晶圆探针台

摘要

本申请提供了一种晶圆探针台。晶圆探针台包括：物料盒，物料盒包括多个卡槽，单个卡槽用于收容单个晶圆；机械臂，机械臂包括第一子臂及第二子臂，第一子臂用于从物料盒内取出晶圆，第二子臂用于向物料盒放置晶圆；相机，相机设置于物料盒邻近机械臂的一侧，相机与机械臂沿第一方向间隔排布，且相机用于扫描物料盒并输出图像信息；及支撑组件，支撑组件包括基板及第一传动件，基板沿第一方向进行延伸，基板与物料盒相对设置，第一传动件连接于基板，第一传动件还传动于机械臂及相机，第一传动件在传动过程中能够带动机械臂及相机沿第一方向进行往复运动，有效降低晶圆探针台内部结构的复杂性，并提升晶圆探针台的内部空间利用效率。

权利要求

1.一种晶圆探针台，其特征在于，所述晶圆探针台包括：

物料盒，所述物料盒用于收容晶圆，所述物料盒具有沿第一方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个晶圆；

机械臂，所述机械臂包括第一子臂及第二子臂，所述第一子臂用于从所述物料盒内取出晶圆，所述第二子臂用于向所述物料盒放置晶圆；

相机，所述相机设置于所述物料盒邻近所述机械臂的一侧，所述相机与所述机械臂沿所述第一方向间隔排布，且所述相机用于扫描所述物料盒并输出图像信息，所述图像信息用于反馈物料盒内晶圆的数量及尺寸；

支撑组件，所述支撑组件包括基板及第一传动件，所述基板沿所述第一方向进行延伸，所述基板与所述物料盒相对设置，所述第一传动件连接于所述基板，所述第一传动件还包括传动杆、移动块及移动板，所述第一传动件还传动于所述机械臂及所述相机，所述第一传动件在传动过程中能够带动所述机械臂及所述相机沿所述第一方向进行往复运动；

第一连接组件，所述移动板通过所述第一连接组件连接于所述相机，所述第一连接组件包括第一固定板及第二传动件，所述第一固定板用于承载所述相机，所述第二传动件承载于所述第一固定板，所述第二传动件传动连接于所述相机，所述第二传动件在传动过程中能够带动所述相机沿第二方向进行往复运动，所述第二方向为所述物料盒与所述支撑组件的排布方向，且所述第二方向垂直于所述第一方向；及第二连接组件，所述移动板通过所述第二连接组件连接于所述机械臂，所述第二连接组件包括第二固定板及第三传动件，所述第二固定板用于固定所述机械臂，所述第三传动件连接于所述第二固定板，所述第三传动件在传动过程中能够带动所述第二固定板及所述机械臂沿第二方向进行往复运动，且所述机械臂与所述相机沿所述第二方向的运动为彼此独立；

其中，当所述相机沿所述第二方向进行往复运动时，所述相机具有第一运动位置及第二运动位置，所述第二运动位置相较于所述第一运动位置背离于所述物料盒，且所述相机在所述第一运动位置对所述物料盒具有第一扫描范围，所述相机在所述第二运动位置对所述物料盒具有第二扫描范围，所述第二扫描范围大于所述第一扫描范围。

2.如权利要求1所述的晶圆探针台，其特征在于，所述第一传动件包括沿所述第一方向间隔排布的第一支座及第二支座，所述传动杆沿所述第一方向进行延伸，且所述传动杆的一端连接于所述第一支座，所述传动杆的另一端连接于所述第二支座，所述移动块传动连接于所述传动杆，所述移动板的一端固定连接于所述移动块，所述移动板的另一端固定连接于所述机械臂及所述相机；

当所述传动杆工作运行时，所述移动块能够沿所述第一方向进行往复运动，并带动所述移动板沿所述第一方向进行往复运动，所述移动板能够通过带动所述相机沿所述第一方向进行往复运动，所述移动板还能够带动所述机械臂沿所述第一方向进行往复运动。

3.如权利要求1所述的晶圆探针台，其特征在于，所述第一运动位置及所述第二运动位置之间具有距离范围D1，所述距离范围D1满足：D1≤60mm。

4.如权利要求1所述的晶圆探针台，其特征在于，所述第二固定板包括第一子板及第二子板，所述第三传动件包括第一子传动件及第二子传动件；

所述第一子板用于固定所述第一子臂，所述第一子传动件传动连接于所述第一子板，且所述第一子传动件在传动过程中能够带动所述第一子板及所述第一子臂沿第二方向进行往复运动；

所述第二子板用于固定所述第二子臂，所述第二子传动件传动连接于所述第二子板，且所述第二子传动件在传动过程中能够带动所述第二子板及所述第二子臂沿第二方向进行往复运动。

5.如权利要求1所述的晶圆探针台，其特征在于，所述第二连接组件还包括旋转平台，所述旋转平台承载所述机械臂，并能够带动所述机械臂进行旋转运动。

6.如权利要求1所述的晶圆探针台，其特征在于，所述移动板具有弯折相连的第一表面及第二表面，所述第一表面与所述物料盒为相对设置，所述第二表面相较于所述第一表面背离于所述物料盒；

所述第一连接组件还包括支架，所述支架的一端抵接于所述移动板的第二表面，所述支架的另一端用于支撑所述第一固定板，所述第二连接组件包括加强板，所述加强板的一端抵接于所述移动板的第一表面，所述加强板的另一端连接于所述机械臂。

7.如权利要求6所述的晶圆探针台，其特征在于，所述晶圆探针台包括控制器及电机组件，所述控制器电连接于所述电机组件并用于控制所述电机组件的工作运行，所述电机组件包括：第一子电机，所述第一子电机连接于所述第一传动件，并驱动所述第一传动件进行传动运行；

第二子电机，所述第二子电机连接于所述第二传动件，并驱动所述第二传动件进行传动运行；及

第三子电机，所述第三子电机连接于所述第三传动件，并驱动所述第三传动件进行传动运行。

8.如权利要求7所述的晶圆探针台，其特征在于，所述晶圆探针台还包括传感组件，所述传感组件包括：第一传感器，第一传感器用于检测所述机械臂及所述相机沿所述第一方向的运动位置并得到第一位置信息，所述第一传感器电连接于所述控制器并将所述第一位置信息反馈至所述控制器，所述控制器根据所述第一位置信息控制所述第一子电机的工作运行；

第二传感器，第二传感器用于检测所述相机沿所述第二方向的运动位置并得到第二位置信息，所述第二传感器电连接于所述控制器并将所述第二位置信息反馈至所述控制器，所述控制器根据所述第二位置信息控制所述第二子电机的工作运行；及第三传感器，第三传感器用于检测机械臂沿所述第二方向的运动位置并得到第三位置信息，所述第三传感器电连接于所述控制器并将所述第三位置信息反馈至所述控制器，所述控制器根据所述第三位置信息控制所述第三子电机的工作运行。

说明书

晶圆探针台

技术领域

[0001] 本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其涉及一种晶圆探针台。

背景技术

[0002] 晶圆探针台是半导体行业重要的检测装备之一，其广泛应用于复杂、 高速器件的精密电气测量。晶圆探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在晶圆上，从而可以与测试仪器及半导体测试系统配合来检测晶圆表面缺陷。

[0003] 晶圆探针台通常利用物料盒来存放晶圆，并通过扫片结构来判断物料盒内的晶圆的存放情况，以及通过机械臂来运送晶圆。然而，现有的扫片结构和机械臂分别连接于不同的支撑轴并分别通过不同的电机进行驱动，导致晶圆探针台尺寸较大、结构复杂且内部空间不够紧凑。

发明内容

[0004] 鉴于此，本申请提供一种晶圆探针台，以提升所述晶圆探针台的内部空间利用效率。

[0005] 第一方面，本申请提供一种晶圆探针台，所述晶圆探针台包括：

[0006] 物料盒，所述物料盒用于收容晶圆，所述物料盒包括沿第一方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个晶圆；

[0007] 机械臂，所述机械臂包括第一子臂及第二子臂，所述第一子臂用于从所述物料盒内取出晶圆，所述第二子臂用于向所述物料盒放置晶圆；

[0008] 相机，所述相机设置于所述物料盒邻近所述机械臂的一侧，所述相机与所述机械臂沿所述第一方向间隔排布，且所述相机用于扫描所述物料盒并输出图像信息，所述图像信息用于反馈物料盒内晶圆的数量及尺寸；及

[0009] 支撑组件，所述支撑组件包括基板及第一传动件，所述基板沿所述第一方向进行延伸，所述基板与所述物料盒相对设置，所述第一传动件连接于所述基板，所述第一传动件还传动于所述机械臂及所述相机，所述第一传动件在传动过程中能够带动所述机械臂及所述相机沿所述第一方向进行往复运动。

[0010] 其中，所述第一传动件包括沿所述第一方向间隔排布的第一支座及第二支座，所述第一传动件还包括传动杆、移动块及移动板，所述传动杆沿所述第一方向进行延伸，且所述传动杆的一端连接于所述第一支座，所述传动杆的另一端连接于所述第二支座，所述移动块传动连接于所述传动杆，所述移动板的一端固定连接于所述移动块，所述移动板的另一端固定连接于所述机械臂及所述相机；

[0011] 当所述传动杆工作运行时，所述移动块能够沿所述第一方向进行往复运动，并带动所述移动板沿所述第一方向进行往复运动，所述移动板能够通过带动所述相机沿所述第一方向进行往复运动，所述移动板还能够带动所述机械臂沿所述第一方向进行往复运动。

[0012] 其中，所述晶圆探针台还包括第一连接组件，所述移动板通过所述第一连接组件连接于所述相机，所述第一连接组件包括：

[0013] 第一固定板，所述第一固定板用于承载所述相机；及

[0014] 第二传动件，所述第二传动件承载于所述第一固定板，所述第二传动件传动连接于所述相机，所述第二传动件在传动过程中能够带动所述相机沿第二方向进行往复运动，所述第二方向为所述物料盒与所述支撑组件的排布方向，且所述第二方向垂直于所述第一方向。

[0015] 其中，当所述相机沿所述第二方向进行往复运动时，所述相机具有第一运动位置及第二运动位置，所述第二运动位置相较于所述第一运动位置背离于所述物料盒，且所述相机在所述第一运动位置对所述物料盒具有第一扫描范围，所述相机在所述第二运动位置对所述物料盒具有第二扫描范围，所述第二扫描范围大于所述第一扫描范围；

[0016] 其中，所述第一运动位置及所述第二运动位置之间具有距离范围D1，所述距离范围D1满足：D1≤60mm。

[0017] 其中，所述晶圆探针台还包括第二连接组件，所述移动板通过所述第二连接组件连接于所述机械臂，所述第二连接组件包括：

[0018] 第二固定板，所述第二固定板用于固定所述机械臂；及

[0019] 第三传动件，所述第三传动件传动连接于所述第二固定板，所述第三传动件在传动过程中能够带动所述第二固定板及所述机械臂沿第二方向进行往复运动。

[0020] 其中，所述第二固定板包括第一子板及第二子板，所述第三传动件包括第一子传动件及第二子传动件；

[0021] 所述第一子板用于固定所述第一子臂，所述第一子传动件传动连接于所述第一子板，且所述第一子传动件在传动过程中能够带动所述第一子板及所述第一子臂沿第二方向进行往复运动；

[0022] 所述第二子板用于固定所述第二子臂，所述第二子传动件传动连接于所述第二子板，且所述第二子传动件在传动过程中能够带动所述第二子板及所述第二子臂沿第二方向进行往复运动。

[0023] 其中，所述第二连接组件还包括旋转平台，所述旋转平台承载所述机械臂，并能够带动所述机械臂进行旋转运动。

[0024] 其中，所述移动板具有弯折相连的第一表面及第二表面，所述第一表面与所述物料盒为相对设置，所述第二表面相较于所述第一表面背离于所述物料盒；

[0025] 所述第一连接组件还包括支架，所述支架的一端抵接于所述移动板的第二表面，所述支架的另一端用于支撑所述第一固定板，所述第二连接组件包括加强板，所述加强板的一端抵接于所述移动板的第一表面，所述加强板的另一端连接于所述机械臂。

[0026] 其中，所述晶圆探针台包括控制器及电机组件，所述控制器电连接于所述电机组件并用于控制所述电机组件的工作运行，所述电机组件包括：

[0027] 第一子电机，所述第一子电机连接于所述第一传动件，并驱动所述第一传动件进行传动运行；

[0028] 第二子电机，所述第二子电机连接于所述第二传动件，并驱动所述第二传动件进行传动运行；及

[0029] 第三子电机，所述第三子电机连接于所述第三传动件，并驱动所述第三传动件进行传动运行。

[0030] 其中，所述晶圆探针台还包括传感组件，所述传感组件包括：

[0031] 第一传感器，第一传感器用于检测所述机械臂及所述相机沿所述第一方向的运动位置并得到第一位置信息，所述第一传感器电连接于所述控制器并将所述第一位置信息反馈至所述控制器，所述控制器根据所述第一位置信息控制所述第一子电机的工作运行；

[0032] 第二传感器，第二传感器用于检测所述相机沿所述第二方向的运动位置并得到第二位置信息，所述第二传感器电连接于所述控制器并将所述第二位置信息反馈至所述控制器，所述控制器根据所述第二位置信息控制所述第二子电机的工作运行；及

[0033] 第三传感器，第三传感器用于检测机械臂沿所述第二方向的运动位置并得到第三位置信息，所述第三传感器电连接于所述控制器并将所述第三位置信息反馈至所述控制器，所述控制器根据所述第三位置信息控制所述第三子电机的工作运行。

[0034] 本申请提供的晶圆探针台包括物料盒、机械臂、相机及支撑组件。所述机械臂包括第一子臂及第二子臂，所述第一子臂用于从所述物料盒内取出晶圆，所述第二子臂用于向所述物料盒放置晶圆，所述第一子臂及所述第二子臂可以分别进行晶圆的取出和放置过程，从而提升晶圆的装卸效率。所述相机用于扫描所述物料盒并输出图像信息，所述图像信息用于反馈物料盒内晶圆的数量及尺寸，相较于传统的采用激光对射传感器而言，所述相机还可以具有更多的视角并兼容多种尺寸规格的晶圆，从而确保所述晶圆探针台的可靠性。所述支撑组件中的第一传动件在传动过程中能够同时带动所述机械臂及所述相机沿所述第一方向进行往复运动，从而在机械臂装卸晶圆的过程中所述相机可以对物料盒内的晶圆放置情况进行实时检测。且所述相机及所述机械臂共用所述第一传动件，可以有效简化所述晶圆探针台内部结构的复杂性，使得所述晶圆探针台的尺寸可以得到优化，且所述晶圆探针台的内部空间利用效率得到了大幅度的提升。

附图说明

[0035] 为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0036] 图1为本申请实施例的晶圆探针台的内部结构示意图；

[0037] 图2为本申请一实施例的晶圆探针台的部分结构示意图；

[0038] 图3是本申请实施例的物料盒的结构示意图；

[0039] 图4是本申请实施例的支撑组件的结构示意图；

[0040] 图5是图1中提供的晶圆探针台在a处的局部放大结构示意图；

[0041] 图6是本申请另一实施例的晶圆探针台的部分结构示意图；

[0042] 图7是本申请一实施例的相机及第一连接组件的结构示意图；

[0043] 图8是本申请另一实施例的相机及第一连接组件的结构示意图；

[0044] 图9是本申请一实施例的机械臂及第二连接组件的结构示意图；

[0045] 图10是本申请另一实施例的机械臂及第二连接组件的结构示意图；

[0046] 图11是图6中提供的晶圆探针台在b处的局部放大结构示意图；

[0047] 图12是图6中提供的晶圆探针台在c处的局部放大结构示意图。

[0048] 附图标记说明：

[0049] 1‑晶圆探针台，10‑物料盒，20‑机械臂，30‑相机，40‑支撑组件，50‑第一连接组件，60‑第二连接组件，70‑电机组件，11‑卡槽，12‑晶圆，21‑第一子臂，22‑第二子臂，31‑环形光源，32‑镜头，33‑数字相机主体，41‑基板，42‑第一传动件，51‑第一固定板，52‑第二传动件，
53‑支架，61‑第二固定板，62‑第三传动件，63‑旋转平台，64‑加强板，71‑第一子电机，72‑第二子电机，73‑第三子电机，81‑第一传感器，82‑第二传感器，83‑第三传感器，411‑滑轨，
412‑滑块，421‑第一支座，422‑第二支座，423‑传动杆，424‑移动块，425‑移动板，521‑丝杆，
522‑丝杆座，523‑平移支座，524‑滚动轴承，525‑轴承端座，611‑第一子板，612‑第二子板，
621‑第一子传动件，622‑第二子传动件，711‑第一同步带，721‑第二同步带，811‑第一感应片，821‑第二感应片，831‑第三感应片，4251‑第一表面，4252‑第二表面。

具体实施方式

[0050] 下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

[0051] 本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

[0052] 在本文中提及“实施例”或“实施方式”意味着，结合实施例或实施方式描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

[0053] 在介绍本申请的技术方案之前，再详细介绍下相关技术中的技术问题。

[0054] 晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求，一般是要求高效准确，能够捕捉有效缺陷，实现实时检测。

[0055] 晶圆探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在晶圆上，从而可以与测试仪器及半导体测试系统配合来检测晶圆表面缺陷。晶圆探针台通常利用物料盒来存放晶圆，并通过扫片结构来判断物料盒内的晶圆的存放情况，观察是否存在物料盒中一个夹层放置多个晶圆及每层晶圆有多厚的情况，晶圆探针台还通过机械臂来运送晶圆。

[0056] 然而，现有的扫片结构，例如采用激光对射传感器来对晶圆的存放情况进行判断，其在工作过程中需要向外伸出，且适用的晶圆尺寸范围较少，对于大尺寸的晶圆，可能会发生干涉的问题，导致无法兼容于多种不同尺寸规格晶圆的观察检测。

[0057] 并且，现有的扫片结构和机械臂分别连接于两个不同的支撑轴，且需要两个电机进行驱动，导致晶圆探针台尺寸较大、结构复杂且内部空间不够紧凑。

[0058] 鉴于此，为解决上述问题，本申请提供了一种晶圆探针台1。所述晶圆探针台1包括但不仅限于集成有电学、光波、微波等测试功能。且所述晶圆探针台1可以为但不仅限于为半自动晶圆探针台、或全自动晶圆探针台、或其他类型的探针台等。

[0059] 可选地，所述晶圆探针台1包括控制/测试软件、载物台（Chuck）控制系统、探针测试系统、视/光学组件、屏蔽组件及隔震系统等部分。可选地，所述晶圆探针台1可对晶圆（Wafer）或其他元器件进行I‑V、C‑V、光信号、RF、1/F噪声等特性分析。

[0060] 具体地，所述晶圆探针台1在工作过程中，可以通过探针或探针卡点测晶圆样品的引脚（pad），通过连接测试仪器加载和测量电学信号，并在软件端对电学信号进行控制、判断与存储，并将判断信息反馈至喷墨系统，对晶圆上的次品晶粒（die）进行打点标记。在一个次品晶粒（die）测试完成后，通过软件控制系统将载物台（Chuck）机械平台移动至下一个待测晶粒（die），依次进行循环测试。

[0061] 所述晶圆探针台1可以为但不仅限于为对尺寸规格为12寸、或8寸、或6寸、或其他尺寸的晶圆进行检测。可选地，所述晶圆探针台1还可以为硅（Si）、氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）等各类材质构成的芯片进行性能测试。

[0062] 所述晶圆探针台1可以为但不仅限于为适用于晶圆、或微机电系统（Micro‑Electro‑Mechanical System，MEMS）、或生物结构、或光电器件、或发光二极管（Light Emitting Diode，LED）、或液晶显示屏幕（Liquid Crystal Display，LCD）、或太阳能电池的探测。

[0063] 可选地，所述晶圆探针台1的工作温度为‑60℃ 300℃。进一步可选地，所述晶圆探~针台1还可以加载温控系统，来满足于高低温环境下的性能测试要求。

[0064] 请参阅图1、图2及图3，图1为本申请实施例的晶圆探针台的内部结构示意图，图2为本申请一实施例的晶圆探针台的部分结构示意图，图3是本申请实施例的物料盒的结构示意图。所述晶圆探针台1包括物料盒10、机械臂20、相机30及支撑组件40。所述物料盒10用于收容晶圆12，所述物料盒10具有沿第一方向Z依次间隔排布的多个卡槽11，单个卡槽11用于收容单个晶圆12。所述机械臂20包括第一子臂21及第二子臂22，所述第一子臂21用于从所述物料盒10内取出晶圆12，所述第二子臂22用于向所述物料盒10放置晶圆12。所述相机30设置于所述物料盒10邻近所述机械臂20的一侧，所述相机30与所述机械臂20沿所述第一方向Z间隔排布，且所述相机30用于扫描所述物料盒10并输出图像信息，所述图像信息用于反馈物料盒10内晶圆12的数量及尺寸。所述支撑组件40包括基板41及第一传动件42，所述基板41沿所述第一方向Z进行延伸，所述基板41与所述物料盒10相对设置，所述第一传动件
42连接于所述基板41，所述第一传动件42还传动于所述机械臂20及所述相机30，所述第一传动件42在传动过程中能够带动所述机械臂20及所述相机30沿所述第一方向Z进行往复运动。

[0065] 所述物料盒10可以为但不仅限于适用于装载尺寸规格为4寸、或5寸、或6寸、或8寸、或12寸的晶圆12。

[0066] 可选地，所述物料盒10可用于收容多个晶圆12，所述物料盒10的单个卡槽11可用于收容单个晶圆12，且任意两个相邻的卡槽11的间隔距离为相等或大致相等。

[0067] 在本申请术语中，“多个”指大于或等于两个，可以为两个、三个、四个或五个等。

[0068] 可选地，所述第一子臂21用于从所述物料盒10内取出晶圆12并运送至检测平台，所述第二子臂22用于向所述物料盒10放置待检测晶圆12。可选地，所述第一子臂21及所述第二子臂22可以同时进行晶圆12的运输工作，即在所述第一子臂21运送晶圆12的过程中，所述第二子臂22也可以在运输晶圆12，从而提升晶圆12的装卸效率。

[0069] 可选地，所述相机30可以对所述物料盒10进行拍照或实时扫描，即所述相机30可以对物料盒10及存放与物料盒10内的晶圆12进行光学影像识别，并输出图像信息，所述图像信息可以反馈晶圆12的数量及尺寸。例如，所述相机30可以用于观察是否存在物料盒10中一个卡槽11放置多个晶圆12的情形及观察每层晶圆12的厚度，并对物料盒10内的晶圆12放置情况进行反馈。且相较于传统的采用激光对射传感器而言，所述相机30还可以具有更多的视角并兼容多种尺寸规格的晶圆12，从而确保所述晶圆探针台1的可靠性。

[0070] 可选地，所述相机30与所述机械臂20设置于所述物料盒10的同一侧，从而提升所述晶圆探针台1的内部空间利用效率。可选地，所述相机30与所述机械臂20还沿所述第一方向Z间隔排布，从而避免所述相机30与所述机械臂20产生干涉的情形。

[0071] 可选地，所述基板41与所述物料盒10相对设置，换言之，所述基板41沿垂直于所述第一方向Z的方向上与所述物料盒10间隔排布。且所述相机30及所述机械臂20设置于所述基板41与所述物料盒10之间。

[0072] 可选地，所述第一传动件42固定连接、或可拆卸连接于所述基板41。

[0073] 具体地，在本申请一种可选的实施方式中，所述第一传动件42由电机、滚珠螺杆及螺母构成，所述电机可驱动所述滚珠螺杆进行转动，所述滚珠螺杆沿所述第一方向Z进行延伸，在所述滚珠螺杆转动的过程中，所述螺母可沿着所述滚珠螺杆的延伸方向进行往复传动。所述螺母可以通过连接组件分别连接于所述机械臂20及所述相机30，并带动所述机械臂20及所述相机30沿所述第一方向Z进行往复运动。换言之，所述第一传动件42在传动过程中能够同时带动所述机械臂20及所述相机30沿所述第一方向Z进行往复运动，从而在机械臂20装卸晶圆12的过程中所述相机30可以对物料盒10内的晶圆12放置情况进行实时检测。

[0074] 综上所述，在本实施方式中，所述晶圆探针台1包括物料盒10、机械臂20、相机30及支撑组件40。所述机械臂20包括第一子臂21及第二子臂22，所述第一子臂21用于从所述物料盒10内取出晶圆12，所述第二子臂22用于向所述物料盒10放置晶圆12，所述第一子臂21及所述第二子臂22可以分别进行晶圆12的取出和放置过程，从而提升晶圆12的装卸效率。所述相机30用于扫描所述物料盒10并输出图像信息，所述图像信息用于反馈物料盒10内晶圆12的数量及尺寸，相较于传统的采用激光对射传感器而言，所述相机30还可以具有更多的视角并兼容多种尺寸规格的晶圆12，从而确保所述晶圆探针台1的可靠性。所述支撑组件
40中的第一传动件42在传动过程中能够同时带动所述机械臂20及所述相机30沿所述第一方向Z进行往复运动，使得所述相机30与所述机械臂20能够沿所述第一方向Z进行同步运作，从而在机械臂20装卸晶圆12的过程中所述相机30可以对物料盒10内的晶圆12放置情况进行实时检测。且所述相机30及所述机械臂20共用所述第一传动件42，可以有效简化所述晶圆探针台1内部结构的复杂性，使得所述晶圆探针台1的尺寸可以得到优化，且所述晶圆探针台1的内部空间利用效率得到了大幅度的提升。

[0075] 请参阅图1、图4及图5，图4是本申请实施例的支撑组件的结构示意图，图5是图1中提供的晶圆探针台在a处的局部放大结构示意图。所述第一传动件42包括沿所述第一方向Z间隔排布的第一支座421及第二支座422，所述第一传动件42还包括传动杆423、移动块424及移动板425，所述传动杆423沿所述第一方向Z进行延伸，且所述传动杆423的一端连接于所述第一支座421，所述传动杆423的另一端连接于所述第二支座422，所述移动块424传动连接于所述传动杆423，所述移动板425的一端固定连接于所述移动块424，所述移动板425的另一端固定连接于所述机械臂20及所述相机30。当所述传动杆423工作运行时，所述移动块424能够沿所述第一方向Z进行往复运动，并带动所述移动板425沿所述第一方向Z进行往复运动，所述移动板425能够通过带动所述相机30沿所述第一方向Z进行往复运动，所述移动板425还能够带动所述机械臂20沿所述第一方向Z进行往复运动。

[0076] 可选地，所述第一支座421及所述第二支座422可以用于固定所述传动杆423。且所述传动杆423能够相对所述第一支座421及所述第二支座422进行转动。

[0077] 可选地，所述移动板425的一端固定连接于所述移动块424。所述移动板425的另一端可以通过连接组件固定连接于所述机械臂20及所述相机30。

[0078] 可选地，所述移动块424具有通孔，所述通孔同于收容所述传动杆423，换言之，所述移动块424套设于所述传动杆423。进一步可选地，所述传动杆423的外表面可以设置有第一螺纹（图未示），所述移动块424形成所述通孔的内表面可以设置有第二螺纹（图未示），所述移动块424能够通过所述第一螺纹与所述第二螺纹的配合相对于所述传动杆423沿所述第一方向Z移动。

[0079] 具体地，在本实施方式中，当所述传动杆423工作运行时，即所述传动杆423相对于所述第一支座421及所述第二支座422进行转动时，所述移动块424能够相对于所述传动杆423沿所述第一方向Z进行往复运动，并带动所述移动板425沿所述第一方向Z进行往复运动，所述移动板425能够通过带动所述相机30及所述机械臂20沿所述第一方向Z进行同步的往复运动。

[0080] 优选地，所述传动杆423为滚珠螺杆，所述移动块424为螺母。所述滚珠螺杆可以利用滚珠的滚动和滑动特性，将转动运动转换成线性运动。当有力在螺母上作用时，滚珠会顺着螺杆的螺纹轮廓向前滚动，从而带动螺母沿轴线方向移动，即沿所述第一方向Z进行移动。在本实施方式中，所述传动杆423选用滚珠螺杆，可以具有较小的滚动摩擦力，从而实现较高的转换效率，并能够实现精准地传输工作，从而确保所述晶圆探针台1的精密性。

[0081] 可选地，所述基板41在邻近于所述第一传动件42的两侧还设置有滑轨411及滑块412，所述滑块412滑动连接于所述滑轨411，且所述滑块412通过连接组件固定连接于所述机械臂20及所述相机30，从而有效地提升所述第一传动件42对所述机械臂20及所述相机30的传动效率。

[0082] 可选地，所述机械臂20沿所述第一方向Z进行移动，可用于将晶圆12运送至预对准模块，所述预对准模块可用于对待检测的晶圆12进行位置预校准。

[0083] 请参阅图6及图7，图6是本申请另一实施例的晶圆探针台的部分结构示意图，图7是本申请一实施例的相机及第一连接组件的结构示意图。所述晶圆探针台1还包括第一连接组件50，所述移动板425通过所述第一连接组件50连接于所述相机30，所述第一连接组件50包括第一固定板51及第二传动件52。所述第一固定板51用于承载所述相机30。所述第二传动件52承载于所述第一固定板51，所述第二传动件52传动连接于所述相机30，所述第二传动件52在传动过程中能够带动所述相机30沿第二方向Y进行往复运动，所述第二方向Y为所述物料盒10与所述支撑组件40的排布方向，且所述第二方向Y垂直于所述第一方向Z。

[0084] 可选地，所述相机30包括依次相连的环形光源31、镜头32及数字相机主体33，且所述环形光源31邻近于所述物料盒10设置，所述镜头32设置于所述环形光源31背离所述物料盒10的一侧，所述数字相机主体33设置于所述镜头32背离所述物料盒10的一侧。所述数字相机主体33可以实现高稳定性、高清晰度的精准定位图像输出。

[0085] 进一步可选地，所述环形光源31与所述镜头32为同轴设置。且所述镜头32可以为远心镜头，从而使得所述相机30能够在较远的距离和较宽的范围内观察到所述物料盒10内晶圆12的实时状态。

[0086] 可选的，所述第一固定板51可以通过支架53固定连接于所述移动板425，并跟随所述移动板425沿所述第一方向Z进行运动。

[0087] 在本申请一种可选的实施方式中，所述第二传动件52包括丝杆521、丝杆座522及平移支座523，在所述丝杆521的转动过程中，所述丝杆座522能够相对于所述丝杆521沿所述第二方向Y进行平稳的往复传动。所述平移支座523的一端固定连接于所述丝杆座522，所述平移支座523的另一端连接于所述相机30，从而在所述丝杆座522沿所述第二方向Y进行传动时，能够带动所述平移支座523及所述相机30沿所述第二方向Y进行平稳的往复运动，确保所述相机30的稳定性。

[0088] 在本实施方式中，当所述相机30的照射范围不适用于晶圆12的尺寸时，所述相机30可以沿所述第二方向Y进行运动，朝向靠近于所述物料盒10的方向、或背离于所述物料盒
10的方向进行移动，从而对相机30的视角及照射范围进行调整，进而使得所述相机30可以兼容更多尺寸规格的晶圆12尺寸，提升所述晶圆探针台1的兼容性及使用灵活性。

[0089] 可选地，所述第二传动件52还包括滚动轴承524及轴承端座525，所述滚动轴承524套设于所述丝杆521，所述轴承端座525套设于所述丝杆521，且所述轴承端座525固定连接于所述第一固定板51，从而实现对所述相机30的固定，避免所述相机30产生晃动不稳的情形，提升所述相机30输出图像信息的精准度。

[0090] 请参阅图8，图8是本申请另一实施例的相机及第一连接组件的结构示意图。当所述相机30沿所述第二方向Y进行往复运动时，所述相机30具有第一运动位置及第二运动位置，所述第二运动位置相较于所述第一运动位置背离于所述物料盒10，且所述相机30在所述第一运动位置对所述物料盒10具有第一扫描范围，所述相机30在所述第二运动位置对所述物料盒10具有第二扫描范围，所述第二扫描范围大于所述第一扫描范围。其中，所述第一运动位置及所述第二运动位置之间具有距离范围D1，所述距离范围D1满足：D1≤60mm。

[0091] 可选地，所述第一运动位置可以理解为，当所述相机30沿所述第二方向Y进行往复运动时，在第一时刻所述相机30的中心点所在的位置。可选地，所述第二运动位置可以理解为，当所述相机30沿所述第二方向Y进行往复运动时，在第二时刻所述相机30的中心点所在的位置。

[0092] 可选地，所述第一扫描范围可以理解为，所述相机30在第一运动位置时，所述相机30能够照射到的所述物料盒10的区域范围。可选地，所述第二扫描范围可以理解为，所述相机30在第二运动位置时，所述相机30能够照射到的所述物料盒10的区域范围。

[0093] 可以理解地，当所述相机30沿背离于所述物料盒10的方向进行移动时，所述相机30对所述物料盒10的扫描范围会扩大，从而使得所述相机30可以对更大尺寸规格的晶圆12进行扫描检测，进而在所述相机30的移动过程中，可以使得所述相机30兼容于多种尺寸规格的晶圆12，进而能够提升所述晶圆探针台1的兼容适用性及操作便捷性。

[0094] 可选地，所述距离范围D1可以理解为，所述相机30在所述第一运动位置的中心点与所述相机30所述第二运动位置的中心点之间的最小距离。

[0095] 可选地，所述距离范围D1可以为但不仅限于为10mm、或15mm、或20mm、或30mm、或40mm、或50mm、或55mm、或60mm或其他数值等，只要满足D1≤60mm即可。换言之，所述相机30能够相对于所述物料盒10沿所述第二方向Y进行微调，且微调距离等于或近似于60mm。

[0096] 可选地，所述相机30可以为但不仅限于为兼容尺寸规格为4寸、5寸、6寸及8寸的晶圆12。

[0097] 在本实施方式中，所述第一运动位置及所述第二运动位置的距离范围D1满足D1≤60mm，使得所述相机30在移动过程中，能够兼容于多种尺寸规格的晶圆12，例如尺寸规格为
4寸、5寸、6寸及8寸的晶圆12，从而使得所述晶圆探针台1具有更高的兼容性，且使得所述晶圆探针台1可以满足更多受测样品的需求，进而显著提高所述晶圆探针台1的测试效率。

[0098] 请参阅图9，图9是本申请一实施例的机械臂及第二连接组件的结构示意图。所述晶圆探针台1还包括第二连接组件60，所述移动板425通过所述第二连接组件60连接于所述机械臂20，所述第二连接组件60包括第二固定板61及第三传动件62。所述第二固定板61用于固定所述机械臂20。所述第三传动件62传动连接于所述第二固定板61，所述第三传动件62在传动过程中能够带动所述第二固定板61及所述机械臂20沿第二方向Y进行往复运动。

[0099] 所述第二固定板61可以为但不仅限于为通过紧固件连接、或卡接等方式固定连接于所述机械臂20。

[0100] 在本实施方式中，在所述第三传动件62的传动过程中，所述第三传动件62能够带动所述第二固定板61及所述机械臂20沿第二方向Y进行往复运动，且所述机械臂20与所述相机30沿所述第二方向Y的运动是彼此独立的。

[0101] 优选地，所述第三传动件62为同步带，所述同步带的传动效率较高、维修成本较低，且所述同步带在长期使用过程中还可以保持精确的传送效果，由于所述机械臂20在所述晶圆探针台1中的运动是非常频繁的，因此所述第三传动件62选用同步带可保障所述机械臂20在不断的往复运动中均可以保持精准的传送效果，从而确保所述晶圆探针台1工作过程中的精密度。

[0102] 请参阅图10，图10是本申请另一实施例的机械臂及第二连接组件的结构示意图。所述第二固定板61包括第一子板611及第二子板612，所述第三传动件62包括第一子传动件
621及第二子传动件622。所述第一子板611用于固定所述第一子臂21，所述第一子传动件
621传动连接于所述第一子板611，且所述第一子传动件621在传动过程中能够带动所述第一子板611及所述第一子臂21沿第二方向Y进行往复运动。所述第二子板612用于固定所述第二子臂22，所述第二子传动件622传动连接于所述第二子板612，且所述第二子传动件622在传动过程中能够带动所述第二子板612及所述第二子臂22沿第二方向Y进行往复运动。

[0103] 可选地，沿垂直于所述第一方向Z及所述第二方向Y的方向上，所述第一子板611及所述第二子板612为相对且间隔设置。

[0104] 可选地，沿所述第一方向Z，所述第一子板611的高度不等同于所述第二子板612的高度，换言之，所述第一子板611的高度小于或大于所述第二子板612的高度，从而使得所述第一子臂21及所述第二子臂22沿所述第一方向Z为间隔排布，进而使得所述第一子臂21及所述第二子臂22同时进行晶圆12的传输工作而不会产生相互干涉。

[0105] 可选地，所述第一子传动件621及所述第二子传动件622为相对且间隔设置。所述第一子传动件621可以为但不仅限于为同步带。所述第二子传动件622可以为但不仅限于为同步带。

[0106] 在本实施方式中，所述第一子传动件621在传动过程中能够带动所述第一子臂21沿第二方向Y进行往复运动，且所述第二子传动件622在传动过程中能够带动所述第二子臂22沿第二方向Y进行往复运动，使得所述第一子臂21及所述第二子臂22可以同时进行晶圆
12的传输工作，且所述第一子臂21及所述第二子臂22可以分别进行晶圆12的取出及放入工作。换言之，当所述第一子臂21从所述物料盒10内取出晶圆12时，所述第二子臂22可以进行晶圆12的传输或晶圆12的放置等步骤，进而有效地提升所述晶圆探针台1的工作效率，使得所述晶圆探针台1可以更加高效、快速地进行晶圆12的检测。

[0107] 可选地，所述第二连接组件60在所述第一子板611背离所述相机30的一侧还设置有第一滑动块及第一滑动轨道，所述第二连接组件60在所述第二子板612背离所述相机30的一侧还设置有第二滑动块及第二滑动轨道，从而使得所述第一子臂21及所述第二子臂22可以进行更加高速的移动。

[0108] 请再次参阅图9。所述第二连接组件60还包括旋转平台63，所述旋转平台63承载所述机械臂20，并能够带动所述机械臂20进行旋转运动。

[0109] 可选地，所述旋转平台63设置于所述机械臂20背离所述相机30的一侧，且所述机械臂20承载于所述机械平台。可选地，所述旋转平台63能够沿着顺时针方向及逆时针方向进行转动。在本实施方式中，当所述旋转平台63沿顺时针方向或逆时针方向转动时，能够带动所述机械臂20沿着顺时针方向或逆时针方向进行转动，从而使得所述机械臂20的运动路径更加灵活，进而在提升所述晶圆探针台1的空间利用效率的同时，还可以使得所述机械臂20的适用场景更加灵活。

[0110] 请再次参阅图1及图5。所述移动板425具有弯折相连的第一表面4251及第二表面4252，所述第一表面4251与所述物料盒10为相对设置，所述第二表面4252相较于所述第一表面4251背离于所述物料盒10。所述第一连接组件50还包括支架53，所述支架53的一端抵接于所述移动板425的第二表面4252，所述支架53的另一端用于支撑所述第一固定板51，所述第二连接组件60包括加强板64，所述加强板64的一端抵接于所述移动板425的第一表面
4251，所述加强板64的另一端连接于所述机械臂20。

[0111] 可选地，所述第一表面4251为所述物料盒10邻近于所述物料盒10一侧的表面，且所述第一表面4251与所述物料盒10为相对且间隔设置。

[0112] 可选地，所述第二表面4252与所述第一表面4251之间的弯折角度为90°或近似于90°。

[0113] 可选地，所述支架53的一端抵接于所述移动板425的第二表面4252，且所述支架53固定连接于所述移动板425。所述支架53的另一端用于支撑所述第一固定板51，且所述支架53固定连接于所述第一固定板51，所述支架53的设置可增强所述第一连接组件50的结构稳定性，使得所述相机30通过所述支架53可以稳固地连接于所述移动板425，从而保障所述相机30工作过程的精准性。

[0114] 可选地，所述加强板64的一端抵接于所述移动板425的第一表面4251，且所述加强板64固定连接于所述移动板425。所述加强板64的另一端可以通过所述旋转组件连接于所述机械臂20。所述支架53的设置可增强所述第二连接组件60的结构稳定性，使得所述机械臂20通过所述加强板64可以稳固地连接于所述移动板425，从而保障所述机械臂20工作过程的稳定性，进而保障所述晶圆探针台1的安全稳定工作运行。

[0115] 请参阅图7、图9及图11，图11是图6中提供的晶圆探针台在b处的局部放大结构示意图。所述晶圆探针台1包括控制器及电机组件70，所述控制器电连接于所述电机组件70并用于控制所述电机组件70的工作运行，所述电机组件70包括第一子电机71、第二子电机72及第三子电机73。所述第一子电机71连接于所述第一传动件42，并驱动所述第一传动件42进行传动运行。所述第二子电机72连接于所述第二传动件52，并驱动所述第二传动件52进行传动运行。所述第三子电机73连接于所述第三传动件62，并驱动所述第三传动件62进行传动运行。

[0116] 可选地，所述第一子电机71为伺服电机，所述第二子电机72为步进闭环电机，所述第三子电机73为闭环步进电机。

[0117] 优选地，所述第一子电机71通过第一同步带711连接于所述第一传动件42，从而对所述相机30及机械臂20沿所述第一方向Z的长期往复运动中可以保持精准的位置控制，从而确保所述晶圆探针台1工作过程中的精密度。

[0118] 优选地，所述第二子电机72通过第二同步带721连接于所述第二传动件52，从而对所述相机30沿所述第二方向Y的长期往复运动中可以保持精准的位置控制，从而确保所述晶圆探针台1工作过程中的精密度。

[0119] 在本实施方式中，所述晶圆探针台1通过控制器可以控制电机组件70的工作运行，所述第一子电机71能够驱动所述第一传动件42进行传动运行，所述第二子电机72能够驱动所述第二传动件52进行传动运行，所述第三子电机73能够驱动所述第三传动件62进行传动运行，从而所述晶圆探针台1可以通过控制器及电机组件70的驱动来实现对所述机械臂20及所述相机30的运动位置的稳定控制，实现所述晶圆探针台1的高度自动化，提升所述晶圆探针台1的工作效率。

[0120] 请参阅图6、图8、图10及图12，图12是图6中提供的晶圆探针台在c处的局部放大结构示意图。所述晶圆探针台1还包括传感组件，所述传感组件包括第一传感器81、第二传感器82及第三传感器83。第一传感器81用于检测所述机械臂20及所述相机30沿所述第一方向Z的运动位置并得到第一位置信息，所述第一传感器81电连接于所述控制器并将所述第一位置信息反馈至所述控制器，所述控制器根据所述第一位置信息控制所述第一子电机71的工作运行。第二传感器82用于检测所述相机30沿所述第二方向Y的运动位置并得到第二位置信息，所述第二传感器82电连接于所述控制器并将所述第二位置信息反馈至所述控制器，所述控制器根据所述第二位置信息控制所述第二子电机72的工作运行。第三传感器83用于检测机械臂20沿所述第二方向Y的运动位置并得到第三位置信息，所述第三传感器83电连接于所述控制器并将所述第三位置信息反馈至所述控制器，所述控制器根据所述第三位置信息控制所述第三子电机73的工作运行。

[0121] 可选地，所述第一传感器81为光电传感器。所述第一传感器81设置于所述基板41上。所述第一传感器81的数量可以为多个，且多个所述第一传感器81为彼此间隔设置。进一步可选地，所述支架53上可以设置有第一感应片811，当所述第一感应片811经过所述第一传感器81时，所述第一传感器81可以得到第一位置信息并反馈至所述控制器。所述控制器根据所述第一位置信息可以计算得出所述相机30及所述机械臂20在所述第一方向Z的具体运动位置。

[0122] 可选地，所述第二传感器82为微型光电传感器。所述第二传感器82设置于所述第一固定板51上。所述第二传感器82的数量可以为多个，且多个所述第二传感器82为彼此间隔设置。进一步可选地，所述平移支座523可以设置有第二感应片821，当所述第二感应片821经过所述第二传感器82时，所述第二传感器82可以得到第二位置信息并反馈至所述控制器。所述控制器根据所述第二位置信息可以计算得出所述相机30在所述第二方向Y的具体运动位置。

[0123] 可选地，所述第三传感器83为微型光电传感器。进一步可选地，所述第二固定板61可以设置有第三感应片831，当所述第三感应片831经过所述第三传感器83时，所述第三传感器83可以得到第三位置信息并反馈至所述控制器。所述控制器根据所述第三位置信息可以计算得出所述机械臂20在所述第二方向Y的具体运动位置。

[0124] 在本实施方式中，所述控制器能够根据所述第一位置信息控制所述第一子电机71的工作运行，并根据所述第二位置信息控制所述第二子电机72的工作运行，还能够根据所述第三位置信息控制所述第三子电机73的工作运行，从而实现对所述机械臂20及所述相机30进行超高精度运动控制，使得所述晶圆探针台1实现高精确度和高可靠性。

[0125] 在本申请中提及“实施例”“实施方式”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现所述短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。此外，还应该理解的是，本申请各实施例所描述的特征、结构或特性，在相互之间不存在矛盾的情况下，可以任意组合，形成又一未脱离本申请技术方案的精神和范围的实施例。

[0126] 最后应说明的是，以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本申请进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本申请的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本申请技术方案的精神和范围。