真空断路器用电气接点及其制法

摘要

本发明的目的是，提供兼备开断性能和低电涌性能、且多次断路所导致的性能恶化小的电气接点。作为电气接点，由Cr和Cu或Ag中的任意一种和碳化物形成，在以Cu或Ag中任意一种作为主成分的基体中，使用形成周围以碳化物包围的Cr分散的组织的成分。另外，其特征是含有1～30重量％碳化物，其余部分为Cu，另外，其特征是由Cr、Cu和碳化物形成，Cr和碳化物的重量比在1∶1.5～50的范围内。通过包含Cr和Cu或Ag中任意一种，得到充分的开断性能，另外，通过电流开断时的碳化物的升华现象，可以减小截断电流，同时促进电弧驱动，发挥出色的开断性能。而且该碳化物，通过主要包围Cr的周边而存在，可以确保以Cu或Ag中的任意一种为主成分的基体的通电性能，发挥提高所述的低电涌性能的作用。

权利要求

1.一种电气接点，其特征在于，

所述电气接点由Cr、Cu以及碳化物形成，在以所述Cu为主成分的基体中，形成周围以碳化物包围的Cr相分散的组织，其中，所述Cu基体中掺有与所述电气接点的重量比为

0.2～1％的Pb。

2.根据权利要求1所述的电气接点，其特征在于，所述碳化物与所述电气接点的重量比为1～30％。

3.根据权利要求1所述的电气接点，其特征在于，所述Cr相对于所述电气接点的重量比为0.02～20％。

4.根据权利要求1所述的电气接点，其特征在于，所述碳化物，具有通过电弧而升华的性质。

5.根据权利要求1所述的电气接点，其特征在于，所述碳化物的升华点或分解点大于等于1800℃。

6.根据权利要求1所述的电气接点，其特征在于，所述碳化物，由SiC、TiC、WC、Cr3C2、Be2C、B4C、ZrC、HfC、NbC、TaC、ThC、VC中的1种或

2种以上形成。

7.根据权利要求1所述的电气接点，其特征在于，截断电流为1～2.5A，且对于电极直径x毫米可以断路的最大电流值y千安在由式(1)求得的范围内

0.44x＜y＜1.32x ...式(1)。

8.一种电气接点的制法，其特征在于，将Cr和Cu以及碳化物的粉末混合后作成混合粉末，在对该混合粉末加压成形后进行烧结，在以所述Cu为主成分的基体中，形成周围以碳化物包围的Cr相分散的组织，其中，所述Cu基体中掺有与所述电气接点的重量比为0.2～1％的Pb。

9.根据权利8所述的电气接点的制法，其特征在于，所述碳化物与所述电气接点的重量比为1～30％。

10.根据权利8所述的电气接点的制法，其特征在于，所述Cr相对于所述电气接点的重量比为0.02～20％。

11.根据权利8所述的电气接点的制法，其特征在于，所述Cr和Cu的粉末，颗粒直径小于等于75μm，所述碳化物的粉末，颗粒直径小于等于

20μm。

12.根据权利要求8所述的电气接点的制法，其特征在于，所述加压成形压力为120～500MPa。

13.根据权利要求8所述的电气接点的制法，其特征在于，在真空中、惰性气体气氛中或者氢气气氛中，以小于等于Cu的熔点的温度进行所述烧结。

14.一种电极，其特征在于，

由权利要求1至7中任意一项所述的电气接点构成，具有圆盘形状，具有在该圆盘的圆中心形成的中心孔、和对于该中心孔非接触地从圆中心向外周部形成的多条贯通了的分割沟。

15.一种电极，其特征在于，

具有圆盘状部件和在该圆盘状部件的电弧发生面的反对面上一体地接合的电极棒，所述圆盘状部件由权利要求1至7中任意一项所述的电气接点形成。

16.一种真空阀，其特征在于，

该真空阀，在真空容器中具备一对固定侧电极以及可动侧电极，所述固定侧电极和可动侧电极中的至少一方，由权利要求14或15所述的电极构成。

17.一种真空断路器，其特征在于，具有：在真空容器中具备一对固定侧电极和可动侧电极的真空阀；将该真空阀内的所述固定侧电极以及可动侧电极的每个，与所述真空阀外连接的导体端子；驱动所述可动侧电极的开闭单元，其中，所述真空阀由权利要求16中所述的真空阀构成。

说明书

真空断路器用电气接点及其制法

技术领域

[0001] 本发明涉及在真空断路器、真空开关等中使用的新的真空阀用电气接点及其制法。

背景技术

[0002] 在内置于真空断路器等中的真空阀内，设有一对可开闭的电气接点。要求真空断路器等的受配电机器小型化，因此，需要提高真空阀内的电气接点的开断性能、用小的电气接点来开断大电流。作为开断性能出色的电气接点，主要使用了Cr-Cu类电气接点(专利文献1)。

[0003] 另外，当在感应性电路中使用真空阀来开断电流时，可能会产生异常电涌电压，造成负荷机器的绝缘破坏。因此，为了抑制异常电涌电压，需要减小截断电流值。从而，对于电气接点所要求的其它的重要因素之一，可以举出截断电流值小。作为截断电流小的低电涌型电气接点，列举出例如Co-Ag-Se类电气接点等(专利文献2、专利文献3)。 [0004] 【专利文献1】特开2005-135778号公报

[0005] 【专利文献2】特开平07-029461号公报

[0006] 【专利文献3】特开平09-171746公报

发明内容

[0007] 在使用了Cr-Cu类电气接点等的真空断路器中，尽管开断性能出色、能够开断大电流，但是伴随大电流开断产生电涌电压。因此，需要一起使用用于吸收异常电涌电压的电涌吸收器，存在与机器的大型化和高价格化有关的问题。

[0008] 另外，使用了Co-Ag-Se等的电气接点的真空断路器，尽管低电涌性能出色，但存在对大电流开断的不适用性。

[0009] 开断性能越高在电流零点前开断电流，会产生越大的截断电流，因此，一般认为开断性能和低电涌性能的性质在理论上相反。因此现状是，根据真 空断路器的机种/用途，分别使用开断性能高的电气接点和低电涌性能出色的电气接点。

[0010] 而且，要求在进行了多次开断后，仍维持上述的开断性能和低电涌性能，但是，在兼备大电流的开断性能和低电涌性能的电气接点中，由于多次开断，可能会产生特别是低电涌性能的恶化。

[0011] 本发明的目的是，提供兼备开断性能和低电涌性能，且由于多次开断造成的性能恶化小，可以实现真空断路器等的小型化和低价格化的电气接点及其制法。

[0012] 本发明的电气接点，由Cr和Cu或Ag中任意一种和碳化物形成，在以Cu或Ag中任意一种为主成分的基体中，制成周围用碳化物包围的Cr分散后形成的组织。 [0013] 本发明的电气接点，其特征在于，包含1～30％重量的碳化物，其余部分为Cu。 [0014] 另外，本发明的电气接点的特征在于，由Cr、Cu和碳化物形成，Cr和碳化物的重量比在1∶1.5～50的范围内。在这种情况下，理想的是包含1～30％重量的碳化物。 [0015] 另外，本发明的电气接点，其特征在于，由Cr、Cu和碳化物形成，Cr重量为0.02～20％，碳化物重量为1～30％，与Cr相比，含有较多碳化物，其余部分为Cu。

[0016] 若做成上述构成，则可以提供能够实现真空断路器的小型化和能够开断大电流的真空断路器。另外，可以提供兼备开断性能和低电涌性能的真空断路器。

[0017] 根据本发明，可以提供兼备开断性能和低电涌性能，且由多次开断导致的性能恶化较小的电气接点。

附图说明

[0018] 图1是表示本发明的第1以及第2实施方式的电极的构造的图。

[0019] 图2是表示本发明的第3实施方式的真空阀的构造的图。

[0020] 图3是表示本发明的第4实施方式的真空断路器的构造的图。

[0021] 图4是表示本发明的第5实施方式的电气接点的组织。

[0022] 图5是表示本发明的第7实施方式的路边设置变压器用负荷开闭器的构造的图。 [0023] 符号说明

[0024] 1电气接点(接点层) 1a固定侧电气接点 1b可动侧电气接点

[0025] 2螺纹沟 3、3a、3b加强板 4、4a、4b电极棒 5焊料

[0026] 6a固定侧电极 6b动侧电极 7遮护板 8可动侧遮护板

[0027] 9a固定侧端板 9b可动侧端板 10波纹管 11导承

[0028] 12可动侧电极夹 13绝缘筒 14真空阀 15环氧筒

[0029] 16绝缘操作杆 17上部端子 18集电子 19下部端子

[0030] 20接触弹簧 21支撑杆 22回柱机 23推杆

[0031] 24敲击杆 25滚筒 26主杆 27跳闸线圈 28跳闸杆

[0032] 29复位弹簧 30合闸线圈 31排气筒

[0033] 32外侧真空容器 33上部板材 34下部板材 35侧部板材

[0034] 36上部贯通孔 37上部基座 38外侧波纹管

[0035] 39下部贯通孔 40绝缘性套筒 41下部基座

[0036] 42柔性导体 43柔性导体贯通孔 51中央孔

具体实施方式

[0037] 本发明的电气接点，包含Cr和Cu或Ag中的任意一种和碳化物，在以Cu或Ag中的任意一种为主成分的基体中，制成将周围用碳化物包围的Cr分散的组织。所谓以碳化物包围，可以在Cr或以Cr为主成分的粒子的周围，凝集有碳化物的状态，没必要以碳化物覆盖Cr整体。换言之，在Cu或Ag的相和Cr的相之间的边界中，碳化物为集中存在的状态。 [0038] 通过包含Cr和Cu或Ag中的任意一个，得到充分的开断性能，另外，可以通过电流开断时的碳化物的升华现象，减小截断电流，同时促进电弧驱动，发挥出色的开断性能。而且，由于该碳化物主要是包围Cr的周边地存在，可以确保以Cu或Ag中任意一种为主成分的基体的通电性能，发挥所述的提高低电涌性能的作用。

[0039] 另外，本方式中记载的电气接点由Cu和碳化物形成，特别地，含有1～30％的重量碳化物，其余部分为Cu。

[0040] 这样的电气接点，通过电流开断时的碳化物的升华现象，可以减小作为在开断交流电流时残留的电流的断路电流，同时促进电弧驱动，发挥出色的开断性能。通过将截断电流减小到例如小于等于3A，可以减小电涌电压、抑制绝缘破坏。

[0041] 该碳化物，在电流开断后的冷却过程中，由于发生固相和气相之间的相变化，快速地变回为固体，例如40次以上，理想的是，即使反复进行50～100次那样的多次开断，也可以持续断路电流减低效果。

[0042] 另外，该碳化物分解后成为碳化物的气体成分，通过使电涌电压推迟到零附近，例如，可以开断大于等于20KA的大电流，可以兼备开断性能和低电涌性能。

[0043] 另外，本方式中记载的电气接点，由Cr、Cu和碳化物形成，Cr和碳化物的重量比在1∶1.5～50的范围内，包含1～30％重量的碳化物。

[0044] 而且，本方式中记载的电气接点由Cr、Cu和碳化物形成，Cr重量百分比为0.02～20％，碳化物重量百分比为1～30％，与Cr相比，含较多碳化物，其余部分为Cu。 [0045] 此外，作为Cr的替代材料考虑Co，作为Cu的替代材料考虑Ag。

[0046] 这样的电气接点可以提高耐电压性能。但是，由升华而分解的碳化物成分生成Cr和化合物，当反复开断时碳化物的量减少，因此，理想的是Cr和碳化物的重量比为1∶1.5～50的范围，由此，可以持续断路电流减低效果。

[0047] 另外，碳化物的量理想的重量百分比是1～30％。碳化物的量小于此量时，无法达到截断电流减低效果，当大于此量时，电气接点的材料密度下降，无法得到所希望的开断性能。

[0048] 碳化物，理想的是，升华点或分解点大于等于1800℃，具体地，理想的是由SiC、TiC、WC、Cr3C2、Be2C、B4C、ZrC、HfC、NbC、TaC、ThC、VC中的一种形成。另外，作为碳化物，也可以使用这些中的至少2种以上。

[0049] 由此，通过电流开断时产生的电弧，可以使碳化物升华，减小断路电流。 [0050] 另外，Cu中也可以掺入重量百分比为0.2～1％的Pb。由此，可以提高电气接点的耐熔敷性。

[0051] 本发明的电气接点的制法，在对由Cr和Cu或Ag中的任意一种以及碳化物的粉末混合而得到的混合粉末进行加压成形后，进行烧结。作为本发明 的电气接点的原料的各成分的颗粒直径，理想的是，Cr和Cu或Ag中任意一种的粉末的颗粒直径小于等于75μm，碳化物的粉末的颗粒直径小于等于20μm。从而得到成形性出色，均匀，且用碳化物包围Cr的周围的所希望的组织。烧结，理想的是在真空中、惰性气体气氛中、或者氢气气氛中，以小于等于Cu或Ag的熔点的温度进行烧结。这也是碳化物不分解的温度。由此，可以进行最终形状的同时复合成形，不需要后续加工，可以得到廉价的电气接点。加压成形，理想的是以120～500MPa的加压成形压力来成形。原因是，当成形压力低于120MPa时，成形体的处理(handling)困难，当高于500MPa时，原料粉末易于凝着在金属模具上，金属模具寿命缩短，同时降低生产性。

[0052] 另外，本发明的电气接点，截断电流值为1～2.5A，并且，对于电极直径x(mm)可以断路的最大电流值y(kA)在以式(1)求得的范围中。

[0053] 0.44x＜y＜1.32x ...式(1)

[0054] 若在这样的范围中，则可以提供不需要电涌吸收器，且可以应付大电流的真空断路器。通过具有所述的成分以及组织，可以达到上述范围，兼备低电涌性能和出色的开断性能。

[0055] 使用了本发明的电气接点的电极，具有圆盘形状，具有形成于圆盘的圆中心的中心孔、和对于该中心孔不接触地从圆中心向外周部形成的多条贯通了的分割沟。形成由分割沟分离的叶片型的平面形状。由此防止在电极中心产生电弧，同时，通过分割沟将电弧向外周驱动，可以防止电弧停滞而导致的无法开断。

[0056] 另外，使用了本发明的电气接点的电极，具有圆盘状部件、和在该圆盘状部件的电弧发生面的反对面上一体地接合的电极棒。圆盘状部件由本发明的电气接点构成。由此得到具有希望的性能的电极。

[0057] 与本发明相关的真空阀，在真空容器内，具有一对的固定侧电极和可动侧电极，其中至少一方由使用了本发明的电气接点的电极形成。

[0058] 与本发明相关的真空断路器，具有：在真空容器内具有在至少一方中使用了本发明的电气接点的固定侧电极以及可动侧电极的真空阀；将该真空阀内的固定侧电极以及可动侧电极的每个和真空阀外连接的导体端子；驱动可动侧电极的开闭单元。由此，得到兼备出色的开断性能和低电涌性能的真空 断路器，而且得到各种真空开关装置。

[0059] 下面，通过实施例，对用于实施发明的方式进行详细说明。此外，本发明，不限于这些实施例。

[0060] (实施方式1)

[0061] 对形成以Cu作为基体、周围以SiC包围的Cr粒子分散的组织的电气接点进行制作，并使用其制作了电极。图1是表示制作出的电极的构造的图。在图1中，1是电气接点、2是用于给电弧以驱动力，使其不停滞的螺旋沟、3是不锈钢制的加强板、4是电极棒、5是焊料、51是形成用于使电极中央不产生电弧的凹部的中央孔。

[0062] 电气接点1的制作方法如下。首先，将颗粒直径75μm以下的Cr粉末和Cu粉末以及2～3μm的SiC粉末，以成为后述的表1的接点组成的配比，通过V型混合器混合。接着，将该混合粉末填充在能够形成贯通了的螺旋沟2以及中央孔51、并能形成所希望的电气接点形状的金属模具中，通过油压冲压，以400MPa的压力进行加压成形。成形体的密度约为73％。将其在真空中，以1050℃×2小时加热并烧结，制作成电气接点1。得到的电气接点1的相对密度约为96％。

[0063] 再者，电极的制作方法如下。以无氧铜通过预先机械加工制作电极棒4，另外，用SUS304通过预先机械加工制作加强板3，在通过所述的烧结所得到的电气接点1的中央孔51以及加强板3的中央孔，插入电极棒4的凸部，通过焊料5，嵌入结合，另外，在电气接点-4
1和加强板3之间也放置焊料5，在小于等于8.2×10 Pa的真空中，以970℃×10分钟对其加热，制作出图1所示的电极。该电极，是额定电压7.2kV，额定电流600A，额定断路电流
20kA用的真空阀中使用的电极。此外，若电气接点1的强度充分大，则也可以省去加强板
3。

[0064] 除上述以外，在碳化物为SiC以外的TiC、WC、Cr3C2、Be2C、B4C、ZrC、HfC、NbC、TaC、ThC、VC中的1种或2种以上的情况下，另外，在基体成分为Ag的情况下，也可以根据所述的方法制作电气接点1。

[0065] (实施方式2)

[0066] 对于形成SiC粒子分散在Cu的基体中的组织的电气接点进行制作，并使 用其制作出电极。电极的构造和实施方式1相同如图1所示。

[0067] 电气接点1的制造方法如下。首先，对于颗粒直径75μm以下的Cr粉末和SiC粉末，以成为后述的表1的接点组成的配比，通过V型混合器进行混合。接着，将该混合粉末填充在可以形成贯通了的螺旋沟2以及中央孔51、并形成所希望的电气接点形状的金属模具中，通过油压冲压，以400MPa的压力进行加压成形。成形体的密度约为73％。在真空中，以900～1050℃的温度对其加热2小时并烧结，制作成电气接点1。得到的电气接点1的相对密度约为94％。

[0068] 而且，电极的制造方法和实施方式1相同，制作出图1所示的电极。

[0069] 该电极，是额定电压7.2kV，额定电流600A，额定断路电流20kA用的真空阀中所使用的电极。

[0070] 此外，若电气接点1的强度充分大，则也可以省去加强板3。

[0071] 在碳化物是SiC以外的TiC、WC、Cr3C2、Be2C、B4C、ZrC、HfC、NbC、TaC、ThC、VC中的1种的情况下，也可以根据所述方法制作电气接点1。此外，也可以混合使用这些碳化物。 [0072] 作为碳化物，SiC尤为理想。另外TiC、WC也是理想的，且它们具有尽管截断电流上升为7A左右、但由电弧加热所导致的表面变形小的优点。

[0073] (实施方式3)

[0074] 在电极中使用实施方式1和实施方式2中制作的电气接点，制作出真空阀。真空阀的规格，为额定电压7.2kV，额定电流600A，额定断路电流20kA。

[0075] 图2是表示本实施方式的真空阀的构造的图。图2中，1a、1b分别是固定侧电气接点和可动侧电气接点，3a、3b是加强板，4a、4b分别是固定侧电极棒和可动侧电极棒，使用它们，分别构成固定侧电极6a和可动侧电极6b。

[0076] 可动侧电极6b，通过防止断路时金属蒸汽等的飞散的可动侧遮护板8，与可动侧电极夹(holder)12钎焊接合。将它们，通过固定侧端板9a、可动侧端板9b以及绝缘筒13，在高真空中焊接封固，使用固定侧电极6a以及可动侧电极夹12的螺纹部和外部导体连接。 [0077] 在绝缘筒13的内面，设有防止断路时金属蒸汽等的飞散的遮护板7，另外，在可动侧端板9b和可动侧电极夹12之间，设有用于支持滑动部分的导 承11。在可动侧遮护板8和可动侧端板9b之间，设有波纹管10，可以保持真空阀内真空状态而使可动侧电极夹12上下，来使固定侧电极6a和可动侧电极6b开闭。

[0078] 这样，在图2所示的电气接点1a、1b中使用实施方式1以及2中制作出的电气接点，制作出本发明的真空阀。

[0079] (实施方式4)

[0080] 制作出搭载了实施方式3中制作出的真空阀的真空断路器。图3是表示本方式的真空阀14及其操作机构的真空断路器的结构图。

[0081] 真空断路器的结构是，在前面配置有操作机构部，在背面配置有支持真空阀14的3相总括型的3组的环氧筒15。真空阀14，通过绝缘操作杆由操作机构进行开闭。 [0082] 在断路器处于闭路状态情况下，电流流过上部端子17、电气接点1、集电子18和下部端子19。电极间的接触力，通过安装在绝缘操作杆16上的接触弹簧20来保持。电极间的接触力以及短路电流所引起的电磁力，通过支撑杆21和回柱机22保持。当对合闸线圈
30励磁时，从开路状态，推杆23通过敲击杆24按在滚筒25上，旋转主杆26，闭合电极间之后，通过支持杆21保持。

[0083] 在断路器跳闸自由状态下，跳闸线圈27被励磁，跳闸杆28脱离与回柱机22的啮合，主杆26旋转，打开电极间。

[0084] 在断路器开路状态下，电极间被打开后，通过复位弹簧29，恢复连通，同时22啮合。在该状态下，当对合闸线圈励磁时，变为闭路状态。此外，31为排气筒。 [0085] (实施方式5)

[0086] 实施方式1中制作的电气接点，在实施3中所示的额定电压7.2kV，额定电流600A，额定断路电流20kA的真空阀中使用，搭载在实施方式4中所示的真空断路器中，进行了断路试验。表1表示接点组成以及电极直径和断路试验结果。NO.1～NO.8为本发明材料，NO.9～NO.11为比较材料。

[0087] 表1

[0088]

[0089] 在NO.1～NO.8的本发明材料以及NO.10～NO.11的比较材料中，形成SiC包围Cr粒子周边那样地凝集的组织。作为其一例，图4是本发明材料NO.2的组织照片。 [0090] SiC的含量在0.5～15％重量的范围内(NO.1～NO.4)，随SiC量变大，通过其升华，有截断电流值减小的趋势。另外，通过含有SiC，也提高最大断路电流值(开断性能)，当SiC变多时(NO.4)，由于接点密度的降低，有开断性能也降低的趋势。

[0091] 与此相对，在不含SiC的情况下(NO.10)，截断电流值比较大，最大断路电流值小。另外，当SiC超过15％重量时(NO.11)，接点密度的降低变得明显，最大断路电流值大幅度降低。

[0092] 当Cr量变化时(NO.5，NO.6)，虽然截断电流值的变化小，但是，当Cr多时，由于耐电压特性的提高，有最大断路电流值增大的趋势。

[0093] 当电极直径增大时(NO.7，NO.8)，断路电流值几乎不变，最大断路电流值变大。 [0094] 比较材料NO.9，具有均匀分散在SiC在Cu基体中、不在Cr粒子周边凝集的组织。在这种情况下，即使接点组成和本发明材料NO.2相同，也有截断电流值变大，最大断路电流值减低的趋势，表现出SiC包围Cr粒子周边那样地凝集，对于提高低电涌性能以及开断性能是有效的。

[0095] 由上，通过与本发明有关的电气接点，可以得到兼备出色开断性能和低电涌性能的电极性能。

[0096] 此外，在碳化物是SiC以外的TiC、WC、Cr3C2、Be2C、B4C、ZrC、HfC、NbC、TaC、ThC、VC中的1种或2种以上的情况下，另外，在基体成分为Ag的情况下，也得到相同的效果。 [0097] (实施方式6)

[0098] 将在实施方式2中制作的电气接点使用在实施方式3中所示的额定电压7.2kV、额定电流600A、额定断路电流20kA的真空阀中，并搭载在实施方式4中所示的真空断路器中，进行了断路试验。

[0099] 表2表示接点组成以及电极直径和断路试验结果，NO.1～NO.5为本方式材料，NO.6～NO，9为比较材料。

[0100] 表2

[0101]

[0102] SiC的含量在1～30％重量的范围内(NO.1～NO.3)，通过SiC升华，截断电流值比较小，开断1(kA)的电流100次后，截断电流值也没有大幅度恶化，可以维持低电涌性能。 [0103] 对此，在SiC量不达到1％重量的情况下(NO.6)，截断电流值比较大，低电涌效果小，同时最大断路电流值也降低。

[0104] 另外，当SiC量超过30％重量时(NO.7)，尽管可观察到低电涌效果，但是烧结性降低，接点材料的密度降低，最大断路电流值降低。

[0105] Cr量和SiCl量的重量比在1∶1.5～50的范围内(NO.5，NO.6)，截断电流值小，开断1(kA)的电流100次后的截断电流值的恶化也小。

[0106] 与此相对，与Cr量相对的SiC量较多，在重量比为1∶1的情况下(NO.8)，尽管初期的截断电流值小，100次关断后的截断电流值大幅度恶化。这是由于，通过电流关断时发生的电弧加热，Cr和升华了的SiC反应，具有截断电流降低效果的SiC的量减少的缘故。 [0107] 此外，在不存在具有截断电流降低效果的SiC的情况下(NO.9)，尽管最大断路电流值大，但和NO.6相同，截断电流值大，观察不到低电涌效果。

[0108] 表2中，断路电流小于等于5A，初始值和100次关断后的差异小于等于1.5A，而显然更理想的情况是小于等于1.3A。另外，最大断路电流也大于等于25kA，更理想的是为28kA左右。

[0109] 由上，通过本方式中记载的电气接点，可以得到兼备出色开断性能和低电涌性能，且截断电流降低效果的持续性出色的电极性能。此外，考虑在碳化物是SiC以外的TiC、WC、Cr3C2、Be2C、B4C、ZrC、HfC、NbC、TaC、ThC、VC中的1种的情况下，也得到大体相同的效果。 [0110] (实施方式7)

[0111] 将实施方式3中制作的真空阀，搭载在真空断路器以外的真空开关装置上。图5是，搭载有实施方式3中制作的真空阀14的路边设置变压器用的负荷开闭器。

[0112] 该负荷开闭器，在真空封固的外侧真空容器32内，收容有多对相当于主电路开闭部的真空阀14。外侧真空容器32具备上部板材33和下部板材34以及侧部板材35，各板材的周围(缘)通过互相焊接而接合，同时与设备本体一起进行设置。

[0113] 在上部板材33上，形成了上部贯通孔36，在各上部贯通孔36的边缘，环状的绝缘性上部基座37覆盖各上部贯通孔36那样地被固定。并且，在各上部基座37的中央形成的圆形空间部中，圆柱状的可动侧电极棒4b可以自由地往复运动(上下运动)地被插入。即，各上部贯通孔36，通过上部基座37和可动侧电极棒4b被堵塞。

[0114] 可动侧电极棒4b的轴方向端部(上部侧)，与设置在外侧真空器32的外部的操作器(电磁操作器)相连。另外，在上部板材33的下部侧，沿着各上部贯通孔36的边缘，外侧波纹管38可以自由往复运动(上下运动)地被配 置，各外侧波纹管38，在上部板材33的下部侧固定轴方向的一端侧，轴方向的另一端侧，被安装在各可动侧电极棒4b的外周面上。即，为了将外侧真空容器32作成为密闭构造，在各上部贯通孔36的边缘，沿着各可动侧电极棒4b的轴方向，配置有外侧波纹管38。另外，在上部板材33上，连结排气管(省略图示)，通过该排气管，对外侧真空容器32内进行真空排气。

[0115] 另一方面，在下部板材34上，形成下部贯通孔39，在各下部贯通孔39的边缘，绝缘性套筒40覆盖各下部贯通孔那样被固定。在各绝缘性套筒40的底部，固定有环状的绝缘性下部基座41。并且，在各下部基座41的中央的圆形空间部，插入圆柱状的固定侧电极棒4a。即，在下部板材34形成的下部贯通孔39，分别通过绝缘性套筒40、下部插座41、以及固定侧电极棒4a堵塞。并且，固定侧电极棒4a的轴方向的一端侧(下部侧)，与配置在外侧真空容器32的外部的电缆(配电线)相连。

[0116] 在外侧真空容器32的内部，收容有相当于负荷开关的主电路开闭部的真空阀14，各可动侧电极棒4b，通过具有2个弯曲部的柔性导体(可挠性导体)42互相连结。该柔性导体42，在轴方向上将作为具有2个弯曲部的导电性板材的铜板和不锈钢板交互地多片积层而构成。在柔性导体42上形成贯通孔43，将各可动侧电极棒4b插入各贯通孔43，并互相连结。

[0117] 如上，实施方式2中制作的本发明的真空阀，也可以应用于路边设置变压器用的负荷开闭器，也可以应用于除此以外的真空绝缘开关机构等各种真空开关装置中。