用率以及生产效率。

[0168] 实施例三

[0169] 请参阅图4至图9，第一开合框装置213设置于第一上下料区2101与第一曝光区2102之间。第一开合框装置213安装于安装架1135，包括：卡阻机构11391以及卡轴机构
11212。卡阻机构11391转动安装于安装架1135。卡轴机构11212安装于上盖组件1121。

[0170] 其中，安装架1135设置于第一装载台212与第二装载台222的运动路径，第一装载台212与第二装载台222均相对安装架1135移动。在第一装载台212远离第一曝光区2102移动过程中，卡阻机构11391与卡轴机构11212卡接从而带动上盖组件1121使其向远离下载物台1122的方向发生枢转转动。在第一装载台212朝向第一曝光区2102移动过程中，卡阻机构11391与卡轴机构11212脱离，上盖组件1121向靠近下载物台1122的方向发生枢转转动。

[0171] 第二装载台222的结构与第一装载台212的结构相同，第二开合框装置223的结构与第一开合框装置213的结构相同，第二开合框装置223安装于安装架1135。

[0172] 在第一装载台212远离第一曝光区2102移动过程中，第一装载台212经过安装架1135，此时，卡阻机构11391与卡轴机构11212卡接，从而对卡轴机构11212造成阻挡。而第一驱动装置211带动第一装载台212继续向远离第一曝光区2102的方向移动，通过卡阻机构
11391拉住卡轴机构11212，使上盖组件1121向远离下载物台1122的方向相对下载物台1122发生枢转转动，从而在卡阻机构11391与移载机构1100的共同作用下，使第一装载台212逐渐打开。需要指出的是，卡阻机构11391与卡轴机构11212卡接后，第一装载台212离第一曝光区2102越远，上盖组件1121与下载物台1122之间的夹角越大，即装载台1120被打开的开度越大。第一装载台212到达第一上下料区2101，第一装载台212停止移动，以实现第一装载台212的开框，以便能将第一待曝光件能顺利放入第一装载台212。

[0173] 对第一装载台212开框后，在对第一装载台212进行合框时，第一驱动装置211带动第一装载台212向靠近第一曝光区2102方向移动，此时，在重力、卡阻机构11391的拉力以及第一驱动装置211的驱动力的共同作用下，上盖组件1121向靠近下载物台1122的方向发生枢转转动，上盖组件1121与下载物台1122之间的夹角逐渐减小。第一装载台212到达第一曝光区2102，第一开合框装置213中的卡阻机构11391与安装于第一装载台212的上盖组件1121的卡轴机构11212脱离。当卡阻机构11391与卡轴机构11212完全脱离后，上盖组件1121与下盖组件合拢，从而完成第一驱动装置211的合框。

[0174] 通过第一驱动装置211提供动力，既完成对第一装载台212的移动，又完成对第一装载台212的开框与合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，第一装载台212在移动过程中即完成开合框动作，提高生产效率。

[0175] 需要指出的是，第二开合框装置223对第二装载台222的开框与合框过程，与第一开合框装置213对第一装载台212的开框与合框过程相同，故不在此对第二装载台222的开框与合框过程进行赘述。

[0176] 如此，降低设备成本，降低设备能耗，优化控制系统，减少设备运转时的时间损耗、提高生产效率，提高设备产能。

[0177] 具体地，请参阅图1至图7，卡轴机构11212包括轴杆11213。卡阻机构11391包括挂钩件11392，挂钩件11392的钩部113921与轴杆11213相适配，以使卡阻机构11391通过挂钩件11392的钩部113921钩住卡轴机构11212的轴杆11213来实现卡阻机构11391与卡轴机构11212的卡接。钩部113921朝向第一曝光区2102，在第一装载台212向远离第一曝光区2102的方向移动过程中，卡轴机构11212的轴杆11213逐渐靠近挂钩件11392的钩部113921，直至钩部113921钩住轴杆11213，即实现卡阻机构11391与卡轴机构11212的卡接。在卡阻机构
11391处于待与卡轴机构11212卡接状态时，钩部113921入钩端的高度H与轴杆11213的下边缘高度h之间的关系为0≤h‑H，此时当轴杆11213与钩部113921接触时，能越过钩部113921的如钩端到达钩部113921的内侧，从而使轴杆11213能被钩部113921顺利钩住。

[0178] 进一步地，卡阻机构11391包括铰链组件113923，挂钩件11392通过铰链组件113923安装于安装架1135。当钩部113921钩住轴杆11213后，装载台1120继续向远离第一曝光区2102的方向移动，此时在装载台1120的带动下，挂钩件11392通过铰链组件113923于安装架1135发生相对转动，而此时钩部113921保持于轴杆11213的结合，进而通过挂钩件
11392钩住轴杆11213来使卡阻机构11391通过与卡轴机构11212卡接来拉住上盖组件1121，进而在第一驱动装置211的驱动力与卡阻机构11391的拉力作用下，上盖组件1121向远离下载物台1122的方向转动，此时上盖组件1121带动挂钩件11392通过铰链组件113923相对安装架1135转动。而正因为挂钩件11392能通过铰链组件113923相对安装架1135转动，挂钩件
11392只是拉住上盖组件1121，而不会对上盖组件1121转动时造成阻挡。

[0179] 其中，挂钩件11392设置有导向斜面113922，导向斜面113922向内延伸至钩部113921的内侧。当轴杆11213经过钩部113921的如钩端后，先与导向斜面113922接触，再通过导向斜面113922的导向，轴杆11213进入钩部113921，进而实现钩部113921钩住导向杆。
如此，通过导向斜面113922对轴杆11213进行导向，使轴杆11213能顺利被钩部113921钩住。

[0180] 卡轴机构11212安装于上盖组件1121的顶面或者侧部。安装架1135为龙门结构，安装架1135横跨于第一装载台212与第二装载台222移动路径的上方。卡阻机构11391安装于安装架1135的横梁。当第一装载台212沿向远离第一曝光区2102的方向移动经过安装架1135下方时，卡阻机构11391与卡轴机构11212卡接。通过将卡阻机构11391安装于上盖组件
1121的顶面或者侧部，使装载台1120从安装架1135的下方经过时，卡阻机构11391能顺利与卡轴机构11212卡接，进而提高装载台1120开框过程的可靠性。将安装架1135设计为龙门结构，并且将卡阻机构11391安装于安装架1135的横梁，使第一装载台212能顺利从卡阻机构
11391下方经过，并且使第一装载台212的开框与合框的过程有足够的活动空间，从而避免在装载台1120打开过程中不会与安装架1135干涉，进而避免出现第一装载台212在开框过程中被安装架1135阻挡的情形。

[0181] 请参阅图8，卡轴机构11212的数量为两个，卡轴机构11212安装于上盖组件1121的两侧，卡轴机构11212的轴杆11213向上盖组件1121的两侧延伸。卡阻机构11391的数量为两个。令两个卡阻机构11391的安装距离为l，位于上盖组件1121两侧的轴杆11213的远端之间的距离为L1，位于上盖组件1121两侧的轴杆11213的近端之间的距离L2，则有，L2≤l≤L1。如此，保证卡阻机构11391与卡轴机构11212进行卡接时，卡阻机构11391在轴杆11213范围内。当卡阻机构11391之间的距离过小时，卡阻机构11391则会与卡轴机构11212产生干涉，而难以通过轴杆11213与卡轴机构11212卡接。当卡阻机构11391之间的距离过大时，则会使卡阻机构11391在轴杆11213的外侧，而导致卡阻机构11391难以与轴杆11213接触，进而无法与卡轴机构11212卡接。

[0182] 钩部113921内侧壁为半圆柱形，轴杆11213的形状为圆柱形。令，轴杆11213的直径为d，钩部113921内壁的直径为D，则有，d≤D。如此，使轴杆11213能在钩部113921处顺利转动，使开框过程更加顺利、可靠，减少卡阻的产生，提高装置的可靠性。

[0183] 轴杆11213的直径d与钩部113921内壁的直径D之间的关系为0.1mm≤D‑d≤0.5mm。当轴杆11213的直径过小时，则会导致轴杆11213与钩部113921之间产生松动，而增加脱钩的风险。当轴杆11213的直径过大时，则会增大轴杆11213与钩部113921之间产生卡阻的风险。如此，通过对轴杆11213直径与钩部113921内壁的直径之间的关系进行限定，提高钩部
113921钩住轴杆11213的可靠性，并且降低发生卡阻的风险。

[0184] 钩部113921的端部内侧设置有倒角113924。其中，倒角113924为圆倒角113924。如此，减小在轴杆11213在钩部113921处的脱钩过程中，钩部113921入钩端对轴杆11213的阻挡，进而使脱钩过程更加可靠。

[0185] 需要指出的是，第二开合框装置223对第二装载台222的开框与合框过程，与第一开合框装置213对第一装载台212的开框与合框过程相同，故不在此对第二装载台222的开框与合框过程进行赘述。

[0186] 实施例四

[0187] 请参阅图5至图6，还可以在安装架1135底部设置直线导轨组件1136和定位组件1138，直线导轨组件1136平行于驱动装置1110的输送方向布置，安装架1135与直线导轨组件1136的滑块固定相连，定位组件1138包括限位件11381与调节板11382。调节板11382固定安装于承载直线导轨组件1136的机架台板上，调节板11382设置有多个调节槽11383，调节槽11383沿驱动装置1110的输送方向布置，限位件11381滑动安装于安装架1135，限位件
11381的滑动方向为插入或者抽出于调节槽11383的方向，限位件11381的端部与限位槽相适配，通过将限位件11381的端部插入调节槽11383来对安装架1135的位置进行限位。当要调节开合框装置1130，向抽出于调节槽11383方向滑动限位件11381，将限位件11381从调节槽11383内抽出，推动安装架1135，在直线导轨组件1136的导向下，安装架1135靠近或者远离进出料区1101。当开合框装置1130的位置调节完成后，向插入调节槽11383方向滑动限位件11381，使限位件11381插入调节槽11383，以使安装架1135不再移动。如此，通过直线导轨组件1136和定位组件1138来调节开合框装置1130与进出料区1101之间的距离，以此来调节装载台1120到达进出料区1101后装载台1120开框后的上盖组件1121与下载物台1122之间的夹角。可以理解的是，开合框装置1130与进出料区1101之间的距离越远，装载台1120开框后的上盖组件1121与下载物台1122之间的夹角越大；开合框装置1130与进出料区1101之间的距离越近，装载台1120开框后的上盖组件1121与下载物台1122之间的夹角越小。

[0188] 还可以在安装架1135设置若干成排的第一安装孔11371，第一安装孔11371沿竖直方向排列，挂钩件11392背离钩部113921的一端设置有铰链组件113923，挂钩件11392的铰链组件113923通过第一安装螺丝11372与第一安装孔11371的配合安装于安装架1135。通过不同的第一安装孔11371孔位来调节挂钩件11392的安装高度，以此来使挂钩件11392适配不同厚度尺寸的装载台1120。

[0189] 还可以在上盖组件1121设置若干第二安装孔11214，第二安装孔11214沿装载台1120的移动方向排列，卡轴机构11212通过第二安装螺丝11215与第二安装孔11214的配合安装于上盖组件1121。通过不同的第二安装孔11214孔位来调节卡轴机构11212与上盖组件
1121中枢转轴1123的距离，以此来调节装载台1120的开框速度与开框角度。当卡轴机构
11212离枢转轴1123越近时，装载台1120的开框速度越快，开框角度越小；当卡轴机构11212里枢转轴1123越远时，装载台1120的开框速度越慢，开框角度越大。

[0190] 实施例五

[0191] 请参阅图10至图11，基于上述实施例一，开合框装置1130包括安装架1135、卡阻机构11391以及卡轴机构11212。

[0192] 安装架1135设置于装载台1120的运动路径。卡阻机构11391安装于安装架1135，卡阻机构11391设置有阻挡部113911。卡轴机构11212安装于装载台1120的上盖组件1121，卡轴机构11212设置有轴杆11213。其中，当装载台1120朝一方向移动经过安装架1135时，阻挡部113911对轴杆11213进行阻挡，以使装载台1120的上盖组件1121朝远离装载台1120的下载物台1122的方向发生枢转转动。当装载台1120朝另一方向移动远离安装架1135时，轴杆11213逐渐脱离阻挡部113911，以使上盖组件1121朝靠近下载物台1122的方向发生枢转转动。

[0193] 在装载台1120移动过程中，既完成对装载台1120的搬运，又完成对装载台1120的开框与合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，装载台1120在移动过程中即完成开合框动作，提高生产效率。

[0194] 如此，降低设备成本，降低设备能耗，优化控制系统，减少设备运转时的时间损耗、提高生产效率，提高设备产能。

[0195] 卡阻机构11391固定安装于安装架1135，阻挡部113911是沿装载台1120的移动方向斜向上倾斜的斜面。其中，当装载台1120朝一方向移动经过安装架1135时，阻挡部113911对轴杆11213进行阻挡并对轴杆11213向斜向上的方向引导，以使装载台1120的上盖组件1121朝远离装载台1120的下载物台1122的方向发生枢转转动，从而完成装载台1120的开框。当装载台1120朝另一方向移动远离安装架1135时，轴杆11213逐渐脱离阻挡部113911，以使上盖组件1121朝靠近下载物台1122的方向发生枢转转动，从而完成装载台1120的合框。

[0196] 轴杆11213转动安装于卡轴机构11212，当阻挡部113911对轴杆11213进行引导时，轴杆11213在阻挡部113911处滚动，以使轴杆11213与阻挡部113911组件为滚动摩擦，减小轴杆11213与阻挡部113911之间的阻力，以及减小轴杆11213与阻挡部113911的磨损，从而提高装置的可靠性。

[0197] 安装架1135设置有若干成排的第三安装孔113912，第三安装孔113912沿竖直方向排列。卡阻机构11391通过第三安装螺丝113913与第三安装孔113912的配合安装于安装架1135。通过将卡阻机构11391安装于不同高度的第三安装孔113912位处，调节卡阻机构
11391的安装高度，以使卡阻机构11391能适应不同厚度的装载台1120的开合框。

[0198] 如此，降低设备成本，降低设备能耗，优化控制系统，减少设备运转时的时间损耗、提高生产效率，提高设备产能。

[0199] 实施例六

[0200] 请参阅图12至图13，开合框装置1130设置于曝光区1102。开合框装置1130包括导向组件1131和顶升组件1132。装载台1120包括上盖组件1121和下载物台1122。下载物台1122安装于驱动装置1110的输出端，下载物台1122的上部设置有下压件11221，下压件
11221设置有第一斜面11222。上盖组件1121设置有第二斜面11211，当下载物台1122进入曝光区1102时，第一斜面11222对第二斜面11211进行挤压使上盖组件1121在导向组件1131的导向下向下移动。上盖组件1121安装于开合框装置1130并通过顶升组件1132进行支撑，当下载物台1122离开曝光区1102时，顶升组件1132使上盖组件1121在导向组件1131的导向下向上移动。

[0201] 驱动装置1110带动下载物台1122向曝光区1102方向移动，下载物台1122进入曝光区1102时，第一斜面11222与第二斜面11211接触，并在下载物台1122向曝光区1102内移动的过程中，第一斜面11222对第二斜面11211进行挤压，使上盖组件1121在导向组件1131的导向下向下移动，此时，上盖组件1121向下载物台1122移动。当下载物台1122在曝光区1102处移动到位后，上盖组件1121即与下载物台1122接触，并通过安装在上盖组件1121与下载物台1122中的密封件形成密封，使上盖组件1121与下载物台1122之间的空间能顺利被抽真空，进而完成装载台1120的合框。在抽真空过程中，顶升组件1132对上盖组件1121进行支撑，随着上盖组件1121与下载物台1122之间的空气被抽出，上盖组件1121克服顶升组件1132的顶升力继续向下载物台1122靠近，进而使装载于上盖组件1121的菲林与装载于下载物台1122的待曝光件贴合。

[0202] 对待曝光件曝光后，对上盖组件1121与下载物台1122之间的空间进行破真空，此时在密封件与顶升组件1132的力的作用下，上盖组件1121向远离下载物台1122的方向移动，此时，菲林不再与待曝光件贴合。破真空完成后，驱动装置1110带动下载物台1122向上下料区1101方向移动。当下载物台1122移出曝光区1102时，第一斜面11222逐渐解除对第二斜面11211的挤压，此时，上盖组件1121在顶升组件1132的顶升力的作用以及导向组件1131的导向下向上移动，进而逐渐远离下载物台1122，进而完成装载台1120的开框。当下载物台1122到达上下料区1101后，则不会有上盖组件1121阻碍出料移载装置1320在下载物台1122处将曝光后的待曝光件取出，以及进料移载装置1220将未曝光的待曝光件放入下载物台
1122。

[0203] 如此，通过驱动装置1110提供动力，既完成对下载物台1122的搬运，又完成对装载台1120的开框与合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，下载物台1122在移动过程中即完成装载台1120的开合框，提高生产效率。

[0204] 顶升组件1132包括若干顶升弹簧11321，通过顶升弹簧11321对上盖组件1121进行支撑与顶升。

[0205] 当下载物台1122未到达曝光区1102时，通过顶升弹簧11321对上盖组件1121进行支撑，通过导向组件1131对上盖组件1121进行限位，以此使上盖组件1121稳定停留在曝光区1102。下载物台1122进入曝光区1102时，第一斜面11222对第二斜面11211进行挤压，使上盖组件1121克服顶升弹簧11321的弹力向下移动，从而靠近下载物台1122。当下载物台1122在曝光区1102处移动到位后，上盖组件1121即与下载物台1122接触，并通过安装在上盖组件1121与下载物台1122中的密封件形成密封，使上盖组件1121与下载物台1122之间的空间能顺利被抽真空，进而完成装载台1120的合框。当下载物台1122移出曝光区1102时，第一斜面11222逐渐解除对第二斜面11211的挤压，此时，在顶升弹簧11321的弹力的作用下，上盖组件1121在导向组件1131的导向下向上移动，进而逐渐远离下载物台1122，进而完成装载台1120的开框。

[0206] 可通过增减顶升弹簧11321的数量或者更换顶升弹簧11321的型号来调节顶升组件1132的顶升力和顶升距离，结构简单、可靠，制造成本低，无需引入气动或者电动调节装置，控制简单、无额外能耗。

[0207] 请参阅图13，第一斜面11222与第二斜面11211中的一个滚动安装有若干第一滚轮11223，第一滚轮11223沿斜面的倾斜方向排布，当下载物台1122进出曝光区1102时，第一滚轮11223在第一斜面11222与第二斜面11211之间滚动。

[0208] 通过第一滚轮11223的作用，使第一斜面11222对第二斜面11211进行挤压时，第一斜面11222与第二斜面11211之间的摩擦为滚动摩擦，进而减小第一斜面11222与第二斜面11211之间的磨损，并且减小第一斜面11222与第二斜面11211之间的摩擦力，使下载物台
1122能顺利进出曝光区1102，以及减小下载物台1122与上盖组件1121之间的水平作用力，使设备结构更加稳定、可靠。

[0209] 开合框装置1130处还设置有限位组件1133，限位组件1133位于上盖组件1121的上方，限位组件1133的高度高于下压件11221的高度，当下载物台1122进出曝光区1102时，限位组件1133对下压件11221进行限位。

[0210] 当下载物台1122进出曝光区1102时，下压件11221的第一斜面11222对上盖组件1121的第二斜面11211向下挤压，此时第二斜面11211对第一斜面11222也会产生向上的反作用力，通过限位组件1133在下压件11221的上方对下压件11221进行限位，以平衡第二斜面11211对第一斜面11222产生的向上的反作用力，从而使下载物台1122中下压件11221的结构更加稳定可靠，以及延长下载物台1122的使用寿命。

[0211] 限位组件1133与下压件11221中的一个还可以安装第二滚轮1134，第二滚轮1134位于限位组件1133与下压件11221之间，当下载物台1122进入或者移出曝光区1102时，第二滚轮1134在限位组件1133与下压件11221之间滚动，从而使限位组件1133与下压件11221之间发生滚动摩擦，以避免限位组件1133与下压件11221之间发生滑动摩擦，从而减少限位组件1133与下压件11221的磨损，并且使下载物台1122能更加顺利地进出曝光区1102。

[0212] 实施例七

[0213] 请参阅图1至图4以及图18，一种全自动控制的曝光方法，包括如下步骤：

[0214] 步骤一，第一物料感应器1140感应到待曝光件到达校正装置1210处，校正装置1210对待曝光件进行位置校正，同时，处于等待状态的进料移载装置1220动作，准备在校正装置1210处取料；

[0215] 校正装置1210为本领域的曝光设备1000通用结构，为现有技术，故不在此对校正装置1210的结构及工作过程进行赘述；

[0216] 步骤二，校正装置1210复位，进料移载装置1220在校正装置1210处取料；

[0217] 步骤三，识别停留有空料的装载台1120的上下料区1101，通过第二物料感应器1150判断装载台1120是否到达上下料区1101，并通过第三物料感应器1160判断装载台1120是否空料，如果经判断，空料的装载台1120已经到达移载机构1100的上下料区1101，进料移载装置1220则移动至对应的移载机构1100处，并且在上下料区1101将待曝光件放入装载台
1120内，同时，等待状态检测机构1400动作，到达对应移载机构1100的曝光区1102并且准备在曝光区1102处进行对位检测，处于等待状态的曝光装置1620移动至对应的曝光区1102准备进行曝光工作；

[0218] 当待曝光件被放入装载台1120后，即触发装载台1120中的第三物料感应器1160，表明此移载机构1100的上下料区1101有装载台1120已经装载有待曝光的待曝光件，检测机构1400则在对应移载机构1100处调整相机装置1420的位置，准备在此移载机构1100的曝光机构1600进行对位检测，当装载台1120到达对应曝光区1102并完成合框后，检测机构1400即进行对位检测，从而使检测机构1400的动作时间与装载台1120的移动时间重叠，进而减少装置动作过程所占用的时间，提高生产效率。

[0219] 步骤四，装载台1120接到待曝光件后，驱动装置1110带动装载台1120向曝光区1102移动，在装载台1120向曝光区1102移动过程中，开合框装置1130对装载台1120进行合框，处于等待状态的检测机构1400动作准备在对应的曝光区1102处进行对位检测；

[0220] 请参阅图9至图11，当装载台1120移出上下料区1101时，驱动装置1110带动装载台1120向曝光区1102方向移动，此时，在驱动装置1110的带动下，上盖组件1121绕其与下载物台1122枢转连接的枢转轴1123相对下载物台1122向靠近下载物台1122方向转动。当装载台
1120经过开合框装置1130时，挂钩件11392恢复为下垂状态，此时，卡轴机构11212的轴杆
11213脱离挂钩件11392的钩部113921，在装载台1120继续向曝光区1102方向移动过程中，卡轴机构11212即与挂钩件11392脱钩，以完成装载台1120的合框；

[0221] 如此，通过驱动装置1110提供动力，既完成对下载物台1122的搬运，又完成对装载台1120的合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，下载物台1122在移动过程中即完成装载台1120的开合框，提高生产效率。

[0222] 步骤五，装载台1120进入曝光区1102后，触发第四物料感应器1170，检测机构1400即进行对位检测；

[0223] 其中，对位检测的过程可以为，待曝光件处设置有四个特征点，相对应的，菲林处也适配性地设置有四个特征点，通过四个相机装置1420分别对四个特征点进行取相，如果待曝光件中的四个特征点与菲林中的四个特征点均重合，则表明菲林与待曝光件对齐；如果待曝光件中的四个特征点与菲林中的四个特征点有偏移，则计算出偏移量；

[0224] 步骤六，通过装载台1120中的对位装置1500根据检测机构1400的检测结果对待曝光件的位置进行调整，以使待曝光件与菲林对齐；

[0225] 在进行待曝光件与菲林的对位过程中，对位装置1500对待曝光件的位置进行调整后，检测机构1400再次进行对位检测，以检测待曝光件位置调整后的对位效果，如果待曝光件与菲林之间依旧有偏移，则通过对位装置1500再次根据检测机构1400的检测结果对待曝光件的位置进行调整，以此重复对位、检测过程，直至最后一次检测机构1400的对位检测结果符合预期；

[0226] 对位装置1500为本领域的曝光设备1000通用结构，为现有技术，故不在此对对位装置1500的结构及工作过程进行赘述；

[0227] 步骤七，对装载台1120内的空间进行抽真空，使菲林与待曝光件贴合；

[0228] 步骤八，曝光机构1600对待曝光件进行曝光；

[0229] 步骤九，对装载台1120进行破真空，驱动装置1110带动装载台1120离开曝光区1102，在装载台1120向上下料区1101移动过程中，开合框装置1130对装载台1120进行开框，同时，处于等待状态的出料移载装置1320动作，移动至对应的上下料区1101处准备对曝光后的待曝光件进行取料；

[0230] 开框的过程可以为，对待曝光件曝光后，对上盖组件1121与下载物台1122之间的空间进行破真空，当装载台1120向上下料区1101移动，经过开合框装置1130时，卡轴机构11212处的轴杆11213被挂钩件11392的钩部113921钩住，从而使上盖组件1121的受力发生改变。当挂钩件11392钩住卡轴机构11212的轴杆11213后，在驱动装置1110的带动下，上盖组件1121水平移动，而在挂钩件11392的拉力下，上盖组件1121又会斜向上移动，又由于上盖组件1121与下载物台1122枢转连接，因此在驱动装置1110与挂钩件11392的共同作用下，上盖组件1121绕其与下载物台1122枢转连接的枢转轴1123相对下载物台1122向远离下载物台1122方向转动，如此，当装载台1120移动至上下料区1101后，通过挂钩件11392钩住卡轴机构11212实现开框，以便进料移载装置1220能将待曝光件放入装载台1120，或者出料移载装置1320能从装载台1120处取出待曝光件；

[0231] 如此，通过驱动装置1110提供动力，既完成对下载物台1122的搬运，又完成对装载台1120的合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，下载物台1122在移动过程中即完成装载台1120的开合框，提高生产效率；

[0232] 步骤十，识别停留有装载有曝光后待曝光件的装载台1120的上下料区1101，装载台1120进入上下料区1101后，触发第二物料感应器1150，出料移载装置1320在上下料区1101从装载台1120中将曝光后的待曝光件取出并搬运至接料装置1310，第三物料感应器
1160检测到装载台1120空料，接料装置1310将曝光后的待曝光件向下游设备输送，重复步骤一至九对待曝光件进行移载、曝光；

[0233] 料的装载台1120到达移载机构1100的上下料区1101后，进料移载装置1220到达对应上下料区1101处，并将待曝光的待曝光件放置于空料的装载台1120，触发第三感应器，驱动装置1110将装载有待曝光件的装载台1120移动至曝光区1102对待曝光件进行曝光。

[0234] 需要指出的是，将多个移载机构1100并排布置，通过第一物料感应器1140检测校正装置1210是否装载有待曝光件，通过第二物料感应器1150检测装载台1120是否到达上下料区1101，通过第三物料感应器1160检测装载台1120是否装载有待曝光件，通过第四感应器检测装载台1120是否到达曝光区1102。

[0235] 如此，通过在设备的相应位置设置物料传感器，使曝光设备1000更加智能可控，实现曝光设备1000的全自动控制。

[0236] 需要进一步指出的是，当校正装置1210复位后，进料移载装置1220在校正装置1210处取出待曝光件。进料移载装置1220在校正装置1210处取出待曝光件后，第一物料感应器1140检测到校正装置1210处空料，外部设备向校正装置1210输送待曝光件。出料移载装置1320在上下料区1101的出料侧，或者出料移载装置1320在上下料区1101取料后向接料装置1310方向移动过程中，在校正装置1210处取料后的进料移载装置1220向停留有空料的装载台1120的上下料区1101移动。第二物料感应器1150检测到装载台1120到达上下料区
1101，并且第三物料感应器1160检测到装载台1120空料，进料移载装置1220才将待曝光件放入装载台1120。

[0237] 如此，避免进料移载装置1220与校正装置1210之间，进料移载装置1220与出料移载在发生碰撞，提高设备的可靠性。

[0238] 也可以在进料移载装置1220或者出料移载装置1320处设置距离感应器1730，对进料移载装置1220与出料移载装置1320之间的距离进行检测，以保证进料移载装置1220与出料移载装置1320之间的距离保持在安全范围，进一步提高设备的可靠性。

[0239] 需要进一步指出的是，当第一物料感应器1140检测到校正装置1210装载有待曝光件时，处于等待状态的进料移载装置1220移动至校正装置1210上方并且准备在校正装置1210处取料。上下料区1101处的装载台1120中第三物料感应器1160检测到装载台1120有料至曝光区1102处第四物料感应器1170检测到装载台1120到达曝光区1102处的过程中，处于等待状态的检测机构1400即可动作，到达对应的曝光区1102处准备进行对位检测。上下料区1101处的装载台1120中第三物料感应器1160检测到装载台1120有料至菲林与待曝光件对位完成，处于等待状态的曝光装置1620即可移动至对应的曝光区1102准备对待曝光件进行曝光。曝光完成后，处于等待状态的出料移载装置1320即可开始动作，到达对应的上下料区1101，准备在对应的上下料区1101处取料。当检测机构1400在一移载机构1100的曝光区
1102对位检测完成后，检测机构1400即移动至另一等待有装载着待曝光待曝光件的装载台
1120的移载机构1100的曝光区1102处进行对位检测。当曝光装置1620对一移载机构1100的曝光区1102处的待曝光件曝光完成后，即移动至另一对位完成的移载机构1100的曝光区
1102处进行曝光工作。检测机构1400对位检测完成后，即进入等待状态；曝光装置1620对待曝光件曝光完成后，即进入等待状态。

[0240] 如此，使各装置之间的动作实现重叠，减少各装置动作的等待时间，降低工作过程的时间损耗，提高生产效率。

[0241] 实施例八

[0242] 一种全自动曝光方法，包括以下步骤：

[0243] 驱动装载有第一待曝光件的第一装载台212移动至第一曝光区2102；

[0244] 检测机构1400在第二曝光区2202完成对位检测后或者处于空闲状态，检测机构1400移动到第一曝光区2102对第一待曝光件进行对位检测；

[0245] 驱动曝光装置1620移动至第一曝光区2102对第一待曝光件进行曝光；

[0246] 驱动装载有第二待曝光件的第二装载台222移动至第二曝光区2202；

[0247] 检测机构1400在第一曝光区2102完成对位检测后或者处于空闲状态，检测机构1400移动到第二曝光区2202对第二待曝光件进行对位检测；

[0248] 驱动曝光装置1620移动至第二曝光区2202对第二待曝光件进行曝光。

[0249] 其中，先对第一待曝光件进行对位检测，再对第一待曝光件进行曝光；先对第二待曝光件进行对位检测，再对第二待曝光件进行曝光；通过检测机构1400进行对位检测，检测机构1400在第一曝光区2102与第二曝光区2202之间移动；

[0250] 曝光装置1620在第一曝光区2102与第二曝光区2202之间移动；

[0251] 当第一曝光件到达第一曝光区2102后，若曝光装置1620在第二曝光区2202完成曝光工作后或者处于空闲状态，曝光装置1620移动至第一曝光区2102进行曝光工作；

[0252] 当第二曝光件到达第二曝光区2202后，若曝光装置1620在第一曝光区2102完成曝光工作后或者处于空闲状态，曝光装置1620移动至第二曝光区2202进行曝光工作。

[0253] 其中，检测机构1400进行对位检测的过程如下：

[0254] 通过两个第一移动轴1411调节四个相机装置1420之间的横向距离，通过四个第二移动轴1412调节相机装置1420之间的纵向距离，使四个相机装置1420之间的距离与待曝光件中的四个特征点之间的距离相适配；

[0255] 两个第一移动轴1411同步移动，使四个相机装置1420同步移动至待曝光件的四个特征点上方；

[0256] 通过四个相机装置1420分别捕捉待曝光件中的四个特征点，并且计算出待曝光件中的四个特征点分别与菲林中的四个特征点之间的偏移量。

[0257] 通过一个检测机构1400依次对不同位置曝光区处的待曝光件进行对位检测，降低设备成本，保证产品的一致性。通过一个曝光装置1620依次对不同位置曝光区处的待曝光件进行曝光，降低设备成本，保证产品的一致性。通过第一移载机构210与第二移载机构220分别对待曝光件进行移载，并且设置多个曝光区分别对待曝光件进行曝光，实现对待曝光件的高效移载、曝光，提高生产效率。

[0258] 可以设置两个移载机构，由于曝光的时间与进出料的时间以及对位、贴合所需的时间总和相近，因此如果设置两个移载机构即可使曝光工序与曝光前的准备工序进行有效衔接，从而减少各装置的等待时间，提高设备的利用率以及生产效率。

[0259] 实施例九

[0260] 请参阅图1至图4以及图18，一种全自动控制的曝光方法，包括如下步骤：

[0261] 步骤一，第一物料感应器1140感应到待曝光件到达校正装置1210处，校正装置1210对待曝光件进行位置校正，同时，处于等待状态的进料移载装置1220动作，准备在校正装置1210处取料；

[0262] 校正装置1210为本领域的曝光设备1000通用结构，为现有技术，故不在此对校正装置1210的结构及工作过程进行赘述；

[0263] 步骤二，校正装置1210复位，进料移载装置1220在校正装置1210处取料；

[0264] 步骤三，识别停留有空料的装载台1120的上下料区1101，通过第二物料感应器1150判断装载台1120是否到达上下料区1101，并通过第三物料感应器1160判断装载台1120是否空料，如果经判断，空料的装载台1120已经到达移载机构1100的上下料区1101，进料移载装置1220则移动至对应的移载机构1100处，并且在上下料区1101将待曝光件放入装载台
1120内，同时，等待状态检测机构1400动作，到达对应移载机构1100的曝光区1102并且准备在曝光区1102处进行对位检测，处于等待状态的曝光装置1620移动至对应的曝光区1102准备进行曝光工作；

[0265] 当待曝光件被放入装载台1120后，即触发装载台1120中的第三物料感应器1160，表明此移载机构1100的上下料区1101有装载台1120已经装载有待曝光的待曝光件，检测机构1400则在对应移载机构1100处调整相机装置1420的位置，准备在此移载机构1100的曝光机构1600进行对位检测，当装载台1120到达对应曝光区1102并完成合框后，检测机构1400即进行对位检测，从而使检测机构1400的动作时间与装载台1120的移动时间重叠，进而减少装置动作过程所占用的时间，提高生产效率。

[0266] 步骤四，装载台1120接到待曝光件后，驱动装置1110带动装载台1120向曝光区1102移动，当装载台1120进入曝光区1102时，开合框装置1130对装载台1120进行合框，处于等待状态的检测机构1400动作准备在对应的曝光区1102处进行对位检测；

[0267] 请参阅图5至图6，驱动装置1110带动下载物台1122向曝光区1102方向移动，下载物台1122进入曝光区1102时，第一斜面11222与第二斜面11211接触，并在下载物台1122向曝光区1102内移动的过程中，第一斜面11222对第二斜面11211进行挤压，使上盖组件1121在导向组件1131的导向下向下移动，此时，上盖组件1121向下载物台1122移动。当下载物台1122在曝光区1102处移动到位后，上盖组件1121即与下载物台1122接触，并通过安装在上盖组件1121与下载物台1122中的密封件形成密封，使上盖组件1121与下载物台1122之间的空间能顺利被抽真空，进而完成装载台1120的合框。

[0268] 如此，通过驱动装置1110提供动力，既完成对下载物台1122的搬运，又完成对装载台1120的合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，下载物台1122在移动过程中即完成装载台1120的开合框，提高生产效率。

[0269] 步骤五，装载台1120进入曝光区1102后，触发第四物料感应器1170，检测机构1400即进行对位检测；

[0270] 其中，对位检测的过程可以为，待曝光件处设置有四个特征点，相对应的，菲林处也适配性地设置有四个特征点，通过四个相机装置1420分别对四个特征点进行取相，如果待曝光件中的四个特征点与菲林中的四个特征点均重合，则表明菲林与待曝光件对齐；如果待曝光件中的四个特征点与菲林中的四个特征点有偏移，则计算出偏移量；

[0271] 步骤六，通过装载台1120中的对位装置1500根据检测机构1400的检测结果对待曝光件的位置进行调整，以使待曝光件与菲林对齐；

[0272] 在进行待曝光件与菲林的对位过程中，对位装置1500对待曝光件的位置进行调整后，检测机构1400再次进行对位检测，以检测待曝光件位置调整后的对位效果，如果待曝光件与菲林之间依旧有偏移，则通过对位装置1500再次根据检测机构1400的检测结果对待曝光件的位置进行调整，以此重复对位、检测过程，直至最后一次检测机构1400的对位检测结果符合预期；

[0273] 对位装置1500为本领域的曝光设备1000通用结构，为现有技术，故不在此对对位装置1500的结构及工作过程进行赘述；

[0274] 步骤七，对装载台1120内的空间进行抽真空，使菲林与待曝光件贴合；

[0275] 步骤八，曝光机构1600对待曝光件进行曝光；

[0276] 步骤九，对装载台1120进行破真空，驱动装置1110带动装载台1120离开曝光区1102，开合框装置1130对装载台1120进行开框，同时，处于等待状态的出料移载装置1320动作，移动至对应的上下料区1101处准备对曝光后的待曝光件进行取料；

[0277] 开框的过程可以为，对待曝光件曝光后，对上盖组件1121与下载物台1122之间的空间进行破真空，此时在密封件与顶升组件1132的力的作用下，上盖组件1121向远离下载物台1122的方向移动，此时，菲林不再与待曝光件贴合。破真空完成后，驱动装置1110带动下载物台1122向上下料区1101方向移动。当下载物台1122移出曝光区1102时，第一斜面11222逐渐解除对第二斜面11211的挤压，此时，上盖组件1121在顶升组件1132的顶升力的作用以及导向组件1131的导向下向上移动，进而逐渐远离下载物台1122，进而完成装载台
1120的开框。

[0278] 如此，通过驱动装置1110提供动力，既完成对下载物台1122的搬运，又完成对装载台1120的合框，而无需引入额外的动力以及复杂的结构，并且无需占用额外的开合框时间，下载物台1122在移动过程中即完成装载台1120的开合框，提高生产效率；

[0279] 步骤十，识别停留有装载有曝光后待曝光件的装载台1120的上下料区1101，装载台1120进入上下料区1101后，触发第二物料感应器1150，出料移载装置1320在上下料区1101从装载台1120中将曝光后的待曝光件取出并搬运至接料装置1310，第三物料感应器
1160检测到装载台1120空料，接料装置1310将曝光后的待曝光件向下游设备输送，重复步骤一至九对待曝光件进行移载、曝光；

[0280] 料的装载台1120到达移载机构1100的上下料区1101后，进料移载装置1220到达对应上下料区1101处，并将待曝光的待曝光件放置于空料的装载台1120，触发第三感应器，驱动装置1110将装载有待曝光件的装载台1120移动至曝光区1102对待曝光件进行曝光。

[0281] 需要指出的是，将多个移载机构1100并排布置，通过第一物料感应器1140检测校正装置1210是否装载有待曝光件，通过第二物料感应器1150检测装载台1120是否到达上下料区1101，通过第三物料感应器1160检测装载台1120是否装载有待曝光件，通过第四感应器检测装载台1120是否到达曝光区1102。

[0282] 如此，通过在设备的相应位置设置物料传感器，使曝光设备1000更加智能可控，实现曝光设备1000的全自动控制。

[0283] 需要进一步指出的是，当校正装置1210复位后，进料移载装置1220在校正装置1210处取出待曝光件。进料移载装置1220在校正装置1210处取出待曝光件后，第一物料感应器1140检测到校正装置1210处空料，外部设备向校正装置1210输送待曝光件。出料移载装置1320在上下料区1101的出料侧，或者出料移载装置1320在上下料区1101取料后向接料装置1310方向移动过程中，在校正装置1210处取料后的进料移载装置1220向停留有空料的装载台1120的上下料区1101移动。第二物料感应器1150检测到装载台1120到达上下料区
1101，并且第三物料感应器1160检测到装载台1120空料，进料移载装置1220才将待曝光件放入装载台1120。

[0284] 如此，避免进料移载装置1220与校正装置1210之间，进料移载装置1220与出料移载在发生碰撞，提高设备的可靠性。

[0285] 也可以在进料移载装置1220或者出料移载装置1320处设置距离感应器1730，对进料移载装置1220与出料移载装置1320之间的距离进行检测，以保证进料移载装置1220与出料移载装置1320之间的距离保持在安全范围，进一步提高设备的可靠性。

[0286] 需要进一步指出的是，当第一物料感应器1140检测到校正装置1210装载有待曝光件时，处于等待状态的进料移载装置1220移动至校正装置1210上方并且准备在校正装置1210处取料。上下料区1101处的装载台1120中第三物料感应器1160检测到装载台1120有料至曝光区1102处第四物料感应器1170检测到装载台1120到达曝光区1102处的过程中，处于等待状态的检测机构1400即可动作，到达对应的曝光区1102处准备进行对位检测。上下料区1101处的装载台1120中第三物料感应器1160检测到装载台1120有料至菲林与待曝光件对位完成，处于等待状态的曝光装置1620即可移动至对应的曝光区1102准备对待曝光件进行曝光。曝光完成后，处于等待状态的出料移载装置1320即可开始动作，到达对应的上下料区1101，准备在对应的上下料区1101处取料。当检测机构1400在一移载机构1100的曝光区
1102对位检测完成后，检测机构1400即移动至另一等待有装载着待曝光待曝光件的装载台
1120的移载机构1100的曝光区1102处进行对位检测。当曝光装置1620对一移载机构1100的曝光区1102处的待曝光件曝光完成后，即移动至另一对位完成的移载机构1100的曝光区
1102处进行曝光工作。检测机构1400对位检测完成后，即进入等待状态；曝光装置1620对待曝光件曝光完成后，即进入等待状态。

[0287] 如此，使各装置之间的动作实现重叠，减少各装置动作的等待时间，降低工作过程的时间损耗，提高生产效率。

[0288] 在本说明书的描述中，参考术语“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

[0289] 此外，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。