基板搬送装置及基板支承体

摘要

本发明提供一种基板搬送装置，即使在搬送大型基板时，也能够将基板保持在基本水平的状态。就拾取部(202)来说，在其基端部，使用沿垂直方向牵引该拾取部的牵引螺钉(210)以及在垂直方向按压拾取部(202)的按压螺钉(211)，将该拾取部固定在拾取部基部(201)上，从其基端部侧朝向前端部侧与水平轴形成规定的角度向斜上方延伸，前端部的高度位置位于高于其基端部(由拾取部基部(201)形成的支承端)的位置上。

权利要求

1.一种搬送基板的基板搬送装置，其特征在于，包括：支承基板的基板支承体，其具有连结在共用的拾取部基部上的多个拾取部；

可以滑动地支承所述基板支承体，同时可以自行在水平方向上进退的搬送臂；和驱动所述搬送臂的驱动部，使所述拾取部倾斜，使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上，将基板载置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展状态下，使所述拾取部按基板大致处于水平状态的角度倾斜。

2.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于：多个所述拾取部分别以独立的角度倾斜。

3.一种搬送基板的基板搬送装置，其特征在于，包括：支承基板的基板支承体，其具有连结在共用的拾取部基部上的多个拾取部；

可以滑动地支承所述基板支承体，同时可以自行在水平方向上进退的搬送臂；和驱动所述搬送臂的驱动部，使所述拾取部在其基端部附近弯曲，使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上，将基板载置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展状态下，使所述拾取部按基板大致处于水平状态的角度弯曲。

4.如权利要求3所述的基板搬送装置，其特征在于：使多个所述拾取部分别以独立的角度弯曲。

5.如权利要求1或3所述的基板搬送装置，其特征在于：所述拾取部使用能够调节所述拾取部相对于水平方向所成的角度的固定部件，与所述拾取部基部进行连结。

6.如权利要求5所述的基板搬送装置，其特征在于：所述固定部件与所述拾取部的基端部接合，对所述拾取部施加相反方向的力，调节固定角度。

7.如权利要求5所述的基板搬送装置，其特征在于：所述固定部件与所述拾取部的基端部接合，由在垂直方向上牵引所述拾取部的螺钉和在垂直方向上按压所述拾取部的螺钉构成。

8.如权利要求1或3所述的基板搬送装置，其特征在于：所述基板支承体的所述拾取部基部被安装在可以使所述搬送臂移动的滑动部件上，同时包括可以任意调整其安装角度的安装角度调节机构。

9.如权利要求5所述的基板搬送装置，其特征在于：在所述拾取部上设置有沿其宽度方向突出形成的支承轴，通过以该支承轴为支点使所述拾取部旋转来调节其安装角度。

10.如权利要求9所述的基板搬送装置，其特征在于：还包括角度调节部件，该角度调节部件具有可以与所述支承轴进行间隙嵌合并且可以调节其内径的贯穿孔，通过在将所述支承轴插入所述贯穿孔的状态下，缩小该贯穿孔的内径，对所述拾取部的安装角度进行微调整。

11.如权利要求1或3所述的基板搬送装置，其特征在于：所述搬送臂被收容在真空室内，

所述驱动部，至少其下部被设置为外露于所述真空室的外部，并且，该下部被固定在载置所述真空室的支承框上。

12.如权利要求11所述的基板搬送装置，其特征在于：在所述真空室的底板上形成有开口部，

所述驱动部的上部被插入该开口部内，并且，通过密封部件在存在间隙的状态下密封其与该开口部之间。

13.如权利要求1或3所述的基板搬送装置，其特征在于：所述基板为大型玻璃基板。

14.一种在基板搬送装置中支承基板的基板支承体，其特征在于：具有与共同的拾取部基部连结的多个拾取部，所述拾取部倾斜使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上，将基板载置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展状态下，使所述拾取部按基板大致处于水平状态的角度倾斜。

15.如权利要求14所述的基板支承体，其特征在于：多个所述拾取部分别以独立的角度倾斜。

16.一种在基板搬送装置中支承基板的基板支承体，其特征在于：具有与共同的拾取部基部连结的多个拾取部，所述拾取部的基端部附近弯曲使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上，将基板载置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展状态下，使所述拾取部按基板大致处于水平状态的角度弯曲。

17.如权利要求16所述的基板支承体，其特征在于：多个所述拾取部分别以独立的角度弯曲。

说明书

基板搬送装置及基板支承体

技术领域

[0001] 本发明涉及基板搬送装置以及基板支承体，详细的说，涉及用于搬送例如平板显示器(FPD：flat panel display)用大型玻璃基板等的基板搬送装置及其所使用的基板支承体。

背景技术

[0002] 在液晶显示器(LCD)所代表的平板显示器(FPD)的生产过程中，通常使用具有多个在真空状态下对基板进行蚀刻、灰化、成膜等的规定处理的真空处理装置的、所谓多室(multichamber)型的真空处理系统。

[0003] 上述真空处理系统包括：设置有搬送作为被处理基板的玻璃基板的搬送装置的搬送室、以及设置在其周围的多个处理室，利用搬送室内的搬送臂，在将被处理基板搬入各个处理室内的同时，将处理完毕的基板从各个真空处理装置的处理室中搬出。并且，负载锁定室(loadlock)与搬送室连接，在进行大气侧的基板的搬入搬出时，可以在将处理室以及搬送室维持在真空状态的情况下，进行多枚基板的处理。

[0004] 然而最近，对于LCD玻璃基板的大型化的需求变得强烈，已经出现了一边长度超过2m的巨大的玻璃基板，与此对应，装置也变得大型化，装置中采用的各种组成部件也变得大型化。特别是在搬送基板的搬送装置中，用于接收、传递基板的搬送臂和具有设置在搬送臂上的多个拾取部(pick)的基板支承体均趋于长尺化，在使搬送臂伸展的状态下从其基端部到上述拾取部的先端的长度达到数米。

[0005] 如上所述，如果搬送臂以及基板支承体变长，则即使在没有载置基板的状态下，由于其自重，也会从搬送臂的基端部到拾取部的前端部产生弓状的挠曲。而且在将大型基板载置在基板支承体上的状态下，由于加上了基板的荷重，挠曲增大，从而难以将载置在基板支承体上的基板维持在水平状态，对于基板的接收传递造成障碍，致使基板的载置位置产生偏移，存在无法进行高精度的处理的问题。

[0006] 为了解决随着基板的大型化而产生的基板支承体的弯曲问题，提案出了如下基板搬送装置：将作为支承基板的基板支承体的支承柄(hand)从其基端部开始沿前端部进行分割，同时，将多个分割体经由连结轴以自由旋转的方式依次连结，并在各个连结部设置了修正支承柄的挠曲的多个挠曲修正机构(例如，参照专利文献1)。

[0007] 另外，也提案出了如下基板搬送装置：考虑到支承柄的挠曲，预先将支承柄加热成形，或形成相互贴合热收缩率不同的两种材料的结构形式，使支承柄具有向上方的弯曲(例如，专利文献2)。

[0008] 专利文献1：日本特开2005-286097号公报

[0009] 专利文献2：实用新型登记第3080143号公报

[0010] 在上述专利文献1的基板搬送装置中，由于为了将支承柄维持在大致水平的状态而采用了多关节结构，支承柄的结构复杂并且部件数量较多，也增加了生产工序。另外，由于结构复杂而导致故障多发，也增加了维修的人工。更有甚者，由于将与基板直接接触的支承柄形成为多关节结构形式，由可动部(关节部分)的摩擦而产生颗粒，从而具有污染基板的可能性。另外，上述专利文献2的基板搬送装置虽然结构简单，但由于事先赋予支承柄的弯曲的量固定，因而存在在实际的基板搬送中无法对弯曲量进行微调整的问题。

[0011] 如上所述，虽然为了适应基板的大型化，提出了通过研究基板支承体的结构，以水平的方式支承基板从而进行搬送的方案，但还是不能令人满意。

发明内容

[0012] 本发明就是鉴于上述现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一种基板搬送装置，其即使在搬送大型基板的情况下也可以将基板保持在大致水平的状态。

[0013] 为了解决上述课题，本发明的第一个观点是提供一种搬送基板的基板搬送装置，其特征在于，包括：

[0014] 支承基板的基板支承体，其具有连结在共用的拾取部基部上的多个拾取部；

[0015] 可以滑动地支承所述基板支承体，同时可以自行在水平方向上进退的搬送臂；和[0016] 驱动所述搬送臂的驱动部，

[0017] 使所述拾取部倾斜，使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。

[0018] 在上述第一观点中，优选多个所述拾取部分别以独立的角度倾斜。另外，优选将基板载置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展状态下，使所述拾取部按基板大致处于水平状态的角度倾斜。

[0019] 本发明的第二观点提供一种搬送基板的基板搬送装置，其特征在于，包括：

[0020] 支承基板的基板支承体，其具有连结在共用的拾取部基部上的多个拾取部；

[0021] 可以滑动地支承所述基板支承体，同时可以自行在水平方向上进退的搬送臂；和[0022] 驱动所述搬送臂的驱动部，

[0023] 使所述拾取部在其基端部附近弯曲，使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。

[0024] 在上述第二观点中，优选使多个所述拾取部分别以独立的角度弯曲。另外，优选将基板载置在所述拾取部上，并且使所述搬送臂在最大的伸展状态下，使所述拾取部按基板大致处于水平状态的角度弯曲。

[0025] 另外，在上述第一和第二观点中，优选所述拾取部使用能够调节所述拾取部相对于水平方向所成的角度的固定部件，与所述拾取部基部进行连结。另外，优选所述固定部件与所述拾取部的基端部接合，对所述拾取部施加相反方向的力，调节固定角度。在这种情况下，也可以是如下结构形式，所述固定部件与所述拾取部的基端部接合，由在垂直方向上牵引所述拾取部的螺钉和在垂直方向上按压所述拾取部的螺钉构成。

[0026] 另外，优选所述基板支承体的所述拾取部基部被安装在可以使所述搬送臂移动的滑动部件上，同时包括可以任意调整其安装角度的安装角度调节机构。

[0027] 另外，也可以是如下结构形式，在所述拾取部上设置有沿其宽度方向突出形成的支承轴，通过以该支承轴为支点使所述拾取部旋转来调节其安装角度。在这种情况下，优选还包括角度调节部件，该角度调节部件具有可以与所述支承轴进行间隙嵌合并且可以调节其内径的贯穿孔，通过在将所述支承轴插入所述贯穿孔的状态下，缩小该贯穿孔的内径，对所述拾取部的安装角度进行微调整。

[0028] 另外，优选所述搬送臂被收容在真空室内，所述驱动部，至少其下部被设置为外露于所述真空室的外部，并且，该下部被固定在载置所述真空室的支承框上。这时，在所述真空室的底板上形成有开口部，所述驱动部的上部被插入该开口部内，并且，通过密封部件在存在间隙的状态下密封其与该开口部之间。另外，所述基板为大型玻璃基板。

[0029] 本发明的第三观点是提供一种在基板搬送装置中支承基板的基板支承体，其特征在于：具有与共同的拾取部基部连结的多个拾取部，所述拾取部倾斜使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。

[0030] 在上述第三观点中，优选多个所述拾取部分别以独立的角度倾斜。

[0031] 另外，本发明的第四观点是提供一种在基板搬送装置中支承基板的基板支承体，其特征在于：具有与共同的拾取部基部连结的多个拾取部，所述拾取部的基端部附近弯曲使得所述拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上。

[0032] 在上述第四观点中，优选多个所述拾取部分别以独立的角度弯曲。

[0033] 根据本发明，在具有连结在共用的拾取部基部的多个拾取部的基板支承体中，使拾取部倾斜使得拾取部的前端部位于高于其基端部的高度位置上，或者使其在基端部附近弯曲，即使在将基板支承在拾取部上的状态下也能够防止基板的倾斜，能够在将基板维持在基本水平的状态下进行搬送。特别是在搬送大型基板的基板搬送装置中，即使由于搬送臂的自重和基板的荷重而发生倾斜，也能够将基板保持水平。

[0034] 另外，由于采用使拾取部倾斜固定、或者弯曲这样简单的结构，不需要复杂的设备，而且能够任意调节倾斜角度或弯曲角度，因而具有在设置基板支承体后也可以进行微调整的优点。

附图说明

[0035] 图1是简要地表示具有本发明的一个实施方式涉及的搬送装置的真空处理系统的立体图。

[0036] 图2是图1的真空处理系统的水平截面图。

[0037] 图3是表示控制部的简要结构的框图。

[0038] 图4是说明图1的真空处理系统中的搬送室的垂直截面构结构及其支承框结构的图。

[0039] 图5是表示图4的搬送装置的搬送单元的立体图。

[0040] 图6是表示本发明的第一实施方式的滑动拾取部的侧面图。

[0041] 图7是表示拾取部及拾取部基部的安装结构的关键部位截面图。

[0042] 图8是表示将基板载置在滑动拾取部上的状态的图。

[0043] 图9是表示本发明的第二实施方式的滑动拾取部的侧面图。

[0044] 图10是表示本发明的第三实施方式的滑动拾取部，(a)是外观立体图、(b)是拾取部部分的关键部位立体图。

[0045] 图11是图10的滑动拾取部的关键部位平面图。

[0046] 图12是图11的沿XII-XII线箭头所示方向的截面图。

[0047] 图13是图11的沿XIII-XIII线箭头所示方向的截面图。

[0048] 图14是表示将基板载置在滑动拾取部上进行搬送的状态的图。

[0049] 符号说明：

[0050] 1：真空处理系统；10a、10b、10c：处理室；20：搬送室；30：负载锁定室；50：搬送装置；60：控制部；201：拾取部基部；202、203、204：拾取部；210：牵引螺钉；211：按压螺钉；501：搬送单元；502：驱动单元；510：上层搬送机构部；513：滑动拾取部；520：下层搬送机构部；523：滑动拾取部；530：箱(box)型支承部。

具体实施方式

[0051] 以下，参照附图，对本发明的优选实施方式进行说明。此处，针对将本发明的搬送装置使用在用于对FPD用玻璃基板(以下仅称“基板”)S进行等离子处理的多室型的真空处理系统的例子进行说明。这里，作为FPD，例示了液晶显示器(LCD)、电致发光(EL：ElectroLuminescence)显示器、以及等离子显示器面板(PDP)等。

[0052] 图1是简要表示具有本发明的一个实施方式涉及的搬送装置的真空处理系统的立体图，图2是简要表示其内部的水平截面图。

[0053] 在该真空处理系统1中，搬送室20和负载锁定室30一起设置在其中央部。在搬送室20的周围配设有三个处理室10a、10b、10c。

[0054] 在搬送室20与负载锁定室30之间、搬送室20与各个处理室10a、10b、10c之间、以及将负载锁定室30与外侧大气环境连通的开口部上分别插有闸阀22，该闸阀构成为气密性地密封上述部件之间并且使之可以开关。

[0055] 在负载锁定室30的外侧上设置有两个盒式换位器(cassetteindexer)41，在其上分别载置有收容基板S的盒40。在这些盒40的一个内能够收容例如未处理基板，在另一个内能够收容处理完毕的基板。这些盒40可以利用升降机构42进行升降。

[0056] 在上述两个盒40之间，在支承台44上设置有搬送机构43，该搬送机构43包括设置在上下两层上的拾取部45、46、以及以能够整体进出后退及旋转的方式支承上述拾取部的基部47。

[0057] 上述处理室10a、10b、10c能够将其内部空间保持在规定的减压环境下，在其内部进行等离子处理，例如蚀刻处理或灰化处理。由于这样具有三个处理室，例如可以将其中的两个处理室作为蚀刻处理室而构成，将剩下的一个处理室作为灰化处理室而构成，或者可以将三个处理室全部作为进行同一处理的蚀刻处理室或灰化处理室而构成。此外，处理室的个数不仅限于三个，也可以是四个以上。

[0058] 搬送室20与作为真空处理室的处理室10a～10c一样，可以保持在规定的减压环境，如图2所示，其中配设有搬送装置50。所以，利用该搬送装置50在负载锁定室30以及三个处理室10a、10b、10c之间搬送基板S。关于搬送装置50将在后面详述。

[0059] 负载锁定室30与各个处理室10以及搬送室20一样能够保持规定的减压环境。另外，负载锁定室30在处于大气环境中的盒40与处于减压环境中的处理室10a、10b、10c之间用于进行基板S的传递接受，由于在大气环境与减压环境之间循环，因而尽可能形成小的内部容积。在负载锁定室30中，基板收容部31被设为上下两层(图2中仅图示上层)，在各个基板收容部31上设置支承基板S的多个缓冲部件32，在上述这些缓冲部件32之间形成有滑动拾取部513、523(后述)的退刀槽(relief groove)32a。另外，在负载锁定室30内，在矩形基板S的相互相对的角部附近设置有进行位置调节的定位装置(positioner)33。

[0060] 真空处理系统1的各结构部分构成为与控制部60连接并被其所控制(图1中省略图示)。控制部60的概要如图3所示。控制部60包括具有CPU的处理(process)控制器61，在该处理控制器61上连接有工序管理者为了管理真空处理系统1而进行命令的输入操作等的键盘、以及由可视化地显示真空处理系统1的运作状况的显示器等构成的用户界面62。

[0061] 另外，控制部60包括存储部63，存储部收容用于在处理控制器61的控制下而实现在真空处理系统1中进行的各种处理的控制程序(软件)以及记录着处理条件数据等的技巧方法(recipe)，该存储部63与处理控制器61连接。

[0062] 并且，根据需要，在来自用户界面62的指示等之下将任意的方法从存储部63中调出使之在处理控制器61中运行，在处理控制器61的控制下在真空处理系统1中进行所期望的处理。

[0063] 上述控制程序或处理条件数据等的方法，可以利用存储在计算机可以读取的存储介质中，例如存储在CD-ROM、硬盘、软磁盘、以及快速闪存器内的状态下，或者也可以利用从其他装置、例如经由专用线路使之随时传送的在线使用方式。

[0064] 以下，针对本实施方式的搬送装置进行详细说明。

[0065] 图4是表示具有搬送装置50的搬送室20及其支承结构的垂直截面图。该搬送装置50包括进行搬送操作的搬送单元501、以及驱动搬送单元501的驱动单元502。另外，图5是表示搬送装置50的搬送单元501的立体图。

[0066] 搬送单元501是设有两层滑动拾取部并且滑动拾取部可以分别独立地进行基板的搬入搬出的类型的单元，其包括上层搬送机构部510和下层搬送机构部520。

[0067] 上层搬送机构部510包括基部511、设在基部511上可以滑动的滑动臂512、以及以可以滑动的方式设置在该滑动臂512上的作为支承基板的支承台的滑动拾取部513。滑动拾取部513包括拾取部基部201以及与该拾取部基部201连接的多个(例如四个)拾取部202。

[0068] 另外，在滑动臂512的侧壁上设置有导轨515和导轨516，导轨515用于滑动拾取部513相对于滑动臂512进行滑动，导轨516用于滑动臂512相对基部511进行滑动。并且，在滑动拾取部513上设置有沿导轨515滑动的滑块517，在基部511上设置有沿导轨516进行滑动的滑块518。

[0069] 下层搬送机构部520包括基部521、设置在基部521上可以滑动的滑动臂522、以及以可以滑动的方式设置在该滑动臂522上的作为支承基板的支承台的滑动拾取部523。滑动拾取部523包括拾取部基部201以及连接在该拾取部基部201上的多个(例如四个)拾取部202。

[0070] 另外，在滑动臂522的侧壁上设置有导轨525和导轨526，导轨525用于滑动拾取部523相对于滑动臂522进行滑动，导轨526用于滑动臂522相对基部521进行滑动。并且，在滑动拾取部523上设置有沿导轨525滑动的滑块527，在基部521上设置有沿导轨526进行滑动的滑块528。

[0071] 基部511和基部521通过连结部531和532进行连结，由基部511、521、连结部531、532构成箱型支承部530，该箱型支承部530以可以旋转的形式设置在支承板551上，利用箱型支承部530的旋转，上部搬送机构部510和下部搬送机构部520旋转。

[0072] 另外，在支承板551的下方设置有搬送装置50的驱动单元502。在驱动单元502中内置有进行上述滑动臂512以及522的滑动操作、上述箱型支承部530的旋转操作、以及搬送单元501的升降操作的各个驱动单元(未图示)。

[0073] 如图4所示，搬送室20被载置在设置在底面F上的支承框架101之上。另外，在搬送室20的底板20a上形成有开口部20b，形成在驱动单元502上的凸缘部502a与该开口部20b接合，由此，形成驱动单元502的上部插入搬送室20内，其下部外露于搬送室20之外的状态。在开口部20b与驱动单元502的凸缘部502a之间，在上下两层配置有O形环等的密封部件102、103，由此，在确保两部件的接合面的气密性的同时，使两部件在保持间隙的状态下进行接合。

[0074] 即，驱动单元502通过密封部件102、103在搬送室20的底板20a的开口部20b上呈间隙嵌合的状态。另一方面，驱动单元502在其外露于搬送室20外(下方)的下部，经由连结框架104与支承框架101连结、固定。

[0075] 在现有技术的搬送装置中采用的结构是：与搬送室的底板连接并包括驱动单元的搬送装置的荷重，利用搬送室的底板对其进行支承。但是，在这样的支承结构的情况下，当搬送室内为真空状态时，由于搬送室内外的压力差使得搬送室的底板向内侧弯曲，与底板连结的搬送装置也以整体被引向搬送室内的形式向上方微小移动，其结果，搬送单元的高度位置改变，成为导致基板S的接收传递位置等发生误差的原因，从而降低搬送的精确度。

[0076] 因此，在本发明的实施方式中，不是通过搬送室20的底板20a，而是利用支承框架101经由连结框架104来支承搬送装置50的荷重，由此，来防止当搬送室20内部被减压排气成为真空状态时，由于与外部的压力差而导致搬送装置50被向上方牵引，即被向搬送室
20内牵引。由于驱动单元502的凸缘部502a与搬送室20的底板20a利用密封部件102、
103确保其气密性，同时以有间隙的方式进行接合，如图4中虚线所示，即使向搬送室20内牵引底板20a，底板产生弯曲，搬送装置50上下方向的位置也不发生变化。

[0077] 如上所述，通过采用搬送装置50的支承结构，即使搬送室20内的压力发生变化，搬送装置50中的搬送单元501的高度也不发生变动，能够保持稳定，因而能够确保基板S的接收传递的精确度。

[0078] 在下层搬送机构部520中，来自驱动单元502的动力经由内置于滑动臂522内的多个滑轮以及卷绕在其上的皮带等进行传递，由此，滑动臂522以及滑动拾取部523进行直线滑动。此时，通过调整滑轮的直径比，能够相对滑动臂522的移动行程(stroke)增大滑动拾取部523的移动行程，从而易于适应大型基板。

[0079] 在上部搬送机构部510中，来自驱动单元502的动力利用由基部521、连结部531、以及内置于基部511的滑轮和皮带等构成的动力传递机构进行传递，并且，通过内置于滑动臂512内的多个滑轮以及卷绕在其上的皮带等进行传递，由此，滑动臂512以及滑动拾取部513进行直线滑动。与下部搬送机构部520一样，通过调整滑轮的直径比，能够相对滑动臂512的移动行程增大滑动拾取部513的移动行程。

[0080] 以下，参照图6～图9针对作为基板支承体的滑动拾取部513的结构进行说明。此外，由于滑动拾取部523与滑动拾取部513结构相同而省略说明。

[0081] 图6是表示滑动拾取部513的第一实施方式的侧面图。如上所述，本实施方式的滑动拾取部513包括拾取部基部201以及拾取部202。拾取部基部201被固定在滑块517上。拾取部基部201由弯曲成截面视图为日语“コ”字型的板而构成，在所弯曲的上下的板之间插入多个拾取部202(本实施方式中为四个，参照图5)的各自的基端部，利用可以独立调整各个拾取部202的安装角度的未图示的固定部件、例如螺钉等对其进行固定。此外，作为拾取部基部201也可以采用连结上下两块板的部件，将拾取部202的基端部夹持在上述两板之间。

[0082] 各个拾取部202在其基端部，被倾斜地安装在拾取部基部201上。因此，拾取部202，从其基端部侧到前端部侧，相对于水平轴h呈规定的角度θ1向斜上方延伸，即使减去由于拾取部202的自重而产生的弯曲，拾取部202的前端部的高度位置P也位于比其基端部(由拾取部基部201构成的支承端)高的位置上。此外，图6中显示的倾斜角的θ1夸张地显示了实际的角度。

[0083] 图7表示了在拾取部基部201上安装拾取部202的安装结构以及在滑块517上安装拾取部基部201的安装结构。

[0084] 首先，拾取部202使用两种螺钉连结在拾取部基部201上。即，拾取部202使用沿垂直方向牵引该拾取部202的多个牵引螺钉210、以及沿垂直方向按压拾取部202的多个按压螺钉211，被固定在拾取部基部201上。因此，通过实现牵引螺钉210的牵引和按压螺钉211的按压的平衡，能够任意调节固定在拾取部基部201上的拾取部202的倾斜角度θ1。

[0085] 另外，配置有多个拾取部基部角度调节螺钉212，使之从滑块517的里侧贯穿滑块517，按压拾取部基部201下面。利用上述这些拾取部基部角调节螺钉212，能够对拾取部基部201本身的安装角度进行微调整。此外，图7中，符号213为将拾取部基部202安装在滑块517上的固定用螺钉。

[0086] 并且，由于使拾取部202倾斜安装在拾取部基部201上，使拾取部202的前端部的高度位置P位于比其基端部(由拾取部基部201构成的支承端)的高度的高的位置上，所以如图8所示，将基板S载置在滑动拾取部513上，并且使滑动臂512处于最大限度伸展的状态下，即使滑动臂512因其自重而弯曲、产生相对于水平轴h向下方呈θ2角度的倾斜，也可以与拾取部202的倾斜角度θ1(参照图6)相互抵消。因此，能够以整体成基本水平的状态支撑基板S。

[0087] 在本实施方式的滑动拾取部513中，由于通过上述简单的结构使拾取部202倾斜，部件数量少，生产也简单。另外，用于故障或维修的人工少，由于部件之间的摩擦而产生颗粒的可能性也少。并且，由于能够方便且任意地改变拾取部202的倾斜角度θ1，使得在现场进行微调整成为可能。

[0088] 此外，由于就拾取部202的倾斜角度θ1来说，能够对每个拾取部进行设定，例如即使在基板S上，由于其自重，在与搬送方向(图5的X轴方向)垂直的左右方向(图5的Y轴方向)上产生弯曲，也能够简单地应对。例如，在滑动拾取部513的四根拾取部202当中，较大地设定两端的拾取部202、202的倾斜角度，较小地设定中间的两根拾取部202、202的倾斜角度，由此能够矫正基板S在左右方向上的弯曲或倾斜。

[0089] 图9表示滑动拾取部513的第二实施方式。此外，对于与第一实施方式相同的结构赋予相同的符号，省略对其的说明。

[0090] 拾取部203在其基端部附近的弯曲部203a发生弯曲。因此，拾取部203从其弯曲部203a向前端部侧与水平轴呈规定的角度θ1向斜上方延伸。因此，即使减去拾取部203的自重产生的弯曲，拾取部203的前端部的高度位置P也位于高于其基端部(由拾取部基部201构成的支承端)的位置上。此外，图9中显示的弯曲角度比实际要夸张。

[0091] 这样，使拾取部203弯曲，使其前端部的高度位置P位于高于其基端部(由拾取部基部201构成的支承端)的位置上，由此，能够获得与第一实施方式(图6)相同的作用效果，即使将基板S载置在滑动拾取部513上，并且使滑动臂512处于最大限度伸展的状态下，也能够以整体呈基本水平的状态支承基板S。在第二实施方式的滑动拾取部513中，在拾取部基部201上安装拾取部203的安装结构以及在滑块517上安装拾取部基部201的安装结构，能够采用与第一实施方式相同的结构，故省略说明。此外，在第二实施方式中使用的具有弯曲部203a的拾取部203，与第一实施方式的滑动拾取部513一样，也可以在其基端部与拾取部基部201以规定的倾斜角度进行连接。

[0092] 此外，就拾取部203的弯曲角度来说，由于能够对每个拾取部进行设定，例如即使基板S由于其自重，在与搬送方向(图5的X轴方向)垂直的左右方向(图5的Y轴方向)上产生弯曲，也能够简单地应对。即，在滑动拾取部513的四根拾取部203当中，较大地设定两侧部的拾取部203、203的弯曲角度，较小地设定中间的两根拾取部202、202的弯曲角度，由此能够矫正基板S在左右方向上的弯曲或倾斜。

[0093] 图10(a)是表示本发明的第三实施方式的滑动拾取部513的简要结构的立体图。此外，图10(b)表示的是将图10(a)中用虚线所示的A部中的拾取部204放大的图。该滑动拾取部513包括平板状的拾取部基部201、以及将基端部支承固定在该拾取部基部201上的拾取部204。另外，该拾取部204具有沿其宽度方向突出的轴部件(支承轴204a)。该支承轴204a贯穿拾取部204本体，沿与支承基板S的基板支承面204b平行的方向突出形成。

[0094] 图11是扩大地表示图10(a)中虚线所示的B部的关键部位平面图。另外，图12表示图11的沿XII-XII线箭头所示的截面图，图13表示图11的沿XIII-XIII线箭头所示的截面图。

[0095] 拾取部204的基端部通过固定部件220以规定的角度固定在拾取部基部201上。另外，在拾取部基部201上设置有支承部230，支承部230在稍微偏离该基端部的位置上以可以旋转的方式支承拾取部204的支承轴204a。于是，拾取部204的支承轴204a与支承部
230接合，由此，形成为以支承轴204a作为支点，拾取部204的整体微小转动的形式。

[0096] 如图11所示，固定部件220包括在向拾取部基部201按压拾取部204的基端部的方向上进行拧紧的左右一对的螺钉221、以及配置在这些按压螺钉221两侧的三个固定螺钉222。

[0097] 支承部230包括用于固定支承轴204a的、左右一对的角度调节体231；以及设置在上述角度调节体231外侧的、保持支承轴204的、左右一对的轴承部件232。

[0098] 如图12所示，角度调节体231具有贯穿孔233，支承轴204a通插入该贯穿孔233中。该角度调节体231经由轴承部件232使用螺钉234、235而固定在拾取部基部201上。另外，凹口部236形成在角度调节体231的侧部(拾取部204的前端侧)。

[0099] 如图13所示，在轴承部件232上形成有凹陷部237，使拾取部204的支承轴204a能够在大致水平方向上滑动、嵌入，内部呈弧状。由于该凹陷部237是在将拾取部204安装在拾取部基部201上时进行大致的定位的部分，所以将其形成为比支承轴204a直径的尺寸稍大，以在支承轴204a被嵌入的状态下具有一些间隙。

[0100] 通过拧紧固定部件220的按压螺钉221，向拾取部基部201按压拾取部204的基端部。因此，拾取部204的基端部以与支承部230嵌合的支承轴204a为支点下降，反之，拾取部204为使拾取部204的前端部上升至高于基端部的上方位置而倾斜。另外，与上述相反，通过拧松按压螺钉221，拾取部204的基端部以支承轴204a为支点上升，反之，拾取部204的前端部下降，例如拾取部204整体成为水平状态。

[0101] 由此，通过调节按压螺钉221的拧紧程度，能够使拾取部204以规定的角度倾斜。然后，在使用一对的按压螺钉221、使拾取部204的前端部稍高于基端部而倾斜的状态下，通过拧紧三个固定螺钉222，能够固定拾取部204的倾斜角度。这样，利用按压螺钉221和固定螺钉222，能够在将拾取部204固定在规定角度的状态下进行保持。

[0102] 另外，角度调节体231具有凹口部236，贯穿孔233的直径稍大于支承轴204a的直径，因而在将支承轴204a插入其中的状态下具有间隙。于是，当利用螺钉234、235将拾取部204的支承轴204a固定在轴承部件232上时，通过调整凹口部236侧的螺钉235的拧紧程度、缩小贯穿孔233的内径，能够对拾取部204的支承轴204a的高度位置进行微调整，同时固定支承轴204a。即，通过凹口部236产生间隙，在利用螺钉235拧紧固定时，可以对插入角度调节体231的贯穿孔233内的支承轴204a的固定位置在上下方向上进行一些变化。因此，能够以拾取部204的基端部为支点，对到拾取部204的前端部为止的倾斜角度进行及其微小的调整。

[0103] 通过使用本发明第三实施方式的滑动拾取部513、支承基板S，与上述第一实施方式以及第二实施方式一样，即使在滑动臂512的伸展状态下滑动臂512由于自重而弯曲，也可以将由于弯曲而产生的向下方的倾斜与拾取部204的倾斜角度相抵消。因此，能够在整体呈基本水平的状态下支承基板S。

[0104] 另外，在本实施方式的滑动拾取部513中，因为采用在各个拾取部204上设置支承轴204a、通过角度调节体231以及轴承部件232对其进行固定的结构形式，能够简单地对各个拾取部204的倾斜角度进行调整，同时也可以进行微调整。

[0105] 即，将拾取部204的支承轴204a插入轴承部件232的凹陷部237，在暂时定位的稳定状态下，通过调整固定部件220的按压螺钉221和固定螺钉222能够决定拾取部204的倾斜角度，因而难以发生位置偏移，设定倾斜角度的操作变的非常容易，能够缩短设定时间。

[0106] 而且，通过对具有凹口部236的角度调节体231的螺钉235的拧紧程度进行调整，能够对拾取部204的长边方向的倾斜角度进行微调，所以能够进行高精度的角度设定。

[0107] 另外，利用从拾取部204的左右两侧突出的支承轴204a和角度调节体231能够对每个拾取部204的宽度方向的倾斜进行修正，因而能够在宽度方向上将各个拾取部204保持在水平的状态下，稳定地支承基板S。

[0108] 如以上的实施方式所示，滑动拾取部513中，如拾取部202或拾取部204所示，通过对其安装角度进行任意地调节，或者如拾取部203所示，通过设置弯曲部203a使之弯曲成任意的角度，使搬送时的基板S不会发生倾斜或位置偏移，正确地保持其高度位置。另外，如图14所示，由于能够在将基板S保持在大致水平状态的同时，使之通过闸阀22的开口部22a内而进行搬送，因而能够在负载锁定室30以及各个处理室10a～10c之间可靠地进行基板S的交接传递。而且，在搬送基板S时，由于避免了在滑动拾取部513上发生位置偏移，所以也防止了基板S的破损等，并且，能够将基板S搬送至处理室10a～10c内的正确位置，可以进行高精度的处理(例如蚀刻等)。

[0109] 以下，针对如上所述结构的真空处理系统1的动作进行说明。

[0110] 首先，使搬送机构43的两块拾取部45、46进行进退驱动，从收容未处理基板的一侧的盒40将两枚基板S搬入负载锁定室30的上下两层的基板收容部31中。

[0111] 拾取部45、46退出后，关闭负载锁定室30的大气一侧的闸阀22。之后，对负载锁定室30内进行排气，使其内部减压至规定的真空度。完成抽真空后，由定位器33按压基板，进行基板S的定位。

[0112] 如上所述完成定位后，开启搬送室20与负载锁定室30之间的闸阀22，通过搬送室20内的搬送装置50接受收容在负载锁定室30的基板收容部31内的基板S，将其搬入处理室10a、10b、10c的任何一个中。另外，由搬送装置50搬出在处理室10a、10b、10c中被处理过的基板S，经过负载锁定室30，由搬送机构43将其收容在盒40内。此时，可以送回到原来的盒40，也可以收容在另一个盒40内。

[0113] 另外，当将基板S从负载锁定室30取出时，将搬送装置50中上层搬送机构部510的滑动拾取部513以及/或者下层搬送机构部520的滑动拾取部523插入负载锁定室30内，由滑动拾取部513以及/或者523接受基板S。滑动拾取部513以及/或者523将接受到的基板S搬入处理室10a、10b、10c的任何一个中。此时，在基板S所试图搬入的处理室内已经存在处理完毕的基板S的情况下，能够在一方的滑动拾取部将该基板S搬出之后，将载置在另一方的滑动拾取部上的基板S插入处理室内。处理完毕的基板S被滑动拾取部513和/或523接受后，被传递至负载锁定室30内。

[0114] 在利用搬送室20内的搬送装置50进行如上所述的搬送时，由旋转驱动机构经由箱型支承部530使上层搬送机构部510或下层搬送机构部520旋转，进行其定位。另外，由于具有上下两层的搬送机构部510、520，通过未图示的升降单元使搬送单元501进行升降动作，使滑动拾取部的高度位置一致。

[0115] 在上述位置定位阶段，通过使滑动臂512、522、滑动拾取部513、523伸展或退出进入而进行基板S的搬送。并且，如上所述，作为滑动拾取部513、523，通过使用在相对于拾取部基部201倾斜的状态下安装的拾取部202或者拾取部204、以及使用利用弯曲部203a而产生弯曲的拾取部203，可以在大致水平的状态下对基板S进行搬送，在可靠地进行基板S的传递交接的同时，防止由于搬送而引起的基板S的设置误差。

[0116] 此外，本发明不仅限于上述实施方式，可以进行各种变形。例如，上述实施方式中，作为搬送机构，就在上下两层设置直动式的搬送机构部的情况进行了说明，但不仅限于两层，可以是一层也可以是三层以上，不仅限于直动式也可以采用例如多关节式。

[0117] 另外，对于滑动拾取部513、523中的将拾取部202、203、204安装在拾取部基部201上的安装结构不仅限于螺钉，只要是能够任意调节拾取部202、203、204的安装角度的固定部件即可。