一种抛光盘及双面抛光机

摘要

本发明公开了一种抛光盘及双面抛光机，抛光盘包括依次连接的封装盘、冷却盘和工作盘，工作盘背离冷却盘的一侧形成为工作面，冷却盘朝向工作盘的一侧与工作盘限定出第一冷却腔，冷却盘朝向封装盘的一侧与封装盘限定出第二冷却腔，第一冷却腔和第二冷却腔独立设置，第一冷却腔内的冷却介质能够与第二冷却腔内的冷却介质换热。该抛光盘的冷却效果较好，在工作过程中，抛光盘的工作面能够均匀降温，提升抛光质量。

权利要求

1.一种抛光盘，其特征在于，包括依次连接的封装盘(100)、冷却盘(200)和工作盘(300)，所述工作盘(300)背离所述冷却盘(200)的一侧形成为工作面(310)，所述冷却盘(200)朝向所述工作盘(300)的一侧与所述工作盘(300)限定出第一冷却腔(210)，所述冷却盘(200)朝向所述封装盘(100)的一侧与所述封装盘(100)限定出第二冷却腔(220)，所述第一冷却腔(210)和所述第二冷却腔(220)独立设置，所述第一冷却腔(210)内的冷却介质能够与所述第二冷却腔(220)内的冷却介质换热；所述第二冷却腔(220)包括多个沿所述抛光盘的径向延伸的第二冷却流道(221)，且多个所述第二冷却流道(221)沿所述抛光盘的周向均匀间隔设置；

所述第二冷却腔(220)还包括：

进液槽(222)，所述进液槽(222)沿所述抛光盘的周向延伸设置，且所述进液槽(222)具有第二进口(2221)；

出液槽(223)，所述出液槽(223)沿所述抛光盘的周向延伸设置，且所述出液槽(223)具有第二出口(2231)；其中：每个所述第二冷却流道(221)沿所述抛光盘的径向的两端分别与所述进液槽(222)和所述出液槽(223)连通；

所述第二冷却流道(221)为特斯拉阀通道，所述特斯拉阀通道内冷却介质的正向流动方向为所述第二冷却流道(221)的进口朝向第二冷却流道(221)的出口方向。

2.根据权利要求1所述的抛光盘，其特征在于，所述第一冷却腔(210)包括至少一层沿所述抛光盘的周向延伸的第一冷却流道(211)。

3.根据权利要求2所述的抛光盘，其特征在于，所述第一冷却腔(210)的径向内侧具有第一进口(218)和第一出口(219)，所述第一冷却腔(210)内设有分隔件，所述分隔件用于分隔所述第一进口(218)和所述第一出口(219)，且将所述第一冷却腔(210)分隔为两个所述第一冷却流道(211)。

4.根据权利要求3所述的抛光盘，其特征在于，所述分隔件包括：

分隔筋(212)，所述分隔筋(212)连接于所述第一冷却腔(210)的径向内侧，且用于分隔所述第一进口(218)和第一出口(219)；

U型筋(213)，多个所述U型筋(213)沿所述抛光盘的周向依次排布以将所述第一冷却腔(210)分隔为两个所述第一冷却流道(211)；

分界导流筋(214)，所述分界导流筋(214)设在两个所述第一冷却流道(211)的交接处，以将位于径向内侧的所述第一冷却流道(211)的冷却介质导向位于径向外侧的所述第一冷却流道(211)。

5.根据权利要求4所述的抛光盘，其特征在于，所述分隔件包括：

第一导流筋(215)，所述第一导流筋(215)连接于所述第一冷却流道(211)的径向外侧壁上，且沿所述抛光盘的径向朝向两个所述U型筋(213)的连接处延伸设置；

第二导流筋(216)，所述第二导流筋(216)连接于所述U型筋(213)背离所述第一导流筋(215)的一侧，且与所述第一导流筋(215)对应设置；

第三导流筋(217)，所述第三导流筋(217)连接于所述第一冷却流道(211)的径向内侧壁上，且沿所述抛光盘的径向朝向所述U型筋(213)的波谷延伸设置。

6.根据权利要求1所述的抛光盘，其特征在于，所述封装盘(100)背离所述冷却盘(200)的一侧具有散热翅片。

7.根据权利要求1所述的抛光盘，其特征在于，所述冷却盘(200)的相对设置的两侧均设有密封槽(230)，所述密封槽(230)成对设置，所述第一冷却腔(210)和所述第二冷却腔(220)均形成在成对设置的两个所述密封槽(230)之间，所述密封槽(230)内安装有密封件(400)，以使得所述冷却盘(200)与所述工作盘(300)及所述封装盘(100)密封连接。

8.一种双面抛光机，其特征在于，包括驱动装置和如权利要求1‑7中任一项所述的抛光盘，所述驱动装置与所述抛光盘相连以驱动所述抛光盘转动。

说明书

一种抛光盘及双面抛光机

技术领域

[0001] 本发明涉及抛光设备技术领域，尤其涉及一种抛光盘及双面抛光机。

背景技术

[0002] 单双面抛光机主要用于碳化硅片、硅片、蓝宝石片、陶瓷片等硬脆材料的平行平面零件高精度加工。双面抛光机在加工过程中工件与抛盘工作面之间因机械摩擦和化学反应
会产生热量，抛盘表面温度会随着加工的进行逐步产生温升，抛盘工作面的温度与背面的
温度差逐步加大，导致盘面发生变形变得不平，进而影响工件的加工品质。因此必须严格控
制抛光盘的温度变化和形变。

[0003] 目前现有的双面抛光机有部分带有水冷结构，水冷结构包括冷却腔体以及导流筋，形成供冷却水流过的流道。现有的流道设计思想主要为：如何避免水走捷径，尽可能使
水充满腔体，从而充分冷却。因此，现有的流道设计一般具有较长的路径。然而，当同一流道
内的冷却水流经较长路径后再流出冷却腔时，由于充分吸收了工作面传导来的热量，因此，
冷却水流至流道后段时，温度会越来越高，这使得冷却腔内同时存在具有温差的冷却水，当
前后段的冷却水温差较大时，就会影响对抛光盘的整体冷却效果，不利于盘面均匀降温。

发明内容

[0004] 本发明的第一个目的在于提出一种抛光盘，该抛光盘的冷却效果较好，在工作过程中，抛光盘的工作面能够均匀降温，提升抛光质量。

[0005] 本发明的第二个目的在于提出一种双面抛光机，该双面抛光机的抛光板在攻错过程中能够均匀地实现降温，降低抛光盘的热变形，提升抛光质量。

[0006] 为实现上述技术效果，本发明的技术方案如下：

[0007] 本发明公开了一种抛光盘，包括依次连接的封装盘、冷却盘和工作盘，所述工作盘背离所述冷却盘的一侧形成为工作面，所述冷却盘朝向所述工作盘的一侧与所述工作盘限
定出第一冷却腔，所述冷却盘朝向所述封装盘的一侧与所述封装盘限定出第二冷却腔，第
一冷却腔和所述第二冷却腔独立设置，所述第一冷却腔内的冷却介质能够与所述第二冷却
腔内的冷却介质换热。

[0008] 在一些实施例中，所述第一冷却腔包括至少一层沿所述抛光盘的周向延伸的第一冷却流道，所述第二冷却腔包括多个沿所述抛光盘的径向延伸的第二冷却流道，多个所述
第二冷却流道沿所述抛光盘的周向均匀间隔设置。

[0009] 在一些具体的实施例中，所述第一冷却腔的径向内侧具有第一进口和第一出口，所述第一冷却腔内设有分隔件，所述分隔件用于分隔所述第一进口和所述第一出口，且将
所述第一冷却腔分隔为两个所述第一冷却流道。

[0010] 在一些更的实施例中，所述分隔件包括：分隔筋，所述分隔筋连接于所述第一冷却腔的径向内侧，且用于分隔所述第一进口和第一出口；U型筋，多个所述U型筋沿所述抛光盘
的周向依次排布以将所述第一冷却腔分隔为两个所述第一冷却流道；分界导流筋，所述分
界导流筋设在两个所述第一冷却流道的交接处，以将位于径向内侧的所述第一冷却流道的
冷却介质导向位于径向外侧的所述第一冷却流道。

[0011] 在一些可选的实施例中，所述分隔件包括：第一导流筋，所述第一导流筋连接于所述第一冷却流道的径向外侧壁上，且沿所述抛光盘的径向朝向两个所述U型筋的连接处延
伸设置；第二导流筋，所述第二导流筋连接于所述U型筋背离所述第一导流筋的一侧，且与
所述第一导流筋对应设置；第三导流筋，所述第三导流筋连接于所述第一冷却流道的径向
内侧壁上，且沿所述抛光盘的径向朝向所述U型筋的波谷延伸设置。

[0012] 在一些具体的实施例中，所述第二冷却腔还包括：进液槽，所述进液槽沿所述抛光盘的周向延伸设置，且所述进液槽具有第二进口；出液槽，所述出液槽沿所述抛光盘的周向
延伸设置，且所述出液槽具有第二出口；其中：每个所述第二冷却流道沿所述抛光盘的径向
的两端分别与所述进液槽和所述出液槽连通。

[0013] 在一些具体的实施例中，所述第二冷却流道为特斯拉阀通道，所述特斯拉阀通道内冷却介质的正向流动方向为所述第二冷却流道的进口朝向第二冷却流道的出口方向。

[0014] 在一些实施例中，所述封装盘背离所述冷却盘的一侧具有散热翅片。

[0015] 在一些实施例中，所述冷却盘的相对设置的两侧均设有密封槽，所述密封槽成对设置，所述第一冷却腔和所述第二冷却腔均形成在成对设置的两个所述密封槽之间，所述
密封槽内安装有密封件，以使得所述冷却盘与所述工作盘及所述封装盘密封连接。

[0016] 本发明还公开了一种双面抛光机，包括驱动装置和前文所述的抛光盘，所述驱动装置与所述抛光盘相连以驱动所述抛光盘转动。

[0017] 本发明的抛光盘的有益效果：在实际工作过程中，工作盘的温度会升高，冷却盘朝向工作盘的一侧设有第一冷却腔，第一冷却腔能够对工作盘进行快速冷却，并且由于冷却
盘还设有与第一冷却腔独立设置的第二冷却腔，第二冷却腔内的冷却介质能够与第一冷却
腔内的冷却介质换热，使得第一冷却腔内温度升高的冷却介质迅速降温，可以降低第一冷
却腔内冷却水的温差，使得第一冷却腔各处的冷却效率尽量保持一致，从而使得工作盘的
工作面能够均匀降温，提升抛光质量。

[0018] 本发明的双面抛光机的有益效果：该双面抛光机的抛光板在工作过程中能够均匀地实现降温，降低抛光盘的热变形，提升抛光质量。

[0019] 本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

[0020] 图1是本发明实施例的抛光盘的结构示意图；

[0021] 图2是本发明实施例的抛光盘的剖面图；

[0022] 图3是图2所示的结构局部放大图；

[0023] 图4是本发明实施例的冷却盘朝向工作盘一侧的结构示意图；

[0024] 图5是本发明实施例的冷却盘朝向封装盘一侧的结构示意图。

[0025] 附图标记：

[0026] 100、封装盘；

[0027] 200、冷却盘；210、第一冷却腔；211、第一冷却流道；212、分隔筋；213、U型筋；214、分界导流筋；215、第一导流筋；216、第二导流筋；217、第三导流筋；218、第一进口；219、第一
出口；220、第二冷却腔；221、第二冷却流道；222、进液槽；2221、第二进口；223、出液槽；
2231、第二出口；230、密封槽；

[0028] 300、工作盘；310、工作面；

[0029] 400、密封件。

具体实施方式

[0030] 为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

[0031] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必
须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

[0032] 此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本发明的描述中，除非另有说明，“多
个”的含义是两个或两个以上。

[0033] 在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可
以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是
两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本
发明中的具体含义。

[0034] 下面参考图1‑图5描述本发明实施例的抛光盘的具体结构。

[0035] 本发明公开了一种抛光盘，如图1‑图3所示，抛光盘包括依次连接的封装盘100、冷却盘200和工作盘300，工作盘300背离冷却盘200的一侧形成为工作面310，冷却盘200朝向
工作盘300的一侧与工作盘300限定出第一冷却腔210，冷却盘200朝向封装盘100的一侧与
封装盘100限定出第二冷却腔220，第一冷却腔210和第二冷却腔220独立设置，第一冷却腔
210内的冷却介质能够与第二冷却腔220内的冷却介质换热。可以理解的是，在实际工作过
程中，工作盘300的温度会升高，冷却盘200朝向工作盘300的一侧设有第一冷却腔210，第一
冷却腔210能够对工作盘300进行快速冷却，并且由于冷却盘200还设有与第一冷却腔210独
立设置的第二冷却腔220，第二冷却腔220内的冷却介质能够与第一冷却腔210内的冷却介
质换热，使得第一冷却腔210内温度升高的冷却介质迅速降温，可以降低第一冷却腔210内
冷却水的温差，使得第一冷却腔210各处的冷却效率尽量保持一致，从而使得工作盘300的
工作面310能够均匀降温，提升抛光质量。

[0036] 可选的，在本发明的具体实施例中，第一冷却腔210内的冷却介质可以是冷却水，冷却水能够较好地对工作盘300进行降温，第二冷却腔220内的冷却介质可以是相变冷却介
质。相变冷却介质能够快速地降低第一冷却腔210内的冷却介质的温度，从而确保工作盘
300的工作面310能够均匀降温，提升抛光质量。

[0037] 可选的，冷却盘200、工作盘300以及封装盘100之间的连接方式可以根据实际需要选择，可以选择螺钉等连接件连接，也可以直接焊接或者采用其他方式进行连接。

[0038] 在一些实施例中，如图4‑图5所示，第一冷却腔210包括至少一层沿抛光盘的周向延伸的第一冷却流道211，第二冷却腔220包括多个沿抛光盘的径向延伸的第二冷却流道
221。可以理解的是，第一冷却腔210包括至少一层沿抛光盘的周向延伸的第一冷却流道
211，使得第一冷却腔210内使冷却介质的流动路径尽量延长，以使冷却介质与工作盘300充
分接触进行热交换，从而提升对工作盘300的冷却效果。第二冷却腔220包括多个沿抛光盘
的径向延伸的第二冷却流道221，能够确保多个第二冷却流道221对第一冷却腔210的均匀
降温，从而间接提升对工作盘300的冷却效果。

[0039] 在一些具体的实施例中，如图5所示，多个第二冷却流道221沿抛光盘的周向均匀间隔设置。由此，能够确保多个第二冷却流道221对第一冷却腔210的均匀降温，从而间接提
升对工作盘300的冷却效果。

[0040] 在一些具体的实施例中，如图4所示，第一冷却腔210的径向内侧具有第一进口218和第一出口219，第一冷却腔210内设有分隔件，分隔件用于分隔第一进口218和第一出口
219，且将第一冷却腔210分隔为两个第一冷却流道211。可以理解的是，分隔件将第一冷却
腔210分隔为两个第一冷却流道211，使得第一冷却腔210内使冷却介质的流动路径尽量延
长，以使冷却介质与工作盘300充分接触进行热交换，从而提升对工作盘300的冷却效果。

[0041] 在一些更具体的实施例中，如图4所示，分隔件包括分隔筋212、U型筋213以及分界导流筋214，分隔筋212连接于第一冷却腔210的径向内侧，且用于分隔第一进口218和第一
出口219，多个U型筋213沿抛光盘的周向依次排布以将第一冷却腔210分隔为两个第一冷却
流道211，分界导流筋214设在两个第一冷却流道211的交接处，以将位于径向内侧的第一冷
却流道211的冷却介质导向位于径向外侧的第一冷却流道211。可以理解的是，分隔筋212能
够避免冷却结构从第一进口218流入后直接从第一出口219流出，从而保证了冷却介质在第
一冷却腔210内的流动路径，有利于确保第一冷却腔210的有益效果。U型筋213能够的是第
一冷却流道211具有多个拐弯，延长了第一冷却流道211的长度，有利于提升第一冷却腔210
的有益效果。分界导流筋214能够方便冷却介质从位于径向内侧的第一冷却流道211的冷却
介质流向位于径向外侧的第一冷却流道211，从而间接地保证了冷却效果。

[0042] 在一些可选的实施例中，如图4所示，分隔件包括第一导流筋215、第二导流筋216和第三导流筋217，第一导流筋215连接于第一冷却流道211的径向外侧壁上，且沿抛光盘的
径向朝向两个U型筋213的连接处延伸设置，第二导流筋216连接于U型筋213背离第一导流
筋215的一侧，且与第一导流筋215对应设置，第三导流筋217连接于第一冷却流道211的径
向内侧壁上，且沿抛光盘的径向朝向U型筋213的波谷延伸设置。可以理解的是，在实际工作
过程中，增设的第一导流筋215能够将两个U型筋213之间的空间分隔成两端，延长第一冷却
流道211的长度；增设的第二导流筋216能够将U型筋213的波谷与第一冷却腔210的径向内
侧的侧壁之间的空间分隔成两段，延长第一冷却流道211的长度，增设的第三导流筋217能
够将U型筋213的波谷空间分隔成两段，延长第一冷却流道211的长度。由此，增设的第一导
流筋215、第二导流筋216以及第三导流筋217均能够延长第一冷却流道211的长度，使得冷
却介质在第一冷却腔210内的流动路径更长，从而提升对第一冷却腔210对工作盘300的冷
却效果。

[0043] 在一些具体的实施例中，如图5所示，第二冷却腔220还包括进液槽222和出液槽223，进液槽222沿抛光盘的周向延伸设置，且进液槽222具有第二进口2221，出液槽223沿抛
光盘的周向延伸设置，且出液槽223具有第二出口2231，每个第二冷却流道221沿抛光盘的
径向的两端分别与进液槽222和出液槽223连通。可以理解的是，在实际工作过程中，由于多
个第二冷却流道221沿抛光盘的周向均匀间隔设置，进液槽222和出液槽223均形成为环形
槽，能够确保冷却介质从第二进口2221流入后较为均匀地流向多个第二冷却流道221，实现
对第一冷却腔210的均匀降温，间接确保第一冷却腔210对工作盘300的冷却效果。多个第二
冷却流道221内的冷却介质汇集到出液槽223后流出，能够方便冷却介质在外部冷源与第二
冷却腔220之间循环往复。

[0044] 在一些更具体的实施例中，第二冷却流道221为特斯拉阀通道，特斯拉阀通道内冷却介质的正向流动方向为第二冷却流道221的进口朝向第二冷却流道221的出口方向。可以
理解的是，特斯拉阀通道具有正向加速，反向截止的单向阀功能，将冷却介质从第二冷却流
道221的进口流向第二冷却流道221出口时可以加速通过，从而加速第一冷却腔210与第二
冷却腔220的换热效率。

[0045] 可选的，每个特斯拉阀通道的具体结构可根据第二进口2221和第二出口2231方向进行适应性调整，例如当特斯拉阀通道的第二进口2221位于抛光盘的径向内侧且第二出口
2231位于抛光盘的径向外侧时，由于径向外侧的空间明显大于径向内侧的空间，而特斯拉
阀通道沿抛光盘的径向延伸布置，因此，为了使第二冷却腔220内尽可能均匀地分布冷却介
质，可以将特斯拉阀通道的流道宽度设计为由进到出逐渐变宽的结构。

[0046] 可选的，在第二冷却流道221的进口朝向第二冷却流道221的出口方向上，每个特斯拉阀通道的宽度逐渐增大。由此，能够使得使第二冷却腔220内尽可能均匀地分布冷却介
质。

[0047] 在一些实施例中，如图4‑图5所示，冷却盘200的相对设置的两侧均设有密封槽230，密封槽230成对设置，第一冷却腔210和第二冷却腔220均形成在成对设置的两个密封
槽230之间，密封槽230内安装有密封件400，以使得冷却盘200与工作盘300及封装盘100密
封连接。由此，第一冷却腔210和第二冷却腔220位于成对设置的两个密封件400之间，能够
确保冷却盘200与工作盘300及封装盘100的连接密封性，避免第一冷却腔210和第二冷却腔
220内的冷却介质发生泄露，从而保证冷却效果。

[0048] 这里需要补充说明的是，在本发明的实施例中，密封件400可以根据实际需要选择密封圈、O型圈等结构，在此不对密封件400的具体型号以及材质做出限定。

[0049] 实施例：

[0050] 下面参考图1‑图5描述本发明一个具体实施例的抛光盘。

[0051] 如图1‑图5所示，抛光盘包括依次连接的封装盘100、冷却盘200和工作盘300，工作盘300背离冷却盘200的一侧形成为工作面310，冷却盘200朝向工作盘300的一侧与工作盘
300限定出第一冷却腔210，冷却盘200朝向封装盘100的一侧与封装盘100限定出第二冷却
腔220。冷却盘200的相对设置的两侧均设有密封槽230，密封槽230成对设置，第一冷却腔
210和第二冷却腔220均形成在成对设置的两个密封槽230之间，密封槽230内安装有密封件
400。第一冷却腔210的径向内侧具有第一进口218和第一出口219，第一冷却腔210内设有分
隔件，分隔件用于分隔第一进口218和第一出口219，且将第一冷却腔210分隔为两个第一冷
却流道211。分隔件包括分隔筋212、U型筋213、分界导流筋214、第一导流筋215、第二导流筋
216和第三导流筋217，分隔筋212连接于第一冷却腔210的径向内侧，且用于分隔第一进口
218和第一出口219，多个U型筋213沿抛光盘的周向依次排布以将第一冷却腔210分隔为两
个第一冷却流道211，分界导流筋214设在两个第一冷却流道211的交接处，以将位于径向内
侧的第一冷却流道211的冷却介质导向位于径向外侧的第一冷却流道211。第一导流筋215
连接于第一冷却流道211的径向外侧壁上，且沿抛光盘的径向朝向两个U型筋213的连接处
延伸设置，第二导流筋216连接于U型筋213背离第一导流筋215的一侧，且与第一导流筋215
对应设置，第三导流筋217连接于第一冷却流道211的径向内侧壁上，且沿抛光盘的径向朝
向U型筋213的波谷延伸设置。

[0052] 第二冷却腔220包括多个沿抛光盘的径向延伸的第二冷却流道221、进液槽222和出液槽223，多个第二冷却流道221沿抛光盘的周向均匀间隔设置。进液槽222沿抛光盘的周
向延伸设置，且进液槽222具有第二进口2221，出液槽223沿抛光盘的周向延伸设置，且出液
槽223具有第二出口2231，每个第二冷却流道221沿抛光盘的径向的两端分别与进液槽222
和出液槽223连通。进液槽222位于出液槽223的径向内侧，每个第二冷却流道221均为特斯
拉阀通道。

[0053] 需要说明的是，本实施例的第一冷却腔210通入的冷却介质由冷热恒温一体机供给，根据实际工艺情况，通入冷水或热水，水的温度可在线实时调节，工作盘300上可以增设
温度检测装置，根据实际工况情况，在线动态调节冷却水的温度，以及调节第二冷却腔220
内冷却介质的流量，保证第一冷却腔210内冷却水保持在相对稳定的范围内，进而保证工作
盘300温度的恒定。

[0054] 此外，第一冷却腔210和第二冷却腔220分别采用两路不同的冷却介质循环系统，每个系统的流量控制和温度控制也不同，可以根据抛光加工的不同工况及不同阶段来调节
特斯拉阀通道内的冷却介质的流速及温度，从而适应性地保证第一冷却腔210的冷却能力
处于稳定状态。

[0055] 实际的控制策略可以如下：

[0056] 加工前的预热：控制特斯拉阀通道不通入冷却介质或通入温度较高的冷却介质；和/或，第一冷却腔210内也可以通入温度较高的冷却介质，以使工作盘300快速预热；

[0057] 加工过程中的冷却：加工开始后随着工作盘300温度上升，实时监测工作盘300的温度，控制特斯拉阀通道内的冷却介质流量与工作盘300的温度成正比，或呈一定正相关关
系，直至加工结束。另外，还可以根据工作盘300不同区域的不同温度，具体控制对应的特斯
拉阀通道的流量大小，实现精准控制。

[0058] 本实施例的抛光盘的优点如下：

[0059] 第一：采用双层冷却腔体结构，可以利用特斯拉阀通道快速带走第一冷却腔210内的冷却介质的热量，从而使第一冷却腔210温度相对稳定，提高冷却效率，减少工作盘300形
变；

[0060] 第二：第一冷却腔210和第二冷却腔220采用两套单独的冷却介质循环，可进一步实现精准控制，确保对工作盘300的冷却效果，保证工作盘300的温度一致性，从而保证抛光
质量。

[0061] 本发明还公开了一种双面抛光机，包括驱动装置和前文的抛光盘，驱动装置与抛光盘相连以驱动抛光盘转动。该双面抛光机的抛光板在攻错过程中能够均匀地实现降温，
降低抛光盘的热变形，提升抛光质量。

[0062] 在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或
示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而
且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适
的方式结合。

[0063] 以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明
的限制。