涡轮分子泵及涡轮分子泵用颗粒捕集器

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涡轮分子泵及涡轮分子泵用颗粒捕集器
申请号	CN201080009031.3	申请日	2010-02-05	公开(公告)号	CN102326002B	公开(公告)日	2014-05-07
申请人	株式会社岛津制作所; 东京毅力科创株式会社;			发明人	关田幸照; 久保田和马; 守屋刚; 菅原荣一;
摘要	本发明提供一种涡轮分子泵，其包括：转子(30)，其形成有多层旋转叶片(32)且能够进行高速旋转；多个固定叶片(33)，它们在泵轴线方向上与旋转叶片(32)交替配置；泵外壳(34)，其用于容纳旋转叶片(32)及固定叶片(33)且形成有进气口(21a)；圆盘(150)，其设在靠近转子(30)的进气口侧的位置上且以与比转子(30)的旋转叶片根部靠近内径侧的面相面对的方式进行配置；圆筒状的网眼结构体(153a、153b)，其配置在进气口(21a)和转子(30)之间且由细线编织而成，将被转子弹起的颗粒捕捉到网眼结构体(153a、153b)的内部。
权利要求	1.一种涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：转子，其形成有多层旋转叶片，且该转子能够进行高速旋转；多个固定叶片，它们在泵轴线方向上与上述旋转叶片交替配置；泵外壳，其用于容纳上述旋转叶片及固定叶片，且在该泵外壳上形成有进气口；圆盘，其设在与上述转子的进气口一侧接近的位置，且该圆盘以与上述转子的比旋转叶片根部靠内径侧的面相面对的方式进行配置；圆筒状的网眼结构体，其配置在上述进气口和上述转子之间，且由细线编织而成，将被上述转子弹起的颗粒捕捉到上述网眼结构体的内部。 2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：多个板状的网眼结构体，它们相对于上述圆筒状的网眼结构体呈放射状配置，且该网眼结构体与泵进气口垂直。 3.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：保护网，其包括上述圆盘和以包围该圆盘的方式设置且形成有多个开口的网区域，该保护网用于防止经过上述进气口的异物进入到上述泵外壳内。 4.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其中，上述圆筒状的网眼结构体是将编织细线而成的布状的网以层状配置而成的。 5.根据权利要求2所述的涡轮分子泵，其中，上述圆筒状的网眼结构体和上述板状的网眼结构体是将编织细线而成的布状的网以层状配置而成的。 6.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其中，上述细线由不锈钢细线构成。 7.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其中，上述细线由二氧化硅的比例为6%～10%的硅酸铝纤维构成。 8.一种涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：转子，其形成有多层旋转叶片，且该转子能够进行高速旋转；多个固定叶片，它们在泵轴线方向上与上述旋转叶片交替配置；泵外壳，其用于容纳上述旋转叶片及固定叶片，且在上述泵外壳上形成有进气口；圆盘，其设在与上述转子的进气口一侧接近的位置上，且该圆盘以与上述转子的比旋转叶片根部靠内径侧的面相面对的方式进行配置；网眼结构体，其沿上述泵外壳的内壁设置，该网眼结构体由细线编织而成。 9.根据权利要求8所述的涡轮分子泵，其中，该涡轮分子泵包括：保护网，其包括上述圆盘和以包围该圆盘的方式设置且形成有多个开口的网区域，该保护网用于防止经过上述进气口的异物进入到上述泵外壳内。 10.根据权利要求8所述的涡轮分子泵，其中，上述网眼结构体是将编织细线而成的布状的网以层状配置而成的。 11.根据权利要求8所述的涡轮分子泵，其中，上述细线由不锈钢细线构成。 12.根据权利要求8所述的涡轮分子泵，其中，上述细线由二氧化硅的比例为6%～10%的硅酸铝纤维构成。 13.一种涡轮分子泵用颗粒捕集器，其中，该涡轮分子泵用颗粒捕集器包括：壳体，其具有用于与涡轮分子泵的进气口法兰相连接的第1法兰和用于与真空装置侧的排气口法兰相连接的第2法兰；圆筒状的网眼结构体，其配置在上述壳体内，且由细线编织而成，使得在该网眼结构体的内部捕捉被上述涡轮分子泵的转子弹起的颗粒。 14.根据权利要求13所述的涡轮分子泵用颗粒捕集器，其中，该涡轮分子泵用颗粒捕集器包括：圆盘，其以与上述涡轮分子泵的转子上表面相面对的方式配置在上述第1法兰侧，且该圆盘的直径尺寸小于等于上述涡轮分子泵的转子的旋转叶片根部的直径。 15.根据权利要求13所述的涡轮分子泵用颗粒捕集器，其中，该涡轮分子泵用颗粒捕集器包括：保护网，其包括直径尺寸小于等于上述涡轮分子泵的转子的旋转叶片根部的直径的圆形区域和以包围该圆形区域的周围的方式进行设置且形成有多个开口的网区域，该保护网用于防止经过上述进气口法兰的异物进入到涡轮分子泵内。 16.根据权利要求13或14所述的涡轮分子泵用颗粒捕集器，其中，该涡轮分子泵用颗粒捕集器包括：多个板状的网眼结构体，它们相对于上述圆筒状的网眼结构体呈放射状地配置，且沿上述第1法兰及第2法兰的轴线方向配置。 17.根据权利要求13或14所述的涡轮分子泵用颗粒捕集器，其中，上述细线由不锈钢细线构成。 18.根据权利要求13或14所述的涡轮分子泵用颗粒捕集器，其中，上述细线由二氧化硅的比例为6%～10%的硅酸铝纤维构成。
说明书全文	涡轮分子泵及涡轮分子泵用颗粒捕集器技术领域 [0001] 本发明涉及一种涡轮分子泵及涡轮分子泵用颗粒捕集器。背景技术 [0002] 涡轮分子泵用于半导体生产等的蚀刻处理、CVD处理。当从进行那些处理的真空室向涡轮分子泵内流入反应生成物等颗粒时，有时颗粒被高速旋转的转子弹起，使得该反跳颗粒到达真空室。其结果，存在反跳颗粒附着在晶圆上而使半导体的成品率下降的问题。 [0003] 作为降低这样的反跳颗粒朝向真空室的逆向流动的结构，提出了记载于专利文献1至3中的那样的结构。在专利文献1中，在泵壳体内周面上设置用于捕捉颗粒的小室，利用旋转叶片使颗粒向该小室方向跳起。在专利文献2中，在泵壳体内设有由橡胶材料、海绵材料、棉花材料等构成的捕捉构件、反弹系数较小的缓冲构件。此外，在专利文献3中，作为颗粒捕捉机构包括由不锈钢毛毡、氟树脂的毛毡构成的絮状体。 [0004] 专利文献1：日本特开2006-307823号公报 [0005] 专利文献2：日本特开2007-211696号公报 [0006] 专利文献3：日本特开2007-180467号公报 [0007] 发明要解决的问题 [0008] 然而，存在无法利用小室、橡胶材料、海绵材料、棉花材料及毛毡等捕捉构件充分地捕捉颗粒的问题。此外，在记载于专利文献3的结构中，在进气口附近设有圆盘状的捕捉构件，因此具有由于设有捕捉构件从而排气速度下降较多的缺点。发明内容 [0009] 用于解决问题的方案 [0010] 本发明的涡轮分子泵的第1方式包括：转子，其形成有多层旋转叶片，且该转子能够进行高速旋转；多个固定叶片，它们在泵轴线方向上与旋转叶片交替配置；泵外壳，其用于容纳旋转叶片及固定叶片，且在该泵外壳上形成有进气口；圆盘，其设在与转子的进气口一侧接近的位置，且该圆盘以与转子的比旋转叶片根部靠内径侧的面相面对的方式进行配置；圆筒状的网眼结构体，其配置在进气口和转子之间，且由细线编织而成，将被转子弹起的颗粒捕捉到网眼结构体的内部。 [0011] 此外，也可以包括多个相对于圆筒状的网眼结构体呈放射状配置的、与泵进气口垂直配置的板状的网眼结构体。 [0012] 本发明的涡轮分子泵的第2方式包括：转子，其形成有多层旋转叶片，且该转子能够进行高速旋转；多个固定叶片，它们在泵轴线方向上与旋转叶片交替配置；泵外壳，其用于容纳旋转叶片及固定叶片，且在泵外壳上形成有进气口；圆盘，其设在与转子的进气口一侧接近的位置上，且该圆盘以与转子的比旋转叶片根部靠内径侧的面相面对的方式进行配置；网眼结构体，其沿泵外壳的内壁设置，该网眼结构体由细线编织而成。 [0013] 此外，也可以包括保护网，其具有圆盘和以包围该圆盘的方式设置且形成有多个开口的网区域，该保护网用于防止经过上述进气口的异物进入到上述泵外壳内。 [0014] 此外，网眼结构体也可以是将编织细线而成的布状的网以层状配置而成的。 [0015] 此外，细线可以由不锈钢细线构成，也可以由二氧化硅的比例为6％～10％的硅铝酸纤维构成。 [0016] 本发明的涡轮分子泵的第3方式包括：壳体，其具有用于与涡轮分子泵的进气口法兰相连接的第1法兰和用于与真空装置侧的排气口法兰相连接的第2法兰；圆筒状的网眼结构体，其配置在壳体内，且由细线编织而成，使得在该网眼结构体的内部捕捉被涡轮分子泵的转子弹起的颗粒。 [0017] 此外，也可以包括圆盘，其以与涡轮分子泵的转子上表面的方式相面对的配置在第1法兰侧，且其直径尺寸小于等于涡轮分子泵的转子的旋转叶片根部的直径。 [0018] 此外，也可以包括保护网，其具有直径尺寸小于等于涡轮分子泵的旋转叶片根部的直径的圆形区域和以包围该圆形区域的周围的方式设置且形成有多个开口的网区域，该保护网用于防止通过进气口法兰的异物进入到涡轮分子泵内。 [0019] 此外，也可以包括多个板状的网眼结构体，其相对于圆筒状的网眼结构体呈放射状配置，且沿第1法兰及第2法兰的轴线方向配置。 [0020] 此外，细线可以由不锈钢细线构成，也可以由二氧化硅的比例为6％～10％的硅铝酸纤维构成。 [0021] 发明的效果 [0022] 若采用本发明，则能够提供一种抑制排气速度的下降、且防止反跳颗粒的逆向流动的涡轮分子泵。附图说明 [0023] 图1是表示本发明的涡轮分子泵的概略结构的剖视图。 [0024] 图2是表示搭载涡轮分子泵10的CVD成膜装置的概略结构的图。 [0025] 图3是表示涡轮分子泵的设有挡板15的部分的放大图。 [0026] 图4是挡板15的立体图。 [0027] 图5是表示从进气口侧看的挡板15的图。 [0028] 图6是表示用于说明层叠结构的网眼结构体153的图，(a)是表示网眼结构体153的分解立体图，(b)是表示网155的图。 [0029] 图7是表示变形例的图，(a)是表示第1变形例的图，(b)是表示第2变形例的图。 [0030] 图8是表示在泵壳体13为圆筒状的情况的网眼结构体153的图，(a)是表示在挡板上设有网眼结构体153的情况的图，(b)是表示在泵壳体34的内周面上设有网眼结构体153的情况的图。 [0031] 图9是表示第2实施方式的图。 [0032] 图10是表示保护网101的俯视图。 [0033] 图11是表示在壳体102的涡轮分子泵侧设有保护网101的情况下的颗粒捕集单元100的结构的图。 [0034] 图12是表示颗粒捕集单元100的变形例的图。 [0035] 图13是表示框架152及网眼结构体153的变形例的图。具体实施方式 [0036] 以下，参照附图对本发明的最优的具体实施方式进行说明。 [0037] 第1实施方式 [0038] 图1是表示本发明的涡轮分子泵的概略结构的剖视图。转子30以相对于泵外壳34自由旋转的方式设在泵外壳34中。图1所示的涡轮分子泵10是磁轴承式的泵，利用用于构成五轴磁轴承的电磁铁37、38以不接触的方式支承转子30。利用马达驱动在磁轴承的作用下磁悬浮的转子30高速旋转。 [0039] 在转子30上形成有多层旋转叶片32和圆筒状的螺纹转子31。另一方面，在固定侧上设有在轴线方向上与旋转叶片32交替配置的多层的固定叶片33和设在螺纹转子31的外周侧的螺纹定子39。借助间隔环35将各个固定叶片33载置在底座40上。当将形成有进气口法兰21的泵壳体34固定在底座40上时，将层叠的间隔环35夹持在底座40和泵壳体34之间，对固定叶片33进行定位。 [0040] 在底座40上设有排气口41，且该排气口41与后泵相连接。使转子30磁悬浮且利用马达36驱动转子30高速旋转，从而使进气口21a侧的气体分子朝向排气口41侧进行排气。 [0041] 图2是表示搭载涡轮分子泵10的半导体制造装置1的一例的图，是表示CVD成膜装置的概略结构的图。在设于处理室2的下部的排气口4上隔着闸阀5安装有涡轮分子泵10。利用气体供给部6向处理室2供给处理气体。 [0042] 在这样的成膜装置中，由于成膜处理的化学反应、机械零件的滑动等产生超微等级的颗粒的情况较多。当这些颗粒经由进气口21a流入到涡轮分子泵10内时，这些颗粒被高速旋转的转子弹起。如上所述，当这些反跳颗粒到达处理室时，颗粒附着在晶圆上而成为半导体的生产成品率下降的原因。 [0043] 为了降低这样的反跳颗粒对半导体生产造成的不良影响，在本实施方式的涡轮分子泵10中，在泵壳体34内设有挡板15，该挡板15包括用于在从进气口21a流入的颗粒入射到转子30前捕捉该颗粒的机构和用于捕捉被转子30弹起的反跳颗粒的机构。 [0044] 图3及图4是说明挡板15的图。图3是表示设有图1的挡板15的部分的放大图。图4是挡板15的立体图。挡板15安装在泵壳体34的法兰21上。如图4所示，挡板15包括圆盘150、支柱151、框架152及网眼结构体153。框架152具有肋状结构，其包括内侧环 152a、外侧环152b、用于连接内侧环152a及外侧环152b的放射状肋152c。 [0045] 多个支柱151等间隔地固定在内侧环152a的内周面上，在各个支柱151的下端上固定有圆盘150。如图3所示，将支柱151的长度设定成能够将圆盘150配置在转子30的上表面附近。转子30被磁悬浮而高速旋转，但是转子30根据气体负荷在轴线方向上稍微上下移动。因此，将圆盘150配置在即使转子30在上下方向上移动圆盘150也不会与转子30相接触的程度的位置上。此外，为了不使圆盘150堵塞旋转叶片32的上方，从而将圆盘 150的外径尺寸设定为旋转叶片32的根部部分的直径尺寸以下。 [0046] 如附图标记153a至153c所示，以覆盖内侧环152a的外周面、外侧环152b的内周面及放射状肋152c的一侧的面的方式设有板状的网眼结构体153。此外，图4所示的网眼结构体153c的配置适用于从进气口看转子30时转子30顺时针旋转的结构的情况。在转子30逆时针旋转的结构的情况下，优选以覆盖放射状肋152c的相反一侧的面的方式安装网眼结构体153c。 [0047] 图5是表示从进气口侧看的挡板15的图。虚线是表示转子30的第一层的旋转叶片32。从进气口21a下落至泵内且通过了挡板15的颗粒下落至中央部分的圆盘150之上，或者下落至比圆盘150靠外周侧的旋转叶片32之上。下落至圆盘150之上的颗粒留在圆盘上，因此不返回装置侧。 [0048] 另一方面，下落至旋转叶片32之上的颗粒被高速旋转的旋转叶片32弹起。在图5中，旋转叶片32以箭头R所示方向顺时针旋转。下落至旋转叶片32的颗粒在切线方向上受力，因此在切线方向上跳起的倾向较大。在图5中表示了在颗粒单纯向切线方向跳起的情况下的几个轨迹P。由于颗粒以上述方式向切线方向跳起，因此认为反跳颗粒更多地入射到外周侧的网眼结构体153b。 [0049] 网眼结构体153如后所述地由金属线等细线编织构成，且网眼的尺寸大于颗粒的尺寸。因此，虽然入射到网眼结构体153的反跳颗粒的一部分自表面部分的线跳回，但是大部分的反跳颗粒进入到结构体内部，且在内部反复与线冲撞。通过反复冲撞，从而减小反跳颗粒的动能，最终在网眼结构体153的内部捕捉该颗粒。 [0050] 图6的(a)是表示网眼结构体153的一例的图。在网眼结构体153中，例如使用构成记载于日本特开2006-132741号公报的网状弹簧的布状的网155。如图6的(b)所示，利用编织机由针织法将不锈钢线等金属细线编织成网155。此外，也可以将用印花辊夹持由针织法形成的网而形成带有波纹的网作为网155使用。也可以代替金属细线的网而使用由包括氧化铝和二氧化硅的硅铝酸纤维编织而成的布状的网。在该情况下，为了获得适当的柔软性，优选二氧化硅的比例为6％～10％。此外，金属细线的编织方法并不限于针织法，也可以采用平纹梭织等。 [0051] 本实施方式的网眼结构体153由编织金属线等而成的网155构成，因此与毛毡状的以往的捕捉构件相比金属纤维的间隙较大。因此，容易使反跳颗粒进入到网眼结构体153的内部，从而可靠地捕捉该颗粒。 [0052] 另一方面，在使用毛毡状的捕捉构件的情况下，压缩较短的纤维而使其成为毛毡状，因此与网155相比，毛毡状的捕捉构件形成致密的结构，从而使反跳颗粒难以进入到捕捉构件的内部。因此，难以进行消耗高速的反跳颗粒的动能所需的充分的冲突次数，与使用网眼结构体153的情况相比捕捉率较低。其结果，没有被捕捉的颗粒再次被转子30弹起，在反复进行那样的反跳的过程中，颗粒将从进气口21a逆向流动至处理室侧。即，在捕捉率较差的以往的结构中，反跳颗粒逆向流动到处理室的概率升高。 [0053] 此外，在本实施方式中，通过使用由网眼较粗的网155层叠而成的网眼结构体153，从而使反跳颗粒容易进入到网眼结构体的更深的内部。在该情况下，可以由网眼大小相同的网155层叠构成网眼结构体153，也可以以使靠近表面的层的网眼较大并且使用于捕捉颗粒的内部的层的网眼稍微变小的方式根据层而改变网眼的大小。此外，在层叠金属筛网等比较平坦的网的情况下，优选通过将金属筛网折成带有波纹状之后进行层叠来增大体积而使反跳颗粒容易进入到网眼结构体153的内部。 [0054] 此外，圆盘150是为了防止颗粒在转子30的上表面(非旋转叶片部分)跳起而设置的。在本实施方式中，将圆盘150配置在转子30的上表面附近，因此有无圆盘150基本不会导致传导性发生差异，且能够防止由设有圆盘150而引起的排气速度下降。此外，以使板状的网眼结构体153的面朝向正侧面的方式与法兰面垂直地设置该板状的网眼结构体153，因此能够尽可能增大从进气口21a看时的开口率，且能够抑制排气速度下降。即，本实施方式中的挡板15能够尽可能地抑制排气速度的下降且可靠地捕捉反跳颗粒。 [0055] 图7是表示本实施方式的变形例的图。在图7的(a)所示的第1变形例中，是进一步减小由挡板15引起的传导性下降而更加重视排气速度的结构。因此，省略了图4所示的内侧环152a及放射状肋152c和设于上述结构上的网眼结构体153a、153c。从外侧环152b呈放射状设有多个支承梁152d，支柱151固定在这些支承梁152d上。 [0056] 如图5所示，被转子50弹起的反跳颗粒朝向外周方向前进，因此反跳颗粒直接进入到装置侧的概率非常小。即，认为在泵内经过多次反射的颗粒逆向流入到装置侧。因此，可以认为即使省略了设在内侧环152a、放射状肋152c上的网眼结构体153a、153c，也只会较小地降低颗粒捕捉率。 [0057] 在图7的(b)所示的第2变形例中，在泵壳体34的内周面上直接设置网眼结构体153d，从而代替了图7的(a)所示的外侧环152b及网眼结构体153b。该情况下，也能够尽可能地抑制排气速度的下降。 [0058] 在上述的实施方式中以使泵壳体34在法兰附近中间变细的方式减小了泵壳体34的直径，在图8所示的变形例中表示了将泵壳体34适用于圆筒状的泵的情况。图8的(a)与图3相对应，图8的(b)与图7的(b)相对应。在图8的(b)的结构的情况下，设有圆盘150和配置在泵壳体内周面上的网眼结构体153e，图8的(b)的结构与图7的(a)那样地设有外侧环152b及网眼结构体153b的情况是大致相同的结构。 [0059] 此外，虽然在上述的实施方式中挡板15的框架152是肋结构，但是也可以不采用肋结构。此外，也可以降低圆盘150的表面的热辐射率，从而降低处理室和转子30之间的热辐射的影响。 [0060] 第2实施方式 [0061] 图9是表示本发明的第2实施方式的图。在上述的第1实施方式中，在涡轮分子泵的泵壳体34内设有颗粒捕捉用的挡板15。然而，并不限定所有的涡轮分子泵都采用在泵壳体内安装有上述那样的挡板15的结构。因此，在以下说明的第2实施方式中，对颗粒捕集单元进行说明，即使在没有在泵壳体内安装挡板15的结构的涡轮分子泵中，该颗粒捕集单元也能够后续附加安装于涡轮分子泵。 [0062] 图9是表示安装在涡轮分子泵上的颗粒捕集单元100的图。颗粒捕集单元100包括框架152、网眼结构体153、壳体102及保护网101。框架152及网眼结构体153与图4所示的挡板15的框架152及网眼结构体153结构相同。即，颗粒捕集单元100用于捕捉被转子30弹起的反跳颗粒，且防止反跳颗粒从涡轮分子泵侧逆向流动到装置侧。 [0063] 用螺钉105将固定部152b紧固在壳体102上，从而将框架152固定在壳体102上。网眼结构体153安装在框架152上。壳体102包括用于固定在涡轮分子泵10的法兰21上的法兰102a和用于固定在装置侧的法兰102b。例如，在如图2所示，使涡轮分子泵10与处理室2隔着闸阀5相连接的情况下，装置侧的法兰102b与闸阀5相连接。在涡轮分子泵 10直接与处理室2相连接的情况下，法兰102b与处理室2相连接。即，以使颗粒捕集单元 100介于涡轮分子泵10和装置侧之间的方式设置该颗粒捕集单元100。 [0064] 在法兰102b上安装密封件(O形密封圈)106。当利用螺栓104将法兰102b紧固在闸阀5上时，利用密封件106密封闸阀5和法兰102b的间隙。另一方面，在法兰102a侧将密封件(O形密封圈)21b安装在涡轮分子泵10的法兰21上。当利用螺栓103紧固法兰102a和法兰21时，利用密封件21b密封法兰102a和法兰21之间的间隙。 [0065] 图10是表示保护网101的俯视图。保护网101由不锈钢材料等的薄板形成。保护网101具有由附图标记A表示的圆形区域101a和由附图标记B表示的圆环状的网区域101b。在网区域101b中，利用蚀刻形成有多个开口101d。在图10所示的例中，正六边形的开口101d形成为蜂巢状。通过在蚀刻时进行圆形的遮掩，从而形成圆形区域101a。在保护网101的周边部分上形成有螺钉用孔101c。 [0066] 虽然在图9所示的结构的情况下，利用螺钉107将保护网101固定在涡轮分子泵10的法兰21的环部210上，但是也可以只将保护网101配置在壳体102的法兰102a和环部210之间的间隙上。此外，如图11所示，也可以用螺钉将保护网101固定在壳体102的涡轮分子泵侧的法兰102a上，即使将保护网101直接固定在框架152上也没有问题。 [0067] 将保护网101的圆形区域101a的直径设定为转子30的旋转叶片32的根部部分的直径尺寸以下，网区域101b面对着旋转叶片32。涡轮分子泵10对通过了网区域101b的气体进行排气。网区域101b是为了防止异物(晶圆的碎片、装置侧零件的一部分等)下落到涡轮分子泵内损坏旋转叶片32、固定叶片33而设置的。此外，保护网101的圆形区域101a与上述的圆盘150功能相同，用于防止从装置侧产生的颗粒落下至转子30的上表面。 [0068] 此外，虽然在上述保护网101中是通过在对薄板材进行蚀刻加工时施加圆形的遮掩来形成圆形区域101a的，但是也可以在将整体保护网101蚀刻加工成网状后在中央部分上附设圆盘。此外，在将由金属线编织形成的网作为保护网101使用的情况下，也可以通过在中央部分上附设圆盘来形成保护网101。 [0069] 此外，在图9所示的例中，做成在颗粒捕集单元100中包含保护网101的结构。然而，在使用具有专用的保护网的涡轮分子泵的情况下，也可以利用除去保护网101的构成零件构成颗粒捕集单元100。 [0070] 图12是表示颗粒捕集单元100的变形例的图。在图12所示的颗粒捕集单元100中，代替图9的保护网101设置有图4所示的圆盘150。利用支柱151将圆盘150固定在内侧环152a上。圆盘150的轴线方向位置可以如实线所示地位于壳体102内，也可以如双点划线所示地将支柱151延长至泵侧而在转子30的上方附近配置圆盘150。 [0071] 图13是表示配置在壳体102内的框架152及网眼结构体153的变形例的图。框架152在内侧环152a的内侧上也设有放射状肋152e。然后，在内侧环152a的内周面侧及放射状肋152e上安装网眼结构体153f、153g。这样，通过在与转子30的上表面相对的位置上设置网眼结构体153f、153g，从而即使省略圆盘150、圆形区域101a，也能够用网眼结构体153f、153g捕捉自转子上表面跳起的颗粒且防止颗粒向装置侧逆向流动。在图10中在省略圆形区域101a的情况下，在附图标记A所示的区域中也形成开口101d。此外，通过采用图13所示的结构，从而能够提高对于入射到内侧环152a的内侧的气体分子的排气效率，能够抑制排气速度的下降。 [0072] 通过设置第2实施方式所示的颗粒捕集单元100，即使作为没有实施反跳颗粒对策的涡轮分子泵，也能够在不更换泵的情况下实施针对反跳颗粒的对策。此外，通过在防止异物混入用的保护网上一体地形成用于防止颗粒落下至转子的上表面的圆盘，从而能够抑制零件个数的增加而谋求抑制成本上升。此外，在第1实施方式中也能够使用图10所示的保护网101代替圆盘150。 [0073] 虽然在上述内容中对各种实施方式及变形例进行了说明，但是本发明并不限定为这些内容。在本发明的技术思想范围内考虑到的其它的方式也包含在本发明的范围内。 [0074] 作为引用文在这里引入下面的优先权基础申请的公开内容。 [0075] 日本专利申请2009年第41318号(2009年2月24日申请) [0076] 日本专利申请2009年第251801号(2009年11月2日申请)