带有除静电装置的空气浮起装置

摘要

本发明的课题为，在借助空气的喷射使板状工件浮起的空气浮起装置上，削减除去由工件浮起用的空气产生的静电的除静电装置的设置空间。其解决方案为，在使工件(6)浮起的工件的浮起面(2a)上设置多个空气喷射孔(3)、借助空气的喷射使该工件(6)浮起的装置中，在上述板状工件浮起用的空气供应流路上，设置使所述空气离子化用的离子化装置(5)，除去由喷射出来的工件浮起用的空气产生的静电。

权利要求

1.一种带有除静电装置的空气浮起装置，该装置在使板状工件浮起的工件浮起面上设置多个空气喷射孔，通过从上述空气喷射孔喷出的空气使上述板状工件浮起，其特征在于，在连接空气供应源和上述空气喷射孔的空气供应流路中，设置用于将工件浮起用空气离子化的离子化装置，并且，将上述离子化装置的离子发生用的放电针设置在上述多个空气喷射孔内，通过从上述空气喷射孔喷出的离子化空气进行上述板状工件的浮起和上述板状工件上的静电的除电。

2.如权利要求1所述的带有除静电装置的空气浮起装置，其特征在于，上述空气浮起装置是一边借助空气喷射使上述板状工件浮起一边输送该板状工件的装置，上述工件浮起面由上述空气浮起装置中的空气储气罐部的上壁面构成。

3.如权利要求2所述的带有除静电装置的空气浮起装置，其特征在于，上述离子化装置设置在上述空气储气罐部内。

4.如权利要求1或2所述的带有除静电装置的空气浮起装置，其特征在于，上述空气喷射孔由第二贯通孔构成，所述第二贯通孔通过用绝缘体覆盖设置在流路壁上的第一贯通孔的内周壁而形成，在该第二贯通孔内，设置上述离子化装置中的放电针。

5.如权利要求1或2所述的带有除静电装置的空气浮起装置，其特征在于，上述空气喷射孔由设置在构成上述工件浮起面的上述上壁面中的贯通孔、以及以塞住该贯通孔的方式设置在该贯通孔内的上方部分上的多孔质材料构成，在上述多孔质材料的空气流入侧或者在该多孔质材料中，设置上述离子化装置中的放电针。

说明书

带有除静电装置的空气浮起装置

技术领域

[0001] 本发明涉及在通过空气喷射使工件浮起的空气浮起装置中附设除静电装置的带有除静电装置的空气浮起装置、以及在该浮起装置中的除静电方法。

背景技术

[0002] 在使工件浮起的面上设置空气喷射孔、通过从该喷射孔喷射空气使工件浮起、或者一边使工件浮起一边输送该工件的空气浮起装置，过去是已知的，在这种装置中，由于通过与喷出的空气的摩擦而在工件上产生静电，所以大多设置除静电装置。

[0003] 例如，在图5所示的一边使板状工件56浮起一边输送该工件56的现有的空气浮起装置51中，当从设置在工件浮起面52上的多个空气喷射孔53喷出的空气流过工件56和工件浮起面52之间的间隙时，由于摩擦而在工件56上产生静电，所以，在工件56的输送路径的中途的工件56的上下，设置用于除去静电的除静电装置54，从该除静电装置54向工件56的上面和下面喷射离子化的除静电空气55，进行工件56的除静电。

[0004] 但是，向工件56的上面和下面喷射除静电空气55以进行除静电的电晕放电方式的除静电装置54，当工件56和除静电装置54的距离极其接近时，会担心离子平衡的恶化，所以，在工件56和除静电装置54之间有必要具有一定程度的距离，尽管是输送薄板状的工件56，在空气浮起装置内也需要一定程度的除静电装置的设置空间H。

发明内容

[0005] 本发明的技术课题是提供一种带有除静电装置的空气浮起装置及其除静电方法，所述带有除静电装置的空气浮起装置，对由工件浮起用空气产生的工件的静电进行除静电时，可以削减输送路径的上下的除静电装置的设置空间。

[0006] 另外，本发明的另一课题是提供一种能够将整个板状工件均匀地除去静电的带有除静电装置的空气浮起装置及其除静电方法。

[0007] 用于解决上述课题的本发明的带有除静电装置的空气浮起装置，在使板状工件浮起的工件浮起面上设置多个空气喷射孔，通过空气喷射使该工件浮起，其特征在于，在上述工件浮起用的空气的供应流路中，设置用于将该空气离子化的离子化装置，将由喷出的工件浮起用的空气所产生的工件上的静电除静电。

[0008] 在上述带有除静电装置的空气浮起装置的优选的实施形式中，上述空气浮起装置是一边借助空气喷射使上述板状工件浮起一边输送该板状工件的装置，上述工件浮起面由上述空气浮起装置中的空气储气罐部的上壁面构成。在这种情况下，优选地，在上述空气储气罐部内设置上述离子化装置。

[0009] 另外，在上述装置的另外的优选实施形式中，上述空气喷射孔或者直至该孔的流路的一部分由第二贯通孔构成，所述第二贯通孔通过用绝缘体覆盖设置于流路壁中的第一贯通孔的内周壁而形成，在该第二贯通孔内设置上述离子化装置中的放电针。

[0010] 进而，上述空气喷射孔由设置在构成上述工件浮起面的壁中的贯通孔，以及以塞住该贯通孔的方式设置在该贯通孔内的上方部分中的多孔质材料构成，可以在上述多孔质材料的空气流入侧或者在该多孔质材料中，设置上述离子化装置中的放电针。

[0011] 另一方面，为了解决上述课题的本发明的空气浮起装置中的除静电的方法，其特征在于，在通过来自工件浮起面的空气喷射使板状工件浮起时，通过在上述板状工件和工件浮起面之间流过离子化的工件浮起用的空气，除去由工件浮起用的空气产生的工件的静电。

[0012] 在上述除静电方法中，优选地，在利用设置在空气供应流路中的离子化装置使上述工件浮起用的空气离子化之后，从设置在上述工件浮起面上的多个空气喷出孔喷出，在上述板状工件和工件浮起面之间流动。

[0013] 根据上面详细描述的本发明，在对由工件浮起用空气产生的工件的静电进行除静电时，可以削减工件输送路径上下的除静电装置设置空间，通过在板状工件与工件浮起面之间流过离子化的空气，可以均匀地将整个工件除静电。

附图说明

[0014] 图1是表示根据本发明的带有除静电装置的空气浮起装置的一个实施例的概念图。

[0015] 图2是表示除静电装置的另外的实施例的概念图。

[0016] 图3是表示除静电装置的进一步的另外的实施例的概念图。

[0017] 图4是表示除静电装置的再一个另外的实施例的概念图。

[0018] 图5是表示现有的带有除静电装置的空气浮起装置的概念图。

具体实施方式

[0019] 图1表示根据本发明的带有除静电装置的空气浮起装置的一个实施例。

[0020] 该空气浮起装置1是这样一种装置：在使板状工件6浮起的工件浮起面2a上设置多个空气喷射孔3，一边借助来自该喷射孔3的空气喷射使该板状工件6浮起，一边输送该工件；使上述板状工件6浮起的工件浮起面2a，形成在上述空气浮起装置1中的空气储气罐部2的上壁2b上。

[0021] 另外，本发明的空气浮起装置并不局限于一边使板状工件6浮起一边进行输送的情况，本发明也适用于单纯地用空气将工件浮起并保持的装置。

[0022] 上述空气储气罐部2，构成在上述板状工件6的输送方向上延伸的长的长方体状，内部具有由上壁2b、侧壁2c、底壁2d包围的高度低的空间部4，贯穿该上壁2b设置上述多个空气喷射孔3。

[0023] 上述空气储气罐部2，经由管路连接到空气供应源(图中未示出)上，利用该管路和上述空间部4，构成从上述空气供应源至上述空气喷出孔3的空气供应流路，在从上述空气供应源供应工件浮起用的空气的空间部4内，设置用于将上述工件浮起用的空气离子化的离子化装置5。

[0024] 由于上述离子化装置5是和现有的除静电装置中为了获得离子化的除静电空气用的离子发生装置相同的装置，所以，图中没有示出，它备有连接到供电电路上的放电电极，产生由电晕放电引起的离子。

[0025] 在上述带有除静电装置的空气浮起装置1中，在从设置在工件浮起面2a上的多个空气喷射孔3喷射的空气流过板状工件6和工件浮起面2a之间的间隙时，由于摩擦而在板状工件6上产生静电，但是，由于与板状工件6带电的极性具有相反极性的喷射空气中的离子与板状工件6的表面接触，所以，将该工件所带的静电中和。

[0026] 在这种情况下，上述带有除静电装置的空气浮起装置1，由于从设置在工件浮起面2a上的多个空气喷射孔3喷射出使板状工件6浮起用的离子化的空气，所以，可以使该离子化的空气在板状工件6与工件浮起面2a之间流过，可以借助喷射的空气中的正或负离子，均匀地将该板状工件6除静电。

[0027] 另外，上述带有除静电装置的空气浮起装置1，由于通过使从工件浮起面2a喷出的离子化的工件浮起用空气在板状工件6和工件浮起面2a之间流过来除去静电，所以没有必要像图5所示的现有的带有除静电装置的空气浮起装置51那样、在工件56的输送路径途中的工件56的上方及下方位置处设置除静电用的除静电装置54，因此，可以削减设置除静电装置用的空间。

[0028] 图2～图4是表示根据本发明的带有除静电装置的空气浮起装置的各个另外的实施例的概念图。

[0029] 图2～图4所示的实施例，在这里，作为设置在使板状工件6浮起的工件浮起面2a上的空气喷射孔进行说明，但是，也可以作为向图1的空气储气罐部2内的空间部4供应离子化空气的离子化装置使用。总之，在借助空气喷射一边使工件浮起一边进行输送的装置中，在上述工件浮起用的空气供应流路中设置使该空气离子化用的离子化装置这一点上，没有变化，另外，在上述一点上，与图1所示的实施例也基本上是共同的。因此，只对与图1所示的实施例1不同的空气喷射孔和离子化装置的具体结构进行说明，省略对其它部分的说明。

[0030] 在图2所示的实施例中，多个空气喷射孔21由第二贯通孔24构成，所述第二贯通孔24通过用绝缘体23覆盖设置在构成工件浮起面2a的壁2b中的第一贯通孔22的内周壁来形成，在该第二贯通孔24内，设置离子化装置中的放电针25。从而，通过该第二贯通孔24和放电针25之间的间隙离子化的工件浮起用的空气，流过板状工件6和工件浮起面2a之间，利用该喷射空气中的正或负离子均匀地除去该板状工件6的静电。

[0031] 在图3所示的实施例中，空气喷射孔31由设置在构成上述工件浮起面2a的壁2b上的贯通孔32、及以塞住该贯通孔32的方式设置在该贯通孔32的作为空气流出侧的上方部分中的多孔质材料34构成，在比上述贯通孔32的作为空气流入侧的上述多孔质材料34的更靠下方的部分中，设置上述离子化装置中的多个放电针35。

[0032] 上述贯通孔32，可以制成随着从空气流入侧向空气流出侧的行进，直径32a、32b、32c呈阶梯状扩径的阶梯贯通孔32，以塞住位于上方的直径32c的部分的方式设置上述多孔质材料34，可以在比上述多孔质材料34更靠下方的阶梯部32d中设置离子化装置中的多个放电针35。

[0033] 由上述多个放电针35离子化的工件浮起用的空气，通过以塞住上述贯通孔32的上方部分的方式设置的上述多孔质材料34内的多个孔向上方喷出，在上述板状工件6和工件浮起面2a之间流动，借助该喷出空气中的正及负离子均匀地将上述板状工件6除静电。

[0034] 另外，在图4所示的实施例中，上述空气喷射孔41由设置在构成上述工件浮起面2a的壁2b上的贯通孔42、以及多孔质材料44构成，所述多孔质材料44具有以塞住该贯通孔42的方式设置在该贯通孔42的作为空气流出侧的上方部分中的中央部附近的贯通孔
44a，在该多孔质材料44的贯通孔44a内设置上述离子化装置中的放电针45。

[0035] 上述贯通孔42可以制成随着从空气流入侧向空气流出侧行进、直径42a、42b、42c以阶梯状扩径的阶梯贯通孔42，可以以塞住位于上方的直径42c的部分的方式设置上述多孔质材料44。

[0036] 由上述放电针45离子化的工件浮起用的空气，通过该多孔质材料44的贯通孔44a和放电针45之间的间隙向上方喷出，与通过以塞住上述贯通孔42的上方部分的方式设置的上述多孔质材料44内的多个孔向上方喷出的工件浮起用的空气一起，在上述板状工件6和工件浮起面2a之间流动，利用该喷射空气中的正或负的离子均匀地将上述板状工件6除静电。

[0037] 上述空气浮起装置中的除静电方法，由于通过在图1的实施例中说明的带有除静电的空气浮起装置1的作用而被明确，所以在这里省略其说明。

[0038] 上面，对于根据本发明的带有除静电装置的空气浮起装置及该浮起装置中的除静电方法进行了详细的描述，但是本发明并不局限于上述实施例，在不脱离本发明的权利要求范围所记载的本发明的精神的范围内，可以在设计上进行各种变更。

[0039] 例如，在图1所示的实施例中，用于将工件浮起用的空气离子化的离子化装置5设置在空气储气罐部2的空间部4内，但并不局限于该实施例，也可以将离子化装置5设置在连接空气供应源和空气储气罐部2的管路的中途。

[0040] 另外，在图1所示的实施例中，将空气储气罐部2的上壁面作为工件浮起面2a，但没有必要将工件浮起面2a限定为空气储气罐部2的上壁面。

[0041] 进而，在对于板状工件6的上表面也有必要除静电的情况下，在不妨碍由工件浮起装置的空气喷射引起的将板状工件6浮起的范围内，也可以使离子化空气与板状工件6的上表面接触。