会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~

一种酸洗装置

申请号 CN202210552745.3 申请日 2022-05-19 公开(公告)号 CN114686901A 公开(公告)日 2022-07-01
申请人 重庆芯洁科技有限公司; 发明人 周文; 刘勇勋; 魏航; 王文彬; 杨佐东;
摘要 本 发明 公开了一种 硅 片 酸洗 装置,属于酸洗技术领域,包括酸洗管,所述酸洗管内设置有酸洗单元,酸洗单元均包括转动环、矩形酸洗下框以及酸洗板,转动环通过连接轴与酸洗管转动连接,酸洗下框一端的连接有固定管,转动环的内部设有翻转 电机 ,翻转电机的 动 力 端 与固定管固定连接,酸洗下框另一端连接在转动环上;酸洗板上开有若干通槽,通槽的四周均开有四个容纳槽,容纳槽内均设有转动组,每个转动组均包括连接在容纳槽内的转动电机和转动 气缸 ,转动气缸连接有开有滑槽的固定 块 ,滑槽中部设置有相向分布的两个夹持气缸,两个夹持气缸的输出端均连接夹持板,本 申请 能够解决 现有技术 中因 硅片 堆积在一起而导致对硅片酸洗效果不理想的技术问题。
权利要求

1.一种酸洗装置,其特征在于:包括若干相互连接的酸洗管,所述酸洗管内设置有沿酸洗管轴向分布的若干酸洗单元,每个酸洗单元均包括转动环和设置在转动环内的矩形酸洗下框以及连接在酸洗下框上的酸洗板,所述转动环与所述酸洗管的顶壁转动连接,所述酸洗下框一端的棱处连接有固定管,所述转动环的内部设有翻转电机,所述翻转电机的端与所述固定管固定连接,所述酸洗下框另一端的棱角通过连接杆转动连接在所述转动环上;所述酸洗板上开有若干通槽,所述通槽的四周均开有四个容纳槽,所述容纳槽内均设有用于驱动硅片转动的转动组,每个转动组均包括连接在容纳槽内的转动电机和连接在所述转动电机动力端上的转动气缸,所述转动气缸的输出端连接有开有滑槽的固定,所述滑槽中部设置有相向分布的两个夹持气缸,两个夹持气缸的输出端均连接夹持板。
2.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗装置,其特征在于:所述连接杆位于所述转动环内部的一端设有震动杆,所述震动杆的两端均开有震动槽,所述震动槽内均滑动设置有震动锲块,所述震动锲块通过震动弹簧连接在所述震动槽的槽底,所述转动环开有容纳所述震动杆旋转时的旋转槽,所述旋转槽上设有与所述震动锲块配合的固定锲块;所述旋转槽靠近连接杆一侧设有开有缓冲槽的凸杆,所述缓冲槽内通过缓冲弹簧滑动设置有缓冲块,所述缓冲块与所述连接杆的侧壁接触
3.根据权利要求2所述的一种硅片酸洗装置,其特征在于:所述转动环外套有固定环,所述转动环通过滚珠与所述固定环转动连接,所述固定环通过连接轴连接在所述酸洗管的顶壁。
4.根据权利要求3所述的一种硅片酸洗装置,其特征在于:所述酸洗管包括设有凸棱的上半管与开有棱槽的下半管,所述上半管通过凸棱卡接在所述下半管的棱槽内。
5.根据权利要求4所述的一种硅片酸洗装置,其特征在于:所述凸棱与所述棱槽的卡接处设有U形的密封垫。
6.根据权利要求5所述的一种硅片酸洗装置,其特征在于:所述上半管与所述下半管的一端均设有弧形块,所述上半管与所述下半管的另一端均开有与所述弧形块对应的弧形槽,其中,所述酸洗管通过弧形块卡接相邻酸洗管的弧形槽内。
7.根据权利要求6所述的一种硅片酸洗装置,其特征在于:所述酸洗下框开有圆孔,所述酸洗板设有与所述圆孔相配合的凸轴,所述酸洗板通过凸轴卡接在所述酸洗下框的圆孔处。

说明书全文

一种酸洗装置

技术领域

[0001] 本发明属于酸洗技术领域,具体涉及一种硅片酸洗装置。

背景技术

[0002] 在硅片生产的过程中需要对于硅片进行酸洗,在酸洗的时候能够将硅片上的杂质进行去除,同时能够让硅片的学性能得到优化,满足不同工况对于硅片的使用要求,利用酸溶液去除表面上的化皮和锈蚀物的方法称为酸洗,是清洁金属表面的一种方法。
[0003] 现有技术中,对硅片进行酸洗时,通常将硅片整体性的放置在酸洗池里进行除去杂质,由于硅片堆积在一起,对硅片的酸洗除杂效果并不理想。

发明内容

[0004] 有鉴于此,本发明的目的在于提供一种硅片酸洗装置,以解决对酸洗池中硅片堆积在一起而使酸洗效果理想的技术问题。
[0005] 为达到上述目的,本发明提供如下技术方案:
[0006] 本发明提供一种硅片酸洗装置,包括若干相互连接的酸洗管,所述酸洗管内设置有沿酸洗管轴向分布的若干酸洗单元,每个酸洗单元均包括转动环和设置在转动环内的矩形酸洗下框以及连接在酸洗下框上的酸洗板,所述转动环与所述酸洗管的顶壁转动连接,所述酸洗下框一端的棱处连接有固定管,所述转动环的内部设有翻转电机,所述翻转电机的动力端与所述固定管固定连接,所述酸洗下框另一端的棱角通过连接杆转动连接在所述转动环上;所述酸洗板上开有若干通槽,所述通槽的四周均开有四个容纳槽,所述容纳槽内均设有用于驱动硅片转动的转动组,每个转动组均包括连接在容纳槽内的转动电机和连接在所述转动电机动力端上的转动气缸,所述转动气缸的输出端连接有开有滑槽的固定,所述滑槽中部设置有相向分布的两个夹持气缸,两个夹持气缸的输出端均连接夹持板。
[0007] 进一步的,所述连接杆位于所述转动环内部的一端设有震动杆,所述震动杆的两端均开有震动槽,所述震动槽内均滑动设置有震动锲块,所述震动锲块通过震动弹簧连接在所述震动槽的槽底,所述转动环开有容纳所述震动杆旋转时的旋转槽,所述旋转槽上设有与所述震动锲块配合的固定锲块;所述旋转槽靠近连接杆一侧设有开有缓冲槽的凸杆,所述缓冲槽内通过缓冲弹簧滑动设置有缓冲块,所述缓冲块与所述连接杆的侧壁接触
[0008] 进一步的,所述转动环外套有固定环,所述转动环通过滚珠与所述固定环转动连接,所述固定环通过连接轴连接在所述酸洗管的顶壁。
[0009] 进一步的,所述酸洗管包括设有凸棱的上半管与开有棱槽的下半管,所述上半管通过凸棱卡接在所述下半管的棱槽内。
[0010] 进一步的,所述凸棱与所述棱槽的卡接处设有U形的密封垫。
[0011] 进一步的,所述上半管与所述下半管的一端均设有弧形块,所述上半管与所述下半管的另一端均开有与所述弧形块对应的弧形槽,其中,所述酸洗管通过弧形块卡接相邻酸洗管的弧形槽内。
[0012] 进一步的,所述酸洗下框开有圆孔,所述酸洗板设有与所述圆孔相配合的凸轴,所述酸洗板通过凸轴卡接在所述酸洗下框的圆孔处。
[0013] 本发明的有益效果在于:
[0014] 本发明通过将硅片装载在酸洗板上,并通过同一方向处的两个容纳槽中的转动组对硅片夹持并带动硅片旋转,使得酸洗液对硅片上的杂质进行酸洗,冲洗一段时间后,控制另一方向处的转动组夹持并带动硅片旋转,使得酸洗液对上一转动组夹持硅片的位置进行酸洗,除去夹持处的杂质,由于硅片装载在酸洗板上的每个通槽处,硅片与硅片之间进行隔开,同时在翻转电机和滚珠的作用下,使得硅片在多个空间角度发生旋转,从而使得酸洗液能够对硅片的多个角度进行冲洗,提高对每个硅片的除杂效果。
[0015] 本发明的其他优点、目标和特征将在随后的说明书中进行阐述,并且在某种程度上对本领域技术人员而言是显而易见的,或者本领域技术人员可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。附图说明
[0016] 为了使本发明的目的、技术方案和有益效果更加清楚,本发明提供如下附图进行说明:
[0017] 图1为本发明实施例酸洗管的连接示意图;
[0018] 图2为本发明实施例酸洗单元与酸洗管的连接示意图;
[0019] 图3为本发明实施例图2中A处的局部放大图;
[0020] 图4为本发明实施例图2中B处的局部放大图;
[0021] 图5为本发明实施例图3中固定块的剖视图;
[0022] 图6为本发明实施例图1酸洗管右端的局部示意图。
[0023] 附图中标记如下:酸洗管1、转动环2、酸洗下框3、酸洗板4、连接轴5、固定管6、翻转电机7、连接杆8、通槽9、容纳槽10、转动电机11、转动气缸12、固定块13、滑槽14、夹持气缸15、夹持板16、缓冲弹簧17、上半管18、凸棱19、下半管20、棱槽21、弧形块22、弧形槽23、凸轴
24、橡胶垫25、硅片26、密封垫27、震动杆28、震动锲块29、震动弹簧30、旋转槽31、固定锲块
32、固定环33、滚珠34、凸杆35、缓冲块36。

具体实施方式

[0024] 如图1~6所示,本发明提供一种硅片酸洗装置,包括若干相互连通的酸洗管1,本实施例选用两个酸洗管1,酸洗管1内设置有沿酸洗管1轴向分布的若干酸洗单元,本实施例选用两个酸洗单元,每个酸洗单元均包括转动环2和设置在转动环2内的矩形酸洗下框3以及连接在酸洗下框3上的酸洗板4,转动环2与酸洗管1的顶壁转动连接,酸洗下框3左端的棱角处连接有固定管6,转动环2的内部连接有翻转电机7,翻转电机7的动力端与固定管6固定连接,酸洗下框3右端的棱角通过连接杆8转动连接在转动环2上,如图3所示,酸洗板4上开有若干通槽9,通槽9的四周均开有四个容纳槽10,容纳槽10内均连接有用于驱动硅片26转动的转动组,每个转动组均包括连接在容纳槽10内的转动电机11和连接在转动电机11动力端上的转动气缸12,如图5所示,转动气缸12的输出端连接有开有滑槽14的固定块13,滑槽14中部设置有相向分布的两个夹持气缸15,两个夹持气缸15的输出端均连接夹持板16。
[0025] 上述技术方案的原理及效果:
[0026] 从酸洗管1的一端通入酸洗液,翻转电机7带动酸洗下框3旋转,使得酸洗液能够对酸洗板4上的硅片26进行充分冲洗,除去硅片26上的杂质,初始状态下,同一方向容纳槽10内的转动气缸12伸出配合夹持气缸15利用夹持板16夹住硅片26,转动气缸12上的转动电机11带动硅片26旋转,使得酸洗液对硅片26的各个位置进行冲洗,当冲洗一段时间后,控制另一方向容纳槽10内的转动气缸12伸出配合夹持气缸15利用夹持板16夹住硅片26,转动气缸
12上的转动电机11带动硅片26旋转,使得酸洗液从另一旋转方向对硅片26进行冲洗,同时冲洗初始状态下被夹持板16夹住的硅片26未被冲洗的位置,由于转动环2与酸洗管1转动连接,酸洗液能够推动转动环2转动从而使硅片26上的杂质在离心力的作用下掉落,从而被酸洗液冲走,避免了酸洗后的杂质堆积在酸洗管1内。
[0027] 本实施例中,如图4所示,连接杆8位于转动环2内部的一端设有震动杆28,震动杆28的两端均开有震动槽,震动槽内均滑动设置有震动锲块29,震动锲块29通过震动弹簧30连接在震动槽的槽底,转动环2开有容纳震动杆28旋转时的旋转槽31,旋转槽31上设有与震动锲块29配合的固定锲块32,旋转槽31靠近连接杆8一侧设有开有缓冲槽的凸杆35,缓冲槽内通过缓冲弹簧17滑动设置有缓冲块36,缓冲块36与连接杆8的侧壁接触。
[0028] 上述技术方案的原理及效果:
[0029] 当翻转电机7带动转动环2旋转时,连接杆8在旋转槽31内旋转,连接杆8带动震动杆28旋转,震动杆28每次旋转都会使震动锲块29与固定锲块32碰撞,从而使连接杆8发生抖动,震动锲块29的锲形面与固定锲块32的锲形面碰撞接触后,震动锲块29在震动弹簧30的作用下发生缩回,接触完成后,震动锲块29在震动弹簧30的作用下又恢复到初始状态,准备下一圈与固定锲块32接触碰撞,当震动锲块29与固定锲块32碰撞完成后,缓冲块36在缓冲槽内滑动实现对连接杆8的缓冲,当震动锲块29与固定锲块32碰撞时,会让连接杆8发生上下浮动,从而更好的除去硅片26上的酸洗后的杂质。
[0030] 本实施例中,如图2所示,转动环2外套有固定环33,转动环2通过滚珠34与固定环33转动连接,固定环33通过连接轴5转动连接在酸洗管1的顶壁。
[0031] 上述技术方案的原理及效果:
[0032] 酸洗时,转动环2在滚珠34的作用下,沿着固定环33发生转动,从而实现对硅片26多个角度的酸洗除杂。
[0033] 本实施例中,如图1所示,酸洗管1包括一体成形有凸棱19的上半管18与开有棱槽21的下半管20,上半管18通过凸棱19卡接在下半管20的棱槽21内,转动环2通过连接轴5与上半管18转动连接。
[0034] 上述技术方案的原理及效果:
[0035] 凸棱19与棱槽21相配合,方便上半管18与下半管20的拆卸,方便对硅片26的取出。
[0036] 本实施例中,如图6所示,凸棱19与棱槽21的卡接处设有U形的密封垫27。
[0037] 上述技术方案的原理及效果:
[0038] 密封垫27提高上半管18与下半管20的连接紧密性,避免酸洗液泄露从而影响工作人员的安全。
[0039] 本实施例中,如图1所示,上半管18与下半管20的左端均设有弧形块22,如图6所示,上半管18与下半管20的右端均开有与弧形块22对应的弧形槽23,其中,酸洗管1通过弧形块22卡接相邻酸洗管1的弧形槽23内。
[0040] 上述技术方案的原理及效果:
[0041] 将弧形槽23设置在酸洗管1的右端,而酸洗液从酸洗管1的左端进入,能够避免酸洗液从弧形槽23泄露。
[0042] 本实施例中,如图2所示,酸洗下框3开有圆孔,酸洗板4上连接有与圆孔相配合的凸轴24,酸洗板4通过凸轴24卡接在酸洗下框3的圆孔处。
[0043] 上述技术方案的原理及效果:
[0044] 将酸洗板4通过凸轴24与酸洗下框3可拆卸连接,当需要对不同的硅片26进行酸洗时,直接更换酸洗板4即可。
[0045] 本实施例中,如图5所示,夹持板16的相对面均设有橡胶垫25。
[0046] 上述技术方案的原理及效果:
[0047] 橡胶垫25的设置,能够对硅片26的夹持力更稳定,避免酸洗液酸洗时,将硅片26冲刷走。
[0048] 本实施例中,如图5所示,夹持板16的形状为Z形。
[0049] 上述技术方案的原理及效果:
[0050] 由于夹持板16的形状为Z形,当夹持板16夹持住硅片26时,夹持板16远离硅片26的一端会具有一定间隙,方便酸洗液对硅片26侧面进行酸洗,提高硅片26侧面的酸洗效果。
[0051] 最后说明的是,以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制,尽管通过上述优选实施例已经对本发明进行了详细的描述,但本领域技术人员应当理解,可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变,而不偏离本发明权利要求书所限定的范围。