一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备

摘要

本申请提供了一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，属于多晶硅生产设备领域，该一种用于基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备包括：炉体和控制组件，所述炉体上部设置有排放管，所述控制组件包括支架、球阀、第一传动轴、万向节、机架、第二传动轴、第三传动轴、电机和第一手动件，所述第一手动件设置于所述机架一侧，所述第一手动件与所述机架转动连接，所述第一手动件一侧与所述第三传动轴传动连接。利用第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴，将电机的位置尽可能的远离炉体，并且设置在机架的一侧，进而减少了炉体温度传导到电机的内部，降低了电机的工作时带的温度，从而可以提高电机的使用寿命。

权利要求

1.一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，包括：

炉体（100），所述炉体（100）上部设置有排放管（110）；

控制组件（200），所述控制组件（200）包括支架（210）、球阀（220）、第一传动轴（230）、万向节（240）、机架（250）、第二传动轴（260）、第三传动轴（270）、电机（280）和第一手动件（290），所述支架（210）与所述炉体（100）上部固定连接，所述球阀（220）一侧与所述排放管（110）一侧连通，所述第一传动轴（230）与所述支架（210）转动连接，所述第一传动轴（230）一侧与所述球阀（220）转动端传动连接，所述万向节（240）一侧与所述第一传动轴（230）一侧固定连接，所述万向节（240）另一侧与所述第二传动轴（260）一侧固定连接，所述第二传动轴（260）与所述机架（250）转动连接，所述机架（250）设置于所述炉体（100）一侧，所述第三传动轴（270）与所述机架（250）转动连接，所述第三传动轴（270）与所述第二传动轴（260）传动连接，所述电机（280）与所述机架（250）一侧固定连接，所述电机（280）输出端与所述第三传动轴（270）一侧固定连接，所述第一手动件（290）设置于所述机架（250）一侧，所述第一手动件（290）与所述机架（250）转动连接，所述第一手动件（290）一侧与所述第三传动轴（270）传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，所述球阀（220）转动端设置有第一齿轮（221），所述第一传动轴（230）一侧设置有与所述第一齿轮（221）相匹配的第二齿轮（231），所述第一齿轮（221）与所述第二齿轮（231）啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，所述支架（210）一侧分别设置有弹簧（211）和限位珠（212），所述弹簧（211）一端抵在所述支架（210）内部，所述弹簧（211）另一端抵在所述限位珠（212）一侧，所述限位珠（212）一侧贯穿所述支架（210）抵在所述球阀（220）转动端外壁。

4.根据权利要求3所述的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，所述球阀（220）转动端设置会有转动轴（222），所述转动轴（222）设置有转动块（223），且所述转动块（223）间隔开设有限位槽（224），所述限位珠（212）抵在所述限位槽（224）内部。

5.根据权利要求4所述的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，所述支架（210）一侧设置有外圈环（214），且所述外圈环（214）开设有孔洞（215），且所述孔洞（215）设置有孔盖（216），所述转动块（223）与所述外圈环（214）内壁转动连接，所述弹簧（211）和所述限位珠（212）均位于所述孔洞（215）内部，所述弹簧（211）一侧抵在所述孔盖（216）一侧，所述孔盖（216）与所述孔洞（215）外沿螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，所述电机（280）输出端设置有第一链轮（281），所述第三传动轴（270）一端设置有第二链轮（271），所述第一链轮（281）与所述第二链轮（271）之间传动连接。

7.根据权利要求1所述的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，所述第一手动件（290）包括第一立轴（291）和第一横轴（292），所述第一立轴（291）和所述第一横轴（292）均与所述机架（250）转动连接，所述第一立轴（291）一端与所述第一横轴（292）一端传动连接，所述第一立轴（291）另一端与所述第三传动轴（270）传动连接。

8.根据权利要求7所述的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，所述第三传动轴（270）设置有第三齿轮（272），所述第一立轴（291）上部设置有第四齿轮（293），所述第三齿轮（272）与所述第四齿轮（293）啮合连接。

9.根据权利要求7所述的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，所述第一立轴（291）下部设置有第五齿轮（294），所述第一横轴（292）设置有第六齿轮（295），所述第五齿轮（294）与所述第六齿轮（295）啮合连接。

10.根据权利要求7所述的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，其特征在于，所述第一横轴（292）一侧设置有第一手柄（296）。

说明书

一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备

技术领域

[0001] 本申请涉及还原炉尾气排放领域，具体而言，涉及一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备。

背景技术

[0002] 一般来说在多晶硅的生产过程中经常会使用到还原炉，还原炉的炉内温度较高且需要通过控制尾气的排放量去控制炉内的温度，在炉内温度较高时将会增加炉内尾气的排放量,在炉内温度较低时，会减少或不再排放炉内尾气，实施对炉内温度的控制调整温度，因此会使用到类似于阀门的结构，通过类似于阀门结构的闭合控制炉内尾气排放量，从而需要使用到驱动机构对类似阀门结构进行驱动，但是还原炉内温度较高，因此高温会传导到阀门结构，阀门结构会将高温传导到驱动机构，从而会导致驱动机构的温度会随之升高，当驱动机构长时间处于高温环境下，会降低驱动机构的使用寿命。

发明内容

[0003] 本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，可以实现对电机与炉体的高温进行隔绝，通过第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴，将电机的位置设置在远离炉体的位置，进而第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴在传递动力时，会对炉体导出的热量进行散热，从而降低炉体温度传导到电机的热量，从而降低了电机的工作环境温度，进而提升了电机的使用寿命。

[0004] 根据本申请实施例的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，包括：炉体和控制组件，所述炉体上部设置有排放管，所述控制组件包括支架、球阀、第一传动轴、万向节、机架、第二传动轴、第三传动轴、电机和第一手动件，所述支架与所述炉体上部固定连接，所述球阀一侧与所述排放管一侧连通，所述第一传动轴与所述支架转动连接，所述第一传动轴一侧与所述球阀转动端传动连接，所述万向节一侧与所述第一传动轴一侧固定连接，所述万向节另一侧与所述第二传动轴一侧固定连接，所述第二传动轴与所述机架转动连接，所述机架设置于所述炉体一侧，所述第三传动轴与所述机架转动连接，所述第三传动轴与所述第二传动轴传动连接，所述电机与所述机架一侧固定连接，所述电机输出端与所述第三传动轴一侧固定连接，所述第一手动件设置于所述机架一侧，所述第一手动件与所述机架转动连接，所述第一手动件一侧与所述第三传动轴传动连接。

[0005] 另外，根据本申请实施例的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备还具有如下附加的技术特征：

[0006] 根据本申请的一些实施例，所述球阀转动端设置有第一齿轮，所述第一传动轴一侧设置有与所述第一齿轮相匹配的第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合连接。

[0007] 根据本申请的一些实施例，所述支架一侧分别设置有弹簧和限位珠，所述弹簧一端抵在所述支架内部，所述弹簧另一端抵在所述限位珠一侧，所述限位珠一侧贯穿所述支架抵在所述球阀转动端外壁。

[0008] 根据本申请的一些实施例，所述球阀转动端设置会有转动轴，所述转动轴设置有转动块，且所述转动块间隔开设有限位槽，所述限位珠抵在所述限位槽内部。

[0009] 根据本申请的一些实施例，所述支架一侧设置有外圈环，且所述外圈环开设有孔洞，且所述孔洞设置有孔盖，所述转动块与所述外圈环内壁转动连接，所述弹簧和所述限位珠均位于所述孔洞内部，所述弹簧一侧抵在所述孔盖一侧，所述孔盖与所述孔洞外沿螺纹连接。

[0010] 根据本申请的一些实施例，所述电机输出端设置有第一链轮，所述第三传动轴一端设置有第二链轮，所述第一链轮与所述第二链轮之间传动连接。

[0011] 根据本申请的一些实施例，所述第一手动件包括第一立轴和第一横轴，所述第一立轴和所述第一横轴均与所述机架转动连接，所述第一立轴一端与所述第一横轴一端传动连接，所述第一立轴另一端与所述第三传动轴传动连接。

[0012] 根据本申请的一些实施例，所述第三传动轴设置有第三齿轮，所述第一立轴上部设置有第四齿轮，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合连接。

[0013] 根据本申请的一些实施例，所述第一立轴下部设置有第五齿轮，所述第一横轴设置有第六齿轮，所述第五齿轮与所述第六齿轮啮合连接。

[0014] 根据本申请的一些实施例，所述第一横轴一侧设置有第一手柄，且所述第一手柄为导热性较差材质。

[0015] 在控制炉体内部的尾气排放时，经常会使用到抽风设备，对炉体内部的高温空气进行抽取排放，因此在对抽风设备进行驱动时，仍然需要使用到驱动设备，由于还原炉的尾气的温度较高，会使得抽风设备的驱动设备长期处于高温状态，进而会降低驱动设备的使用寿命；

[0016] 根据本申请的一些实施例，还包括抽风组件，所述抽风组件包括风机、第四传动轴、第五传动轴、第六传动轴、拨动件和第二手动件，所述第六传动轴设置有第七齿轮，所述第一传动轴外部设置有滑动套，所述滑动套外部设置有第八齿轮，所述第七齿轮与所述第八齿轮啮合连接，所述滑动套与所述支架转动连接，所述滑动套一侧与所述拨动件一侧转动连接，所述拨动件一侧与所述支架转动连接，所述拨动件另一侧与所述机架转动连接，所述第二手动件与所述机架一侧转动连接，所述拨动件与所述第二手动件之间传动连接，所述风机一侧与所述球阀一侧连通，所述风机与所述支架一侧固定连接，所述第四传动轴一端与所述风机转动端传动连接，所述第四传动轴另一端与所述第五传动轴一端传动连接，所述第五传动轴和所述第六传动轴均与所述支架转动连接，所述第五传动轴另一端与所述第六传动轴传动连接；

[0017] 风机实施对排放管和球阀内部的空气的抽取，首先通过第二手动件带动拨动件对滑动套的拨动，滑动套带动第八齿轮的移动，将第八齿轮与第七齿轮进行啮合，同时会带动第一齿轮与第二齿轮之间的分离，电机的输出端的转动，会带动第三传动轴的转动，第三传动轴带动第二传动轴的转动，第二转动轴带动第一传动轴的转动，第一传动轴带动滑动套的转动，滑动套带动第八齿轮的转动，第八齿轮带动第七齿轮的转动，第七齿轮带动第六传动轴的转动，第六传动轴带动第五传动轴的转动，第五传动轴带动第四传动轴的转动，第四传动轴带动风机的转动，从而实现了风机对排放管和球阀内部的空气的抽取，采用了电机对风机的驱动，进而节约了电机的使用量，也减少了电机被炉体传导的热量，降低了电机的工作环境温度，提升了电机的使用寿命。

[0018] 根据本申请的一些实施例，所述风机转动端设置有第九齿轮，所述第四传动轴一端设置有第十齿轮，所述第九齿轮与所述第十齿轮啮合连接。

[0019] 根据本申请的一些实施例，所述第四传动轴另一端设置有第十一齿轮，所述第五传动轴一端设置有第十二齿轮，所述第十一齿轮与所述第十二齿轮啮合连接。

[0020] 根据本申请的一些实施例，所述第五传动轴另一端设置有第十三齿轮，所述第六传动轴一端设置有第十四齿轮，所述第十三齿轮和所述第十四齿轮啮合连接。

[0021] 根据本申请的一些实施例，所述拨动件包括连接头、拨动架、第三链轮、第四链轮、第一链条、第五链轮、第二链条、第六链轮和第三链条，所述连接头套在所述第一传动轴外部，所述连接头一侧与所述连接头一侧与所述滑动套一侧转动连接，所述连接头另一侧与所述拨动架滑动连接，所述拨动架一侧与所述支架转动连接，所述第三链轮和所述第四链轮均与所述支架转动连接，所述第三链轮与所述第四链轮通过第一链条传动连接，所述第一链条一侧与所述拨动架固定连接，所述第五链轮和所述第六链轮均与所述机架转动连接，所述第四链轮与所述第五链轮之间通过第二链条传动连接，所述第五链轮与所述第六链轮之间通过所述第三链条传动连接，所述第六链轮与所述第二手动件传动连接。

[0022] 根据本申请的一些实施例，所述第二手动件包括第二横轴和第二立轴，所述第六链轮一侧设置有第十五齿轮，所述第二立轴对称设置有第十六齿轮，所述第二横轴一侧设置有第十七齿轮，所述第二横轴另一侧设置有第二手柄，所述第十五齿轮与一个所述第十六齿轮啮合连接，另一个所述第十六齿轮与所述第十七齿轮啮合连接。

[0023] 还原炉的内部温度较高，因此尾气的排放过程中，会有大量的温度被传导出来，由于长期处于高温环境下作业，很多的设备采用的是耐高温的金属材质，但是很多的金属材质具有良好的导热性，进而会导致有大量的温度被导出，导出的高温会对设备的驱动结构造成危害，会降低驱动结构的使用寿命；

[0024] 根据本申请的一些实施例，还包括水冷组件，所述水冷组件包括水箱、传动件、U型管、风扇和水泵，所述水箱与所述机架固定连接，所述传动件位于所述水箱内部，所述传动件一侧与所第二传动轴传动连接，所述传动件另一侧与所述第三传动轴传动连接，所述U型管上部与所述水箱底部连通，所述水泵与所述机架固定连接，所述U型管底部与所述水泵连通，所述水泵输出端与所述水箱连通，所述风扇与所述机架一侧固定连接，所述风扇输出端朝向所述U型管；

[0025] 第一传动轴会将温度传导到第二传动轴，第二传动轴将温度传动到传动件，传动件位于水箱的内部，利用水箱内部的水对传动件进行降温，减少了传动件将温度传导到第三传动轴，因此水箱内部的水会逐渐的升高温度，水箱内部的水会进入到U型管的内部，风扇对U型管吹风加快U型管内部水的散热，并通过水泵再次将水输送到水箱的内部，加快传动件的降温，因此在整个使用的过程中，将第二传动轴传导的温度经过传动件在水箱内部进行水冷降温，减少了热度传导到电机内部，降低了电机的工作环境温度，提升了电机的使用寿命。

[0026] 根据本申请的一些实施例，所述传动件包括第七传动轴、第八传动轴和第九传动轴，所述第七传动轴、所述第八传动轴和所述第九传动轴均与所述机架转动连接，所述第七传动轴一侧与所述第二传动轴传动连接，所述第七传动轴另一侧与所述第八传动轴传动连接，所述第八传动轴与所述第九传动轴传动连接，所述第九传动轴与所述第三传动轴传动连接。

[0027] 根据本申请实施例的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，有益效果是：

[0028] 1、电机的输出端带动第三传动轴的转动，第三传动轴带动第二传动轴转动，第二传动轴带动第一传动轴的转动，第一传动轴带动球阀的转动端转动，实施对炉体内部尾气排放的调节；

[0029] 2、将支架与机架之间独立开设置，可以减少支架将热量传导到机架的上部，并且设置了万向节可以更加有利于第二传动轴与第一传动轴之间的连接；

[0030] 3、利用第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴，将电机的位置尽可能的远离炉体，并且设置在机架的一侧，进而减少了炉体温度传导到电机的内部，降低了电机的工作时带的温度，从而可以提高电机的使用寿命。

附图说明

[0031] 为了更清楚地说明本申请实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

[0032] 图1是本申请实施方式提供的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备第一视角的结构示意图；

[0033] 图2为本申请实施方式提供的炉体和球阀的部分结构示意图；

[0034] 图3为本申请实施方式提供第一传动轴、第二传动轴、第三传动轴、第一手动件和电机的部分结构图；

[0035] 图4为本申请实施方式提供弹簧和限位珠的部分结构示意图；

[0036] 图5为本申请实施方式提供滑动套和连接头的部分结构示意图；

[0037] 图6为本申请实施方式提供拨动件的部分结构示意图；

[0038] 图7为本申请实施方式提供风机、第四传动轴和第五传动轴的部分结构示意图；

[0039] 图8为本申请实施方式提供第二手动件的部分结构示意图；

[0040] 图9为本申请实施方式提供传动件的部分结构示意图；

[0041] 图10为本申请实施方式提供U型管、风扇和水泵的部分结构示意图；

[0042] 图11为本申请实施方式提供第一齿轮和第八齿轮的第一视角的部分结构示意图；

[0043] 图12为本申请实施方式提供第一齿轮和第八齿轮的第二视角的部分结构示意图。

[0044] 图中：100‑炉体；110‑排放管；200‑控制组件；210‑支架；211‑弹簧；212‑限位珠；214‑外圈环；215‑孔洞；216‑孔盖；220‑球阀；221‑第一齿轮；222‑转动轴；223‑转动块；224‑限位槽；225‑滑动套；226‑第八齿轮；230‑第一传动轴；231‑第二齿轮；240‑万向节；250‑机架；260‑第二传动轴；270‑第三传动轴；271‑第二链轮；272‑第三齿轮；280‑电机；281‑第一链轮；290‑第一手动件；291‑第一立轴；292‑第一横轴；293‑第四齿轮；294‑第五齿轮；295‑第六齿轮；296‑第一手柄；300‑抽风组件；310‑风机；311‑第九齿轮；320‑第四传动轴；321‑第十齿轮；322‑第十一齿轮；330‑第五传动轴；331‑第十二齿轮；332‑第十三齿轮；340‑第六传动轴；341‑第七齿轮；342‑第十四齿轮；350‑拨动件；351‑连接头；352‑拨动架；353‑第三链轮；354‑第四链轮；355‑第一链条；356‑第五链轮；357‑第二链条；358‑第六链轮；3581‑第十五齿轮；359‑第三链条；360‑第二手动件；361‑第二横轴；362‑第二立轴；364‑第十六齿轮；365‑第十七齿轮；366‑第二手柄；400‑水冷组件；410‑水箱；420‑传动件；421‑第七传动轴；422‑第八传动轴；423‑第九传动轴；430‑U型管；440‑风扇；450‑水泵。

具体实施方式

[0045] 为使本申请实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

[0046] 下面参考附图描述根据本申请实施例的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备。

[0047] 如图1‑图12所示，根据本申请实施例的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备，包括炉体100和控制组件200。

[0048] 其中，炉体100上部设置有排放管110，控制组件200包括支架210、球阀220、第一传动轴230、万向节240、机架250、第二传动轴260、第三传动轴270、电机280和第一手动件290，支架210与炉体100上部固定连接，球阀220一侧与排放管110一侧连通，第一传动轴230与支架210转动连接，第一传动轴230一侧与球阀220转动端传动连接，万向节240一侧与第一传动轴230一侧固定连接，万向节240另一侧与第二传动轴260一侧固定连接，第二传动轴260与机架250转动连接，机架250设置于炉体100一侧，第三传动轴270与机架250转动连接，第三传动轴270与第二传动轴260传动连接，电机280与机架250一侧固定连接，电机280输出端与第三传动轴270一侧固定连接，第一手动件290设置于机架250一侧，第一手动件290与机架250转动连接，第一手动件290一侧与第三传动轴270传动连接。

[0049] 下面参照附图描述根据本申请的一个具体实施例的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备的工作过程；

[0050] 首先，电机280的输出端带动第一链轮281的转动，第一链轮281带动第二链轮271的转动，第二链轮271带动第三传动轴270的转动，第三传动轴270带动第二传动轴260转动，第二传动轴260带动第一传动轴230的转动，第一传动轴230带动球阀220的转动端转动，实施对炉体100内部尾气排放的调节；

[0051] 然后，也可以通过第一手柄296的转动带动第一横轴292，第一横轴292带动第一立轴291的转动，第一立轴291可以带动第三传动轴270的转动，第三传动轴270带动第二传动轴260，第二传动轴260带动第一传动轴230转动，第一传动轴230带动球阀220转动端的转动；

[0052] 由此，利用第一传动轴230、第二传动轴260和第三传动轴270，将电机280的位置尽可能的远离炉体100，并且设置在机架250的一侧，进而减少了炉体100温度传导到电机280的内部，降低了电机280的工作时带的温度，从而可以提高电机280的使用寿命。

[0053] 另外，根据本申请实施例的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备还具有如下附加的技术特征：

[0054] 根据本申请的一些实施例，如图2和图3所示，球阀220转动端设置有第一齿轮221，第一传动轴230一侧设置有与第一齿轮221相匹配的第二齿轮231，第一齿轮221与第二齿轮231啮合连接。

[0055] 根据本申请的一些实施例，如图4所示，支架210一侧分别设置有弹簧211和限位珠212，弹簧211一端抵在支架210内部，弹簧211另一端抵在限位珠212一侧，限位珠212一侧贯穿支架210抵在球阀220转动端外壁。

[0056] 根据本申请的一些实施例，如图4所示，球阀220转动端设置会有转动轴222，转动轴222设置有转动块223，且转动块223间隔开设有限位槽224，限位珠212抵在限位槽224内部。

[0057] 根据本申请的一些实施例，如图4所示，支架210一侧设置有外圈环214，且外圈环214开设有孔洞215，且孔洞215设置有孔盖216，转动块223与外圈环214内壁转动连接，弹簧
211和限位珠212均位于孔洞215内部，弹簧211一侧抵在孔盖216一侧，孔盖216与孔洞215外沿螺纹连接。

[0058] 根据本申请的一些实施例，如图3所示，电机280输出端设置有第一链轮281，第三传动轴270一端设置有第二链轮271，第一链轮281与第二链轮271之间传动连接。

[0059] 根据本申请的一些实施例，如图3所示，第一手动件290包括第一立轴291和第一横轴292，第一立轴291和第一横轴292均与机架250转动连接，第一立轴291一端与第一横轴292一端传动连接，第一立轴291另一端与第三传动轴270传动连接。

[0060] 根据本申请的一些实施例，如图3所示，第三传动轴270设置有第三齿轮272，第一立轴291上部设置有第四齿轮293，第三齿轮272与第四齿轮293啮合连接。

[0061] 根据本申请的一些实施例，如图3所示，第一立轴291下部设置有第五齿轮294，第一横轴292设置有第六齿轮295，第五齿轮294与第六齿轮295啮合连接。

[0062] 根据本申请的一些实施例，如图3所示，第一横轴292一侧设置有第一手柄296，且第一手柄296为导热性较差材质。

[0063] 在控制还原炉内部的尾气排放时，经常会使用到抽风设备，对还原炉内部的高温空气进行抽取排放，因此在对抽风设备进行驱动时，仍然需要使用到驱动设备，由于还原炉的尾气的温度较高，会使得抽风设备的驱动设备长期处于高温状态，进而会降低驱动设备的使用寿命。

[0064] 根据本申请的一些实施例，如图5‑图8所示，还包括抽风组件300，抽风组件300包括风机310、第四传动轴320、第五传动轴330、第六传动轴340、拨动件350和第二手动件360，第六传动轴340设置有第七齿轮341，第一传动轴230外部设置有滑动套225，滑动套225外部设置有第八齿轮226，需要说明的是，第二齿轮231固定设置在滑动套225一侧外部，第七齿轮341与第八齿轮226啮合连接，滑动套225与支架210转动连接，滑动套225一侧与拨动件350一侧转动连接，拨动件350一侧与支架210转动连接，拨动件350另一侧与机架250转动连接，第二手动件360与机架250一侧转动连接，拨动件350与第二手动件360之间传动连接，风机310一侧与球阀220一侧连通，风机310与支架210一侧固定连接，第四传动轴320一端与风机310转动端传动连接，第四传动轴320另一端与第五传动轴330一端传动连接，第五传动轴
330和第六传动轴340均与支架210转动连接，第五传动轴330另一端与第六传动轴340传动连接。

[0065] 风机310实施对排放管110和球阀220内部的空气的抽取，首先通过第二手动件360带动拨动件350对滑动套225的拨动，滑动套225带动第八齿轮226的移动，将第八齿轮226与第七齿轮341进行啮合，同时会带动第一齿轮221与第二齿轮231之间的分离，电机280的输出端的转动，会带动第三传动轴270的转动，第三传动轴270带动第二传动轴260的转动，第二传动轴260带动第一传动轴230的转动，第一传动轴230带动滑动套225的转动，滑动套225带动第八齿轮226的转动，第八齿轮226带动第七齿轮341的转动，第七齿轮341带动第六传动轴340的转动，第六传动轴340带动第五传动轴330的转动，第五传动轴330带动第四传动轴320的转动，第四传动轴320带动风机310的转动，从而实现了风机310对排放管110和球阀220内部的空气的抽取，采用了电机280对风机310的驱动，进而节约了电机280的使用量，也减少了电机280被炉体100传导的热量，降低了电机280的工作环境温度，提升了电机280的使用寿命。

[0066] 根据本申请的一些实施例，如图7所示，风机310转动端设置有第九齿轮311，第四传动轴320一端设置有第十齿轮321，第九齿轮311与第十齿轮321啮合连接。

[0067] 根据本申请的一些实施例，如图7所示，第四传动轴320另一端设置有第十一齿轮322，第五传动轴330一端设置有第十二齿轮331，第十一齿轮322与第十二齿轮331啮合连接。

[0068] 根据本申请的一些实施例，如图7所示，第五传动轴330另一端设置有第十三齿轮332，第六传动轴340一端设置有第十四齿轮342，第十三齿轮332和第十四齿轮342啮合连接。

[0069] 根据本申请的一些实施例，如图5和图6所示，拨动件350包括连接头351、拨动架352、第三链轮353、第四链轮354、第一链条355、第五链轮356、第二链条357、第六链轮358和第三链条359，连接头351套在第一传动轴230外部，连接头351一侧与连接头351一侧与滑动套225一侧转动连接，连接头351另一侧与拨动架352滑动连接，拨动架352一侧与支架210转动连接，第三链轮353和第四链轮354均与支架210转动连接，第三链轮353与第四链轮354通过第一链条355传动连接，第一链条355一侧与拨动架352固定连接，第五链轮356和第六链轮358均与机架250转动连接，第四链轮354与第五链轮356之间通过第二链条357传动连接，第五链轮356与第六链轮358之间通过第三链条359传动连接，第六链轮358与第二手动件
360传动连接。

[0070] 根据本申请的一些实施例，如图8所示，第二手动件360包括第二横轴361和第二立轴362，第六链轮358一侧设置有第十五齿轮3581，第二立轴362对称设置有第十六齿轮364，第二横轴361一侧设置有第十七齿轮365，第二横轴361另一侧设置有第二手柄366，第十五齿轮3581与一个第十六齿轮364啮合连接，另一个第十六齿轮364与第十七齿轮365啮合连接。

[0071] 还原炉的内部温度较高，因此尾气的排放过程中，会有大量的温度被传导出来，由于长期处于高温环境下作业，很多的设备采用的是耐高温的金属材质，但是很多的金属材质具有良好的导热性，进而会导致有大量的温度被导出，导出的高温会对设备的驱动结构造成危害，会降低驱动结构的使用寿命。

[0072] 根据本申请的一些实施例，如图9‑图10所示，还包括水冷组件400，水冷组件400包括水箱410、传动件420、U型管430、风扇440和水泵450，水箱410与机架250固定连接，传动件420位于水箱410内部，传动件420一侧与所第二传动轴260传动连接，传动件420另一侧与第三传动轴270传动连接，U型管430上部与水箱410底部连通，水泵450与机架250固定连接，U型管430底部与水泵450连通，水泵450输出端与水箱410连通，风扇440与机架250一侧固定连接，风扇440输出端朝向U型管430。

[0073] 第一传动轴230会将温度传导到第二传动轴260，第二传动轴260将温度传动到传动件420，传动件420位于水箱410的内部，利用水箱410内部的水对传动件420进行降温，减少了传动件420将温度传导到第三传动轴270，因此水箱410内部的水会逐渐的升高温度，水箱410内部的水会进入到U型管430的内部，风扇440对U型管430吹风加快U型管430内部水的散热，并通过水泵450再次将水输送到水箱410的内部，加快传动件420的降温，因此在整个使用的过程中，将第二传动轴260传导的温度经过传动件420在水箱410内部进行水冷降温，减少了热度传导到电机280内部，降低了电机280的工作环境温度，提升了电机280的使用寿命。

[0074] 根据本申请的一些实施例，如图9所示，传动件420包括第七传动轴421、第八传动轴422和第九传动轴423，第七传动轴421、第八传动轴422和第九传动轴423均与机架250转动连接，第七传动轴421一侧与第二传动轴260传动连接，第七传动轴421另一侧与第八传动轴422传动连接，第八传动轴422与第九传动轴423传动连接，第九传动轴423与第三传动轴270传动连接。

[0075] 根据本申请实施例的一种基于多晶硅生产用还原炉尾气排放控制设备的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

[0076] 在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置和方法，也可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的。

[0077] 以上，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。