一种石英舟退火装置及其方法转让专利

申请号 : CN202410063749.4

文献号 : CN117567011B

文献日 :

基本信息:

PDF:

法律信息:

相似专利:

发明人 : 邢洪超赵树君崔冠利张建王铁王道征韩皓孙超丁文杰陈玉龙刘岩马朝明

申请人 : 辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司

摘要 :

本发明公开了一种石英舟退火装置及其方法,涉及石英舟的退火技术领域,包括退火炉主体,所述转盘上设置有与电机输出端相连的等距夹连件,所述第二连接架上设置有与等距夹连件相连的自转旋位件。本发明通过设置等距夹连件、自转旋位件,电机运作使得拨位齿条进行上下往复移动,拨位齿条上下移动使得第二往复丝杆与第二连接轴进行有序转动,以此来使石英舟的顶部在一段时间内失去放置板的遮挡,当第二连接轴进行转动时转盘相对遮挡仓转动一百八十度,当第二往复丝杆再次进行转动时石英舟的底部在一段时间内失去放置板的遮挡,以此来防止石英舟的一处受到长时间遮挡而导致石英舟各个位置的温度不同,从而提高石英舟的退火效果。

权利要求 :

1.一种石英舟退火装置,包括退火炉主体(1),其特征在于,所述退火炉主体(1)上设置有导向杆(2),所述导向杆(2)远离退火炉主体(1)的一端安装有遮挡仓(3),所述遮挡仓(3)靠近退火炉主体(1)的一端通过轴承转动连接有转盘(4),所述转盘(4)上设置有位于遮挡仓(3)内侧的第二连接架(508),所述转盘(4)上设置有位于第二连接架(508)上方的第三连接架(515),所述第三连接架(515)的底部安装有电机(529),所述转盘(4)上设置有与电机(529)输出端相连的等距夹连件,所述转盘(4)靠近退火炉主体(1)的一端滑动连接有多个第二滑块(523),多个第二滑块(523)沿着转盘(4)的竖向中轴线等距离分布,所述电机(529)的输出端通过等距夹连件与第二滑块(523)相连,所述第二滑块(523)靠近退火炉主体(1)的一侧固定有定位连块(509),所述定位连块(509)上设置有锁位件,所述定位连块(509)通过锁位件连接有放置板(506),所述放置板(506)上开设有防滑垫(505),所述第二连接架(508)上设置有与等距夹连件相连的自转旋位件;

所述等距夹连件包括有与转盘(4)滑动连接且位于第二滑块(523)两侧的T型活动块(501),所述T型活动块(501)的内侧安装有限位杆(502),所述限位杆(502)上套设有第一滑块(504),所述第一滑块(504)的一端设置有与第二滑块(523)相连的铰接连杆(527),所述第二连接架(508)的内侧通过轴承转动连接有第二往复丝杆(517),T型活动块(501)的一端套设于第二往复丝杆(517)上,所述第二往复丝杆(517)的一端通过轴承转动连接有第三连接轴(526),所述第三连接轴(526)上安装有两个第一棘轮(524),两个第一棘轮(524)沿着第三连接轴(526)的竖向中轴线对称设置,所述第三连接轴(526)上安装有位于两个第一棘轮(524)之间的第二传动直齿轮(525),所述第二往复丝杆(517)的一端转动连接有与第一棘轮(524)相啮合的第一棘爪(528),所述转盘(4)上滑动连接有位于第二连接架(508)内侧且与第二传动直齿轮(525)相啮合的拨位齿条(511),所述电机(529)的输出端连接有第一卡接齿轮(530),所述电机(529)上通过轴承转动连接有位于电机(529)一侧的第一往复丝杆(516),所述第一往复丝杆(516)的顶端连接有与第一卡接齿轮(530)相啮合的第二卡接齿轮(531),拨位齿条(511)套设于第一往复丝杆(516)上;

所述自转旋位件包括有转动连接于第二连接架(508)内侧且与第二往复丝杆(517)并排设置的第二连接轴(520),所述第二连接轴(520)的一端设置有位于第二连接架(508)外侧的第二传动锥齿轮(521),所述转盘(4)上设置有位于第二连接架(508)两侧的第一连接架(507),所述第一连接架(507)上设置有蜗杆(522),所述蜗杆(522)的一端设置有与第二传动锥齿轮(521)相啮合的第一传动锥齿轮(503),所述转盘(4)上设置有位于第一连接架(507)远离第二连接架(508)一侧的支撑转轴(513),所述支撑转轴(513)的顶端安装有与蜗杆(522)相啮合的蜗轮(512),所述支撑转轴(513)上安装有旋转直齿轮(514),所述遮挡仓(3)的内壁安装有与旋转直齿轮(514)相啮合的直齿轮环(510),所述第二连接轴(520)远离第二传动锥齿轮(521)的一端通过轴承转动连接有第一连接轴(518),所述第一连接轴(518)上设置有两个第二棘轮(539),两个第二棘轮(539)沿着第一连接轴(518)的竖向中轴线对称设置,所述第一连接轴(518)上设置有位于两个第二棘轮(539)之间的第一传动直齿轮(519),所述第二连接架(508)的内侧通过转轴转动连接有位于第一传动直齿轮(519)、第二传动直齿轮(525)之间的过渡齿轮(541),所述第二连接轴(520)远离第二传动锥齿轮(521)的一端转动连接有与第二棘轮(539)相啮合的第二棘爪(540);

所述锁位件包括有固定于第二滑块(523)一端的定位连块(509),所述定位连块(509)内插接有T型锁位杆(534),放置板(506)安装于T型锁位杆(534)远离第二滑块(523)的一侧,所述T型锁位杆(534)上开设有两个螺纹插孔(538),两个螺纹插孔(538)沿着T型锁位杆(534)的竖向中轴线对称设置,所述T型锁位杆(534)上开设有位于两个螺纹插孔(538)之间的卡孔(537),定位连块(509)的顶部插接有延伸至卡孔(537)内侧的卡销(536),所述卡销(536)的顶端设置有连板(535),所述连板(535)的底部设置有与定位连块(509)相连的复位弹簧(532),所述定位连块(509)上设置有延伸至螺纹插孔(538)内的定位螺栓(533)。

2.根据权利要求1所述的一种石英舟退火装置,其特征在于,所述第一滑块(504)的数量设置有多个,且多个第一滑块(504)沿着限位杆(502)的竖向中轴线等距离分布,所述第二滑块(523)与第一滑块(504)之间通过铰接连杆(527)进行连接。

3.根据权利要求1所述的一种石英舟退火装置,其特征在于,所述第一棘爪(528)、第二棘爪(540)通过转轴分别与第二往复丝杆(517)、第二连接轴(520)转动连接,所述第一棘爪(528)与第二往复丝杆(517)、第二棘爪(540)与第二连接轴(520)之间连接的转轴处通过卡槽卡接有扭力弹簧,所述第二棘轮(539)与第一棘轮(524)上的棘齿朝向相反。

4.根据权利要求1所述的一种石英舟退火装置,其特征在于,所述过渡齿轮(541)与第二传动直齿轮(525)、第一传动直齿轮(519)相啮合,所述过渡齿轮(541)、第二传动直齿轮(525)与第一传动直齿轮(519)的直径大小相等。

5.根据权利要求1所述的一种石英舟退火装置,其特征在于,所述卡孔(537)的直径大于螺纹插孔(538)的直径,所述定位连块(509)内开设有贯穿定位连块(509)且与T型锁位杆(534)相契合的T型孔。

6.根据权利要求1所述的一种石英舟退火装置,其特征在于,所述卡销(536)的底部通过轴承转动连接有滚珠。

7.一种石英舟退火方法,其特征在于,采用权利要求1‑6任一项所述的一种石英舟退火装置,包括以下步骤:

S1:在对石英舟进行退火处理前,先将石英舟通过防滑垫(505)放置于放置板(506)上,之后通过锁位件对放置板(506)进行安装,使得相邻的两个放置板(506)之间放置有石英舟,通过相邻的两侧放置板(506)对石英舟进行夹持定位;

S2:推动遮挡仓(3),将放置石英舟的放置板(506)推入退火炉主体(1)内,此时通过遮挡仓(3)对退火炉主体(1)的一端进行封堵;

S3:通过位置控制器启动电机(529),通过电机(529)的运作使得等距夹连件带动第二滑块(523)进行一次上下往复移动,当放置板(506)向着远离转盘(4)的圆心进行移动时,石英舟的顶部便会失去放置板(506)的遮挡,此时石英舟的顶部与石英舟的四周受热相等;

S4:当放置板(506)向着转盘(4)的圆心进行靠拢时,相邻的放置板(506)之间的石英舟便会再次受到放置板(506)的夹持,随后通过电机(529)的继续运作使得自转旋位件进行运作;

S5:通过自转旋位件的运作使得转盘(4)相对遮挡仓(3)转动一百八十度,通过转盘(4)的转动使得石英舟的底部朝上,此时等距夹连件再次带动第二滑块(523)进行一次上下往复移动时便可使石英舟的底部失去遮挡,配合着退火炉主体(1)的运作来对石英舟整体进行退火处理。

说明书 :

一种石英舟退火装置及其方法

技术领域

[0001] 本发明涉及石英舟的退火技术领域,具体是一种石英舟退火装置及其方法。

背景技术

[0002] 现有的卧式石英舟加工完成后需要进行对石英舟进行退火去除焊接过程中的温度应力防止石英舟的炸裂。
[0003] 由于石英舟放入退火炉中时需要用到退火炉中的底板进行支撑,将石英舟放置于退火炉中的底板上时,石英舟的部分位置便会与底板接触,此时在对石英舟进行加热退火时,由于石英舟的部分位置受到火炉中的底板遮挡,如此便会导致石英舟上各个位置处的受热温度不均匀,如此便会影响石英舟的退火效果。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于:为了解决石英舟在退火过程中会有部分位置受到遮挡而影响退火效果的问题,提供一种石英舟退火装置及其方法。
[0005] 为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种石英舟退火装置,包括退火炉主体,所述退火炉主体上设置有导向杆,所述导向杆远离退火炉主体的一端安装有遮挡仓,所述遮挡仓靠近退火炉主体的一端通过轴承转动连接有转盘,所述转盘上设置有位于遮挡仓内侧的第二连接架,所述转盘上设置有位于第二连接架上方的第三连接架,所述第三连接架的底部安装有电机,所述转盘上设置有与电机输出端相连的等距夹连件,所述转盘靠近退火炉主体的一端滑动连接有多个第二滑块,多个第二滑块沿着转盘的竖向中轴线等距离分布,所述电机的输出端通过等距夹连件与第二滑块相连,所述第二滑块靠近退火炉主体的一侧固定有定位连块,所述定位连块上设置有锁位件,所述定位连块通过锁位件连接有放置板,所述放置板上开设有防滑垫,所述第二连接架上设置有与等距夹连件相连的自转旋位件。
[0006] 作为本发明再进一步的方案:所述等距夹连件包括有与转盘滑动连接且位于第二滑块两侧的T型活动块,所述T型活动块的内侧安装有限位杆,所述限位杆上套设有第一滑块,所述第一滑块的一端设置有与第二滑块相连的铰接连杆,所述第二连接架的内侧通过轴承转动连接有第二往复丝杆,T型活动块的一端套设于第二往复丝杆上,所述第二往复丝杆的一端通过轴承转动连接有第三连接轴,所述第三连接轴上安装有两个第一棘轮,两个第一棘轮沿着第三连接轴的竖向中轴线对称设置,所述第三连接轴上安装有位于两个第一棘轮之间的第二传动直齿轮,所述第二往复丝杆的一端转动连接有与第一棘轮相啮合的第一棘爪,所述转盘上滑动连接有位于第二连接架内侧且与第二传动直齿轮相啮合的拨位齿条,所述电机的输出端连接有第一卡接齿轮,所述电机上通过轴承转动连接有位于电机一侧的第一往复丝杆,所述第一往复丝杆的顶端连接有与第一卡接齿轮相啮合的第二卡接齿轮,拨位齿条套设于第一往复丝杆上。
[0007] 作为本发明再进一步的方案:所述第一滑块的数量设置有多个,且多个第一滑块沿着限位杆的竖向中轴线等距离分布,所述第二滑块与第一滑块之间通过铰接连杆进行连接。
[0008] 作为本发明再进一步的方案:所述自转旋位件包括有转动连接于第二连接架内侧且与第二往复丝杆并排设置的第二连接轴,所述第二连接轴的一端设置有位于第二连接架外侧的第二传动锥齿轮,所述转盘上设置有位于第二连接架两侧的第一连接架,所述第一连接架上设置有蜗杆,所述蜗杆的一端设置有与第二传动锥齿轮相啮合的第一传动锥齿轮,所述转盘上设置有位于第一连接架远离第二连接架一侧的支撑转轴,所述支撑转轴的顶端安装有与蜗杆相啮合的蜗轮,所述支撑转轴上安装有旋转直齿轮,所述遮挡仓的内壁安装有与旋转直齿轮相啮合的直齿轮环,所述第二连接轴远离第二传动锥齿轮的一端通过轴承转动连接有第一连接轴,所述第一连接轴上设置有两个第二棘轮,两个第二棘轮沿着第一连接轴的竖向中轴线对称设置,所述第一连接轴上设置有位于两个第二棘轮之间的第一传动直齿轮,所述第二连接架的内侧通过转轴转动连接有位于第一传动直齿轮、第二传动直齿轮之间的过渡齿轮,所述第二连接轴远离第二传动锥齿轮的一端转动连接有与第二棘轮相啮合的第二棘爪。
[0009] 作为本发明再进一步的方案:所述第一棘爪、第二棘爪通过转轴分别与第二往复丝杆、第二连接轴转动连接,所述第一棘爪与第二往复丝杆、第二棘爪与第二连接轴之间连接的转轴处通过卡槽卡接有扭力弹簧,所述第二棘轮与第一棘轮上的棘齿朝向相反。
[0010] 作为本发明再进一步的方案:所述过渡齿轮与第二传动直齿轮、第一传动直齿轮相啮合,所述过渡齿轮、第二传动直齿轮与第一传动直齿轮的直径大小相等。
[0011] 作为本发明再进一步的方案:所述锁位件包括有固定于第二滑块一端的定位连块,所述定位连块内插接有T型锁位杆,放置板安装于T型锁位杆远离第二滑块的一侧,所述T型锁位杆上开设有两个螺纹插孔,两个螺纹插孔沿着T型锁位杆的竖向中轴线对称设置,所述T型锁位杆上开设有位于两个螺纹插孔之间的卡孔,定位连块的顶部插接有延伸至卡孔内侧的卡销,所述卡销的顶端设置有连板,所述连板的底部设置有与定位连块相连的复位弹簧,所述定位连块上设置有延伸至螺纹插孔内的定位螺栓。
[0012] 作为本发明再进一步的方案:所述卡孔的直径大于螺纹插孔的直径,所述定位连块内开设有贯穿定位连块且与T型锁位杆相契合的T型孔。
[0013] 作为本发明再进一步的方案:所述卡销的底部通过轴承转动连接有滚珠。
[0014] 本发明还公开了一种石英舟退火方法,采用上述一种石英舟退火装置及其方法,包括以下步骤:
[0015] S1:在对石英舟进行退火处理前,先将石英舟通过防滑垫放置于放置板上,之后通过锁位件对放置板进行安装,使得相邻的两个放置板之间放置有石英舟,通过相邻的两侧放置板对石英舟进行夹持定位;
[0016] S2:推动遮挡仓,将放置石英舟的放置板推入退火炉主体内,此时通过遮挡仓对退火炉主体的一端进行封堵;
[0017] S3:通过位置控制器启动电机,通过电机的运作使得等距夹连件带动第二滑块进行一次上下往复移动,当放置板向着远离转盘的圆心进行移动时,石英舟的顶部便会失去放置板的遮挡,此时石英舟的顶部与石英舟的四周受热相等;
[0018] S4:当放置板向着转盘的圆心进行靠拢时,相邻的放置板之间的石英舟便会再次受到放置板的夹持,随后通过电机的继续运作使得自转旋位件进行运作;
[0019] S5:通过自转旋位件的运作使得转盘相对遮挡仓转动一百八十度,通过转盘的转动使得石英舟的底部朝上,此时等距夹连件再次带动第二滑块进行一次上下往复移动时便可使石英舟的底部失去遮挡,配合着退火炉主体的运作来对石英舟整体进行退火处理。
[0020] 与现有技术相比,本发明的有益效果是:
[0021] 1、通过设置等距夹连件、自转旋位件,电机运作使得拨位齿条进行上下往复移动,拨位齿条上下移动使得第二往复丝杆与第二连接轴进行有序转动,第二往复丝杆进行转动时放置板进行一次上下移动,以此来使石英舟的顶部在一段时间内失去放置板的遮挡,当第二连接轴进行转动时转盘相对遮挡仓转动一百八十度,当第二往复丝杆再次进行转动时石英舟的底部在一段时间内失去放置板的遮挡,以此来防止放置板对石英舟的一处进行长时间遮挡而导致石英舟各个位置的温度不同,从而提高石英舟的退火效果;
[0022] 2、通过设置锁位件,将放置板上的T型锁位杆水平插入定位连块,在此过程中松开连板,随着T型锁位杆的插入,当卡销与卡孔对齐时,卡销便会在复位弹簧的作用下插入卡孔内,以此来实现对放置板的预固定,之后将定位螺栓拧入螺纹插孔内来实现对放置板的固定,之后将石英舟放置于放置板上,使得相邻的两个放置板之间放置有石英舟,通过相邻的两侧放置板对石英舟进行夹持定位,以此来实现石英舟的堆放,提高了退火炉主体内部空间的利用率,同时增加了石英舟的放置数量,从而提高退火效率,还可实现对放置板的快速安装、拆卸,可根据不同规格的石英舟来对放置板进行快速更换;
[0023] 3、通过设置自转旋位件,当拨位齿条向着远离第三连接架的方向进行移动时,第二连接轴随着第一连接轴进行转动,此时第二传动锥齿轮通过第一传动锥齿轮带动蜗杆进行转动,如此便可使得蜗杆通过蜗轮、支撑转轴带动旋转直齿轮进行转动,此时旋转直齿轮便会沿着直齿轮环进行转动,使得转盘相对遮挡仓转动一百八十度,以此来对放置板夹持固定的石英舟进行翻转处理,配合着等距夹连件使得相邻的放置板交替的对石英舟进行支撑,以此来减小放置板对石英舟的遮挡面积。

附图说明

[0024] 图1为本发明的结构示意图;
[0025] 图2为本发明的遮挡仓内部的结构示意图;
[0026] 图3为本发明的转盘与第二连接架的连接示意图;
[0027] 图4为本发明的第二往复丝杆与支撑转轴的连接示意图;
[0028] 图5为本发明的电机与T型活动块的连接示意图;
[0029] 图6为本发明的放置板与第二滑块的连接示意图;
[0030] 图7为本发明的第一滑块与第二滑块之间的连接示意图;
[0031] 图8为本发明的定位连块的内部结构示意图;
[0032] 图9为本发明的第二往复丝杆与第二连接轴的连接示意图。
[0033] 图中:1、退火炉主体;2、导向杆;3、遮挡仓;4、转盘;501、T型活动块;502、限位杆;503、第一传动锥齿轮;504、第一滑块;505、防滑垫;506、放置板;507、第一连接架;508、第二连接架;509、定位连块;510、直齿轮环;511、拨位齿条;512、蜗轮;513、支撑转轴;514、旋转直齿轮;515、第三连接架;516、第一往复丝杆;517、第二往复丝杆;518、第一连接轴;519、第一传动直齿轮;520、第二连接轴;521、第二传动锥齿轮;522、蜗杆;523、第二滑块;524、第一棘轮;525、第二传动直齿轮;526、第三连接轴;527、铰接连杆;528、第一棘爪;529、电机;
530、第一卡接齿轮;531、第二卡接齿轮;532、复位弹簧;533、定位螺栓;534、T型锁位杆;
535、连板;536、卡销;537、卡孔;538、螺纹插孔;539、第二棘轮;540、第二棘爪;541、过渡齿轮。

具体实施方式

[0034] 下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
[0035] 在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。下面根据本发明的整体结构,对其实施例进行说明。
[0036] 请参阅图1~图9,本发明实施例中,一种石英舟退火装置,包括退火炉主体1,退火炉主体1上设置有导向杆2,导向杆2远离退火炉主体1的一端安装有遮挡仓3,遮挡仓3靠近退火炉主体1的一端通过轴承转动连接有转盘4,转盘4上设置有位于遮挡仓3内侧的第二连接架508,转盘4上设置有位于第二连接架508上方的第三连接架515,第三连接架515的底部安装有电机529,转盘4上设置有与电机529输出端相连的等距夹连件,转盘4靠近退火炉主体1的一端滑动连接有多个第二滑块523,多个第二滑块523沿着转盘4的竖向中轴线等距离分布,电机529的输出端通过等距夹连件与第二滑块523相连,第二滑块523靠近退火炉主体1的一侧固定有定位连块509,定位连块509上设置有锁位件,定位连块509通过锁位件连接有放置板506,放置板506上开设有防滑垫505,第二连接架508上设置有与等距夹连件相连的自转旋位件。
[0037] 本实施例中:在对石英舟进行退火处理前,先将石英舟通过防滑垫505放置于放置板506上,之后通过锁位件对放置板506进行安装,使得相邻的两个放置板506之间放置有石英舟,通过相邻的两侧放置板506对石英舟进行夹持定位,之后推动遮挡仓3,将放置石英舟的放置板506推入退火炉主体1内,此时通过遮挡仓3对退火炉主体1的一端进行封堵,之后通过位置控制器启动电机529,通过电机529的运作使得等距夹连件带动第二滑块523进行一次上下往复移动,当放置板506向着远离转盘4的圆心进行移动时,石英舟的顶部便会失去放置板506的遮挡,此时石英舟的顶部与石英舟的四周受热相等,当放置板506向着转盘4的圆心进行靠拢时,相邻的放置板506之间的石英舟便会再次受到放置板506的夹持,随后通过电机529的继续运作使得自转旋位件进行运作,通过自转旋位件的运作使得转盘4相对遮挡仓3转动一百八十度,通过转盘4的转动使得石英舟的底部朝上,此时等距夹连件再次带动第二滑块523进行一次上下往复移动时便可使石英舟的底部失去遮挡,配合着退火炉主体1的运作来对石英舟整体进行退火处理。
[0038] 请着重参阅图1、图2、图3、图4、图5、图7,等距夹连件包括有与转盘4滑动连接且位于第二滑块523两侧的T型活动块501,T型活动块501的内侧安装有限位杆502,限位杆502上套设有第一滑块504,第一滑块504的一端设置有与第二滑块523相连的铰接连杆527,第二连接架508的内侧通过轴承转动连接有第二往复丝杆517,T型活动块501的一端套设于第二往复丝杆517上,第二往复丝杆517的一端通过轴承转动连接有第三连接轴526,第三连接轴526上安装有两个第一棘轮524,两个第一棘轮524沿着第三连接轴526的竖向中轴线对称设置,第三连接轴526上安装有位于两个第一棘轮524之间的第二传动直齿轮525,第二往复丝杆517的一端转动连接有与第一棘轮524相啮合的第一棘爪528,转盘4上滑动连接有位于第二连接架508内侧且与第二传动直齿轮525相啮合的拨位齿条511,电机529的输出端连接有第一卡接齿轮530,电机529上通过轴承转动连接有位于电机529一侧的第一往复丝杆516,第一往复丝杆516的顶端连接有与第一卡接齿轮530相啮合的第二卡接齿轮531,拨位齿条
511套设于第一往复丝杆516上。
[0039] 本实施例中:启动电机529,电机529进行运作时通过第一卡接齿轮530、第二卡接齿轮531带动第一往复丝杆516进行转动,此时拨位齿条511沿着第一往复丝杆516向着第三连接架515进行移动,在此过程中拨位齿条511拨动第二传动直齿轮525进行转动,同时第一棘爪528对第一棘轮524进行限位,如此便可使第二往复丝杆517随着第三连接轴526进行转动,第二往复丝杆517进行转动时可使T型活动块501沿着第二往复丝杆517进行一次往复移动,当T型活动块501带动第一滑块504向着第二滑块523进行移动时,第一滑块504通过对铰接连杆527的挤压来使第二滑块523进行竖直方向上的移动,如此便可使得多个第二滑块523呈等距扩散状态移动,如此便可使得相邻放置板506之间的石英舟顶部失去放置板506的遮挡,当T型活动块501沿着第二往复丝杆517向着远离第二滑块523的方向移动时,第一滑块504通过对铰接连杆527的拉动来使第二滑块523之间进行靠拢,以此来使放置板506对石英舟进行夹持,当拨位齿条511在移至最高处后会随着第一往复丝杆516的转动沿着第一往复丝杆516向着远离第三连接架515的方向进行移动,在此过程中第一棘爪528随着第一棘轮524的转动而进行摆动,此时的第一棘爪528无法对第一棘轮524进行限位,如此便可使得第三连接轴526相对第二往复丝杆517进行转动,在此过程中自转旋位件进行运作,以此来使转盘4相对遮挡仓3转动一百八十度,之后拨位齿条511再次向着第三连接架515进行移动时便可使得石英舟的底部失去遮挡,以此来防止放置板506对石英舟的一处进行长时间遮挡而导致石英舟各个位置的温度不同,从而提高石英舟的退火效果。
[0040] 请着重参阅图1、图4、图7,第一滑块504的数量设置有多个,且多个第一滑块504沿着限位杆502的竖向中轴线等距离分布,第二滑块523与第一滑块504之间通过铰接连杆527进行连接。
[0041] 本实施例中:通过设置此结构使得T型活动块501带动第一滑块504进行左右移动时,第一滑块504通过铰接连杆527带动第二滑块523进行竖直移动,以此来使多个第二滑块523的移动距离相等。
[0042] 请着重参阅图2、图3、图4、图9,自转旋位件包括有转动连接于第二连接架508内侧且与第二往复丝杆517并排设置的第二连接轴520,第二连接轴520的一端设置有位于第二连接架508外侧的第二传动锥齿轮521,转盘4上设置有位于第二连接架508两侧的第一连接架507,第一连接架507上设置有蜗杆522,蜗杆522的一端设置有与第二传动锥齿轮521相啮合的第一传动锥齿轮503,转盘4上设置有位于第一连接架507远离第二连接架508一侧的支撑转轴513,支撑转轴513的顶端安装有与蜗杆522相啮合的蜗轮512,支撑转轴513上安装有旋转直齿轮514,遮挡仓3的内壁安装有与旋转直齿轮514相啮合的直齿轮环510,第二连接轴520远离第二传动锥齿轮521的一端通过轴承转动连接有第一连接轴518,第一连接轴518上设置有两个第二棘轮539,两个第二棘轮539沿着第一连接轴518的竖向中轴线对称设置,第一连接轴518上设置有位于两个第二棘轮539之间的第一传动直齿轮519,第二连接架508的内侧通过转轴转动连接有位于第一传动直齿轮519、第二传动直齿轮525之间的过渡齿轮541,第二连接轴520远离第二传动锥齿轮521的一端转动连接有与第二棘轮539相啮合的第二棘爪540。
[0043] 本实施例中:拨位齿条511向着第三连接架515进行移动的过程中,第二传动直齿轮525通过过渡齿轮541、第一传动直齿轮519带动第一连接轴518进行转动,此时第二棘爪540无法对第二棘轮539进行限位,如此便可使得第一连接轴518相对第二连接轴520进行转动,当拨位齿条511向着远离第三连接架515的方向进行移动时,第二传动直齿轮525通过过渡齿轮541、第一传动直齿轮519带动第一连接轴518进行转动,此时第二棘爪540便会对第二棘轮539进行限位,如此便可使得第二连接轴520随着第一连接轴518进行转动,此时第二传动锥齿轮521通过第一传动锥齿轮503带动蜗杆522进行转动,如此便可使得蜗杆522通过蜗轮512、支撑转轴513带动旋转直齿轮514进行转动,此时旋转直齿轮514便会沿着直齿轮环510进行转动,使得转盘4相对遮挡仓3转动一百八十度,以此来对放置板506夹持固定的石英舟进行翻转处理。
[0044] 请着重参阅图9,第一棘爪528、第二棘爪540通过转轴分别与第二往复丝杆517、第二连接轴520转动连接,第一棘爪528与第二往复丝杆517、第二棘爪540与第二连接轴520之间连接的转轴处通过卡槽卡接有扭力弹簧,第二棘轮539与第一棘轮524上的棘齿朝向相反。
[0045] 本实施例中:通过设置此结构使得拨位齿条511向着第三连接架515进行转动时第二往复丝杆517进行转动,此时第二连接轴520处于静止状态,当拨位齿条511向着远离第三连接架515的方向进行移动进行转动时第二往复丝杆517处于静止状态,同时第二连接轴520进行转动,以此来使第二连接轴520与第二往复丝杆517进行有序转动。
[0046] 请着重参阅图9,过渡齿轮541与第二传动直齿轮525、第一传动直齿轮519相啮合,过渡齿轮541、第二传动直齿轮525与第一传动直齿轮519的直径大小相等。
[0047] 本实施例中:通过设置此结构使得第二传动直齿轮525在转动时第一传动直齿轮519与第二传动直齿轮525的转动方向相同,以此来增加第三连接轴526与第一连接轴518转动的同步性。
[0048] 请着重参阅图1、图4、图6、图8,锁位件包括有固定于第二滑块523一端的定位连块509,定位连块509内插接有T型锁位杆534,放置板506安装于T型锁位杆534远离第二滑块
523的一侧,T型锁位杆534上开设有两个螺纹插孔538,两个螺纹插孔538沿着T型锁位杆534的竖向中轴线对称设置,T型锁位杆534上开设有位于两个螺纹插孔538之间的卡孔537,定位连块509的顶部插接有延伸至卡孔537内侧的卡销536,卡销536的顶端设置有连板535,连板535的底部设置有与定位连块509相连的复位弹簧532,定位连块509上设置有延伸至螺纹插孔538内的定位螺栓533。
[0049] 本实施例中:在对放置板506进行安装时先拉动连板535,此时复位弹簧532进行伸展,之后将放置板506上的T型锁位杆534水平插入定位连块509,在此过程中松开连板535,随着T型锁位杆534的插入,当卡销536与卡孔537对齐时,卡销536便会在复位弹簧532的作用下插入卡孔537内,以此来实现对放置板506的预固定,之后将定位螺栓533拧入螺纹插孔538内来实现对放置板506的固定,以此来实现对放置板506的快速安装、拆卸,同时还可根据不同规格的石英舟来对放置板506进行快速更换。
[0050] 请着重参阅图6、图9,卡孔537的直径大于螺纹插孔538的直径,定位连块509内开设有贯穿定位连块509且与T型锁位杆534相契合的T型孔。
[0051] 本实施例中:通过设置此结构可防止卡销536插入螺纹插孔538内,以此来提高卡销536与卡孔537对接的精准度。
[0052] 请着重参阅图8,卡销536的底部通过轴承转动连接有滚珠。
[0053] 本实施例中:通过设置此结构来减小T型锁位杆534与卡销536之间的摩擦力,以此来增加卡销536与T型锁位杆534的使用寿命。
[0054] 以下结合上述一种石英舟退火装置,提供一种石英舟退火方法,具体包括以下步骤:
[0055] S1:在对石英舟进行退火处理前,先拉动连板535,此时复位弹簧532进行伸展,之后将放置板506上的T型锁位杆534水平插入定位连块509,在此过程中松开连板535,随着T型锁位杆534的插入,当卡销536与卡孔537对齐时,卡销536便会在复位弹簧532的作用下插入卡孔537内,以此来实现对放置板506的预固定,之后将定位螺栓533拧入螺纹插孔538内来实现对放置板506的固定,之后将石英舟放置于放置板506上,使得相邻的两个放置板506之间放置有石英舟,通过相邻的两侧放置板506对石英舟进行夹持定位,以此来实现石英舟的堆放,增加石英舟的放置数量,从而提高退火效率;
[0056] S2:推动遮挡仓3,将放置石英舟的放置板506推入退火炉主体1内,此时通过遮挡仓3对退火炉主体1的一端进行封堵;
[0057] S3:启动电机529,电机529进行运作时通过第一卡接齿轮530、第二卡接齿轮531带动第一往复丝杆516进行转动,此时拨位齿条511沿着第一往复丝杆516向着第三连接架515进行移动,在此过程中拨位齿条511拨动第二传动直齿轮525进行转动,同时第一棘爪528对第一棘轮524进行限位,如此便可使第二往复丝杆517随着第三连接轴526进行转动,第二往复丝杆517进行转动时可使T型活动块501沿着第二往复丝杆517进行一次往复移动;
[0058] S4:当T型活动块501带动第一滑块504向着第二滑块523进行移动时,第一滑块504通过对铰接连杆527的挤压来使第二滑块523进行竖直方向上的移动,如此便可使得多个第二滑块523呈等距扩散状态移动,如此便可使得相邻放置板506之间的石英舟顶部失去放置板506的遮挡,当T型活动块501沿着第二往复丝杆517向着远离第二滑块523的方向移动时,第一滑块504通过对铰接连杆527的拉动来使第二滑块523之间进行靠拢,以此来使放置板506对石英舟进行夹持;
[0059] S5:当拨位齿条511在移至最高处后会随着第一往复丝杆516的转动沿着第一往复丝杆516向着远离第三连接架515的方向进行移动,在此过程中第一棘爪528随着第一棘轮524的转动而进行摆动,此时的第一棘爪528无法对第一棘轮524进行限位,如此便可使得第三连接轴526相对第二往复丝杆517进行转动;
[0060] S6:第二传动直齿轮525通过过渡齿轮541、第一传动直齿轮519带动第一连接轴518进行转动,此时第二棘爪540便会对第二棘轮539进行限位,如此便可使得第二连接轴
520随着第一连接轴518进行转动,此时第二传动锥齿轮521通过第一传动锥齿轮503带动蜗杆522进行转动,如此便可使得蜗杆522通过蜗轮512、支撑转轴513带动旋转直齿轮514进行转动,此时旋转直齿轮514便会沿着直齿轮环510进行转动,使得转盘4相对遮挡仓3转动一百八十度,以此来对放置板506夹持固定的石英舟进行翻转处理;
[0061] S7:之后拨位齿条511再次向着第三连接架515进行移动时便可使得石英舟的底部失去遮挡,以此来防止放置板506对石英舟的一处进行长时间遮挡而导致石英舟各个位置的温度不同,从而提高石英舟的退火效果。
[0062] 以上所述的,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。