本发明涉及光伏组件用结构技术领域，具体为一种半导体晶片表面的测试装置，包括测试桌、测试台、测试框、第一丝杆滑台、移动板、测试机构、分拣机构和两个滑槽，所述测试框安装在测试台的顶部，所述第一丝杆滑台水平设置在测试桌的顶端，所述移动板安装在第一丝杆滑台的移动端上，所述测试机构和分拣机构间隔设置在测试桌的顶部，所述测试机构包括升降架、第二丝杆滑台、调节板、测试架、翻转板、翻转电机、清理组件、两个竖杆、两个液压推杆、两个翻转轴和两个测试组件。本发明测试组件未采用连接绳来进行角度调节，避免发生连接绳断裂无法进行角度调节的情况，清理组件对探头进行清灰，无需手工定期清理。
1.一种半导体晶片表面的测试装置，其特征在于：包括测试桌（1）、测试台（2）、测试框（3）、第一丝杆滑台（4）、移动板（5）、测试机构（6）、分拣机构（7）和两个滑槽（8），两个所述滑槽（8）对称设置在测试桌（1）的顶部，所述测试台（2）滑动安装在两个滑槽（8）上，所述测试框（3）安装在测试台（2）的顶部，所述第一丝杆滑台（4）水平设置在测试桌（1）的顶端，所述移动板（5）安装在第一丝杆滑台（4）的移动端上，并且移动板（5）的顶部与测试台（2）的底部连接，所述测试桌（1）上设有供移动板（5）穿过的移动槽（11），所述测试机构（6）和分拣机构（7）间隔设置在测试桌（1）的顶部，所述测试机构（6）包括升降架（61）、第二丝杆滑台（611）、调节板（612）、测试架（613）、翻转板（62）、翻转电机（63）、清理组件（64）、两个竖杆（65）、两个液压推杆（66）、两个翻转轴（67）和两个测试组件（68），两个所述竖杆（65）对称设置在测试桌（1）的顶部，所述升降架（61）滑动安装在两个竖杆（65）上，两个所述液压推杆（66）对称设置在测试桌（1）的顶部，并且两个液压推杆（66）的输出端分别与升降架（61）的底部两侧连接，所述第二丝杆滑台（611）水平设置在升降架（61）的顶端，所述调节板（612）安装在第二丝杆滑台（611）的移动端上，所述测试架（613）安装在调节板（612）的底部，所述翻转板（62）通过两个翻转轴（67）转动安装在测试架（613）的底端，所述翻转电机（63）水平设置在测试架（613）的底端外壁上，并且翻转电机（63）的输出轴与其中一个翻转轴（67）连接，两个所述测试组件（68）对称设置在翻转板（62）上，所述清理组件（64）安装在测试架（613）的顶端，每个所述测试组件（68）均包括固定架（681）、U型架（6811）、调节盘（6812）、探头（6813）、联动轴（682）、第一凸轮（6821）、润滑部件（683）、调节电机（684）、主动轮（685）、从动轮（686）、皮带（687）、两个调节轴（688）和两个调节部件（689），所述固定架（681）安装在翻转板（62）的底部，所述U型架（6811）安装在固定架（681）的底端，两个所述调节轴（688）分别转动安装在U型架（6811）的底端，并且两个调节轴（688）的一端均延伸至U型架（6811）的外部，所述调节盘（6812）的两侧分别与两个调节轴（688）连接，所述探头（6813）安装在调节盘（6812）的底部中心处，两个所述调节部件（689）对称设置在U型架（6811）的顶部，并且两个调节部件（689）的底端分别与两个调节轴（688）延伸至U型架（6811）外部的一端连接，每个所述调节部件（689）均包括支撑架（6891）、第一导轨（6892）、第二导轨（6893）、第一滑块（6894）、第二滑块（6895）、第一齿条（6896）、第二齿条（6897）、连接板（6898）、调节柄（6899）、扇形齿轮（69）、旋转座（691）、旋转轴（692）和旋转齿轮（693），所述支撑架（6891）安装在U型架（6811）的顶部，所述第一导轨（6892）和第二导轨（6893）对称设置在支撑架（6891）的顶端，所述第一滑块（6894）和第二滑块（6895）分别滑动安装在第一导轨（6892）和第二导轨（6893）上，所述第一齿条（6896）水平设置在第一滑块（6894）的顶部，所述第二齿条（6897）水平设置在第二滑块（6895）的底部，所述连接板（6898）的两侧分别与第一滑块（6894）和第二滑块（6895）连接，所述调节柄（6899）的底端安装在调节轴（688）延伸至U型架（6811）外部的一端，所述扇形齿轮（69）安装在调节柄（6899）的顶部，并且扇形齿轮（69）与第二齿条（6897）啮合，所述旋转座（691）安装在支撑架（6891）的顶部，所述旋转轴（692）转动安装在旋转座（691）上，所述旋转齿轮（693）安装在旋转轴（692）的头端，并且旋转齿轮（693）与第一齿条（6896）啮合，所述联动轴（682）的两端分别与两个调节部件（689）中的旋转轴（692）的尾端连接，所述第一凸轮（6821）安装在联动轴（682）的中部，所述润滑部件（683）安装在U型架（6811）的顶部，并且润滑部件（683）的顶端与第一凸轮（6821）的底端抵触，所述润滑部件（683）用于对两个调节部件（689）中的旋转齿轮（693）和扇形齿轮（69）进行润滑，所述调节电机（684）水平设置在U型架（6811）的顶部，所述主动轮（685）安装在调节电机（684）的输出轴上，所述从动轮（686）安装在其中一个调节部件（689）中的旋转轴（692）上，所述皮带（687）套设在主动轮（685）和从动轮（686）的外部。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片表面的测试装置，其特征在于：所述润滑部件（683）包括润滑筒（6831）、活塞（6832）、推柱（6833）、承载块（6834）、承载座（6835）、第一滚轮（6836）、第一弹簧（6837）、补充件（6838）和两个喷射件（6839），所述润滑筒（6831）竖直设置在U型架（6811）的顶部，所述活塞（6832）滑动安装在润滑筒（6831）内，所述推柱（6833）的底端与活塞（6832）连接，所述推柱（6833）的顶端延伸至润滑筒（6831）的顶部上方，所述承载块（6834）安装在推柱（6833）的顶端，所述承载座（6835）安装在承载块（6834）的顶部，所述第一滚轮（6836）转动安装在承载座（6835）内，并且第一滚轮（6836）的顶端与第一凸轮（6821）的底端抵触，所述第一弹簧（6837）套设在推柱（6833）的外部，并且第一弹簧（6837）的两端分别与润滑筒（6831）的顶部和承载块（6834）的底部连接，两个所述喷射件（6839）对称设置在润滑筒（6831）上，并且两个喷射件（6839）分别延伸至两个调节部件（689）中的旋转齿轮（693）和扇形齿轮（69）旁侧，两个所述喷射件（6839）均与润滑筒（6831）的内部底端相连通，所述补充件（6838）安装在U型架（6811）的顶部，并且补充件（6838）与润滑筒（6831）的内部底端相连通。
3.根据权利要求2所述的一种半导体晶片表面的测试装置，其特征在于：每个所述喷射件（6839）均包括第一喷管（68391）、第一喷嘴（68392）、第二喷管（68393）和第二喷嘴（68394），所述第一喷管（68391）和第二喷管（68393）的尾端均与润滑筒（6831）的内部底端相连通，所述第一喷管（68391）的头端穿过旋转座（691）延伸至旋转齿轮（693）的旁侧，所述第一喷嘴（68392）安装在第一喷管（68391）的头端，并且第一喷嘴（68392）朝向旋转齿轮（693）设置，所述第二喷管（68393）的头端穿过支撑架（6891）延伸至扇形齿轮（69）的旁侧，所述第二喷嘴（68394）安装在第二喷管（68393）的头端，并且第二喷嘴（68394）朝向扇形齿轮（69）设置，所述第一喷管（68391）和第二喷管（68393）上均设有第一单向阀（68395）。
4.根据权利要求2所述的一种半导体晶片表面的测试装置，其特征在于：所述补充件
（6838）包括补充罐（68381）、补充管（68382）和第二单向阀（68383），所述补充罐（68381）水平设置在U型架（6811）的顶部，所述补充管（68382）的两端分别与补充罐（68381）的内部底端和润滑筒（6831）的内部底端相连通，所述第二单向阀（68383）安装在补充管（68382）上，所述补充罐（68381）的顶部设有与其内部相连通的添加管（68384），所述添加管（68384）上设有控制阀（68385）。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶片表面的测试装置，其特征在于：所述清理组件（64）包括第一气缸（641）、清理架（6411）、清理箱（642）、除尘电机（6421）、转盘（6422）、扇叶组（6423）、凹槽（6424）、滑动架（6425）、第一电动推杆（643）、除尘架（644）、除尘板（645）、微型电机（646）、清灰部件（647）和两个竖轴（648），所述第一气缸（641）竖直设置在测试架（613）的顶端，所述清理架（6411）安装在第一气缸（641）的输出端上，所述清理箱（642）安装在清理架（6411）的底部，所述清理箱（642）的底部设有圆孔（6426），所述清理箱（642）的底部设有若干个绕圆孔（6426）等间距设置的排气槽，所述排气槽内设有滤网（6427），所述清理箱（642）的一侧外壁上设有与其内部相连通的通槽（6428），所述除尘电机（6421）竖直设置在清理箱（642）的顶部，并且除尘电机（6421）的输出轴延伸至清理箱（642）的内部，所述转盘（6422）和扇叶组（6423）间隔设置在除尘电机（6421）的输出轴上，并且转盘（6422）位于扇叶组（6423）的上方，所述凹槽（6424）开设在转盘（6422）的底部，所述滑动架（6425）的顶端滑动安装在凹槽（6424）上，所述第一电动推杆（643）水平设置在转盘（6422）的底部，并且第一电动推杆（643）的输出端与滑动架（6425）的顶端连接，所述除尘架（644）安装在滑动架（6425）的底端，所述除尘板（645）通过两个竖轴（648）转动安装在除尘架（644）内，所述除尘板（645）上对称设置有两组毛刷头（6451），所述微型电机（646）竖直设置在除尘架（644）的底部，并且微型电机（646）的输出轴与其中一个竖轴（648）连接，所述清灰部件（647）安装在清理箱（642）的外壁上。
6.根据权利要求5所述的一种半导体晶片表面的测试装置，其特征在于：所述清灰部件（647）包括底板（6471）、吸尘斗（6472）、收集箱（6473）、风机（6474）、第一连接管（6475）、第二连接管（6476）和两个抖动件（6477），所述底板（6471）安装在清理箱（642）的底端外壁上，所述吸尘斗（6472）安装在底板（6471）的顶部，所述收集箱（6473）和风机（6474）间隔设置在清理箱（642）的顶部，所述第一连接管（6475）的两端分别与风机（6474）的输入端和吸尘斗（6472）相连通，所述第二连接管（6476）的两端分别与风机（6474）的输出端和收集箱（6473）的内部顶端相连通，两个所述抖动件（6477）对称设置在清理箱（642）的底端外壁上。
7.根据权利要求6所述的一种半导体晶片表面的测试装置，其特征在于：每个所述抖动件（6477）均包括滑动杆（6478）、抖动板（6479）、固定块（64791）、固定座（64792）、第二滚轮（64793）、第二弹簧（64794）、安装架（64795）、驱动电机（64796）、第二凸轮（64797）和两个滑动套（64798），两个所述滑动套（64798）间隔设置在清理箱（642）的底端外壁上，所述滑动杆（6478）滑动安装在两个滑动套（64798）上，所述抖动板（6479）安装在滑动杆（6478）的头端，所述固定块（64791）安装在滑动杆（6478）的尾端，所述固定座（64792）安装在固定块（64791）的外壁上，所述第二滚轮（64793）转动安装在固定座（64792）内，所述第二弹簧（64794）套设在滑动杆（6478）的外部，并且第二弹簧（64794）的两端分别与其中一个滑动套（64798）和固定块（64791）连接，所述安装架（64795）设置在清理箱（642）的底端外壁上，所述驱动电机（64796）水平设置在安装架（64795）的外壁上，所述第二凸轮（64797）安装在驱动电机（64796）的输出轴上，并且第二凸轮（64797）的一端与第二滚轮（64793）抵触。
8.根据权利要求1所述的一种半导体晶片表面的测试装置，其特征在于：所述分拣机构（7）包括龙门架（71）、第三丝杆滑台（72）、第二气缸（73）、分拣板（74）和两个存放组件（75），所述龙门架（71）架设在测试桌（1）的顶部，所述第三丝杆滑台（72）水平设置在龙门架（71）的顶端，所述第二气缸（73）竖直设置在第三丝杆滑台（72）的移动端上，所述分拣板（74）安装在第二气缸（73）的输出端上，所述分拣板（74）的底部设有四个矩形分布的吸盘（76），两个所述存放组件（75）对称设置在测试桌（1）的顶部。
9.根据权利要求8所述的一种半导体晶片表面的测试装置，其特征在于：每个所述存放组件（75）均包括存放箱（77）、存放板（78）和第二电动推杆（79），所述存放箱（77）安装在测试桌（1）的顶部，所述存放板（78）滑动安装在存放箱（77）内，所述第二电动推杆（79）竖直设置在测试桌（1）的顶端，并且第二电动推杆（79）的输出端与存放板（78）的底部连接。
一种半导体晶片表面的测试装置
技术领域
[0001] 本发明涉及半导体测试设备技术领域，具体为一种半导体晶片表面的测试装置。
背景技术
[0002] 半导体，顾名思义就是导电性介于导体和绝缘体之间的一类物体。通过杂质的掺入而改变材料的导电性能，这便是半导体技术的底层基础。以此延展，这一特性可以用来制作出各类具备不同电流电压特性的晶体管。
[0003] 专利CN113909145B的中国发明专利公开了一种半导体晶片表面的测试装置，包括测试台、上下料组件、移动组件、测试组件和不合格品存放组件，所述测试台的顶部对称设置有两个滑槽，所述测试台的顶部设有移动槽，所述移动槽位于两个滑槽之间，所述上下料组件设置在测试台的左侧，所述移动组件滑动安装在两个滑槽上，所述不合格品存放组件设置在测试台的右侧，所述测试组件架设在测试台上，并且测试组件位于上下料组件和不合格品存放组件之间，该发明实现全自动调节探头角度来适用于对不同型号的半导体晶片进行测试，无需人工手动对探头角度进行调整，避免手动调整的误差影响测试结果和测试精度。
[0004] 但是，上述专利在实际使用过程中还存在以下不足之处：其一，该专利需要两个角度调节件工作来对调节盘和探头角度进行自动调节来适用于对不同型号的半导体晶片进行测试，一旦角度调节件中的连接绳断裂，则无法实现对调节盘和探头角度进行调节，影响测试工作；其二，该专利探头在工作一定时间后，探头表面会粘附一些灰尘等杂质，需要人工定期对探头进行手动清理，十分不便。
发明内容
[0005] 为了弥补以上不足，本发明提供了一种半导体晶片表面的测试装置，以解决上述背景技术中提出连接绳断裂，则无法实现对调节盘和探头角度进行调节，影响测试工作和需要人工定期对探头进行手动清理，十分不便的问题。
[0006] 本发明的技术方案是：
[0007] 一种半导体晶片表面的测试装置，包括测试桌、测试台、测试框、第一丝杆滑台、移动板、测试机构、分拣机构和两个滑槽，两个所述滑槽对称设置在测试桌的顶部，所述测试台滑动安装在两个滑槽上，所述测试框安装在测试台的顶部，所述第一丝杆滑台水平设置在测试桌的顶端，所述移动板安装在第一丝杆滑台的移动端上，并且移动板的顶部与测试台的底部连接，所述测试桌上设有供移动板穿过的移动槽，所述测试机构和分拣机构间隔设置在测试桌的顶部，所述测试机构包括升降架、第二丝杆滑台、调节板、测试架、翻转板、翻转电机、清理组件、两个竖杆、两个液压推杆、两个翻转轴和两个测试组件，两个所述竖杆对称设置在测试桌的顶部，所述升降架滑动安装在两个竖杆上，两个所述液压推杆对称设置在测试桌的顶部，并且两个液压推杆的输出端分别与升降架的底部两侧连接，所述第二丝杆滑台水平设置在升降架的顶端，所述调节板安装在第二丝杆滑台的移动端上，所述测试架安装在调节板的底部，所述翻转板通过两个翻转轴转动安装在测试架的底端，所述翻转电机水平设置在测试架的底端外壁上，并且翻转电机的输出轴与其中一个翻转轴连接，两个所述测试组件对称设置在翻转板上，所述清理组件安装在测试架的顶端。
[0008] 进一步的，每个所述测试组件均包括固定架、U型架、调节盘、探头、联动轴、第一凸轮、润滑部件、调节电机、主动轮、从动轮、皮带、两个调节轴和两个调节部件，所述固定架安装在翻转板的底部，所述U型架安装在固定架的底端，两个所述调节轴分别转动安装在U型架的底端，并且两个调节轴的一端均延伸至U型架的外部，所述调节盘的两侧分别与两个调节轴连接，所述探头安装在调节盘的底部中心处，两个所述调节部件对称设置在U型架的顶部，并且两个调节部件的底端分别与两个调节轴延伸至U型架外部的一端连接，每个所述调节部件均包括支撑架、第一导轨、第二导轨、第一滑块、第二滑块、第一齿条、第二齿条、连接板、调节柄、扇形齿轮、旋转座、旋转轴和旋转齿轮，所述支撑架安装在U型架的顶部，所述第一导轨和第二导轨对称设置在支撑架的顶端，所述第一滑块和第二滑块分别滑动安装在第一导轨和第二导轨上，所述第一齿条水平设置在第一滑块的顶部，所述第二齿条水平设置在第二滑块的底部，所述连接板的两侧分别与第一滑块和第二滑块连接，所述调节柄的底端安装在调节轴延伸至U型架外部的一端，所述扇形齿轮安装在调节柄的顶部，并且扇形齿轮与第二齿条啮合，所述旋转座安装在支撑架的顶部，所述旋转轴转动安装在旋转座上，所述旋转齿轮安装在旋转轴的头端，并且旋转齿轮与第一齿条啮合，所述联动轴的两端分别与两个调节部件中的旋转轴的尾端连接，所述第一凸轮安装在联动轴的中部，所述润滑部件安装在U型架的顶部，并且润滑部件的顶端与第一凸轮的底端抵触，所述润滑部件用于对两个调节部件中的旋转齿轮和扇形齿轮进行润滑，所述调节电机水平设置在U型架的顶部，所述主动轮安装在调节电机的输出轴上，所述从动轮安装在其中一个调节部件中的旋转轴上，所述皮带套设在主动轮和从动轮的外部。
[0009] 进一步的，所述润滑部件包括润滑筒、活塞、推柱、承载块、承载座、第一滚轮、第一弹簧、补充件和两个喷射件，所述润滑筒竖直设置在U型架的顶部，所述活塞滑动安装在润滑筒内，所述推柱的底端与活塞连接，所述推柱的顶端延伸至润滑筒的顶部上方，所述承载块安装在推柱的顶端，所述承载座安装在承载块的顶部，所述第一滚轮转动安装在承载座内，并且第一滚轮的顶端与第一凸轮的底端抵触，所述第一弹簧套设在推柱的外部，并且第一弹簧的两端分别与润滑筒的顶部和承载块的底部连接，两个所述喷射件对称设置在润滑筒上，并且两个喷射件分别延伸至两个调节部件中的旋转齿轮和扇形齿轮旁侧，两个所述喷射件均与润滑筒的内部底端相连通，所述补充件安装在U型架的顶部，并且补充件与润滑筒的内部底端相连通。
[0010] 进一步的，每个所述喷射件均包括第一喷管、第一喷嘴、第二喷管和第二喷嘴，所述第一喷管和第二喷管的尾端均与润滑筒的内部底端相连通，所述第一喷管的头端穿过旋转座延伸至旋转齿轮的旁侧，所述第一喷嘴安装在第一喷管的头端，并且第一喷嘴朝向旋转齿轮设置，所述第二喷管的头端穿过支撑架延伸至扇形齿轮的旁侧，所述第二喷嘴安装在第二喷管的头端，并且第二喷嘴朝向扇形齿轮设置，所述第一喷管和第二喷管上均设有第一单向阀。
[0011] 进一步的，所述补充件包括补充罐、补充管和第二单向阀，所述补充罐水平设置在U型架的顶部，所述补充管的两端分别与补充罐的内部底端和润滑筒的内部底端相连通，所述第二单向阀安装在补充管上，所述补充罐的顶部设有与其内部相连通的添加管，所述添加管上设有控制阀。
[0012] 进一步的，所述清理组件包括第一气缸、清理架、清理箱、除尘电机、转盘、扇叶组、凹槽、滑动架、第一电动推杆、除尘架、除尘板、微型电机、清灰部件和两个竖轴，所述第一气缸竖直设置在测试架的顶端，所述清理架安装在第一气缸的输出端上，所述清理箱安装在清理架的底部，所述清理箱的底部设有圆孔，所述清理箱的底部设有若干个绕圆孔等间距设置的排气槽，所述排气槽内设有滤网，所述清理箱的一侧外壁上设有与其内部相连通的通槽，所述除尘电机竖直设置在清理箱的顶部，并且除尘电机的输出轴延伸至清理箱的内部，所述转盘和扇叶组间隔设置在除尘电机的输出轴上，并且转盘位于扇叶组的上方，所述凹槽开设在转盘的底部，所述滑动架的顶端滑动安装在凹槽上，所述第一电动推杆水平设置在转盘的底部，并且第一电动推杆的输出端与滑动架的顶端连接，所述除尘架安装在滑动架的底端，所述除尘板通过两个竖轴转动安装在除尘架内，所述除尘板上对称设置有两组毛刷头，所述微型电机竖直设置在除尘架的底部，并且微型电机的输出轴与其中一个竖轴连接，所述清灰部件安装在清理箱的外壁上。
[0013] 进一步的，所述清灰部件包括底板、吸尘斗、收集箱、风机、第一连接管、第二连接管和两个抖动件，所述底板安装在清理箱的底端外壁上，所述吸尘斗安装在底板的顶部，所述收集箱和风机间隔设置在清理箱的顶部，所述第一连接管的两端分别与风机的输入端和吸尘斗相连通，所述第二连接管的两端分别与风机的输出端和收集箱的内部顶端相连通，两个所述抖动件对称设置在清理箱的底端外壁上。
[0014] 进一步的，每个所述抖动件均包括滑动杆、抖动板、固定块、固定座、第二滚轮、第二弹簧、安装架、驱动电机、第二凸轮和两个滑动套，两个所述滑动套间隔设置在清理箱的底端外壁上，所述滑动杆滑动安装在两个滑动套上，所述抖动板安装在滑动杆的头端，所述固定块安装在滑动杆的尾端，所述固定座安装在固定块的外壁上，所述第二滚轮转动安装在固定座内，所述第二弹簧套设在滑动杆的外部，并且第二弹簧的两端分别与其中一个滑动套和固定块连接，所述安装架设置在清理箱的底端外壁上，所述驱动电机水平设置在安装架的外壁上，所述第二凸轮安装在驱动电机的输出轴上，并且第二凸轮的一端与第二滚轮抵触。
[0015] 进一步的，所述分拣机构包括龙门架、第三丝杆滑台、第二气缸、分拣板和两个存放组件，所述龙门架架设在测试桌的顶部，所述第三丝杆滑台水平设置在龙门架的顶端，所述第二气缸竖直设置在第三丝杆滑台的移动端上，所述分拣板安装在第二气缸的输出端上，所述分拣板的底部设有四个矩形分布的吸盘，两个所述存放组件对称设置在测试桌的顶部。
[0016] 进一步的，每个所述存放组件均包括存放箱、存放板和第二电动推杆，所述存放箱安装在测试桌的顶部，所述存放板滑动安装在存放箱内，所述第二电动推杆竖直设置在测试桌的顶端，并且第二电动推杆的输出端与存放板的底部连接。
[0017] 与现有技术相比，本发明的有益效果是：
[0018] 其一：本发明通过调节电机工作带动主动轮转动，主动轮利用皮带带动从动轮转动，从动轮带动其中一个调节部件中的旋转轴转动，这个旋转轴利用联动轴带动另一个调节部件中的旋转轴同步转动，两个调节部件中的旋转轴带动旋转齿轮转动，旋转齿轮带动第一齿条和第一滑块水平移动，第一滑块利用连接板带动第二滑块和第二齿条同步水平移动，第二齿条利用扇形齿轮带动调节柄实现转动，调节柄最后利用调节轴带动调节盘转动，调节盘带动探头实现转动进行角度调节，未采用连接绳结构来进行角度调节，避免发生连接绳断裂无法对探头进行角度调节的情况，不会影响探头的测试工作，在联动轴转动的同时带动第一凸轮转动，第一凸轮转动带动润滑部件工作，润滑部件工作对两个调节部件中的旋转齿轮和扇形齿轮进行润滑，确保探头进行角度调节时，两个调节部件中的旋转齿轮、扇形齿轮、第一齿条和第二齿条之间能够有润滑油充分润滑确保正常工作。
[0019] 其二：本发明通过第一气缸工作带动清理架向下移动，清理架带动清理箱向下移动，位于翻转板上方的这个测试组件中的探头经过圆孔进入至清理箱的内部，然后第一电动推杆工作带动滑动架在凹槽上水平滑动，滑动架带动除尘架和除尘板同步移动，除尘板带动靠近探头的这组毛刷头移动至与探头表面接触，接着除尘电机工作带动转盘和扇叶组转动，扇叶组转动吹动探头表面的灰尘等杂质落入至清理箱的内部底端，转盘带动靠近探头的这组毛刷头转动对探头表面的灰尘等杂质进行刷除清理，无需手工定期对探头进行清理，十分便捷。
[0020] 其三：本发明当活塞远离润滑筒内部底端进行移动时，活塞将补充罐内的润滑油经过补充管流入至润滑筒内，实现对润滑筒的补充润滑油的目的，第二单向阀确保补充管内的液体只能单向流向润滑筒，在补充件位于翻转板下方工作状态下，控制阀控制添加管的内部与补充罐的内部处于连通状态，防止补充罐内处于密闭状态无法让活塞抽取补充罐内的润滑油，同时也方便人工利用添加管向补充罐内添加新的润滑油，在补充件位于翻转板上方时，控制阀控制添加管的内部与补充罐的内部处于不连通状态，防止补充罐内的润滑油经过添加管流出。
[0021] 其四：本发明驱动电机工作带动第二凸轮转动，第二凸轮利用第二滚轮带动滑动杆在两个滑动套上往复水平滑动一定距离，滑动杆带动抖动板往复水平移动一定距离，在抖动板往复移动的过程中实现对毛刷头的往复撞击接触，毛刷头实现抖动，毛刷头上粘附的灰尘等杂质随着抖动落入至吸尘斗中。
附图说明
[0022] 图1是本发明的立体结构示意图一；
[0023] 图2是本发明的立体结构示意图二；
[0024] 图3是本发明的测试机构的立体结构示意图；
[0025] 图4是本发明的测试机构的局部立体结构示意图；
[0026] 图5是本发明的测试组件的立体结构示意图一；
[0027] 图6是本发明的测试组件的立体结构示意图二；
[0028] 图7是本发明的测试组件的局部剖视图；
[0029] 图8是本发明的测试组件的侧视图；
[0030] 图9是本发明的清理组件的立体结构示意图一；
[0031] 图10是本发明的清理组件的立体结构示意图二；
[0032] 图11是本发明的清理组件的局部剖视图；
[0033] 图12是本发明的抖动件的立体结构示意图；
[0034] 图13是本发明的分拣机构的立体结构示意图；
[0035] 图14是本发明的存放组件的局部剖视图；
[0036] 图15是本发明的清理组件的局部立体结构示意图。
[0037] 附图标记说明：
[0038] 测试桌1，移动槽11，测试台2，测试框3，第一丝杆滑台4，移动板5，测试机构6，升降架61，第二丝杆滑台611，调节板612，测试架613，翻转板62，翻转电机63，清理组件64，第一气缸641，清理架6411，清理箱642，除尘电机6421，转盘6422，扇叶组6423，凹槽6424，滑动架6425，圆孔6426，滤网6427，通槽6428，第一电动推杆643，除尘架644，除尘板645，毛刷头
6451，微型电机646，清灰部件647，底板6471，吸尘斗6472，收集箱6473，风机6474，第一连接管6475，第二连接管6476，抖动件6477，滑动杆6478，抖动板6479，固定块64791，固定座
64792，第二滚轮64793，第二弹簧64794，安装架64795，驱动电机64796，第二凸轮64797，滑动套64798，竖轴648，竖杆65，液压推杆66，翻转轴67，测试组件68，固定架681，U型架6811，调节盘6812，探头6813，联动轴682，第一凸轮6821，润滑部件683，润滑筒6831，活塞6832，推柱6833，承载块6834，承载座6835，第一滚轮6836，第一弹簧6837，补充件6838，补充罐
68381，补充管68382，第二单向阀68383，添加管68384，控制阀68385，喷射件6839，第一喷管
68391，第一喷嘴68392，第二喷管68393，第二喷嘴68394，第一单向阀68395，调节电机684，主动轮685，从动轮686，皮带687，调节轴688，调节部件689，支撑架6891，第一导轨6892，第二导轨6893，第一滑块6894，第二滑块6895，第一齿条6896，第二齿条6897，连接板6898，调节柄6899，扇形齿轮69，旋转座691，旋转轴692，旋转齿轮693，分拣机构7，龙门架71，第三丝杆滑台72，第二气缸73，分拣板74，存放组件75，吸盘76，存放箱77，存放板78，第二电动推杆
79，滑槽8。
具体实施方式
[0039] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0040] 本发明通过改进在此提供一种半导体晶片表面的测试装置，如图1‑图15所示，包括测试桌1、测试台2、测试框3、第一丝杆滑台4、移动板5、测试机构6、分拣机构7和两个滑槽8，两个滑槽8对称设置在测试桌1的顶部，测试台2滑动安装在两个滑槽8上，测试框3安装在测试台2的顶部，第一丝杆滑台4水平设置在测试桌1的顶端，移动板5安装在第一丝杆滑台4的移动端上，并且移动板5的顶部与测试台2的底部连接，测试桌1上设有供移动板5穿过的移动槽11，测试机构6和分拣机构7间隔设置在测试桌1的顶部，测试机构6包括升降架61、第二丝杆滑台611、调节板612、测试架613、翻转板62、翻转电机63、清理组件64、两个竖杆65、两个液压推杆66、两个翻转轴67和两个测试组件68，两个竖杆65对称设置在测试桌1的顶部，升降架61滑动安装在两个竖杆65上，两个液压推杆66对称设置在测试桌1的顶部，并且两个液压推杆66的输出端分别与升降架61的底部两侧连接，第二丝杆滑台611水平设置在升降架61的顶端，调节板612安装在第二丝杆滑台611的移动端上，测试架613安装在调节板
612的底部，翻转板62通过两个翻转轴67转动安装在测试架613的底端，翻转电机63水平设置在测试架613的底端外壁上，并且翻转电机63的输出轴与其中一个翻转轴67连接，两个测试组件68对称设置在翻转板62上，清理组件64安装在测试架613的顶端；通过将需要测试的半导体晶片放置在测试框3内，然后第一丝杆滑台4工作带动移动板5移动，移动板5带动测试台2在两个滑槽8上移动，测试台2带动测试框3移动至测试机构6下方，接着位于翻转板62下方的这个测试组件68工作对其中的测试端进行角度调节，测试组件68未采用连接绳来进行角度调节，避免发生连接绳断裂无法进行角度调节的情况，角度调节完成后两个液压推杆66工作带动升降架61在两个竖杆65上向下移动，升降架61带动位于翻转板62下方的这个测试组件68中的测试端向下移动至与测试框3内的半导体晶片的表面接触测试，测试完成后两个液压推杆66继续工作带动升降架61向上移动一定距离，然后第一丝杆滑台4和第二丝杆滑台611配合工作方便这个测试组件68中的测试端继续对测试框3内的半导体晶片的表面的多处进行接触测试，单次测试完成后，第一丝杆滑台4继续工作带动测试框3移动至与分拣机构7对应，分拣机构7按照测试结果将测试框3内的半导体晶片放入至合格品处或不合格品处存放分类，当位于翻转板62下方的这个测试组件68中的测试端粘附有灰尘等杂质时，则翻转电机63工作带动翻转板62和两个翻转轴67转动180°，位于翻转板62下方的这个测试组件68与位于翻转板62上方的另一个测试组件68的位置对调，然后清理组件64对此时位于翻转板62上方的这个测试组件68中的测试端进行自动清灰处理，无需手工定期清理，十分便捷。
[0041] 具体的，每个测试组件68均包括固定架681、U型架6811、调节盘6812、探头6813、联动轴682、第一凸轮6821、润滑部件683、调节电机684、主动轮685、从动轮686、皮带687、两个调节轴688和两个调节部件689，固定架681安装在翻转板62的底部，U型架6811安装在固定架681的底端，两个调节轴688分别转动安装在U型架6811的底端，并且两个调节轴688的一端均延伸至U型架6811的外部，调节盘6812的两侧分别与两个调节轴688连接，探头6813安装在调节盘6812的底部中心处，两个调节部件689对称设置在U型架6811的顶部，并且两个调节部件689的底端分别与两个调节轴688延伸至U型架6811外部的一端连接，每个调节部件689均包括支撑架6891、第一导轨6892、第二导轨6893、第一滑块6894、第二滑块6895、第一齿条6896、第二齿条6897、连接板6898、调节柄6899、扇形齿轮69、旋转座691、旋转轴692和旋转齿轮693，支撑架6891安装在U型架6811的顶部，第一导轨6892和第二导轨6893对称设置在支撑架6891的顶端，第一滑块6894和第二滑块6895分别滑动安装在第一导轨6892和第二导轨6893上，第一齿条6896水平设置在第一滑块6894的顶部，第二齿条6897水平设置在第二滑块6895的底部，连接板6898的两侧分别与第一滑块6894和第二滑块6895连接，调节柄6899的底端安装在调节轴688延伸至U型架6811外部的一端，扇形齿轮69安装在调节柄6899的顶部，并且扇形齿轮69与第二齿条6897啮合，旋转座691安装在支撑架6891的顶部，旋转轴692转动安装在旋转座691上，旋转齿轮693安装在旋转轴692的头端，并且旋转齿轮
693与第一齿条6896啮合，联动轴682的两端分别与两个调节部件689中的旋转轴692的尾端连接，第一凸轮6821安装在联动轴682的中部，润滑部件683安装在U型架6811的顶部，并且润滑部件683的顶端与第一凸轮6821的底端抵触，润滑部件683用于对两个调节部件689中的旋转齿轮693和扇形齿轮69进行润滑，调节电机684水平设置在U型架6811的顶部，主动轮
685安装在调节电机684的输出轴上，从动轮686安装在其中一个调节部件689中的旋转轴
692上，皮带687套设在主动轮685和从动轮686的外部；通过调节电机684工作带动主动轮
685转动，主动轮685利用皮带687带动从动轮686转动，从动轮686带动其中一个调节部件
689中的旋转轴692转动，这个旋转轴692利用联动轴682带动另一个调节部件689中的旋转轴692同步转动，两个调节部件689中的旋转轴692带动旋转齿轮693转动，旋转齿轮693带动第一齿条6896和第一滑块6894水平移动，第一滑块6894利用连接板6898带动第二滑块6895和第二齿条6897同步水平移动，第二齿条6897利用扇形齿轮69带动调节柄6899实现转动，调节柄6899最后利用调节轴688带动调节盘6812转动，调节盘6812带动探头6813实现转动进行角度调节，未采用连接绳结构来进行角度调节，避免发生连接绳断裂无法对探头6813进行角度调节的情况，不会影响探头6813的测试工作，在联动轴682转动的同时带动第一凸轮6821转动，第一凸轮6821转动带动润滑部件683工作，润滑部件683工作对两个调节部件
689中的旋转齿轮693和扇形齿轮69进行润滑，确保探头6813进行角度调节时，两个调节部件689中的旋转齿轮693、扇形齿轮69、第一齿条6896和第二齿条6897之间能够有润滑油充分润滑确保正常工作。
[0042] 具体的，润滑部件683包括润滑筒6831、活塞6832、推柱6833、承载块6834、承载座6835、第一滚轮6836、第一弹簧6837、补充件6838和两个喷射件6839，润滑筒6831竖直设置在U型架6811的顶部，活塞6832滑动安装在润滑筒6831内，推柱6833的底端与活塞6832连接，推柱6833的顶端延伸至润滑筒6831的顶部上方，承载块6834安装在推柱6833的顶端，承载座6835安装在承载块6834的顶部，第一滚轮6836转动安装在承载座6835内，并且第一滚轮6836的顶端与第一凸轮6821的底端抵触，第一弹簧6837套设在推柱6833的外部，并且第一弹簧6837的两端分别与润滑筒6831的顶部和承载块6834的底部连接，两个喷射件6839对称设置在润滑筒6831上，并且两个喷射件6839分别延伸至两个调节部件689中的旋转齿轮
693和扇形齿轮69旁侧，两个喷射件6839均与润滑筒6831的内部底端相连通，补充件6838安装在U型架6811的顶部，并且补充件6838与润滑筒6831的内部底端相连通；第一弹簧6837确保第一滚轮6836的顶端与第一凸轮6821的底端一直紧紧抵触，当联动轴682带动第一凸轮
6821转动时，第一凸轮6821利用第一滚轮6836带动推柱6833往复升降一定距离，推柱6833带动活塞6832在润滑筒6831内往复滑动第一距离，当活塞6832靠近润滑筒6831内部底端进行移动时，活塞6832将润滑筒6831内的润滑油经过两个喷射件6839喷至两个调节部件689中的旋转齿轮693和扇形齿轮69表面，当活塞6832远离润滑筒6831内部底端进行移动时，活塞6832将补充件6838中的润滑油抽取补充至润滑筒6831内，确保润滑筒6831内一直有充足的润滑油。
[0043] 具体的，每个喷射件6839均包括第一喷管68391、第一喷嘴68392、第二喷管68393和第二喷嘴68394，第一喷管68391和第二喷管68393的尾端均与润滑筒6831的内部底端相连通，第一喷管68391的头端穿过旋转座691延伸至旋转齿轮693的旁侧，第一喷嘴68392安装在第一喷管68391的头端，并且第一喷嘴68392朝向旋转齿轮693设置，第二喷管68393的头端穿过支撑架6891延伸至扇形齿轮69的旁侧，第二喷嘴68394安装在第二喷管68393的头端，并且第二喷嘴68394朝向扇形齿轮69设置，第一喷管68391和第二喷管68393上均设有第一单向阀68395；当活塞6832靠近润滑筒6831内部底端进行移动时，活塞6832将润滑筒6831内的润滑油经过第一喷管68391和第二喷管68393输送至第一喷嘴68392和第二喷嘴68394中，第一喷嘴68392和第二喷嘴68394将其中的润滑油分别喷至旋转齿轮693和扇形齿轮69表面，进而在旋转齿轮693和扇形齿轮69转动的过程中对第一齿条6896和第二齿条6897也实现润滑，第一单向阀68395确保第一喷管68391和第二喷管68393内的液体流向只能单向流向第一喷嘴68392和第二喷嘴68394中。
[0044] 具体的，补充件6838包括补充罐68381、补充管68382和第二单向阀68383，补充罐68381水平设置在U型架6811的顶部，补充管68382的两端分别与补充罐68381的内部底端和润滑筒6831的内部底端相连通，第二单向阀68383安装在补充管68382上，补充罐68381的顶部设有与其内部相连通的添加管68384，添加管68384上设有控制阀68385；当活塞6832远离润滑筒6831内部底端进行移动时，活塞6832将补充罐68381内的润滑油经过补充管68382流入至润滑筒6831内，实现对润滑筒6831的补充润滑油的目的，第二单向阀68383确保补充管
68382内的液体只能单向流向润滑筒6831，在补充件6838位于翻转板62下方工作状态下，控制阀68385控制添加管68384的内部与补充罐68381的内部处于连通状态，防止补充罐68381内处于密闭状态无法让活塞6832抽取补充罐68381内的润滑油，同时也方便人工利用添加管68384向补充罐68381内添加新的润滑油，在补充件6838位于翻转板62上方时，控制阀
68385控制添加管68384的内部与补充罐68381的内部处于不连通状态，防止补充罐68381内的润滑油经过添加管68384流出。
[0045] 具体的，清理组件64包括第一气缸641、清理架6411、清理箱642、除尘电机6421、转盘6422、扇叶组6423、凹槽6424、滑动架6425、第一电动推杆643、除尘架644、除尘板645、微型电机646、清灰部件647和两个竖轴648，第一气缸641竖直设置在测试架613的顶端，清理架6411安装在第一气缸641的输出端上，清理箱642安装在清理架6411的底部，清理箱642的底部设有圆孔6426，清理箱642的底部设有若干个绕圆孔6426等间距设置的排气槽，排气槽内设有滤网6427，清理箱642的一侧外壁上设有与其内部相连通的通槽6428，除尘电机6421竖直设置在清理箱642的顶部，并且除尘电机6421的输出轴延伸至清理箱642的内部，转盘6422和扇叶组6423间隔设置在除尘电机6421的输出轴上，并且转盘6422位于扇叶组6423的上方，凹槽6424开设在转盘6422的底部，滑动架6425的顶端滑动安装在凹槽6424上，第一电动推杆643水平设置在转盘6422的底部，并且第一电动推杆643的输出端与滑动架6425的顶端连接，除尘架644安装在滑动架6425的底端，除尘板645通过两个竖轴648转动安装在除尘架644内，除尘板645上对称设置有两组毛刷头6451，微型电机646竖直设置在除尘架644的底部，并且微型电机646的输出轴与其中一个竖轴648连接，清灰部件647安装在清理箱642的外壁上；通过第一气缸641工作带动清理架6411向下移动，清理架6411带动清理箱642向下移动，位于翻转板62上方的这个测试组件68中的探头6813经过圆孔6426进入至清理箱
642的内部，然后第一电动推杆643工作带动滑动架6425在凹槽6424上水平滑动，滑动架
6425带动除尘架644和除尘板645同步移动，除尘板645带动靠近探头6813的这组毛刷头
6451移动至与探头6813表面接触，接着除尘电机6421工作带动转盘6422和扇叶组6423转动，扇叶组6423转动吹动探头6813表面的灰尘等杂质落入至清理箱642的内部底端，转盘
6422带动靠近探头6813的这组毛刷头6451转动对探头6813表面的灰尘等杂质进行刷除清理，无需手工定期对探头6813进行清理，十分便捷，会有一部分灰尘等杂质粘附在这组毛刷头6451上，当对探头6813表面清理完成后，除尘电机6421继续工作带动滑动架6425转动至与通槽6428的位置对应，然后微型电机646工作带动除尘板645和两个竖轴648转动180°，此时这组毛刷头6451与另一组毛刷头6451位置对调，接着第一电动推杆643继续工作带动滑动架6425靠近通槽6428移动，滑动架6425带动这组毛刷头6451移动至经过通槽6428伸出清理箱642，最后清灰部件647工作对这组毛刷头6451上粘附的灰尘等杂质进行清理，方便后续这组毛刷头6451继续作业。
[0046] 具体的，清灰部件647包括底板6471、吸尘斗6472、收集箱6473、风机6474、第一连接管6475、第二连接管6476和两个抖动件6477，底板6471安装在清理箱642的底端外壁上，吸尘斗6472安装在底板6471的顶部，收集箱6473和风机6474间隔设置在清理箱642的顶部，第一连接管6475的两端分别与风机6474的输入端和吸尘斗6472相连通，第二连接管6476的两端分别与风机6474的输出端和收集箱6473的内部顶端相连通，两个抖动件6477对称设置在清理箱642的底端外壁上；通过两个抖动件6477工作对伸出清理箱642的这组毛刷头6451进行抖动，这组毛刷头6451上粘附的灰尘等杂质随着抖动落入至吸尘斗6472中，同时风机6474工作吸取吸尘斗6472中收集的灰尘等杂质经过第一连接管6475和第二连接管6476进入至收集箱6473内收集，进而实现对毛刷头6451的自动清理，无需人工手动对其清理，自动化程度高，十分方便。
[0047] 具体的，每个抖动件6477均包括滑动杆6478、抖动板6479、固定块64791、固定座64792、第二滚轮64793、第二弹簧64794、安装架64795、驱动电机64796、第二凸轮64797和两个滑动套64798，两个滑动套64798间隔设置在清理箱642的底端外壁上，滑动杆6478滑动安装在两个滑动套64798上，抖动板6479安装在滑动杆6478的头端，固定块64791安装在滑动杆6478的尾端，固定座64792安装在固定块64791的外壁上，第二滚轮64793转动安装在固定座64792内，第二弹簧64794套设在滑动杆6478的外部，并且第二弹簧64794的两端分别与其中一个滑动套64798和固定块64791连接，安装架64795设置在清理箱642的底端外壁上，驱动电机64796水平设置在安装架64795的外壁上，第二凸轮64797安装在驱动电机64796的输出轴上，并且第二凸轮64797的一端与第二滚轮64793抵触；第二弹簧64794确保第二凸轮
64797的一端一直紧紧与第二滚轮64793抵触，驱动电机64796工作带动第二凸轮64797转动，第二凸轮64797利用第二滚轮64793带动滑动杆6478在两个滑动套64798上往复水平滑动一定距离，滑动杆6478带动抖动板6479往复水平移动一定距离，在抖动板6479往复移动的过程中实现对毛刷头6451的往复撞击接触，毛刷头6451实现抖动，毛刷头6451上粘附的灰尘等杂质随着抖动落入至吸尘斗6472中。
[0048] 具体的，分拣机构7包括龙门架71、第三丝杆滑台72、第二气缸73、分拣板74和两个存放组件75，龙门架71架设在测试桌1的顶部，第三丝杆滑台72水平设置在龙门架71的顶端，第二气缸73竖直设置在第三丝杆滑台72的移动端上，分拣板74安装在第二气缸73的输出端上，分拣板74的底部设有四个矩形分布的吸盘76，两个存放组件75对称设置在测试桌1的顶部；当第一丝杆滑台4工作带动测试框3移动至与分拣板74对应时，第二气缸73工作带动分拣板74向下移动，分拣板74带动四个吸盘76向下移动至对测试框3内的半导体晶片进行吸取，接着第二气缸73继续工作带动分拣板74向上移动一定距离，然后第三丝杆滑台72根据测试结果带动半导体晶片移动至对应存放组件75上方，最后第二气缸73和四个吸盘76配合工作将半导体晶片放入至对应的存放组件75中，其中一个存放组件75用于存放合格的半导体晶片，另一个存放组件75用于存放不合格的半导体晶片，实现根据测试结果对半导体晶片进行分类存放。
[0049] 具体的，每个存放组件75均包括存放箱77、存放板78和第二电动推杆79，存放箱77安装在测试桌1的顶部，存放板78滑动安装在存放箱77内，第二电动推杆79竖直设置在测试桌1的顶端，并且第二电动推杆79的输出端与存放板78的底部连接；通过第二电动推杆79工作带动存放板78在存放箱77中向上移动至合适的高度，随着存放板78上存放的半导体晶片越来越多，则第二电动推杆79继续工作带动存放板78缓慢向下移动，防止存放板78上存放的半导体晶片高度高出存放箱77的顶端。
[0050] 最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
