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1. 发明专利

JP6394453B2 流量測定装置有权
公开(公告)号：JP6394453B2
公开(公告)日：2018-09-26
申请号：JP2015059215
申请日：2015-03-23
申请人：株式会社デンソー
发明人：伊藤健悟
IPC分类号： G01F1/684 , G01F1/00
CPC分类号： G01F1/6842 , G01F1/692

2. 发明专利

JP6387953B2 空気流量測定装置有权
公开(公告)号：JP6387953B2
公开(公告)日：2018-09-12
申请号：JP2015249666
申请日：2015-12-22
申请人：株式会社デンソー
发明人：榎本崇 , 板倉啓介
IPC分类号： G01F1/68 , G01F1/684
CPC分类号： G01F1/692 , G01F1/68 , G01F1/684 , G01N27/225

4. 发明专利

JP2017067643A 流量センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2017067643A
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2015194417
申请日：2015-09-30
申请人：ミツミ電機株式会社
发明人：羽迫義浩 , 山本洋太
IPC分类号： G01F1/692
CPC分类号： G01F1/692
摘要：【課題】温度検出体を好適に配して流量の検出感度を向上した流量センサを提供する。【解決手段】本流量センサは、発熱抵抗体及び複数の温度検出体を備え、前記発熱抵抗体を発熱させた状態で、夫々の前記温度検出体の温度検出結果に基づいて、前記温度検出体上を流れる流体の流量を検出する流量センサであって、開口部を備えた枠状の半導体基板と、前記半導体基板上に設けられたダイヤフラム部と、前記ダイヤフラム部に設けられた発熱抵抗体及び複数の温度検出体と、を有し、前記ダイヤフラム部は、前記開口部を塞ぐ薄膜構造体部を備え、平面視において、前記薄膜構造体部には、前記発熱抵抗体の周囲に複数の前記温度検出体が配置されている。【選択図】図1

5. 发明专利

JPWO2015076117A1 熱式流量センサ审中-公开
公开(公告)号：JPWO2015076117A1
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：JP2015549067
申请日：2014-11-06
申请人：株式会社村田製作所
发明人：太郎西埜 , 太郎西埜 , 観照山本 , 観照山本 , 藤本　克己 , 克己藤本
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： G01F15/14 , G01F1/6845 , G01F1/69 , G01F1/692 , G01P5/10
摘要：熱式流量センサ(101)は、基材(1)と、基材(1)によって支持され、少なくとも上面が流体の流れ(4)にさらされる検出部(10)とを備える。検出部(10)は、絶縁体層(2)と、絶縁体層(2)の上面に配置された発熱素子(3)と、発熱素子(3)に対して流れ(4)の上流側に位置するように絶縁体層(2)の上面に配置され、焦電体層(5n)を含む上流側温度測定素子(5)と、発熱素子(3)に対して流れ(4)の下流側に位置するように絶縁体層(2)の上面に配置され、焦電体層(6n)を含む下流側温度測定素子(6)とを備える。

6. 发明专利

JP5857032B2 熱式流量計有权
公开(公告)号：JP5857032B2
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：JP2013502043
申请日：2011-03-02
申请人：日立オートモティブシステムズ株式会社
发明人：中野洋 , 松本昌大 , 浅野哲 , 半沢恵二
IPC分类号： G01F1/692
CPC分类号： H01L29/66992 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F5/00

7. 发明专利

JP5841918B2 センサ装置有权
公开(公告)号：JP5841918B2
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：JP2012184849
申请日：2012-08-24
申请人：日立オートモティブシステムズ株式会社
发明人：中野洋 , 松本昌大 , 浅野哲 , 半沢恵二
IPC分类号： G01F1/692
CPC分类号： G01F1/692 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , H01L23/3107 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2224/48247 , H01L2924/1461 , H01L2924/181 , H01L2924/1815

8. 发明专利

JP2015215331A 物理量センサ、および物理量センサの製造方法审中-公开
标题翻译：物理量传感器及制造物理量传感器的方法
公开(公告)号：JP2015215331A
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：JP2014245251
申请日：2014-12-03
申请人：株式会社デンソー
发明人：種村友貴
IPC分类号： G01L9/00 , G01F1/692 , G01K7/22 , H01L29/84 , G01F1/684
CPC分类号： G01F1/692
摘要：【課題】薄肉部に応力がかかり難く、製造容易な構成の物理量センサを提供する。【解決手段】流量センサ1は、第1基板2と第2基板3を有する。第1基板2は、一端2aおよび他端2bを有すると共に第1面21および第2面22を有する支持基板20を備え、支持基板20の一端2aの側における第1面21に第1凹部21aが形成されたことにより薄肉とされた薄肉部22aを有する。第2基板3は、第3面31を有し、第2面22に対する法線の方向から見て、薄肉部22aを内包するように第3面31に形成された第2凹部31aを有し、第3面31が第1基板2の第1面21に接触させられつつ第1基板2に貼り合わされる。よって、第1基板2における薄肉部22aの周囲の部分は、膨張する際において、貫通孔23が形成された空間に膨張でき、第1基板2の薄肉部22aに応力が発生し難くなる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种物理量传感器，其具有不容易施加应力的结构，能够容易地制造。解决方案：流量传感器1具有第一基板2和第二基板3.第一基板2包括具有一个端部2a和另一个端部2b的支撑基板20，并且还具有第一表面21和第二表面22.第一基板2具有薄壁部分22a，该薄壁部分22a被制成使得第一凹部21a 形成在支撑基板20的一端2a一侧的第一表面21上。第二基板3具有第三表面31，并且当从法线到第二表面22的方向看时，其具有第二凹部31a形成在第三表面31上，以便包括薄壁部分22a。第三表面31在与第一基板2的第一表面21接触的同时被粘贴到第一基板2上。因此，第一基板2中的薄壁部分22a的周边部分可以在当膨胀时，形成通孔23，因此不可能发生第一基板2的薄壁部22a上的应力。

9. 发明专利

JP2015532439A 空気質量計有权
标题翻译：空气质量流量计
公开(公告)号：JP2015532439A
公开(公告)日：2015-11-09
申请号：JP2015538352
申请日：2013-09-24
申请人：コンチネンタルオートモーティヴゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングContinental Automotive GmbH , コンチネンタルオートモーティヴゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングContinental Automotive GmbH
发明人：クニッテルトアステン , クニッテルトアステン , セテシャックスティーヴン , セテシャックスティーヴン
IPC分类号： G01F1/692
CPC分类号： G01F1/6845 , F02D41/18 , G01F1/6888 , G01F1/692
摘要：本発明は、空気質量計であって、該空気質量計が、マイクロマシニング型の構造形態で形成されたセンサエレメントを備えており、該センサエレメントが、加熱素子を有しており、センサエレメントに、加熱素子(12)を基準として上流側には第1の温度センサ素子が配置されていて、加熱素子を基準として下流側には第2の温度センサ素子が配置されており、第1の温度センサ素子が、第1の幅(BT1)と第1の長さ(LT1)とを有しており、第2の温度センサ素子が、第2の幅(BT2)と第2の長さ(LT2)とを有している空気質量計に関する。センサエレメントの汚染による測定結果の悪化を排除するかまたは少なくとも狭い範囲にとどめるために、第1の温度センサ素子の第1の幅(BT1)が、第2の温度センサ素子の第2の幅(BT2)よりも大きく寸法設定されている。
摘要翻译：本发明是空气质量流量计，空气质量流量计包括通过微机械的结构形式形成的传感器元件，所述传感器元件具有一个加热元件，所述传感器元件，相对于加热元件的上游侧（12）上已经设置的第一温度传感元件，设置为相对于所述加热元件，第一温度的下游侧上的第二温度传感器元件传感器元件，第一宽度（BT1）具有第一长度（LT1），第二温度传感元件，第二宽度（BT2）和第二长度（LT2 ），它有一个空气质量计了。为了保持或至少窄的范围，以消除测量结果由于传感器元件的污染的恶化，所述第一温度传感器元件（BT1）的第一宽度是所述第二温度传感元件的第二宽度（ BT2）大于尺寸的。

10. 发明专利

JP2015527589A 排ガス質量流量センサを再校正する装置及び方法审中-公开
标题翻译：装置和方法用于重新校准的排气质量流量传感器
公开(公告)号：JP2015527589A
公开(公告)日：2015-09-17
申请号：JP2015530321
申请日：2013-07-16
申请人：ピールブルクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングPierburg GmbH , ピールブルクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングPierburg GmbH
发明人：バウマイスターラース , バウマイスターラース , ヴュベケカール , ヴュベケカール , カマリュスディアク , カマリュスディアク
IPC分类号： G01F1/68 , G01F25/00
CPC分类号： G01F25/00 , F01N2900/1411 , F02D41/1445 , F02D41/1494 , F02D41/187 , G01F1/68 , G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/6965 , G01F25/0007 , G01M15/10
摘要：風速計として構成されており、制御ユニット(52)に、組込み前に求められる第1の特性マップが格納されており、第1の特性マップには、第1のセンサユニット(20)の加熱素子(44)の熱散逸に応じた排ガス質量流量が記録されている、排ガス質量流量センサを再校正する装置が公知である。センサユニット(20,22)上に汚染物がある場合でも正確な測定値を得るために、制御ユニット(52)に、第2の特性マップが格納されており、第2の特性マップには、加熱素子(44)に形成された温度信号と、加熱素子を通じて温度測定素子において測定すべき温度信号とに基づいて、修正係数を求めることができ、修正係数を用いて、加熱素子の測定された熱散逸を、修正された排ガス質量流量に換算可能であることが提案される。
摘要翻译：被配置为风速计，所述控制单元（52），掺入之前所获得的第一特性映射中所存储的，在所述第一特性映射，第一传感器的加热元件单元（20）对应于散热（44）被记录废气质量流率，是已知用于重新校准所述废气质量流量传感器装置。为了获得精确的测量，即使在传感器单元（20，22）上的污染，则控制单元（52），和一个第二特性映射存储，在第二特性映射，基于所述温度信号和在通过加热元件的温度测量元件被测定该加热元件（44）上形成的温度信号，所以能够获得校正因子，使用校正因子，它是在加热元件的测量散热，所以建议是关于改性废气质量流量转换。

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