一种碳基氢气传感器芯片

摘要

本发明公开了一种碳基氢气传感器芯片，属于气体检测技术领域，该芯片，从内到外包括P型硅衬底、基层、敏感层和金属电极；所述基层由碳基材料组成，本发明中基层属于碳基材料，该碳基材料是以石墨烯和纳米铂为原料，提高石墨烯作为基材的分散效果，并且提高芯片整体对于气体的敏感性和选择性，敏感层是以Pd掺杂的WO3溶胶为材料制得，使用Pd掺杂的WO3将结合提高敏感层的导电性，碳基材料被Pd掺杂的WO3覆盖在下方，作为良好的导电材料，不仅可以保护基层，还可以提高电子的运输效果，而且降低材料整体电阻，进而提高对气体的响应性。