一种真空机械手

摘要

本发明涉及真空腔体交接技术领域，特别涉及一种真空机械手。包括交接叉组件、曲柄连杆滑块机构、机械手底座及驱动装置，其中曲柄连杆滑块机构和驱动装置分别设置于机械手底座的两端，交接叉组件与曲柄连杆滑块机构连接，驱动装置通过机械手底座和曲柄连杆滑块机构驱动交接叉组件绕机械手底座的轴线旋转同时能够伸缩。本发明可以在各种真空环境下，完成对样品的360°的旋转传输，传输稳定、可靠，可以满足不同交接距离，不同质量样品的真空传输。