一种升降工作台结构及曝光机

摘要

本发明适用于曝光机相关技术领域，提供了一种升降工作台结构及曝光机，所述升降工作台结构包括：主体框架，主体框架包括底座、立板以及顶板，顶板靠近底座的一侧安装有曝光单元；升降框，升降框上固定安装有多组升降板，且底座上还设置有用于带动升降板移动的升降组件；固定安装于升降框上的工作台，工作台上开设有多组贯穿孔；以及清理机构，清理机构包括抽吸组件以及清理组件，抽吸组件包括底板、弹簧和吸尘块，本发明通过工作台、升降框、升降板、升降组件以及清理组件的配合设置，避免了现有的升降工作台结构大多结构简单，功能单一，多不具备清洁功能，无法保证工作台面的清洁度，严重影响材料的加工质量的问题。

权利要求

1.一种升降工作台结构，包括主体框架，所述主体框架包括底座、立板以及顶板，所述顶板通过立板固定安装于底座上，且顶板靠近底座的一侧安装有曝光单元，其特征在于，还包括：升降框，所述升降框上固定安装有多组升降板，且底座上还设置有用于带动升降板移动的升降组件；

固定安装于升降框上的工作台，所述工作台上开设有多组贯穿孔；

以及清理机构，所述清理机构包括抽吸组件以及清理组件，所述抽吸组件包括底板、弹簧和吸尘块，所述底板通过弹簧在升降框内滑动安装有多组，且升降框内还设置有用于对底板进行支撑的支撑板，所述吸尘块在每组底板上均设置有多组，且每组吸尘块上均开设有吸尘孔，底板内具有与吸尘孔相连通的空腔，所述底板上还连接有抽气组件，所述吸尘块的形状与工作台上开设的贯穿孔的形状相同，所述升降框内还设置有用于带动多组底板依次移动的按压组件，所述清理组件与按压组件相连接；

所述按压组件包括：

按压板，所述按压板通过移动组件滑动安装于升降框内，且按压板还与清理组件连接；

第一导管，所述第一导管在按压板上固定安装有多组，且底板上设置有用于与第二凸块相互挤压的第一凸块；

所述移动组件包括第二螺纹杆和导向杆，所述导向杆在升降框内至少固定安装有一组，且按压板上开设有与导向杆滑动连接的通孔，所述第二螺纹杆转动安装于升降框内，且第二螺纹杆与按压板螺纹连接，所述升降板上还设置有用于带动第二螺纹杆转动的驱动组件；

所述抽气组件包括：

分流盒，所述分流盒固定安装于升降框内，且分流盒上连接有第一导管；

以及第二导管，用于底板与分流盒之间的连通；

所述清理组件包括：

与按压组件相连接的联动板，所述联动板滑动安装于升降框上；

调节板，所述调节板的一端通过翻转组件转动安装于联动板上；

清理辊，所述清理辊转动安装于调节板的另一端；

驱动块，所述驱动块固定安装于清理辊上，且升降框上还设置有与驱动块相接触的摩擦板。

2.根据权利要求1所述的升降工作台结构，其特征在于，所述驱动组件包括：第一齿条，所述第一齿条固定安装于底座上；

用于与第一齿条相啮合的第二齿轮，所述第二齿轮通过第二转轴转动安装于升降板上；

以及传动件，用于所述第二转轴与所述第二螺纹杆之间的连接。

3.根据权利要求1所述的升降工作台结构，其特征在于，所述第二导管为伸缩软管。

4.根据权利要求1所述的升降工作台结构，其特征在于，所述驱动块为圆柱形结构，且摩擦板表面和驱动块表面均开设有齿槽。

5.根据权利要求1所述的升降工作台结构，其特征在于，所述翻转组件包括：第二齿条，所述第二齿条滑动安装于联动板上，且第二齿条与联动板之间过盈配合；

第一转轴，用于调节板与联动板之间的转动连接；

以及固定安装于第一转轴上的第一齿轮，所述第一齿轮与第二齿条相啮合。

6.一种曝光机，其特征在于，包括如权利要求1至5任意一项所述的升降工作台结构。

说明书

一种升降工作台结构及曝光机

技术领域

[0001] 本发明涉及曝光机相关技术领域，具体是一种升降工作台结构及曝光机。

背景技术

[0002] 曝光机是集电子光学、机械、真空、电气以及计算机技术等于一体的半导体加工设备。它是通过开启灯光的方式发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。曝光机即电子串曝光机，在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

[0003] 现有的升降工作台结构大多结构简单，功能单一，多不具备清洁功能，无法保证工作台面的清洁度，严重影响材料的加工质量。因此，针对以上现状，迫切需要提供一种升降工作台结构及曝光机，以克服当前实际应用中的不足。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于提供一种升降工作台结构及曝光机，旨在解决上述背景技术中的问题。

[0005] 本发明是这样实现的，一种升降工作台结构，包括：

[0006] 主体框架，所述主体框架包括底座、立板以及顶板，所述顶板通过立板固定安装于底座上，且顶板靠近底座的一侧安装有曝光单元；

[0007] 升降框，所述升降框上固定安装有多组升降板，且底座上还设置有用于带动升降板移动的升降组件；

[0008] 固定安装于升降框上的工作台，所述工作台上开设有多组贯穿孔；

[0009] 以及清理机构，所述清理机构包括抽吸组件以及清理组件，所述抽吸组件包括底板、弹簧和吸尘块，所述底板通过弹簧在升降框内滑动安装有多组，且升降框内还设置有用于对底板进行支撑的支撑板，所述吸尘块在每组底板上均设置有多组，且每组吸尘块上均开设有吸尘孔，底板内具有与吸尘孔相连通的空腔，所述底板上还连接有抽气组件，所述吸尘块的形状与工作台上开设的贯穿孔的形状相同，所述升降框内还设置有用于带动多组底板依次移动的按压组件，所述清理组件与按压组件相连接。

[0010] 作为本发明进一步的方案：所述按压组件包括：

[0011] 按压板，所述按压板通过移动组件滑动安装于升降框内，且按压板还与清理组件连接；

[0012] 第一导管，所述第一导管在按压板上固定安装有多组，且底板上设置有用于与第二凸块相互挤压的第一凸块。

[0013] 作为本发明进一步的方案：所述移动组件包括第二螺纹杆和导向杆，所述导向杆在升降框内至少固定安装有一组，且按压板上开设有与导向杆滑动连接的通孔，所述第二螺纹杆转动安装于升降框内，且第二螺纹杆与按压板螺纹连接，所述升降板上还设置有用于带动第二螺纹杆转动的驱动组件。

[0014] 作为本发明进一步的方案：所述驱动组件包括：

[0015] 第一齿条，所述第一齿条固定安装于底座上；

[0016] 用于与第一齿条相啮合的第二齿轮，所述第二齿轮通过第二转轴转动安装于升降板上；

[0017] 以及传动件，用于所述第二转轴与所述第二螺纹杆之间的连接。

[0018] 作为本发明进一步的方案：所述抽气组件包括：

[0019] 分流盒，所述分流盒固定安装于升降框内，且分流盒上连接有第一导管；

[0020] 以及第二导管，用于底板与分流盒之间的连通。

[0021] 作为本发明进一步的方案：所述第二导管为伸缩软管。

[0022] 作为本发明进一步的方案：所述清理组件包括：

[0023] 与按压组件相连接的联动板，所述联动板滑动安装于升降框上；

[0024] 调节板，所述调节板的一端通过翻转组件转动安装于联动板上；

[0025] 清理辊，所述清理辊转动安装于调节板的另一端；

[0026] 驱动块，所述驱动块固定安装于清理辊上，且升降框上还设置有与驱动块相接触的摩擦板。

[0027] 作为本发明进一步的方案：所述驱动块为圆柱形结构，且摩擦板表面和驱动块表面均开设有齿槽。

[0028] 作为本发明进一步的方案：所述翻转组件包括：

[0029] 第二齿条，所述第二齿条滑动安装于联动板上，且第二齿条与联动板之间过盈配合；

[0030] 第一转轴，用于调节板与联动板之间的转动连接；

[0031] 以及固定安装于第一转轴上的第一齿轮，所述第一齿轮与第二齿条相啮合。

[0032] 一种曝光机，包括以上所述的升降工作台结构。

[0033] 与现有技术相比，本发明的有益效果：使用时，将待加工材料放置到标示线框选的区域内，便于曝光单元对其进行加工，升降组件通过带动升降板移动的方式，能够带动升降框在竖直方向上移动，从而实现对工作台工作高度的调节；初始状态下，吸尘块顶部与工作台的表面齐平，进行清洁时，首先利用清理组件对工作台的表面进行清扫，清扫的同时，抽气组件工作，使得吸尘孔内产生负压，并且按压组件带动多组底板依次向工作台一侧移动，使得吸尘块凸出工作台的表面，进而使得吸尘孔移动至工作台上方，并对清扫后的工作台进行吸尘，使得工作台始终保持清洁状态，提高材料的加工质量；通过工作台、升降框、升降板、升降组件以及清理组件的配合设置，避免了现有的升降工作台结构大多结构简单，功能单一，多不具备清洁功能，无法保证工作台面的清洁度，严重影响材料的加工质量的问题。

附图说明

[0034] 图1为本发明的立体结构示意图。

[0035] 图2为本发明中工作台与清理机构的结构示意图。

[0036] 图3为图2的后视结构示意图。

[0037] 图4为图2的仰视结构示意图。

[0038] 图5为图2中A处的放大结构示意图。

[0039] 图6为图3中B处的放大结构示意图。

[0040] 图7为本发明中抽吸组件的局部结构示意图。

[0041] 图8为本发明中按压板的结构示意图。

[0042] 附图中：1‑底座，2‑第一螺纹杆，3‑立板，4‑升降板，5‑顶板，6‑曝光单元，7‑清理辊，8‑标示线，9‑工作台，10‑升降框，11‑第一齿条，12‑吸尘块，13‑第一转轴，14‑驱动块，15‑摩擦板，16‑调节板，17‑联动板，18‑第二齿条，19‑传动件，20‑第二螺纹杆，21‑支撑板，
22‑分流盒，23‑第一导管，24‑导向杆，25‑底板，26‑第一凸块，27‑按压板，28‑第一齿轮，29‑第二齿轮，30‑第二转轴，31‑吸尘孔，32‑弹簧，33‑第二凸块，34‑第二导管。

具体实施方式

[0043] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。以下结合具体实施例对本发明的具体实现进行详细描述。

[0044] 请参阅图1‑图8，本发明实施例提供的一种升降工作台结构及曝光机，所述升降工作台结构包括：

[0045] 主体框架，所述主体框架包括底座1、立板3以及顶板5，所述顶板5通过立板3固定安装于底座1上，且顶板5靠近底座1的一侧安装有曝光单元6；

[0046] 升降框10，所述升降框10上固定安装有多组升降板4，且底座1上还设置有用于带动升降板4移动的升降组件；

[0047] 固定安装于升降框10上的工作台9，所述工作台9上开设有多组贯穿孔；

[0048] 以及清理机构，所述清理机构包括抽吸组件以及清理组件，所述抽吸组件包括底板25、弹簧32和吸尘块12，所述底板25通过弹簧32在升降框10内滑动安装有多组，且升降框10内还设置有用于对底板25进行支撑的支撑板21，所述吸尘块12在每组底板25上均设置有多组，且每组吸尘块12上均开设有吸尘孔31，底板25内具有与吸尘孔31相连通的空腔，所述底板25上还连接有抽气组件，所述吸尘块12的形状与工作台9上开设的贯穿孔的形状相同，所述升降框10内还设置有用于带动多组底板25依次移动的按压组件，所述清理组件与按压组件相连接。

[0049] 在本发明的实施例中，所述工作台9上具有标示线8，使用时，将待加工材料放置到标示线8框选的区域内，便于曝光单元6对其进行加工，升降组件通过带动升降板4移动的方式，能够带动升降框10在竖直方向上移动，从而实现对工作台9工作高度的调节；初始状态下，吸尘块12顶部与工作台9的表面齐平，进行清洁时，首先利用清理组件对工作台9的表面进行清扫，清扫的同时，抽气组件工作，使得吸尘孔31内产生负压，并且按压组件带动多组底板25依次向工作台9一侧移动，使得吸尘块12凸出工作台9的表面，进而使得吸尘孔31移动至工作台9上方，并对清扫后的工作台9进行吸尘，使得工作台9始终保持清洁状态，提高材料的加工质量；相比现有技术，本发明通过工作台9、升降框10、升降板4、升降组件以及清理组件的配合设置，避免了现有的升降工作台9结构大多结构简单，功能单一，多不具备清洁功能，无法保证工作台9面的清洁度，严重影响材料的加工质量的问题。

[0050] 在本发明的一个实施例中，请参阅图1‑图8，所述按压组件包括：

[0051] 按压板27，所述按压板27通过移动组件滑动安装于升降框10内，且按压板27还与清理组件连接；

[0052] 第一导管23，所述第一导管23在按压板27上固定安装有多组，且底板25上设置有用于与第二凸块33相互挤压的第一凸块26；

[0053] 所述移动组件包括第二螺纹杆20和导向杆24，所述导向杆24在升降框10内至少固定安装有一组，且按压板27上开设有与导向杆24滑动连接的通孔，所述第二螺纹杆20转动安装于升降框10内，且第二螺纹杆20与按压板27螺纹连接，所述升降板4上还设置有用于带动第二螺纹杆20转动的驱动组件；

[0054] 所述驱动组件包括：

[0055] 第一齿条11，所述第一齿条11固定安装于底座1上；

[0056] 用于与第一齿条11相啮合的第二齿轮29，所述第二齿轮29通过第二转轴30转动安装于升降板4上；

[0057] 以及传动件19，用于所述第二转轴30与所述第二螺纹杆20之间的连接；

[0058] 所述抽气组件包括：

[0059] 分流盒22，所述分流盒22固定安装于升降框10内，且分流盒22上连接有第一导管23；

[0060] 以及第二导管34，用于底板25与分流盒22之间的连通；

[0061] 所述第二导管34为伸缩软管。

[0062] 在本实施例中，使用时，将第一导管23与外部吸尘设备连接，分流盒22通过与第二导管34的配合设置，使得吸尘孔31内产生负压，第一齿条11位于底座1上，仅当升降组件带动升降板4移动至立板3靠近底座1的一侧后，第二齿轮29才会与第一齿条11啮合，升降板4通过带动升降框10在第一齿条11的长度方向上往复移动的方式，使得第二齿轮29带动第二转轴30正转或者反转，并配合传动件19，能够带动第二螺纹杆20正转或者反转，从而带动按压板27在第二螺纹杆20的长度方向上往复移动，使得第二凸块33依次与多组底板25上的第一凸块26接触，进而推动多组底板25依次移动；其中传动件19采用带轮与传动带的组合结构。

[0063] 在本发明的一个实施例中，请参阅图1‑图6，所述清理组件包括：

[0064] 与按压组件相连接的联动板17，所述联动板17滑动安装于升降框10上；

[0065] 调节板16，所述调节板16的一端通过翻转组件转动安装于联动板17上；

[0066] 清理辊7，所述清理辊7转动安装于调节板16的另一端；其中所述清理辊7表面覆盖有棉质材料；

[0067] 驱动块14，所述驱动块14固定安装于清理辊7上，且升降框10上还设置有与驱动块14相接触的摩擦板15；

[0068] 所述驱动块14为圆柱形结构，且摩擦板15表面和驱动块14表面均开设有齿槽，用于增大驱动块14与摩擦板15之间的摩擦力；

[0069] 所述翻转组件包括：

[0070] 第二齿条18，所述第二齿条18滑动安装于联动板17上，且第二齿条18与联动板17之间过盈配合；

[0071] 第一转轴13，用于调节板16与联动板17之间的转动连接；

[0072] 以及固定安装于第一转轴13上的第一齿轮28，所述第一齿轮28与第二齿条18相啮合。

[0073] 在本实施例中，其中所述第一转轴13可以采用具有角度限制的转轴，使得调节板16仅转动180°，若第一转轴13采用普通的无角度限制的转轴，可以在联动板17上安装两组限位块，用于对调节板16的转动角度进行限定，使得调节板16仅能够转动180°；所述联动板
17远离调节板16的一端与按压板27固定连接；联动板17能够使得清理辊7跟随按压板27移动，清理辊7在移动时，驱动块14与摩擦板15接触，使得驱动块14带动清理辊7转动，便于清除工作台9上的灰尘，由于调节板16向外延伸，使得清理辊7始终处于按压板27的前方，使得清理辊7在经过一组底板25之后，按压板27才会推动该组底板25移动，使得吸尘孔31能够对清理辊7清扫过后的区域进行吸尘，进而提高清洁效果，当第二齿条18按压到其中一组升降板4上后，第二齿条18将带动第一齿轮28转动，使得第一齿轮28带动第一转轴13转动180°，进而使得调节板16在联动板17上翻转，便于使得清理辊7始终处于按压板27移动方向的前方。

[0074] 在本发明的一个实施例中，请参阅图1和图2，所述升降组件包括第一螺纹杆2，所述第一螺纹杆2在底座1上转动安装有多组，且底座1内还设置有用于带动第一螺纹杆2转动的电机，所述第一螺纹杆2与升降板4之间螺纹连接。

[0075] 在本实施例中，所述电机设置于底座1内部，电机通过带动第一螺纹杆2转动的方式，能够带动升降板4在第一螺纹杆2的长度方向上移动，从而带动升降框10和工作台9进行升降。

[0076] 请参阅图1，本发明实施例提供的一种曝光机，包括以上所述的升降工作台结构。

[0077] 综上所述，本发明的工作原理是：使用时，将待加工材料放置到标示线8框选的区域内，便于曝光单元6对其进行加工，升降组件通过带动升降板4移动的方式，能够带动升降框10在竖直方向上移动，从而实现对工作台9工作高度的调节；初始状态下，吸尘块12顶部与工作台9的表面齐平，进行清洁时，首先利用清理组件对工作台9的表面进行清扫，清扫的同时，抽气组件工作，使得吸尘孔31内产生负压，并且按压组件带动多组底板25依次向工作台9一侧移动，使得吸尘块12凸出工作台9的表面，进而使得吸尘孔31移动至工作台9上方，并对清扫后的工作台9进行吸尘，使得工作台9始终保持清洁状态，提高材料的加工质量。

[0078] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“滑动”、“转动”、“固定”、“设有”等术语应做广义理解，例如，可以是焊接连接，也可以是螺栓连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0079] 以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。