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    • 82. 发明申请
    • MAGNETIC BEARING WITH DAMPING
    • 与损耗磁存储
    • WO01086151A2
    • 2001-11-15
    • PCT/EP2001/004166
    • 2001-04-11
    • F04D29/056F04D19/04F04D29/058F16C32/04F16C39/06H02K5/128H02K7/09F04D29/04
    • F16C32/047F04D19/042F04D19/048F04D29/058F16C32/0425F16C32/0436F16C32/0478F16C2360/45
    • The invention relates to a magnetic bearing for rapidly rotating machines (1), in particular, for turbo compressors, drag vacuum pumps, or similar, comprising two bearings (3, 4), each with a stator magnetic-ring set (5, 7) and a rotor magnetic-ring set (6, 8) and means (31) for damping the rotor movement, preferably in a radial direction. According to the invention, the damping agent may be simplified, whereby the magnetic bearing (3, 4) consists of magnetic-ring sets (5, 6; 7, 8) arranged concentrically to each other, in which the fixed magnetic-ring set (5 or 7) is arranged externally and the rotating magnetic-ring set (6 or 8) is arranged internally and the damping agent (32, 54, 55) is connected to the outer circumference surfaces of at least one part of the magnetic ring of each of the stator-side magnetic-ring sets (5, 7) and is made from a non-magnetic, material with good electrical conducting properties.
    • 本发明涉及一种磁性轴承装置用于快速转动的机器(1),特别是用于涡轮压缩机,摩擦真空泵或类似物,有两个轴承(3,4)各自具有Statormagnetringpaket(5,7)和转子磁体环包(6,8)包括,以及 与用于阻尼转子的运动,优选地在径向方向上的装置(31); 简化阻尼装置被提出,所述磁性轴承(3,4)包括同心布置的磁性环包的(5,6; 7,8)包括,其中所述固定磁性环组件外(5或7)和旋转磁体环包(6或 8)在内侧被布置成使得所述阻尼装置(32,54,55)的各定子磁环包(5的磁性环的至少一部分的外周面,7)被分配,并且由不可磁化的,高导电材料制成的。
    • 83. 发明申请
    • DEVICE FOR MAGNETICALLY SUPPORTING A ROTOR SHAFT COMPRISING A RADIAL GUIDING ELEMENT AND HAVING ELECTROMAGNETIC AXIAL ADJUSTMENT
    • DEVICE FOR径向领导与电磁轴向控制的转子轴的磁存储
    • WO2007000405A3
    • 2007-03-22
    • PCT/EP2006063438
    • 2006-06-22
    • SIEMENS AGRIES GUENTER
    • RIES GUENTER
    • F16C32/04
    • F16C32/0478F16C32/041F16C32/0414F16C2300/02
    • The invention relates to a magnetic bearing device (12) comprising radial, soft magnetic rotor disk elements (7i) which engage in each other and soft magnetic stator disk elements (7i). Said elements (4i, 7i) are provided with teeth-like extensions (4f and/or 7f) which are arranged opposite to each other over an air gap (8k) on sides which are oriented towards each other. Means (7m) such as permanent magnets (7m), which produce magnetic fields, are assigned to the stator disk elements (7i) in order to produce a magnetic maintaining flow (Mf1) which is oriented in an axial direction between the disk elements (4i, 7i) for radial adjustment.An electromagnetic winding (9) is also provided in the region of the central plane (me) of the bearing device (2) for axial adjustment, which enables a magnetic control flow (Mf2), which superimposes the magnetic maintaining flow (MF1), to be produced.
    • 磁轴承装置(12)包括径向互锁软磁性转子盘元件(4I)和软磁性定子盘元件(7I)。 这些元件(4I,7I)通过气隙(8K)相对它们与它分别相互面对的侧面,设置的齿状凸出(4F和7F)。 引导径向导向要与作为永久磁铁(7M)磁场产生装置(7M)相关联的定子盘元件(7I)(MFI)用于定向在轴向方向上磁性保持磁通盘元件(4I,7I)之间产生。 对于在中心平面的区域中的存储装置(2)的轴向控制(ME)被附加地提供了一种电磁线圈(9),其中磁性载体流动指数重叠磁控制通量的(MFI)(MF2)被生成。
    • 84. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR MAGNETISCHEN LAGERUNG EINER ROTORWELLE MIT RADIALFÜHRUNG UND AXIALREGELUNG
    • 的装置上使用的径向位置和轴向控制的转子轴的磁存储
    • WO2007000405A2
    • 2007-01-04
    • PCT/EP2006/063438
    • 2006-06-22
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTRIES, Günter
    • RIES, Günter
    • F16C32/04
    • F16C32/0478F16C32/041F16C32/0414F16C2300/02
    • Die Magnetlagervorrichtung (12) enthält radial ineinander greifende weichmagnetische Rotorscheibenelemente (4i) und weichmagnetische Statorscheibenelemente (7i) . Diese Elemente (4i, 7i) sind auf ihren jeweils einander zugewandten Seiten mit sich über einen Luftspalt (8k) gegenüberstehenden, zahnartigen Fortsätzen (4f bzw. 7f) versehen. Führ eine Radialführung sind den den Statorscheibenelemente (7i) magnetfelderzeugende Mittel (7m) wie Permanentmagnete (7m) zum Erzeugen eines zwischen den Scheibenelementen (4i, 7i) in axialer Richtung gerichteten magnetischen Halteflusses (MfI) zugeordnet. Für eine Axialregelung ist im Bereich der Mittelebene (Me) der Lagervorrichtung (2) zusätzlich eine Elektromagnetwicklung (9) vorgesehen, mit der ein den magnetischen Halte-fluss (MfI) überlagernder magnetischer Steuerfluss (Mf2) zu erzeugen ist.
    • 磁轴承装置(12)包括径向互锁软磁性转子盘元件(4I)和软磁性定子盘元件(7I)。 这些元件(4I,7I)通过气隙(8K)相对它们与它分别相互面对的侧面,设置的齿状凸出(4F和7F)。 引导径向导向要与作为永久磁铁(7M)磁场产生装置(7M)相关联的定子盘元件(7I)(MFI)用于定向在轴向方向上磁性保持磁通盘元件(4I,7I)之间产生。 对于在中心平面的区域中的存储装置(2)的轴向控制(ME)被附加地提供了一种电磁线圈(9),其中磁性载体流动指数重叠磁控制通量的(MFI)(MF2)被生成。
    • 87. 发明公开
    • Vakuumpumpe
    • 真空泵
    • EP2431614A3
    • 2012-11-21
    • EP11007000.0
    • 2011-08-27
    • Pfeiffer Vacuum GmbH
    • Vorwerk, Peter
    • F04D19/04F04D29/051F04D29/058F04D29/059F04D29/057F04D27/00
    • F04D19/04F04D27/00F04D29/051F04D29/0513F04D29/058F04D29/059F16C19/06F16C25/086F16C32/0402F16C32/0425F16C32/0478F16C2360/45
    • Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Rotor und einer Welle (10; 110; 210; 310; 510; 610), einem Wälzlager (12; 112; 212; 312; 412; 612) und einem von dem Wälzlager beabstandeten Permanentmagnetlager (14; 114; 214; 314), welches einen Lagerstator (16; 116; 216; 316) und einen an der Welle angeordneten Lagerrotor (18; 118; 218; 318) umfasst. Um die negativen Auswirkungen von auf das Wälzlager einwirkenden Axialkräften zu vermeiden, wird vorgeschlagen, dass sie einen Krafterzeuger (30, 30'; 130; 230; 330; 430; 530; 630) beinhaltet, der eine in die Welle eingeleitete Kraft erzeugt. Die Erfindung stellt außerdem ein Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe vor, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass eine Betriebsgröße der Vakuumpumpe bestimmt und abhängig von der Betriebsgröße mit einem Krafterzeuger eine Kraft in einen Rotor eingeleitet wird.
    • 本发明涉及一种具有转子和轴(10; 110; 210; 310; 510; 610),滚动轴承(12; 112; 212; 312; 412; 612)和永磁体轴承(14; 包括设置在所述轴上的轴承定子(16; 116; 216; 316)和轴承转子(18; 118; 218; 318)。 为了避免作用在滚动轴承上的轴向力的负面影响,建议它包括产生引入到轴中的力的力发生器(30,30'; 130; 230; 330; 430; 530; 630)。 本发明还提供了一种用于操作真空泵的方法,其特征在于,确定真空泵的操作变量并且利用力发生器根据操作变量将力引入到转子中。
    • 90. 发明公开
    • Turbo molecular pump
    • Turbomolekularpumpe。
    • EP0470637A1
    • 1992-02-12
    • EP91113414.6
    • 1991-08-09
    • EBARA CORPORATION
    • Kanemitsu, YoichiShirao, Yuji
    • F04D19/04H02K7/09
    • F04D19/048F16C32/0425F16C32/0442F16C32/0478F16C39/02F16C39/063F16C2360/45H02K7/09
    • A turbo molecular pump including a magnetic bearing system which comprises a rotor consisting of an impeller connected to a shaft (1 a) and a motor; a stator (2) positioned between the shaft (1 a) and the impeller (1); radial magnetic bearings (21, 22, 23, 24), an active axial magnetic bearing (25, 26) and emergency bearings (10, 11) each provided between said rotor and said stator (2) is disclosed. The radial magnetic bearings (21, 22, 23, 24) comprise passive magnetic bearings provided on the rotor and the stator (2) respectively. The axial magnet bearing (25, 26) is disposed in the vicinity where the impeller (1) is connected to the shaft (1 a). The emergency bearings (10, 11) are disposed on a low vacuum side with one (10) emergency bearing being positioned near the axial magnetic bearing (25, 26), and a diameter of the shaft (1 a) is made smaller than an inside diameter of the emergency bearing (10) near the axial magnetic bearing (25, 26).
      By this arrangement, the number of control axis for controlling the position of the rotor is made only one, disassembling of the shaft and impeller is made easy and a contamination of the high vacuum side can be prevented.
    • 一种包括磁轴承系统的涡轮分子泵,其包括由连接到轴(1a)的叶轮和马达构成的转子; 位于所述轴(1a)和所述叶轮(1)之间的定子(2); 公开了径向磁轴承(21,22,23,24),分别设置在所述转子和所述定子(2)之间的主动轴向磁轴承(25,26)和紧急轴承(10,11)。 径向磁轴承(21,22,23,24)分别包括设置在转子和定子(2)上的无源磁轴承。 轴向磁铁轴承(25,26)设置在叶轮(1)与轴(1a)连接的附近。 紧急轴承(10,11)设置在低真空侧,一个(10)紧急轴承位于轴向磁性轴承(25,26)附近,轴(1a)的直径小于内部 在轴向磁性轴承(25,26)附近的紧急轴承(10)的直径。 通过这种布置,用于控制转子位置的控制轴的数量仅仅是一个,所以分离轴和叶轮容易,并且可以防止高真空侧的污染。