图像数据文件管理系统及方法

摘要

本发明的图像数据文件管理系统，包括：获取被检测体的图像的摄像部、对由该摄像部摄像的图像数据进行图像处理并获取检测结果的检测部、以对应于前述检测结果的压缩率压缩前述图像数据的压缩部、保存从该压缩部输出的图像数据的图像服务器。

权利要求

1.一种图像数据文件管理系统，包括：在半导体生产线的各制造工序中对被检测体进行各种检测的多个检测装置，其特征在于，包括：图像服务器，保存图像数据；以及

前述多个检测装置，通过通信用局域网线路与前述图像服务器连接；

前述多个检测装置包括：

摄像部，获取前述被检测体的图像数据；

判定装置，根据基于由前述摄像部获取的前述被检测体的图像数据来进行了缺陷检测的结果，判定前述被检测体是否合格；以及压缩装置，对由前述判定装置判定为合格的前述被检测体的图像数据进行非可逆压缩处理，并对被判定为不合格的前述被检测体的图像数据进行可逆压缩处理；

前述图像服务器仅将按照前述判定装置的合格与否的判定而由前述压缩装置压缩处理之后的图像数据，通过前述通信用局域网线路从前述多个检测装置接收并保存，前述多个检测装置包括放大前述被检测体的缺陷的微观检测装置，前述判定装置根据被放大的前述被检测体的微观图像判定是否合格，前述压缩装置对被判定为合格的前述微观图像进行非可逆压缩，对被判定为不合格的前述微观图像进行可逆压缩。

2.如权利要求1所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述多个检测装置配置在前述半导体生产线的净化室内。

3.如权利要求1所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述多个检测装置还包括宏观检测装置，前述判定装置根据前述被检测体的主图像和由前述摄像部获得的被检测体的检测图像的差分图像数据，检测出缺陷并判定是否合格；

前述压缩装置根据前述判定装置的结果对前述差分图像数据进行压缩处理。

4.如权利要求1所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述多个检测装置还包括宏观检测装置，前述判定装置根据前述被检测体的超过主图像辉度值的标准偏差值的前述主图像和前述被检测体的检测图像的差分图像数据，检测出缺陷并判定是否合格；前述压缩装置根据前述判定装置的结果，对超过前述标准偏差值的前述差分图像数据进行压缩处理。

5.如权利要求1所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述图像服务器具有数据库部和硬盘部，将前述被检测体的固有信息和检测结果信息保存到前述数据库部中，并根据这些信息将前述图像数据按照预定的规则移动到前述硬盘部的目录结构中，并且对该目录结构的每一分类制作前述图像数据的缩小图像。

6.如权利要求5所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述图像服务器还具有备份部，在将保存在前述硬盘部中的前述图像数据备份到前述备份部中时，将该图像数据被保存的备份媒质的ID注册到数据库部中。

7.如权利要求5所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述图像服务器在显示部缩略显示前述缩小图像，并一并显示与该缩小图像关联的被检测体的固有信息、检测结果信息、图像信息以及目录信息中至少一个。

8.如权利要求7所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述图像服务器监视前述硬盘部的目录，并对传送到该目录中的前述图像数据的检测结果进行履历管理。

9.如权利要求1所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述图像服务器将从前述多个检测装置传送来的各图像数据彼此与前述被检测体的信息相关联起来进行保存，并有选择地显示该相关联的前述各图像数据。

10.如权利要求1所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述图像服务器对与从前述多个检测装置传送来的同一坐标缺陷关联的多个图像数据附加链接ID并进行保存，并在显示部显示被选择的链接图像数据。

11.如权利要求1所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，前述多个检测装置还包括宏观检测装置，前述图像服务器对由前述宏观检测装置经缺陷检测处理抽取的各缺陷附加固有标记，并对应于该标记链接由前述微观检测装置的摄像部拍摄的微观图像，通过指定前述标记在显示部显示所链接的微观图像。

12.如权利要求11所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，在前述微观图像上还链接其他的微观检测装置的微观图像。

13.如权利要求1所述的图像数据文件管理系统，其特征在于，在多个制造工序的各检查中获取的图像数据，按照各工序顺序重叠表示在前述被检测体的图像上。

14.一种图像数据文件管理方法，在包括多个检测装置的图像数据文件管理系统中使用，该多个检测装置在半导体生产线的各制造工序中对被检测体进行各种检测，前述图像数据文件管理方法的特征在于，包括：根据由前述多个检测装置拍摄的前述被检测体的图像数据，利用前述多个检测装置进行缺陷检测处理的步骤，前述多个检测装置通过通信用局域网线路与图像服务器连接，并且包括放大前述被检测体的缺陷的微观检测装置；

根据该缺陷检测处理的结果，基于前述被放大的前述被检测体的微观图像，判定前述被检测体是否合格的步骤；

对由判定结果被判定为合格的前述被检测体的前述微观图像进行非可逆压缩处理，并对被判定为不合格的前述被检测体的前述微观图像进行可逆压缩处理的步骤；以及前述图像服务器仅将这些按照合格与否的判定进行了压缩处理之后的前述被检测体的前述微观图像，通过通信用局域网线路从前述多个检测装置接收并保存的步骤。

说明书

图像数据文件管理系统及方法

技术领域

[0001] 本发明涉及管理由检测装置等摄像的图像数据的图像数据文件管理系统及方法。 [0002] 背景技术

[0003] 例如，作为半导体晶片等的缺陷检测装置，利用摄像部对晶片面进行摄像、由计算机对摄像的图像进行图像处理以提取出缺陷、将这些图像处理过的图像数据存储到存储部中的装置正在被实用化。

[0004] 并且，在这种缺陷检测装置中，由于通过图像处理提取出的数据量增大，所以考虑将其与具有备份功能的图像服务器连接、将图像数据文件存储到图像服务器中。

[0005] 但是，在过去所考虑的图像数据文件存储方法中，为了将缺陷检测装置存储部的图像数据原封不动地存储到图像服务器侧的备份部中，服务器必须要有很大的存储容量，在经济上是不利的。并且，对于存储在服务器侧的图像数据文件的管理，存在由于考虑不周而难以有效利用备份数据的问题。

[0006] 本发明的目的是提供一种可以有效进行图像数据管理的图像数据文件管理系统及方法。

[0007] 发明内容

[0008] 本发明的检测装置的图像数据文件管理系统，该检测装置在半导体生产线的各制造工序中对被检测体进行各种检测，其特征在于，包括：图像服务器，保存图像数据； [0009] 多个检测装置，通过通信用局域网线路与前述图像服务器连接；

[0010] 前述多个检测装置包括：

[0011] 摄像部，获取前述被检测体的图像数据；

[0012] 判定装置，根据基于由前述摄像部获取的前述被检测体的图像数据来进行了缺陷检测的结果，判定前述被检测体是否合格；

[0013] 压缩装置，对由前述判定装置判定为合格的前述被检测体的图像数据进行非可逆压缩处理，并对被判定为不合格的前述被检测体的图像数据进行可逆压缩处理；

[0014] 前述图像服务器仅将按照前述判定装置的合格与否的判定而由前述压缩装置压缩处理之后的图像数据，通过前述通信用局域网线路从前述多个检测装置接收并保存， [0015] 前述多个检测装置由放大前述被检测体的缺陷的微观检测装置构成，前述判定装置根据被放大的前述被检测体的微观图像判定是否合格，前述压缩装置对被判定为合格的前述微观图像进行非可逆压缩，对被判定为不合格的前述微观图像进行可逆压缩。

[0016] 附图说明

[0017] 图1是表示根据本发明的第一个实施形式的图像数据文件管理系统的大致结构的图示。

[0018] 图2是表示根据本发明的第一个实施形式的检测装置侧的检测处理程序的流程图。

[0019] 图3A是详细表示根据本发明第一个实施形式的结果保存处理程序的流程图。

[0020] 图3B是表示根据本发明第一个实施形式的图像数据的压缩处理程序的流程图。 [0021] 图4是用于说明根据本发明第一个实施形式的图像数据的压缩保存的图示。

[0022] 图5是用于说明根据本发明第一个实施形式的图像数据的压缩保存的图示。

[0023] 图6是表示根据本发明的第一个实施形式的在服务器侧的处理程序的流程图。

[0024] 图7是表示关于记录到根据本发明第一个实施形式的数据库中的图像数据的记录的图示。

[0025] 图8A～图8E是表示记录到根据本发明第一个实施形式的数据库中的各记录的图示。

[0026] 图9是表示根据本发明第一个实施形式的检测图像的一览显示的例子的图示。

[0027] 图10是表示根据本发明第二个实施形式的图像数据文件管理系统的大致结构的图示。

[0028] 图11是表示根据本发明第二个实施形式的检测结果文件的一个例子的图示。

[0029] 图12是表示关于记录到根据本发明第二个实施形式的数据库中的图像数据的记录的图示。

[0030] 图13是表示关于根据本发明第二个实施形式的与图12所示的记录链接的图像数据的记录的图示。

[0031] 图14是表示在根据本发明第二个实施形式的检索终端显示部中的第一显示例的图示。

[0032] 图15是表示在根据本发明的第二个实施形式的检索终端显示部中的第二显示例的图示。

[0033] 图16是表示在根据本发明第二个实施形式的检索终端显示部中的第三显示例的图示。

[0034] 图17是表示在根据本发明第二个实施形式的检索终端显示部中的第四显示例的图示。

[0035] 图18是表示在根据本发明第二个实施形式的检索终端显示部中的第五显示例的图示。

[0036] 图19是表示根据本发明第二个实施形式的晶片图像显示的变形例的图示。

[0037] 实施发明的最佳形式

[0038] 以下，参照附图说明本发明的实施形式。

[0039] 图1是表示根据本发明第一实施形式的图像数据文件管理系统的大致结构的图示。在图1中，作为客户(client)装置的多个(在图中所示的例子中共四台)检测装置
1(#1～#4)执行在半导体晶片生产线的前序工序、后序工序的各阶段中的宏观检测、图形检测、显微镜检测、SEM检测等各种检测。检测装置1是例如由图中未示出的摄像部对晶片面进行摄像、并对摄像出的图像进行图像处理、检测出缺陷部的缺陷检测装置。各检测装置
1(#1～#4)配置在净化室2内。

[0040] 并且，各检测装置1(#1～#4)连接到通信用的LAN3上。LAN3进一步连接到图像服务器部4和检索终端5上。图像服务器部4具有备份装置41、数据库42、硬盘43和服务
器主体44。检索终端5配置在净化室2之外，检索图像服务器部4的存储内容。

[0041] 在形成上述结构的图像数据文件管理系统中，由各检测装置1对作为检测对象的晶片(检测用晶片)进行宏观检测、图形检测、显微镜检测、SEM检测等缺陷检测处理。例如，#1是宏观检测装置、#2是图形检测装置、#3是显微镜检测装置、#4是SEM检测装置。 [0042] 图2是表示宏观检测装置1(#1)侧中的检测处理的顺序的流程图。首先，在步骤201中，由检测装置1(#1)利用摄像部对检测用晶片的表面摄像，获取宏观检测图像数据。
所获取的图像数据是干涉图像和衍射图像的各数据。

[0043] 其次，由检测装置1(#1)在步骤202中，利用这些干涉图像和衍射图像的各数据进行晶片的缺陷检测，在步骤203中得出检测用晶片是否良好、即合格、不合格的检测结果，根据该结果进行图像数据的保存处理。同样，在其它的图形检测装置(#2)、显微镜检测装置(#3)、SEM检测装置(#4)中，对检测用晶 片上的缺陷进行放大，进行有无缺陷的判断和种类的检测。根据缺陷检测结果进行微观图像数据的保存处理。

[0044] 这时，由宏观检测装置1(#1)输出干涉图像数据、衍射图像数据和检测结果数据的各个文件。在检测装置1(#1)中，例如，当具有大约1小时处理最多380个图像的能力时，由于一个图像在未压缩时为4.1MB所以在1小时中需要1558MB的容量。这种处理当1天24小时运转1个月(30天)的时间时，需要1121.76GB。因而，在实际保存图像数据时，有
必要准备若干台1TB级容量的硬盘，成本方面不经济。

[0045] 因此，在本第一实施形式中，利用通过LAN3连接的图像服务器部4的硬盘43和备份装置41进行各检测装置1(#1～#4)中的结果保存处理。因此，使检测装置1中的硬盘容量达到最小限度，每天的运用和备份后的数据运用更为容易。

[0046] 图3A是详细表示图2的步骤204中的结果保存处理的顺序的流程图。首先，在步骤301中，利用宏观检测装置1(#1)由检测结果数据判断检测结果是合格还是不合格，作为判断晶片是否良好。在此，当判断为合格时，在步骤302中，宏观检测装置1(#1)对判断合格的晶片宏观图像数据(干涉图像和衍射图像进行压缩率为1/20的高压缩(称为非可逆
压缩)。这是因为，判断为合格的优质晶片图像数据，在以后被参照的机会很少，不需要完全将由检测装置1的摄像部摄像的原始图像数据复原的可逆性。

[0047] 并且，当在步骤301中判断为不合格时，在步骤303中，检测装置1对判断为不合格的晶片图像数据(干涉图像和衍射图像)进行例如压缩率为1/2的低压缩或者不压缩(称为可逆压缩)。判断为不合格的不良晶片图像数据，在详细分析需要再加工或做废弃处理的重大缺陷时参照的机会多，需要将由检测装置1的摄 像部摄像的图像数据完全复原
的可逆性。而且，在步骤304中，检测装置1(#1)通过LAN3将上述步骤302、303中压缩处
理的各种晶片图像数据保存到图像服务器部4的硬盘43中。

[0048] 图3B是表示上述步骤302、303中的图像数据的压缩处理顺序的流程图。首先，在步骤305中进行背景处理。在该背景处理中，由宏观检测装置1(#1)形成如图4所示的包含晶片等级的检测图像数据51，使该检测图像数据51中的晶片部51a和背景部(晶片等
级)51b分离。而且，检测图像数据51由宏观检测装置1(#1)将背景部51b置换成规定辉
度值(例如辉度值为0)的背景部51c，形成检测图像数据51’。该晶片部51a和背景部51b
的分离方法既可以人工设定也可以自动设定。

[0049] 其次，在步骤306中，宏观检测装置1(#1)进行主(参照)图像数据52和检测图像数据51’的排它逻辑和演算处理，求出差分图像数据53。检测装置1通过LAN3从硬盘
43中取出预先可逆压缩保存在图像服务器部4的硬盘43中、如图5所示的作为基准的主图
像52。

[0050] 宏观检测装置1(#1)，如图5所示，从取出的主图像数据52中扣除背景处理过的检测图像数据51’，求出差分图像数据53。而且，检测装置1，在步骤307中以在前述步骤302、302中设定的压缩率压缩差分图像数据53，在步骤308中如上述步骤304所示通过LAN3保
存到图像服务器部4的硬盘43中。

[0051] 并且，作为图像数据的其它压缩方法，还有这样一种方法，就是将置换了主(参照)图像的辉度值和相对于该主图像辉度值的标准偏差预先保存到硬盘43中，当主图像和检测图像的差分中存在超过前述标准差值范围的值时，把该差分判断为缺陷，仅压缩并保存该差分。采用这样的压缩保存方法时，主图像和检测图像的差分由于大多数的辉度值在0附近，所以可以飞跃性的提高 压缩效率(不限于JPEG)。

[0052] 另外，在通过放大图像(微观图像)进行检测的图像检测装置(#2)、显微镜检测装置(#3)、SEM检测装置(#4)中，对有关判断为合格(无问题)的缺陷的微观图像数据进行高压缩，对有关判断为不合格(有问题)的缺陷的微观图像数据进行低压缩。

[0053] 当如此在硬盘43中保存从检测装置1而来的图像数据的情况下，当发出的数据量变多时，硬盘43的容量有可能不足。作为对策，例如，可采用经常监视硬盘43的容量，在容量达到规定量以下的情况下由检测装置1改变压缩率，由硬盘43侧的文件系统改变压缩保存的设定等方法。另外，可以进一步采用准备预备用的其它硬盘、将保存地址变更到该处的方法。

[0054] 利用上述方法，在由检测装置1进行的缺陷检测的结果中被判断为不合格(有问题)的图像数据，由于利用1/2左右的低压缩处理保存起来，所以在其后的缺陷解析处理
时可以复原成与检测装置1的摄像部摄像的原始图像几乎同样优质的晶片图像。并且，对于判断为合格(没有问题)的图像数据，利用高压缩处理保存起来，然而，由于考虑到通常大多数晶片是合格的，所以通过对数量大、且不需要完全复原的被判断为合格的图像数据进行高压缩处理，可以在通过LAN3向图像服务器部4输送信息时大幅度地减轻LAN的负荷
(通信速度等)，同时，可以提高图像服务器4的利用率。

[0055] 图6是表示服务器侧的处理顺序的流程图。在图像服务器部4侧的处理顺着图6所示的流程执行。另外，利用上述检测装置1中的处理判断为合格或不合格的图像数据在图像服务器部4中保存文件到硬盘43的规定目录(临时目录)中。

[0056] 从该状态起，在步骤601中，服务器主体44定期监视硬盘43 的临时目录。在此，如果不存在文件，则服务器主体44一旦结束处理便反复再次进行监视。并且，若存在文件，则在步骤602中服务器主体44根据该文件的文件名、按照规定的规则将图像数据分类(移动)到目录结构中。例如，作为文件名，在赋予品种ID、工序ID、批量ID等名称的情况下，服务器主体44对这些名称进行解析并将各项目作为信息提取出来。

[0057] 并且，服务器主体44根据该信息检索硬盘43的目录，将图像数据的文件分类(移动)到对应的目录分级结构(品种ID、工序ID、批量ID之下)中。并且，服务器主体44在不存在对应目录的情况下，根据前述信息生成目录，对图像数据的文件进行分类(移动)。 [0058] 其次，在步骤603中，服务器主体44在每一目录结构的分类中生成图像数据的缩小图像，并保存起来。这些缩小的图像用于图标(thumbnail)显示通过由操作者从检索终端5给出的指示进行检索的图像，是为了易于调出而预先生成的，由对应的图像数据进行象素提取处理而生成的。

[0059] 接着，在步骤604中，服务器主体44将分类(移动)为目录结构中的数据记录到数据库42中。在这种情况下，对于数据库42的图像数据的记录，如图7所示，包括：“记录NO”、“晶片ID”、“批量ID”、“品种ID”、“工序ID”、“日期”、“时间”、“图像的种类”、“检测结果”、“再加工次数”、“消去标志”和“备份媒质ID”的各区域。在该记录中，根据检测装置1中的检测结果的内容，向这些区域中追加记录信息。

[0060] 图7所示的记录的“品种ID”的区域，如图8A所示，与“记录NO”、“品种ID”、“品种名”的各个信息相关联。图7所示的记录的“工序ID”区域，如图8B所示，与“记录NO”、“工序ID”、“工序名”的各个信息关联，进而，作为关于晶片品种 的工序信息的记录，如图8C所示，与“记录NO”、“品种ID”、“工序ID”的各个信息关联，记录表示某一品种的晶片被何种工序中处理的信息。

[0061] 并且，图7所示的记录的“图像的种类”区域中被输入表示例如由宏观检测装置1(#1)获取的图像为干涉图像和衍射图像的哪一种的信息。图7中所示的记录的“检测结
果”的区域中被输入表示检测结果合格还是不合格的信息。

[0062] 图7所示的记录的“再加工次数”的区域，每当其记录的晶片被再加工处理(再处理)，则更新该次数。图8D表示有关晶片的批量的“再加工次数”的记录。图7所示的记录的“再加工次数”的区域，如图8D所示，与“记录NO”、“批量ID”、“工序ID”、“再加工次数”、“废弃标志”关联。这里的“废弃标志”记录在图像数据成为废弃的情况下的数据。

[0063] 图7所示的记录的“消去标志”的区域，当该记录的图像数据从图像服务器部4的硬盘43和备份装置41的备份媒质中的某一个中删除时，输入该信息。

[0064] 图7所示的记录的“备份媒质ID”的区域，当该记录的图像数据从图像服务器部4的硬盘43备份到备份装置41的备份媒质中时，把加到备份媒质上的序列号作为ID输入其中。图8E表示有关备份媒质的纪录。图7所示的记录的“备份媒质ID”的区域，如图8E所示，与“记录NO”、“备份媒质ID”、“备份开始日”、“备份结束日”、“可否回收”关联。即，在此定义管理备份媒质的纪录，“可否回收”的区域表示备份媒质是否完全删除全部数据、有无再次使用的可能。作为可能回收的条件，在图7所示的记录中，是表示当具有同样的备份媒质ID的全部“消去标志”被消去完了的时候。

[0065] 而且，在图6的步骤605中，服务器主体44判断晶片的批量 可否备份。在这种情况下，服务器主体44参照数据库42的图8C和图8D的数据。服务区主体44当确认对于该一个批量的晶片品种整个工序是否已结束，或者，在中途决定废弃时，前进到步骤606，在变更数据库42的内容的同时，通过记入图7所示记录的“备份媒质ID”决定在哪个备份媒质中进行备份。而且，服务器主体44，在步骤607中执行硬盘43内的适当图像数据文件向备份装置41的备份媒质的备份。另外，在备份到备份装置41中的图像数据文件中不包含图
像数据的缩小图像。

[0066] 在这种情况下，在备份装置41的备份媒质中，采用磁带或半导体存储器，将图像数据文件还有目录结构备份起来。并且，数据库42管理在何种媒质中备份何种品种的晶片数据，给备份的图像数据文件添加条形码或序列号等识别符号进行管理。进而，备份的图像数据文件被服务器主体44从硬盘43上删除，同时，在数据库42的图像数据文件的项目中连续记录序列号等识别符。并且，数据库42在每个备份媒质中管理正在保存哪个图像数据文件，在全部消去媒质内的文件的情况下，以可以回收并且再利用的方式管理该媒质。 [0067] 接着，具体说明硬盘43和备份装置41的关系。例如，在一个月处理三万枚晶片的半导体生产线中，对于宏观监测装置1(#1)在1个月期间所必需的硬盘43的容量，在晶片
全部为正品的情况下，为

[0068] 30000(枚)×4.1(MB)×2(图像数/晶片)×10(工序数)×0.05(压缩率1/20)＝123(GB)。

[0069] 并且，在1个月(30日)前输入的晶片，作为先入先出处理，若其中最大延迟15日，则当预测考虑到安全性的硬盘43的容量时，为

[0070] 123(GB)×(1+(15(日)/30(日)))＝184.5(GB)。 进而当表示相当于1日的容量时，为

[0071] 123(GB)/30(日)＝4.1(GB)

[0072] 在经过开始的1个月之后，在从下一日起的每一天中，在备份装置41中备份4.1GB的数据。在这种情况下，若在备份媒质中使用每卷100GB容量的AIT(Advanced Intelligent Tape)，则1个月左右为大约123卷(4.1(GB)×30(日)＝123(GB))足以。并且，若假定备份数据保存1年时间，则大约15卷(1.23(卷)×12(月)＝14.76)便足够了。

[0073] 另一方面，在检索终端5中，不备份的使用生成于保留在硬盘43内的每个目录结构分类中的图像数据的缩小图像，在图中未示出的显示部中显示检测结果的一览表示，同时，根据数据库42的存储内容，可以在前述显示部中显示图像数据文件和备份媒质的对应关系、以及备份媒质的检索和检测状况等。

[0074] 图9是表示由检索终端5进行检测图像的一览表示的例子。图9所示的检索终端5的显示画面包括：多个并列的一览表示对应于检测结果图像数据的缩小图像11a的检测
图像显示区域11、显示批量全部的品种和工序或全部行程等的区域12、以及目录显示区域
13。另外，在数据库42中，通过定期的维护，删除完全不需要的图像数据记录和缩小图像的数据。

[0075] 另外，在上述第一个实施形式中，以通过LAN3将图像服务器部4连接到多个检测装置1上为例进行说明，但是以一对一的关系连接检测装置1和图像服务器部4连接起来的系统也是适用的。并且，在检测装置1内具有图像服务器部4的功能的系统也适用。

[0076] 图10是表示根据本发明第二个实施形式的图像数据文件管理系统的大致结构的图示。图10中与图1相同的部分采用相同的符号。在图10中，过程控制器6和图像服务
器部4的硬盘43被 工厂内的线路用LAN31连接起来。过程控制器6进行工厂内的一系列
晶片制造的工序管理。并且，在净化室2内，各检测装置1(#1～#4、及其它)与检索终端5被图像传送用的LAN32连接起来。进而，图像服务器部4被连接到LAN32上。另外，也可以采用检索终端5与LAN31相连接的结构。

[0077] 在图像服务器部4的硬盘43内的方法区域(レシピエリア)(或者过程控制器6)中，保存成为检测对象的各晶片的固有信息(检测工序、品种等)。各检测装置1(#1～
#4、及其它)分别进行晶片的宏观检测、图形检测、显微镜检测(微观检测)、SEM检测。并且，在LAN32上连接有图中未示出的重叠检测装置、膜厚检测装置、异物检测装置等检测装置。各检测装置1(#1～#4、及其它)在进行晶片检测时从前述方法区域(レシピエリア)
(或者过程控制器6)中下载必要的前述晶片的固有信息，按照生成的方法(レシピ)进行
检测。

[0078] 各检测装置1(#1～#4、及其它)，检测结束后，在前述固有信息中加入检测结果的检测结果文件被通过传送用的LAN32发送到图像服务器4的硬盘43内的临时目录中。图像服务器4的服务器主体44监视硬盘43的临时目录，利用解码器转换发送到临时目录的
前述检测结果并记录到数据库42中，同时，在进行履历管理之后保存到硬盘43内的方法区域(レシピエリア)(或者过程控制器6)中。

[0079] 这时，服务器主体44从转换过的前述检测结果中提取出图像数据，按照规定的规划将图像数据分类(移动)到硬盘43(或者过程控制器6)内的目录结构中。服务器主体44在每一个目录结构的分类中生成图像数据的缩小图象，并进行保存。并且，服务器主体
44，通过对根据硬盘43内的图像数据显示的缺陷坐标所获得的缺陷大小信息、和从由其它检测装置1而来的监测结果文 件的检测结果中提取出的图像数据显示的缺陷的坐标进行
比较，可以判断由某个检测装置1检测出的缺陷是否也被其它检测装置1检测出来了。

[0080] 图11是表示上述检测结果文件的一个例子。该检测结果文件由对于晶片的固有信息111和各检测装置1(#1～#4、及其它)中的检测结果112构成。在固有信息111中
记述有各种晶片的检测工序、品种等信息。在检测结果112中记述有晶片中生成的缺陷的图像上的位置(坐标)、缺陷名、缺陷的纵横尺寸、进行检测的检测装置1的名称、文件格式等。服务器主体44的解码器按前述格式进行检测结果信息的转换，记录到数据库42中。 [0081] 图12是表示关于记录到数据库42中的图像数据的记录图示。有关记录到数据库
42中的图像数据的记录，如图12所示，包括：“记录NO”、“晶片ID”、“批量ID”、“品种ID”、“工序ID”、“日期”、“时间”、“图像种类”、“检测结果”、“再加工次数”、“消去标志”、“备份媒质ID”、“链接图像数”、以及多个“链接图像ID”的各区域。在该记录中，根据检测装置1的检测结果的内容，在这些区域中追加记录信息。这样，在数据库42的记录内存储与图像数据相连接的图像数据的数量和各自的ID(文件名)。

[0082] 图13是表示有关与图12所示的记录相连接的图像数据的记录的图示。有关记录到数据库42中的链接图像数据的记录，如图13所示，包括：“记录NO”、“链接图像ID”、“链接图像记录NO”、“图象范围坐标”、“图相倍率”、以及“装置ID”的各个区域。该记录对应于追加到图12所示的记录中的“链接图像ID”，追加记录在数据库42。

[0083] 图14是表示在检索终端5的显示部的第一个显示例的图示。服务器主体44根据从检索终端5发出的指示内容检索数据库42 的记录，从硬盘43(或者过程控制器6)中读
取必要的检测结果的信息(晶片的图像数据等)和检测条件信息(晶片的固有信息)，通
过LAN32(或LAN31)传送给检索终端5。检索终端5如图14所示在显示部中显示获取的信
息。

[0084] 图14表示由宏观检测装置1(#1)得出的宏观检测结果的显示例。在检索终端5的显示部中显示晶片图像101、检测条件102、检测结果103、缺陷信息104等信息。在晶片图像101中，在表示晶片整个形状的图像之上显示表示检测出的缺陷的图像，在各缺陷中加上固有的标号(标记)。在检测条件102中用文字表示晶片的固有信息。在检测结果103
中，用文字表示由各检测装置1(#1～#4、及其它)得出的检测结果。

[0085] 缺陷信息104由“标记”、“缺陷名称”、“概率”、“重心坐标”、“面积”、“其它装置中检测出”、“链接图像”这些项目构成。“标记”表示由晶片图像101加在各缺陷上的标号。“缺陷名称”表示缺陷的种类。“概率”表示检测出的缺陷确实是缺陷的程度。“重心坐标”表示晶片图像上的缺陷图像的重心位置。“其它装置中检测出”在该缺陷在其它检测装置1(#2～#4，及其它)中也被检测出来的情况下表示为“1”，在未检测出的情况下表示为“0”。在“链接图像”中，在数据库42中存在与该晶片图像数据相连接的图像数据的情况下表示为“1”，在没有的情况下被表示为“0”。

[0086] 另外，例如像“标记”为“1”的缺陷信息那样，在“其它装置中检测出”为“1”且“链接图像”为“1”的情况下，晶片图像101中的缺陷图像的标号被O圈住。并且，例如像“标记”为“2”的缺陷信息那样，在“其它装置中检测出”为“1”且“链接图像”为“0”的情况下，晶片图像101中的缺陷图像标号被Δ圈住。并且，例如像“标记”为“3”的缺陷信息那样，在“其它 装置中检测出”为“0”且“链接图像”为“0”的情况下，晶片图像101中的缺陷图像标号保持原样，不被圈住。

[0087] 进而，在检索终端5的显示部中显示有矩阵显示、缺陷显示、标记显示等的选择设定105。在选择设定105的“矩阵显示”被设定为“有”的情况下，在晶片图像101中显示闪光(シヨツト)，在被设定为“无”的情况下，不显示。在选择设定105的“缺陷显示”被设定为“有”的情况下，以强调色显示晶片图像101上的缺陷图像，在设定为“无”的情况下，以普通色显示。在选择设定105的“标记显示”被设定为“有”的情况下，显示晶片图像101上的缺陷图像的标号，在设定为“无”的情况下，不显示。

[0088] 并且，在显示部重显示用于进行重叠检测及膜厚测定等的详细信息显示和重叠(overlay)显示的各个按钮106、用于显示由后述多个工序得出的图像的按钮107、用于进行后面所述的再分类处理的按钮108等。

[0089] 图15是表示检索终端5的显示部中的第二个显示例的图示。图15表示在检索终端5中操作者采用图中未示出的鼠标或键盘对图14中缺陷信息104的“标记”“1”的行进行选择操作(点击操作等)之后的显示例。服务器主体44根据从检索终端5进行的操作
对基座42的记录进行检索，从硬盘43(或过程控制器6)读取其它检测装置1(#2～#4，及
其它)中的检测结果信息，通过LAN32(或者LAN31)发送给检索终端5。检索终端5如图
15所示在显示部中显示获取的信息。

[0090] 在前述显示部中显示晶片的放大图像121、缺陷信息122、其它装置中的缺陷信息123等信息。在晶片的放大图像121中，以所选择的“标记”“1”的缺陷图像为中心放大显示宏观检测所得到的晶片图像。借此，操作者可以放大并看到需要观察的缺陷。在缺陷信息122中，用文字显示在图14中的缺陷信息104的“标 记”“1”的行中表示的信息。

[0091] 其它装置中的缺陷信息123由“装置ID”、“缺陷数”、“总面积”、“图像数”、“判断”、“详细信息显示”、“缺陷显示开/关”的项目构成。“装置ID”表示其它检测装置1(#2～#4、及其它)的装置ID。“缺陷数”表示由具有该装置ID的检测装置1检测出的晶片上的缺陷数。“总面积”表示由具有该装置ID的检测装置1检测出的晶片上的缺陷的总面积。“图像数”表示由具有该装置ID的检测装置1对晶片是否优良(G/NG)作出的判断结果。“详细信息显示”和“缺陷显示开/关”分别由用于进行由具有该装置ID的检测装置1检测出的缺
陷的详细显示和重叠显示的按钮构成。

[0092] 图16是表示在检索终端5的显示部中表示第三个显示例的图示。图16表示在检索终端5中操作者采用图中未示出的鼠标或键盘，操作(点击操作等)在图15中其它装
置的缺陷信息123的“装置ID”的“PA501”行中的“详细信息显示”的按钮之后的显示例。
“PA501”是进行图形检测的图形检测装置1(#2)的ID。另外，在图16中，与下面的说明有关的部分以外的部分其图示被省略。

[0093] 在前述显示部中，显示晶片的放大图像131、检测结果103、缺陷信息104等。在晶片的放大图像131中，与图15的放大图像121的缺陷相同，显示由检测装置1(#2)检测出的各缺陷的图像，在各缺陷上加上固有的标号(标记)。另外，例如象由“1”、“5”标号所示的缺陷那样，在标号被○圈住的缺陷图像中具有链接图像，在未被圈住的缺陷图像中没有链接图像。

[0094] 在检测结果103中，用文字显示由各检测装置1(#1～#4、及其它)所得的检测结果。缺陷信息104由与检测装置1(#2)检测出的各缺陷有关的、上述“标记”“缺陷名称”、“概率”、“重心坐标”、“面积”、“其它装置中检测出”、“链接图像” 的项目构成。借此，操作者对于同一缺陷，在观察由宏观检测所获得的图像之后，可以观察由图形检测所获得的图像。 [0095] 图17是表示检索终端5的显示部中的第四个显示例的图示。图17表示在检索终
端5中操作者用图中未示出的鼠标或键盘，对图14中的晶片图像101上的标号“1”进行选择操作(点击操作等)之后的显示例。服务器主体44根据由检索终端5进行的操作，对数
据库42的记录进行检索，从硬盘43(或过程控制器6)中读取进行显微镜检测的检测装置
1(#3)中的固有信息和检测结果信息。通过LAN32(或LAN31)传送给检索终端5。检索终
端5如图17所示在显示部中显示获取的信息。另外，在图17中，省略了对与下面的说明有关的部分之外的部分的图示。

[0096] 在前述显示部中，显示用于晶片的放大图像141、图像信息142、后述缺陷分类变更的按钮143等。在晶片的放大图像141中，显示与由图14中的晶片图像101上的标号“1”所示的通过宏观检测得到的缺陷图像相连接的、由显微镜检测得到的图像。即，在晶片的放大图像141中，与图14的晶片图像101上的缺陷是相同的，显示由检测装置1(#3)检
测出的缺陷的图像。借此，操作者对于同一缺陷，在观察由宏观检测得到的图像之后，可以观察由显微镜检测得到的图像。另外，在没有与由宏观检测得到的缺陷图像相连接的由显微镜检测得到的图像的情况下，不显示图像141。并且，在图像信息142中，用文字显示作为连接对象的显微镜检测装置1(#3)中的晶片固有信息。并且，操作者观察晶片的放大图像
141，在其缺陷的种类被识别出与图14所示的缺陷信息104中所显示的“缺陷名称”不同的情况下，用鼠标或键盘操作按钮143(点击操作等)，可以变更前述“缺陷名称”，该变更信息被记录在后面所述的硬盘43内的缺陷分类辞典中。

[0097] 图18是表示检索终端5的显示部中的第五个显示例的图示。 图18表示在检索终端5中操作者采用图中未示出的鼠标或键盘对图17的晶片放大图像141的规定部位(例如
缺陷的中心部)进行选择操作(点击操作等)之后的显示例。服务器主体44，根据由检索
终端5进行的操作对数据库42的记录进行检索，从硬盘43(或者过程控制器6)中读取进
行SEM检测的检测装置1(#4)中的固有信息和检测结果信息，通过LAN32(或者LAN31)传
送给检索终端5。检索终端5如图18所示在显示部中显示获取的信息。另外，在图18中，
省略了与下面的说明有关的部分以外部分的图示。

[0098] 在前述显示部中显示用于晶片的放大图像151、图像信息152、进行后述的缺陷分类变更的按钮143等。在晶片的放大图像151中，显示与图17中晶片放大图像141所示的由显微镜检测得到的缺陷图像相连接的、由SEM检测得到的图像。即，在晶片放大图像151中，与图17的晶片放大图像141所示的缺陷是相同的，显示由检测装置1(#4)检测出的缺
陷图像。借此，操作者对于同一缺陷在观察由显微镜检测获得的图像之后，可以观察由SEM检测获得的图像。另外，在没有与用显微镜检测获得的缺陷图像相连接的由SEM检测得到的图像的情况下，不显示图像151。并且，在图像信息152中用文字显示作为连接对象的检测装置1(#4)中的固有信息。

[0099] 并且，在检索终端5中操作者采用图中未示出的鼠标或键盘，对图16中的晶片放大图像131上的被○圈住的标号(“1”或“5”)进行选择操作(点击操作等)。可以在检索终端5的显示部中进行图18的显示。借此，操作者对于同一缺陷在观察由图形检测得到的图像之后，可以观察由SEM检测得到的图像。

[0100] 图19是表示上述图14、图17的顺次变更的晶片图像显示的变形例的图示。在图19的显示例中，在检索终端5的显示部中， 在分布放大由宏观检测得到的图像之后，切换到由显微镜检测的图像。晶片图像201与晶片图像101是相同的。操作者采用鼠标或键盘
对由晶片图像201的箭头a指示的缺陷图像进行选择操作(点击操作等)时，以该缺陷图
像为中心放大显示由宏观检测得到的晶片图像202。进而，操作者采用鼠标或键盘对由晶片图像202的箭头b指示的放大了的缺陷图像进行选择操作(点击操作等)时，该缺陷图像
变成进一步放大显示的晶片图像203。

[0101] 接着，操作者用鼠标或键盘对晶片图像203的任意部分进行选择操作(点击操作等)时，显示与该部分的图像相连接的显微镜图像。例如，在对箭头A的部分进行选择操作的情况下，显示与该部分的图像相连接的显微镜图像204。并且，在对箭头B的部分进行选择操作的情况下，由于没有与该部分的图像相连接的显微镜图像，如205处所示不显示任何内容。这样，切换到显微镜图像204之后，由于在中心显示选择操作的部分，所以在没有链接图像的情况下不进行任何显示。从而，通过在晶片图像203上以强调色等显示存在链接图像的位置，可以识别链接图像的某一位置。

[0102] 另外，在检索终端5的显示部中，在显微镜图像显示中还显示表示由宏观检测得到的图像和与它们相连接的显微镜图像的显示范围的关系的辅助图像206。在辅助图像206中，分别以框形显示在显示显微镜图像之前的晶片图像203的显示范围207、相连接的显微镜图像204的显示范围208、当前的显示范围209。借此，操作者可以获知由宏观检测得到的图像、相连接的显微镜图像、当前图像的各自显示范围的关系，更有效地对晶片进行观察。

[0103] 这样，通过对宏观检测得到的图像进行选择操作，在以选择部分为中心放大显示晶片图像的同时，分步放大显示直至规定的放大倍率。而且，在存在与放大图像的规定部分相连接的其它检 测装置中的图像的情况下，自动切换以显示该图像。例如，在前述放大倍率变成与其它检测装置中的图像等倍以上的倍率时进行切换。借此，操作者可以分步放大并观察晶片图像上的缺陷。

[0104] 如图14所示，在检索终端5的显示部，设有用于进行重叠监测和膜厚测定等的详细信息显示以及重叠显示的各按钮106。在重叠检测和膜厚测定中，与宏观检测一样，进行关于晶片整体的检测。在进行这些重叠检测和膜厚测定等的情况下，在相应的按钮106的左侧显示“有”。在该状态下，当操作者用鼠标或键盘操作(点击操作等)“详细信息”的按钮106时，将重叠检测或膜厚测定等详细信息从硬盘43(或者过程控制器6)中下载到检索终端5中。检索终端5前述显示部上以窗口文字显示该详细信息。并且，当操作者用图中
未示出的鼠标或键盘操作(点击操作等)“重叠”按钮106时，检索终端5在晶片图像101
上重叠显示下载的重叠检测或膜厚测定等的图像数据。借此，操作者可以在晶片图像101上同时看到由宏观检测得到的缺陷图像、和由重叠检测和膜厚测定等得到的缺陷图像，可以更详细的观察各缺陷的状态。

[0105] 并且，如图14所示，在检索终端5的显示部中设有用于在晶片图像101上重叠显示晶片制造的多个工序中的缺陷图像的按钮107。当操作者用鼠标或键盘操作(点击操作
等)按钮107时，显示用于选择晶片品种的窗口。在该窗口上，当操作者对需要图像显示的多个工序进行选择操作时，从硬盘43将由各工序的各检测所得到的图像数据下载到检索
终端5中。检索终端5按照各工序顺序在晶片图像101上随着时间重叠显示这些图像数据。
另外，若对每个工序变换缺陷图像的颜色进行显示，则更易于识别缺陷的发生状态。这样，通过对每个工序顺序重叠显示晶片制造的多个工序中的各检测装置中的缺陷图像，操作者可以识别缺陷是在 什么工序中发生的，可以很容易地把握缺陷产生的主要原因。

[0106] 并且，操作者通过用鼠标或者键盘对图14所示的检测结果103所需的检测装置1(#1～#4，及其它)的项目进行选择操作(点击操作等)，可以在其它窗口显示由该检测装置得到的检测结果的详细信息和图像，或者在该检测装置的图像中切换显示晶片图像101。 [0107] 并且，如图15所示，在显示于检索终端5的显示部中的其它装置中的缺陷信息123中，优先显示易于进行作为对象的种类的缺陷的检测的检测装置1的信息。即，如图15中，由于表示在缺陷信息122中的缺陷名称是“散焦”，所以在其它装置中的缺陷信息123中，顺着易于进行散焦缺陷检测的检测装置1(“PA501”、“LA505”)的顺序显示检测结果。借此，操作者可以优先看到检测出需要观察的缺陷的检查装置中的检索结果和图像。

[0108] 并且，当操作者用鼠标或键盘操作(点击操作等)图14所示的按钮108时，进行再分类处理。服务器主体44根据由该检索终端5进行的操作，参照数据库42的记录，在表示硬盘43内的各检测装置的检测结果的缺陷信息的基础上对检测出的缺陷进行分类。例
如，在通过异物检测装置检测出晶片端部的异物，利用膜厚检测装置检测出在对应于前述异物的部分中的筋状的膜厚异常的情况下，服务器主体44将该缺陷分类到彗星(コメツ
ト)上。并且，在通过宏观检测装置检测出晶片中异常，利用重叠检测装置检测中重叠异常的情况下，服务器主体44将该缺陷分类到屏蔽(マスク)偏离上。并且，在利用宏观检测
装置检测出晶片异常，利用图形检测装置检测出图形检测的情况下，服务器主体44将该缺陷分类到散焦中。这些分类的结果从服务器主体44传送给检索终端5，在图14所示的缺陷信息104中显示。

[0109] 服务器主体44具有对硬盘43内的各缺陷信息进行分类并记 录到缺陷分类辞典中的功能，进而，具有对记录到该缺陷分类辞典中的缺陷分类信息进行学习以便易于分类的功能。这样的缺陷信息分类功能和向分类辞典中记录的功能可以选择是利用服务器主体
44的设定自动执行，还是由操作者手动操作来执行。进而，在自动执行的情况下，由于预测到服务器主体44的处理速度低下，所以采用独立于服务器主体44的计算机进行处理是有
效的。

[0110] 并且，服务器主体44根据各检测装置1(#1～#4，及其它)中的检测结果对作为对象的晶片是否合格进行判断，将该判断结果传送给检索终端。在检索终端5中，在显示部中显示获得的判断结果，在不合格的情况下显示警告。

[0111] 并且，存储在硬盘43或数据库42中的检测结果信息被定期地保存到备份装置41的备份媒质中。该备份处理由服务器主体44在从过程控制器6接收到表示制品完成或出
厂指示的信息时自动地执行。在该备份处理中，根据数据库42的信息，总括适当的制品各工序的图像信息等进行备份。在备份装置41中，在备份时采用备份自动装载进行制品名的分类，可在一卷磁带中保存同种制品的各批量的信息。备份装置41在各磁带已满时显示警告，作为保存到其它磁带上或更换磁带的判断。

[0112] 检测装置1(#1)具有在宏观检测发生异常的情况下通过LAN32、图像服务器4、以及LAN31将必须由其它检测装置进行检测的指示、缺陷坐标、检测结果等信息同时通知过程控制器6的功能。过程控制器6，在收到该通知的情况下，向需要检测的检测装置指示进行检测。

[0113] 并且，通过将检索终端连接到与LAN31相连的互联网上，可以通过网络监控检测情况。因此，生产线管理者不限于在工厂内，即使在遥远的地方也可以操作图像服务器4，可以获知检测结果。并且，在检测工序中发生异常的情况下，过程控制器6在网络上 显示该指示，同时，向预先指定的邮件地址发信，从而，生产线管理者不限于在工厂内，即使在遥远的地方也可以知道发生了异常。并且，由于工厂内的生产线用LAN31和图像传送用LAN32是独立的系统，所以可减轻双方的通信线路的负荷。

[0114] 采用以上所述的本发明，可以高效地保存图像数据，同时，可以提供实现备份数据的效率管理的图像数据文件管理系统和方法。

[0115] 本发明不仅由上述各实施形式限定，可以在不改变主旨的范围内实施适当的变形。

[0116] 工业上的可利用性

[0117] 采用本发明，可以提供一种可高效进行图像数据管理的图像数据文件管理系统和方法。