公开了一种结合PDP衬底的设备和方法，更具体地，公开了一种在充满发光气体的结合腔内结合PDP衬底的设备和方法，这样不需要将结合腔内气体排至外部以及将发光气体注入结合腔的步骤和设备，从而使得PDP衬底能快速结合。
1.一种用于结合等离子体显示屏衬底的设备，包括：一个结合腔，包括贯通形成的衬底出入口和注气口，结合腔的内部可以维持在一个真空状态；
上板和下板，其安装在该结合腔内，其上分别用于安装上衬底和下衬底；
气体供应装置，分别连接至注气口，用于向结合腔内供应发光气体；以及结合装置，其安装在结合腔内，用于在结合腔内充满发光气体的状态下将该上下衬底结合；以及载送腔，其与结合腔上设置了衬底出入口的侧壁接触，用于将衬底载入或载出所述的结合腔，并充满惰性气体，其中，贯通所述载送腔侧壁的指定部分分别形成有开口，其用作将衬底从外部送入载送腔内或者将衬底从载送腔内部送至外部的通路。
2.如权利要求1所述的设备，其中：在该上下板的其中之一上安装有所述结合装置，或者在该上下板上均安装有两个所述结合装置；并且所述结合装置中的每一个均包括一个竖直移动装置，用于竖直移动该上板或下板，使得两衬底彼此接触并结合。
3.如权利要求1所述的设备，其中，所述的结合装置包括一个安装在上板下部区域的释放部分，用于从该上板释放该上衬底。
4.如权利要求2所述的设备，其中，所述结合装置中的每一个均包括一个加压部分，用于增大该结合腔内的压力。
5.如权利要求3所述的设备，其中，所述的结合装置包括一个加压部分，用于增大结合腔内的压力。
6.如权利要求4或5所述的设备，其中，所述的结合装置还包括一个抽吸部分，其安装在结合腔的指定部分，用于抽吸该结合腔内的气体而减小结合腔内的压力。
7.如权利要求1所述的设备，其中，在该结合腔内安装有用于感知结合腔内气体组成的气体感知装置。
8.如权利要求7所述的设备，还包括一个控制装置，其控制所述的气体供应装置，使得当由所述的气体感知装置所感知到的气体组成小于一个参考值时，所述的气体供应装置向结合腔内供应额外量的发光气体。
9.如权利要求1所述的设备，其中，在上板或下板上连接有一个位置修正装置，用于修正安装在上板或下板上的衬底的位置。
10.如权利要求1所述的设备，还包括位置感知装置，用于感知安装在上下板上的衬底的位置。
11.如权利要求1所述的设备，还包括一个衬底提升构件，其通过在下板的指定部分贯通形成的通孔竖直移动，用于提升或降低安装于下板上的衬底。
12.如权利要求1所述的设备，其中，所述的衬底出入口位于结合腔侧壁的对应位置，彼此相对。
13.如权利要求1所述的设备，其中，在结合腔中的气体压力高于在载送腔中的气体压力。
14.如权利要求1所述的设备，其中，靠近结合腔的相对的侧壁设置有两个所述载送腔。
15.如权利要求1或14所述的设备，其中，贯通每个载送腔的指定部分形成有一个注气口，并且在每个载送腔上安装有一个用于供应惰性气体的惰性气体供应装置。
16.如权利要求1所述的设备，其中，所述的发光气体是由氖(Ne)、氩(Ar)和氙(Xe)所组成的集合中的一种或者两种或更多种的组合。
17.如权利要求1所述的设备，还包括一个邻近所述结合腔的硬化腔，用于硬化介于所述衬底之间的密封剂，衬底通过结合腔实现结合。
18.如权利要求1所述的设备，其中，在上板或下板上形成有静电吸盘或负压吸盘。
19.如权利要求1所述的设备，其中，在上板或下板上同时形成有静电吸盘和负压吸盘。
20.一种结合等离子体显示屏衬底的方法，包括：在上下衬底之一的边缘上沉积一密封剂；
将上下衬底载入所述结合腔，并且分别将上下衬底吸附至上下板；
将结合了的上下衬底送至结合腔的外部，其中，将上下衬底载送到结合腔中包括：关闭结合腔的用于将衬底载送出入结合腔的衬底出入口；
打开与结合腔上设置了衬底出入口的侧壁接触的并且充满惰性气体的载送腔的开口；
21.如权利要求20所述的方法，其中，沉积密封剂以及向结合腔内部充以发光气体的顺序被颠倒。
22.如权利要求20所述的方法，还包括在对所述结合腔的内部进行密闭之后，对结合腔内气体的组成进行感知和再调整的步骤。
23.如权利要求20所述的方法，还包括在将上下衬底结合之前对上下衬底的位置进行修正的步骤。
24.如权利要求20所述的方法，其中，在将上下衬底结合时，两衬底机械地靠近。
25.如权利要求20所述的方法，其中，在将上下衬底结合时，位于一指定高度的上衬底下落到下衬底上。
26.如权利要求20所述的方法，其中，所述的将上下衬底结合的步骤包括：减小结合腔内的压力；
27.如权利要求20所述的方法，其中，所述的将上下衬底结合的步骤包括：连接上下衬底；以及
28.如权利要求20所述的方法，还包括在将已结合的上下衬底送至结合腔外部之后，对介于两衬底之间的密封剂进行硬化的步骤。
29.一种用于结合等离子体显示屏衬底的方法，包括：在上下衬底的其中之一的边缘上沉积一密封剂；
将上下衬底载入一结合腔，并且分别将上下衬底吸附至上下板；
将结合了的上下衬底送至结合腔的外部，其中，将上下衬底载送到结合腔中包括：关闭结合腔的用于将衬底载送出入结合腔的衬底出入口；
打开与结合腔上设置了衬底出入口的侧壁接触的并且充满惰性气体的载送腔的开口；
30.如权利要求29所述的方法，其中，沉积密封剂以及向结合腔内部载入上下衬底的顺序被颠倒。
31.如权利要求29所述的方法，还包括在对所述结合腔的内部进行密闭之后，对结合腔内气体的组成进行感知和再调整的步骤。
32.如权利要求29所述的方法，还包括在将上下衬底结合之前对上下衬底的位置进行修正的步骤。
33.如权利要求29所述的方法，其中，在将上下衬底结合时，两衬底机械地靠近。
34.如权利要求29所述的方法，其中，在将上下衬底结合时，位于一指定高度的上衬底下落到下衬底上。
35.如权利要求29所述的方法，其中，所述的将上下衬底结合的步骤包括：减小结合腔内的压力；
36.如权利要求29所述的方法，其中，所述的将上下衬底结合的步骤包括：连接上下衬底；以及
37.如权利要求29所述的方法，还包括在将已结合的上下衬底送至结合腔外部之后，对介于两衬底之间的密封剂进行硬化的步骤。
38.一种用于结合等离子体显示屏衬底的方法，包括：向结合腔的内部充以发光气体；
将上下衬底载入所述结合腔，并且分别将上下衬底吸附至上下板；
将结合了的上下衬底送至结合腔的外部，其中，将上下衬底载送到结合腔中包括：关闭结合腔的用于将衬底载送出入结合腔的衬底出入口；
打开与结合腔上设置了衬底出入口的侧壁接触的并且充满惰性气体的载送腔的开口；
39.如权利要求38所述的方法，还包括在对所述结合腔的内部进行密闭之后，对结合腔内气体的组成进行感知和再调整的步骤。
40.如权利要求38所述的方法，还包括在将上下衬底结合之前对上下衬底的位置进行修正的步骤。
41.如权利要求38所述的方法，其中，在将上下衬底结合时，两衬底机械地靠近。
42.如权利要求38所述的方法，其中，在将上下衬底结合时，位于一指定高度的上衬底下落到下衬底上。
43.如权利要求38所述的方法，其中，所述的将上下衬底结合包括：减小结合腔内的压力；
44.如权利要求38所述的方法，其中，所述的将上下衬底结合的步骤包括：连接上下衬底；以及
45.如权利要求38所述的方法，还包括在将已结合的上下衬底送至结合腔外部之后，对介于两衬底之间的密封剂进行硬化的步骤。
用于结合等离子体显示屏衬底的设备和方法
技术领域
[0001] 本发明涉及一种结合等离子体显示屏(PDP：plasma display panels)衬底的设备和方法，更具体地，涉及一种使用充满发光气体的结合腔进行快速结合PDP衬底的设备和方法。
背景技术
[0002] 等离子体显示屏(PDP)是下一代数字图像显示系统，其连接至各种输入信号包括PC、视频以及HDTV输入信号，并且复制出较之传统图像显示设备具有高亮度和高清晰度的高清晰度图像。特别地，PDP可使一个40英寸或更大尺寸的屏幕具有10cm或更少的厚度，从而在空间利用率和美学设计中具有优势。因此，现在对PDP的需求迅速增加。
[0003] 这种PDP具有这样一种结构：其中，发光气体如氖、氙和氩等充满上下衬底之间的空间，上下衬底上设置有电极，并且借助于这样一个原理而显示图像——填充于两衬底之间空间的发光气体放电且释放出紫外线并且该紫外线与一荧光物质碰撞以释放一指定的可视射线。因此，制造PDP的过程本质上需要一个将发光气体注入两衬底之间空间的步骤。
[0004] 下面，参考图2，将对一种传统的用于结合衬底并将发光气体(F)注入两衬底之间空间的方法进行说明。
[0005] 首先，沉积密封剂(P10)。也就是说，密封剂沉积在上下衬底中一个的边缘上。
[0006] 然后，将衬底结合(S20)。即，两衬底通过沉积在一个衬底边缘上的密封剂进行结合。这样，在两衬底之间形成有一个具有指定体积的密闭空间(A)。
[0007] 随后，抽吸气体(P30)，且注入发光气体(F)(P40)。这里，在已结合衬底的指定部分上贯通形成有一个注气孔(a)，然后两衬底间空间(A)内的不纯气体通过如图1所示的发光气体注射机1来抽吸。这样，两衬底之间的空间(A)高度真空。然后，发光气体(F)被注入空间(A)。
[0008] 下面，将更详细说明不纯气体的抽吸以及发光气体(F)的注入。注气孔(a)连接有一个与真空泵10相连的抽吸管道20。这里，如图1所示，一个发光气体供应管道30的一端连接至抽吸管道20的指定部分，而发光气体供应管道30的另一端连接至一个存储发光气体(F)的一个发光气体罐40。所述发光气体注射机1的真空泵10首先运行以排空两衬底之间空间(A)内的气体。然后，使用发光气体供应管道30而将发光气体(F)供应至两衬底之间的空间(A)。
[0009] 最后，注气孔(a)被密闭(P50)。即，在压强为近似为几百托的发光气体(F)被注入两衬底间的空间(A)之后，停止发光气体(F)的供应，且将注气孔(a)密闭。
[0010] 当发光气体(F)如上所述供应至所述空间(A)时，使用真空泵10来抽吸空间(A)内气体(P30)从而除去空间(A)的气体以及注入发光气体(F)(P40)以均匀地供应发光气体(F)，这需要超过10小时的很长时间。
[0011] 而且，由于结合衬底的传统方法过程复杂，包括衬底的结合、注气孔的形成、发光气体的注入以及注气孔的密闭等，因此传统的制作PDP模件的设备和方法是复杂的。
发明内容
[0012] 因此，基于上述问题进行了本发明，本发明的一个目的是提供一种在充满发光气体的结合腔内结合PDP衬底的设备，使发光气体可以快速简单地注入两PDP衬底之间的空间，同时将两PDP衬底结合。
[0013] 本发明的另一个目的是提供一种在充满发光气体的结合腔内结合PDP衬底的方法，使发光气体可以快速简单地注入两PDP衬底之间的空间，同时将两PDP衬底结合。
[0014] 根据本发明的一个方面，上述和其他目的可以通过提供这样一种结合PDP衬底的设备来实现，该设备包括：一个结合腔，包括贯通形成于其中的衬底出入口和注气口，结合腔的内部可以维持在一个真空状态；上板和下板，其安装在结合腔内，其上分别安装上衬底和下衬底；用于打开和关闭衬底出入口的闸阀；气体供应装置，相应地连接至注气口，用于向结合腔内供应发光气体；以及安装在结合腔内的结合装置，用于在结合腔内充满发光气体的状态下将上下衬底结合。
[0015] 优选地，在上下板之一上安装有一个结合装置，或者在上下板上分别安装两个结合装置；并且所述结合装置中的每一个均包括一个竖直移动装置，用于竖直移动上板或下板，从而简单容易地结合两衬底。
[0016] 另外，优选地，所述的结合装置可包括一个安装在上板下部区域的释放部分，用于将上衬底从上板释放，从而简易地结合两衬底。
[0017] 而且，优选地，在上下板之一上可安装一个结合装置，或者在上下板上分别安装两个结合装置；并且所述结合装置中的每一个可以包括：一个竖直移动装置，用于竖直移动上板或下板，使得两衬底彼此接触并结合；以及一个加压部分，用于增大结合腔内的压力，从而在两衬底间的间隔保持均一的情况下将两个衬底结合。
[0018] 优选地，该结合装置可以包括：一个安装在上板下部区域的释放部分，用于将上衬底从上板释放；以及一个加压部分，用于增大结合腔内的压力从而在两衬底间的间隔保持均一的情况下将两个衬底结合。
[0019] 该结合装置还可以包括一个抽吸部分，其安装在结合腔的指定部分，用于抽吸结合腔内的气体以减小结合腔内的压力。
[0020] 在结合腔内的指定部分内安装有用于感知结合腔内气体组成的气体感知装置，从而简易地感知结合腔内气体的组成。
[0021] 所述的设备还可以包括一个控制装置，其控制所述的气体供应装置使得当由所述的气体感知装置所感知到的气体组成小于一个参考值时，所述的气体供应装置向结合腔内供应额外量的发光气体，从而能保持结合腔内气体的恰当组成。
[0022] 优选地，在上板或下板上可连接一个位置修正装置，用于修正安装在上板或下板上的衬底的位置，从而使上下衬底能精确结合。
[0023] 所述设备还可以包括位置感知装置，用于感知安装在上下板上的衬底的位置，从而能够感知衬底的精确位置，并且对衬底位置进行再调整，使得所述衬底的位置彼此重合。
[0024] 所述设备还可以包括一个衬底提升构件，其可通过在下板的指定部分贯通形成的通孔竖直移动，用于提升或降低安装于下板上的衬底，从而易于衬底载入或载出所述的结合腔。
[0025] 优选地，所述的衬底出入口可以位于结合腔侧壁的对应位置，其彼此相对，从而允许衬底从结合腔的一侧向结合腔的另一侧移动。
[0026] 所述的设备还可包括载送腔，其与结合腔上设置了衬底出入口的侧壁接触，用于将衬底载入或载出所述的结合腔，且包括有开口，所述开口用作将衬底从外部送入载送腔内或者将衬底从载送腔内部送至外部的通路，从而可在保持结合腔内气体组成的状态下将衬底载入和载出所述结合腔。
[0027] 优选地，所述的载送腔可靠近结合腔的相对的侧壁，从而在衬底沿指定方向移动的状态下进行衬底的结合。
[0028] 而且，优选地，贯通每个载送腔的指定部分可形成一个注气口，并且在每个载送腔上可安装有一个用于供应惰性气体的惰性气体供应装置，从而防止了当使用载送腔将衬底载入或载出结合腔时结合腔内部被其他气体污染。
[0029] 所述设备还可包括一个邻近所述结合腔的硬化腔，用于硬化介于所述衬底之间的密封剂，衬底通过结合腔结合，从而快速、精确并连续地进行衬底的结合和衬底的硬化。
[0030] 优选地，在上板或下板上可形成静电吸盘或负压吸盘，使得上衬底或下衬底很容易就能安装在上板上或下板上或者上下板分开。而且，优选地，在上板或下板上可同时形成有一个静电吸盘和一个负压吸盘，使得上衬底或下衬底能牢靠地安装在上板或下板上，从而防止衬底与所述板发生脱离。
[0031] 根据本发明的另一个方面，提供了一种结合PDP衬底的方法，包括：在上下衬底中之一的边缘上沉积一密封剂；向结合腔的内部充以发光气体；将上下衬底载入所述结合腔，并且分别将上下衬底吸至上下板；对所述结合腔的内部进行密闭；将上下衬底结合；以及将结合了的上下衬底送至结合腔的外部。
[0032] 优选地，所述的方法还可包括在对所述结合腔的内部进行密闭之后，对结合腔内气体的组成进行感知和再调整，使得将具有恰当组成的发光气体注入上下衬底之间的空间。
[0033] 另外，优选地，所述的方法还可包括在将上下衬底结合之前对上下衬底的位置进行修正，使得所述衬底在上下衬底彼此精确重合的状态下将所述衬底结合。
[0034] 而且，优选地，在将上下衬底结合时，上衬底安装在结合腔的上部，而下衬底安装在结合腔的下部，上衬底下落到下衬底上，通过在两衬底的所有表面上施加同样的力，使得两衬底间的间隔保持均一。
[0035] 优选地，该方法还可以包括在完成上下衬底的结合之后通过向已结合的衬底施加压力而使两衬底均匀地结合，使得两衬底无间隙地牢靠结合，并且当衬底移动时衬底的位置不发生改变。
[0036] 此时，由于已结合衬底间空间内的压力与衬底外部的压力有差别，通过上述的压力差而将压力施加于两衬底，因此压力均匀地施加到所述衬底的所有部分。
[0037] 另外，在将衬底结合之后可以向结合腔内部供应气体，从而在已结合衬底的内部空间和已结合衬底的外部之间产生一个压力差，从而在衬底的所有部分上施加同样的力。
[0038] 优选地，该方法还可包括在将已结合的上下衬底送至结合腔外部之后对介于两衬底之间的密封剂进行硬化，使得两衬底的相对位置固定且不发生改变。
[0039] 根据本发明的另一个方面，提供了一种结合PDP衬底的方法，包括：在上下衬底中之一的边缘上沉积一密封剂；将上下衬底载入所述结合腔，并且分别将上下衬底吸至上下板；向结合腔的内部充以发光气体；对所述结合腔的内部进行密闭；将上下衬底结合；以及将结合了的上下衬底送至结合腔的外部。
[0040] 根据本发明的另一个方面，提供了一种结合PDP衬底的方法，包括：向结合腔的内部充以发光气体；将上下衬底载入所述结合腔，并且分别将上下衬底吸至上下板；在上下衬底中之一的边缘上沉积一密封剂；对所述结合腔的内部进行密闭；将上下衬底结合；以及将结合了的上下衬底送至结合腔的外部。
附图说明
[0041] 由下面结合相应附图的详细说明，可以更加清晰地理解本发明的上述和其他目的、特征和其他优点，其中：
[0042] 图1为一示意性的截面视图，示出了一种用于PDP的传统气体注射机的结构；
[0043] 图2为一流程图，示出了结合PDP衬底并且在衬底间注射气体的传统过程；
[0044] 图3为一截面视图，示出了根据本发明一实施例的结合PDP衬底的设备的结构；
[0045] 图4为一个俯视图，示出了根据本发明另一实施例的结合PDP衬底的设备的结构；
[0046] 图5为一个流程图，示出了根据本发明一实施例的结合PDP衬底的方法；而[0047] 图6A至图6C为截面视图，示出了根据本发明一实施例的结合PDP衬底的过程。
具体实施方式
[0048] 下面将参考附图对本发明的优选实施例进行详细说明。
[0049] 如图3所示，根据本发明一实施例的结合PDP衬底的设备100包括一个结合腔110、一个上板120、一个下板130、闸阀140、气体供应装置150以及一个结合装置(未图示)。
[0050] 首先，结合腔100包括一个在指定部分贯穿形成的衬底出入口112和注气口114，并且其构造使得结合腔100内呈真空状态。即，结合腔110的内部成为真空状态，然后通过所述的注气口114充入发光气体(F)，从而在其内进行两衬底的结合。在该实施例中，优选地，发光气体(F)可以是由等离子体显示发光气体——包括氖(Ne)、氩(Ar)和氙(Xe)——组成的集合中的一种或者两种或更多种的组合。
[0051] 这里，衬底出入口112贯通结合腔110一侧壁的指定部分形成，其用作衬底进出结合腔110的通路。因此，衬底出入口112具有一个足够的尺寸以通过一个衬底。另外，单个结合腔110上可以贯通形成两个衬底出入口112。即，如图3所示，衬底出入口112分别在结合腔110的两个壁上贯通形成，彼此正对。当结合腔110上贯通形成两个衬底出入口112时，将衬底通过一个衬底出入口112载入结合腔110而通过另一个衬底出入口112载出。这样，结合所述衬底的步骤得以连续进行，所述衬底在该情况下沿一指定方向移动。
[0052] 用于分别开关衬底出入口112的闸阀140形成于衬底出入口112的外表面上。也就是说，当衬底通过所述衬底出入口112被载入或载出结合腔110时，闸阀140打开以打开衬底出入口112；而在完成将衬底载入结合腔110后，闸阀140关闭以将结合腔110的内部与外部断开。因此，借助于闸阀140，充入结合腔110内部的发光气体(F)不会排到外部，而其他外部气体不会导入结合腔110。也就是说，闸阀140用来维持结合腔110充满发光气体(F)的状态。
[0053] 注气口114用作将发光气体(F)注入结合腔110的通路。在该实施例中，由于两衬底的结合是在一个充满发光气体(F)的空间内进行，因此发光气体(F)的注入和衬底的结合同时、快速且简单地进行。因此，结合腔110需要注气口114，用于向结合腔110的内部充注具有合适组分的发光气体(F)。如图3所示，注气口114分别连接至设置在结合腔110外部的气体供应装置150，这样当需要供应发光气体(F)时向结合腔110的内部供应发光气体(F)。
[0054] 上板120和下板130设置在结合腔110的上部和下部，且衬底分别安装在上板120和下板130上。也就是说，从外部载入结合腔110的上衬底和下衬底分别安装在上板120和下板130上。这里，优选地，上板120和下板130沿竖直方向移动。当上衬底和下衬底被载入结合腔110并安装在上板120和下板130上时，上板120和下板130彼此分开至少一个指定的间隔，使得可以很简单地完成将衬底载入结合腔110以及衬底安装到上板120和下板130上，并且当两个衬底结合时，两衬底之间的间隔的最小化是有利的。因此，优选地，上板120和下板130竖直移动以使分别安装在上板120和下板130上的两衬底之间的间隔可以调整。
[0055] 在该实施例中，上板120和下板130具有静电吸盘或负压吸盘的结构。静电吸盘产生静电以连接一个衬底，而负压吸盘包括多个贯穿形成的细小吸孔以通过这些吸孔来连接一个衬底。在某些情况下，上板120或下板130具有同时具备静电吸盘或负压吸盘功能的结构。
[0056] 上述的结合腔110还包括安装在其指定部分内的气体感知装置160，用于感知结合腔110内的气体组成。气体感知装置160感知结合腔110内气体的组成和压力，并将气体的组成和压力的相关数据提供给一个控制装置(未图示)，这样维持结合腔110内气体的恰当组成。
[0057] 本实施例的结合PDP衬底的设备100还包括所述的控制装置(未图示)。该控制装置控制气体供应装置150，以使当由气体感知装置160所传送的气体组成测量值小于一个预定的参考值时，气体供应装置150向结合腔110的内部供应更多发光气体。也就是说，当由气体感知装置160所测量到的气体组成值小于预定的参考值时，控制装置获知结合腔110内气体的组成不恰当，从而控制气体供应装置150，使气体供应装置150向结合腔110内供应更多发光气体。优选地，所述的参考值被设置为两衬底之间空间内的发光气体使得PDP模件可以显示图像时的最小值。
[0058] 优选地，结合PDP衬底的设备100还包括用于感知安装在上板120和下板130上的衬底的位置的位置感知装置170。当两个衬底结合时，所述衬底彼此必须精确重合，以精确驱动所得到的PDP模件。因此，为了使两衬底的位置在衬底结合过程中精确重合，用于感知衬底位置的位置感知装置170安装在设备100上。在该实施例中，位置感知装置170感知设置在衬底指定部分的标记，并确定设置在衬底上的标记是否彼此重合，从而感知衬底的位置。
[0059] 如图3所示，优选地，结合PDP衬底的设备100还包括一个位置修正装置180，当由位置感知装置170得到的衬底位置的感知结果获知衬底的位置彼此没有精确重合时，该位置修正装置用来修正衬底位置使得衬底的位置彼此一致。这里，位置修正装置180可以连接至上板120或下板130，且通过改变上板120或下板130的位置来修正安装于上板120或下板130上的衬底位置。也就是说，如图3所示，位置修正装置180连接至下板130的一个指定部分，其被驱动以逐渐改变下板130的位置。这样，由于固定在下板130的下衬底的位置相对于固定在上板120的上衬底的位置发生改变，上衬底和下衬底彼此不重合的部分可以得到补偿。
[0060] 优选地，该实施例的结合PDP衬底的设备100还包括一个衬底提升构件190，通过在下板130的指定部分贯通形成的通孔132而竖直移动，用来提升或降低安装在下板130上的衬底。该衬底提升构件190用来在由外部载入结合腔110的下衬底安装至下板130时接收下衬底并且将下衬底安装至下板130，并在上衬底和下衬底完成结合时用来抬升下衬底并将结合了的上下衬底组件载出结合腔110。因此，衬底提升构件190便于将衬底载入或载出结合腔110。
[0061] 另外，在该实施例中，安装有一个用于使上下衬底彼此机械地靠近以结合所述衬底的结合装置。即，如图3所示，在上板120和下板130之一上形成有一个竖直移动装置122，或者在上板120和下板130上分别形成有一个竖直移动装置122，从而竖直地移动上板
120和下板130。这里，竖直移动装置122为一圆柱，其可由一个马达驱动。因此，上衬底和下衬底固定在竖直移动装置122的指定部分，并且彼此机械地靠近。当上下衬底彼此接触之后，在竖直移动装置122上持续施加一个指定的力，使上下衬底结合。
[0062] 可选地，结合装置可以构造成使得位于一指定高度处的上衬底下落并与下衬底结合。即，在上板120上设置有一个释放部分，用于将衬底从位于一预定高度的上板120的下表面上释放。这里，当上板120为静电吸盘时，释放部分为一静电断开部分；而当上板120为负压吸盘时，释放部分为一个负压断开部分。因此，结合装置构造成使得上下衬底固定在上下板的指定部分，通过去除将上衬底固定至上板的力，上衬底下落并连接至下衬底，并且同时通过重力与下衬底结合。当结合装置利用上述的自由下落时，由于两衬底所有部分上作用有相同的力，因此设备的优点在于可以获得两衬底所有部分之间的间隔相同的PDP模件。
[0063] 另外，在本发明中，结合装置可以构造成上下衬底彼此连接，然后通过增加结合腔110内的压力得以结合。也就是说，竖直移动装置122形成在上板120或下板130上，或者释放部分形成于上板120上，并且在结合腔110的指定部分中还安装有一个用于增加结合腔110内压力的加压部分。这里，加压部分为一个供应气体的通用气泵，并且抽吸部分是一个吸气的真空泵。
[0064] 因此，当上下衬底彼此发生接触而使上下衬底彼此连接之后，将发光气体注入结合腔110，从而增大结合腔110内的压力并且通过结合腔110内的压力和外部压力之间的差而将两衬底结合。当结合装置利用上述的压力差时，由于两衬底的所有部分都施加有相同的力，因此所述设备的优点在于可以获得两衬底所有部分之间的间隔相同的PDP模件，并且通过介于两衬底之间的密封剂，两衬底可以很容易地彼此连接。
[0065] 在上述的结合装置中贯通形成有一个抽吸孔，用于通过抽吸结合腔110内的气体而减小结合腔110内的压力。因此，在衬底结合之前抽吸孔略微减少结合腔110内的压力，然后在两衬底彼此连接之后再加大结合腔110内的压力，从而使衬底结合。
[0066] 优选地，该实施例的结合PDP衬底的设备100还包括一个与结合腔110相连的载送腔(TM)。即，如图4所示，该载送腔(TM)与结合腔110上设置有贯通形成的衬底出入口112的侧壁接触。在载送腔(TM)与结合腔110的衬底出入口的侧壁的一个指定部分上贯通形成有一个用于将衬底从外部送入载送腔(TM)的开口。载送腔(TM)靠近结合腔110，并且用作将衬底从结合腔110外部送至内部或者在处理完成后将衬底移至外部的中间通道。
[0067] 结合腔110的内部充满发光气体(F)。因此，当衬底被载入或载出结合腔110时，结合腔110的内部与外部空气接触使得结合腔110内的气体组成可能发生改变。为了始终维持结合腔110内气体的组成，载送腔(TM)靠近结合腔110安装，并且载送腔(TM)内充满惰性气体。
[0068] 下面将说明使用载送腔(TM)移动衬底的过程。首先，使用介于结合腔110和载送腔(TM)之间的闸阀140将衬底出入口112关闭，然后通过连接载送腔(TM)和外部的所述开口将衬底载入载送腔(TM)。当该开口关闭之后，衬底出入口112打开，将载送腔(TM)内的衬底载入结合腔110。这里，通过增大结合腔110内气体的压力使其高于载送腔(TM)内的气体压力，从而防止载送腔(TM)内的惰性气体进入结合腔110，这一点很重要。优选地，衬底出入口112的打开时间较短以使结合腔110内的气体组成变化最小。虽然载送腔(TM)内的惰性气体部分导入结合腔110，但是因为惰性气体是稳定的，所以不会影响在结合腔110内结合衬底的过程。
[0069] 在载送腔(TM)内设置有一个辅助传送衬底的载送构件(未图示)。该载送构件用来将在外部装载的衬底送入载送腔(TM)，并且将该衬底传送到结合腔110。在载送腔(TM)的指定部分贯通形成有一个注气口(未图示)。该注气口用来向载送腔(TM)内注射惰性气体，并且连接至一个安装在载送腔(TM)外部的惰性气体供应装置(未图示)。这样，载送腔(TM)的内部始终充满惰性气体。优选地，氮气(N2)或氩气(Ar)可以用作所述的惰性气体。当载送腔(TM)和结合腔110之间的闸阀打开从而使得两个腔内的气体彼此连通时，充满载送腔(TM)内部的这些惰性气体防止载送腔(TM)内的气体部分移至结合腔110内，从而防止影响结合腔110的内部或位于结合腔110内的衬底。原因在于惰性气体化学上稳定并且呈惰性。
[0070] 靠近结合腔110的一个侧壁可以安装一个载送腔(TM)，或者靠近结合腔110的两个相对侧壁分别安装两个载送腔(TM)。即，靠近结合腔110的一个侧壁可以安装一个载送腔(TM)，而靠近结合腔110的另一个侧壁可以安装另一个载送腔(TM)。通过靠近结合腔110的相对侧壁安装两个载送腔(TM)，结合衬底的过程在这种状态下进行，即衬底从结合腔110的一侧移至结合腔110的相对一侧。因此，本实施例中的结合衬底的设备100可以很容易地应用于PDP生产线上，其中衬底沿一个方向移动。
[0071] 本实施例中的结合衬底的设备100还包括一个硬化腔(BM)。该硬化腔(BM)用来硬化介于两衬底之间的密封剂(S)，两衬底在结合腔110内结合。由于两衬底在结合腔110内结合而介于两衬底之间的密封剂(S)并没有完全硬化，两衬底的位置以及两衬底之间的间隔会变化。因此，硬化腔(BM)使密封剂(S)完全硬化。硬化腔(BM)可以直接连接至结合腔110，或者可以连接至载送腔(TM)。可选地，在硬化腔(BM)位于一个邻近结合腔110或载送腔(TM)的位置时，该硬化腔(BM)可与结合腔(110)或载送腔(TM)分离。硬化腔(BM)通过向衬底加热而硬化密封剂(S)。
[0072] 下面将详细描述根据本发明一实施方式的结合PDP衬底的方法。
[0073] 虽然该实施例描述了一种使用上述的设备100进行结合衬底的方法，但本发明结合衬底的该方法并不仅限于此。
[0074] 首先，沉积密封剂(P110)。也就是说，密封剂以指定厚度沉积在上下衬底之一的边缘上。该密封剂用来连接上下衬底，并在上下衬底连接之后，通过该两衬底将内部空间与外部隔离开来。
[0075] 上述的密封剂的沉积(P110)可以在两衬底载入结合腔之后进行。即，在结合腔内设置一个密封剂沉积装置，然后该密封剂沉积装置在结合腔内将密封剂沉积在上下衬底之一的边缘。
[0076] 然后，注入发光气体(P120)。即，如图6A所示，在通过抽吸除去结合腔110内的气体后，结合腔110的内部充注发光气体(F)。优选地，充入结合腔110内的发光气体(F)的压力略高于与结合腔110相连的载送腔内气体的压力。这样防止了载送腔内的气体在衬底从载送腔送至结合腔110或从结合腔110中送至载送腔时导入结合腔110中，从而防止了结合腔110内气体的组成发生变化。
[0077] 然后，将衬底载入结合腔110(P130)。即，如图6B所示，上下衬底被载入结合腔110内部。载入结合腔110内的上下衬底被分别吸至上板120和下板130。优选地，上板120和下板130彼此分开一个大的间隔。即，在上下板120和130之间形成一个足够的间隔，从而易于将衬底载入或载出结合腔110。
[0078] 随后，将结合腔110密闭(P140)。即，在完成将衬底载入结合腔110之后，使用闸阀140将衬底出入口112关闭。这样，结合腔110的内部与外部隔开。
[0079] 之后，对结合腔110内气体的组成进行感知和再调节(P150)。即，在完成结合腔110的密闭之后，为了检查结合腔110内气体的组成是否恰当，气体感知装置160检查结合腔110内气体的组成，若确定结合腔110内气体的组成不恰当，则气体供应装置150被驱动并将额外量的发光气体注入结合腔110。这里，结合腔110内气体的组成是指在两衬底间所形成的内部空间(A)内发光气体正常操作PDP衬底时的发光气体的最小组成比。在该实施例中，由于结合腔11内气体的组成为在PDP衬底之间所形成的内部空间(A)内气体的组成，因此结合腔110内气体的组成是很重要的。
[0080] 因此，对气体感知装置160进行控制使得当结合腔内发光气体与所有气体的比例小于一个指定值时，气体感知装置160感知该比例而气体供应装置150向结合腔110内供应额外的发光气体。
[0081] 然后，对衬底的位置进行感知以及再调整(P160)。即，在上下衬底连接之前，对上下衬底的位置进行测量。当上下衬底的位置彼此不重合时，对上下衬底中之一的位置进行调整，并且对其补偿，使上下衬底的位置彼此精确重合。当上下衬底的位置彼此精确重合时，不再需要对衬底的位置进行感知和再调整(P160)。
[0082] 之后，结合衬底(P170)。即，如图6C所示，上下衬底牢靠地结合。这里，上下衬底必须在上下衬底的位置彼此精确重合的条件下进行连接。两衬底的结合可以通过机械地靠近上下衬底而进行。
[0083] 可选地，两衬底的结合可以通过使上衬底下落到下衬底上来实现。在该实施例中，两衬底的结合通过靠近上下衬底使两衬底间的间隔最小化然后使上衬底下落到下衬底上来实现。因此，彼此分开以分别在其上安装上下衬底的上下板120和130通过竖直移动装置122彼此靠近。然后，通过将上衬底从安装在上板120上的静电吸盘或负压吸盘上释放从而使上衬底下落到下衬底上。这样，上衬底通过重力与下衬底连接。
[0084] 当两衬底连接后，两衬底通过在其上施加压力而结合。优选地，向两个衬底都施加气体压力。即，当两衬底连接使得在两衬底之间所形成的内部空间与外部隔开之后，当已连接衬底外部的气体压力增大时，在衬底之间的内部空间和外部之间存在压力差。这样，从大压力的外部向小压力的内部作用有力，从而允许在两衬底的所有部分上都作用有相同的压力。由于该相同的压力通过气体压力物理地作用在两衬底的所有部分，因此诸如两衬底指定部分之间的间隔变小的问题不会出现。
[0085] 可选地，通过在两衬底结合之前减小结合腔110内的压力然后将两衬底结合，两衬底之间的内部空间的压力减小。随后，当结合腔110内的气压回复到其最初状态时，两衬底间内部空间的压力小于外部的压力，使得在两衬底的所有部分上都均匀地作用有指定的压力。即，当两衬底连接之后，将额外量的发光气体(F)注入结合腔110，从而增大结合腔110内的压力。这里，优选地，通过使两衬底间内部空间的压力与大气压近似，可以很容易地调整结合腔110内的压力。
[0086] 然后，衬底被载出结合腔110(P180)。即，当两衬底完全结合之后，结合了的衬底被送至结合腔110的外部。
[0087] 然后，对密封剂进行硬化(P190)。即，通过一种处理方法例如向送出的衬底加热来对密封剂进行硬化。通过使介于两衬底间的密封剂完全硬化，两衬底位置固定不再移动。
[0088] 上述的注入发光气体(P120)以及将衬底载入结合腔110(P130)两者的顺序可以互换。即，衬底可以首先被载入结合腔110，然后在结合腔110的内部充注发光气体。
[0089] 从上述说明可以显见，本发明提供一种结合PDP衬底的设备和方法，其中，两衬底在一个充满发光气体的空间内结合，从而可以通过单一的过程快速且简单地进行衬底的结合以及将发光气体注入所述空间。
[0090] 另外，由于两衬底通过气体的压力实现结合，两衬底通过相同的力而结合从而使得两衬底之间的间隔均一。
[0091] 而且，由于衬底的结合是在一个与大气压近似的压力下进行的，因此所述设备操作简单而不需要一个用于维持结合腔内真空状态的昂贵装置。
[0092] 尽管为了说明性目的而对本发明的优选实施例进行了公开，但是本领域普通技术人员应该可以理解，在不背离相应的权利要求所公开的本发明的范围和主旨的情况下，可以进行各种修改、添加和替换。
