一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法及装置

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一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法及装置
申请号	CN201810059195.5	申请日	2018-01-22	公开(公告)号	CN108278492B	公开(公告)日	2021-01-08
申请人	上海至纯洁净系统科技股份有限公司;			发明人	连海洲; 孙效义; 薛元;
摘要	本发明公开了一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，首先获取基准阀与各个调整阀转换所需时间的差值，然后在第一时间后控制基准阀转换开闭状态，同时控制各调整阀在其对应的第二时间后转换开关状态；其中基准阀为若干个截止阀中的任意一个，其余截止阀均为调整阀，第二时间和第一时间的时间差为各个调整阀对应的差值。该方法对各个截止阀开始控制的时间进行调整，抵消了截止阀自身结构造成的转换时间的差异，从而使各个截止阀可同步转换开闭状态，进而保障工艺机台压力的稳定性。本发明还公开了一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，该装置在切换工艺制程过程中反应室压力稳定，产品质量较高。
权利要求	1.一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，其特征在于，包括： S1、确定若干个截止阀中的任意一个为基准阀，其余均为调整阀，并获取所述基准阀与各个所述调整阀转换开闭状态所需时间的差值； S2、启动计时，控制所述基准阀在第一时间截止时转换开闭状态，控制各所述调整阀在其对应的第二时间后转换开闭状态，其中所述第二时间和所述第一时间的时间差为所述差值；当所述基准阀为转换用时最长的所述截止阀时，所述S2为：首先控制所述基准阀转换开闭状态，然后控制各所述调整阀在对应的所述第二时间后转换开关状态；当所述基准阀和所述调整阀均为一个时，所述S1包括： S101、设置第一预设时间和第二预设时间，其中所述第一预设时间为新通道截止阀预估的延迟控制的时间，所述第二预设时间为旧通道截止阀预估的延迟控制的时间； S102、启动计时，在所述第一预设时间截止时，控制所述新通道截止阀打开，在所述第二预设时间截止时，控制所述旧通道截止阀关闭； S103、获得反应室的压力并将获得的所述压力与预设压力进行比较得到压力波动值，所述反应室为与所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀连通的腔体结构；若所述压力波动值小于压差阈值，则确定当前的所述第二预设时间和所述第一预设时间差为所述差值；若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力大于所述预设压力，则控制所述第一预设时间增加一个延时步长，或所述第二预设时间减少一个延时步长，并控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态，返回S102；若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力小于所述预设压力，则控制所述第一预设时间减少一个延时步长，或所述第二预设时间增加一个延时步长，并控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态，返回S102。 2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，S2之前还包括：对新通道的所述截止阀的上游进行预设泄放时间的泄放。 3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设泄放时间的范围为1秒至30秒。 4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一时间的范围为100ms至1000ms。 5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述延时步长不大于10ms，或所述压差阈值不大于2％。 6.一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，其特征在于，包括：获取装置，用于获取基准阀与全部调整阀转换开闭状态所需时间的各个差值，其中若干个截止阀中任意一个为基准阀，其余均为调整阀；控制装置，用于执行权利要求1至5任意一项所述的方法的步骤，与所述获取装置连接，用于接收所述差值；且所述控制装置与所述基准阀和所述调整阀连接，用于在启动计时后控制所述基准阀在第一时间转换开闭状态，并控制各所述调整阀在其对应的第二时间转换开闭状态，所述第二时间与所述第一时间的时间差为所述差值。 7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述截止阀包括从关闭状态切换为打开状态的新通道截止阀，所述新通道截止阀的上游连接有用于进行预泄放的泄放阀，所述泄放阀与排废系统连接。 8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述获取装置包括：时间输入装置，用于设置第一预设时间和第二预设时间，其中所述第一预设时间为所述新通道截止阀预估的延迟控制的时间，所述第二预设时间为旧通道截止阀预估的延迟控制的时间；预调装置，控制所述新通道截止阀在所述第一预设时间截止时打开，控制所述旧通道截止阀在所述第二预设时间截止时关闭；并用于时间调节装置调整所述第一预设时间或所述第二预设时间后，控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态；压差检测装置，用于获取反应室内的压力并与预设压力进行比较得到压力波动值；其中所述反应室为与所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀连通的腔体结构；存储装置，与所述压差检测装置连接，用于当所述压力波动值小于压差阈值时，记录当前的所述第二预设时间和所述第一预设时间的差值；时间调节装置，与所述压差检测装置连接，用于当所述压力波动值大于或等于压差阈值时，根据所述反应室的压力和所述预设压力的大小关系调整所述第一预设时间或所述第二预设时间。
说明书全文	一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法及装置技术领域 [0001] 本发明涉及光纤、半导体制造设备技术领域，更具体地说，涉及一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法和装置。背景技术 [0002] 在光纤、半导体制造的工艺设备中，为工艺机台提供原料气体的气体箱或气柜对最终产品的品质有着非常重要的影响。气体箱或气柜为包括质量流量控制器(MFC)、阀门等部件的气体流量供给装置。气体箱或气柜通常设有若干个支路，每个支路均与工艺机台连通，对处于工艺机台的产品进行加工。 [0003] 气体箱的每个支路均设有MFC，MFC用于控制该支路在标准大气压下的工艺气体可流通的最大质量流量。对光纤的芯、包界面、半导体制程的沉积、刻蚀等不同阶段的工艺产品进行加工时，气体箱或气柜需要控制不同气体流量的及切换供应不同种类的气体。 [0004] 切换工艺制程时需要关闭旧通道的截止阀并打开新通道的截止阀，其中新通道和旧通道均可以包括若干个截止阀。例如参考图1，图1为现有技术中的设计方案示意图，S1、S2、S3、S4为四种不同的气体源，L1、L2、L3、L4、L5、L6为气体箱的六个不同的工艺气体供给支路。进行一个工艺制程时支路L1、L2、L4为工艺机台供给工艺气体，在进行另一个工艺制程时支路L2、L3、L5供给工艺气体。因此切换过程中需要关闭旧通道的支路L1、L4同时打开新通道的支路L3、L5。 [0005] 现有技术通常直接对原通道和新通道的截止阀进行控制实现切换，然而由于各个截止阀自身的结构差异，各个截止阀可能出现不同步的情况，即工艺制程在两个通道进行切换时会在短时间内出现2个通道同时开启或关闭的情况。例如对于上述工艺制程的切换，可能出现L1、L4的截止阀已经关闭而L3、L5截止阀未打开，或L3、L5截止阀已打开而L1、L4截止阀未关闭的问题。 [0006] 截止阀无法同步转换开闭状态会使反应室压力出现明显的增大或降低。而压力的明显波动会对工艺反应造成较大的干扰，例如发生反应不完全或反应副产品中的颗粒物从尾端逆流回反应室等问题，各种不利的干扰均会对产品低的质量造成较大的影响。 [0007] 综上所述，如何提供一种减小切换工艺制程中压力波动的方法，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。发明内容 [0008] 有鉴于此，本发明的目的是提供一种减小切换工艺制程中压力波动的方法，在不同支路切换工艺气体时仍能保持工艺机台压力的稳定性，避免切换过程中压力波动较大造成的产品缺陷，从而提高产品质量。 [0009] 本发明的另一目的是提供一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，该装置在切换支路截止阀开闭状态的过程中，反应室压力保持稳定，产品质量较高。 [0010] 为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案： [0011] 一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，包括： [0012] S1、确定若干个截止阀中的任意一个为基准阀，其余均为调整阀，并获取所述基准阀与各个所述调整阀转换开闭状态所需时间的差值； [0013] S2、启动计时，控制所述基准阀在第一时间截止时转换开闭状态，控制各所述调整阀在其对应的第二时间后转换开闭状态，其中所述第二时间和所述第一时间的时间差为所述差值。 [0014] 优选的，S2之前还包括：对新通道的所述截止阀的上游进行预设泄放时间的泄放。 [0015] 优选的，所述预设泄放时间的范围为1秒至30秒。 [0016] 优选的，所述第一时间的范围为100ms至1000ms。 [0017] 优选的，当所述基准阀为转换用时最长的所述截止阀时，所述S2为：首先控制所述基准阀转换开闭状态，然后控制各所述调整阀在对应的所述第二时间后转换开关状态。 [0018] 优选的，当所述基准阀和所述调整阀均为一个时，所述S1包括： [0019] S101、设置第一预设时间和第二预设时间，其中所述第一预设时间为新通道截止阀预估的延迟控制的时间，所述第二预设时间为旧通道截止阀预估的延迟控制的时间； [0020] S102、启动计时，在所述第一预设时间截止时，控制所述新通道截止阀打开，在所述第二预设时间截止时，控制所述旧通道截止阀关闭； [0021] S103、获得反应室的压力并将获得的所述压力与预设压力进行比较得到压力波动值，所述反应室为与所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀连通的腔体结构； [0022] 若所述压力波动值小于压差阈值，则确定当前的所述第二预设时间和所述第一预设时间差为所述差值； [0023] 若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力大于所述预设压力，则控制所述第一预设时间增加一个延时步长，或所述第二预设时间减少一个延时步长，并控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态，返回S102； [0024] 若所述压力波动值大于或等于压差阈值，且所述反应室的压力小于所述预设压力，则控制所述第一预设时间减少一个延时步长，或所述第二预设时间增加一个延时步长，并控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态，返回S102。 [0025] 优选的，所述延时步长不大于10ms，或所述压差阈值不大于2％。 [0026] 一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，包括： [0027] 获取装置，用于获取基准阀与全部调整阀转换开闭状态所需时间的各个差值，其中若干个截止阀中任意一个为基准阀，其余均为调整阀； [0028] 控制装置，与所述获取装置连接，用于接收所述差值；且所述控制装置与所述基准阀和所述调整阀连接，用于在启动计时后控制所述基准阀在第一时间转换开闭状态，并控制各所述调整阀在其对应的第二时间转换开闭状态，所述第二时间与所述第一时间的时间差为所述差值。 [0029] 优选的，所述截止阀包括从关闭状态切换为打开状态的新通道截止阀，所述新通道截止阀的上游连接有用于进行预泄放的泄放阀，所述泄放阀与排废系统连接。 [0030] 优选的，所述获取装置包括： [0031] 时间输入装置，用于设置第一预设时间和第二预设时间，其中所述第一预设时间为所述新通道截止阀预估的延迟控制的时间，所述第二预设时间为旧通道截止阀预估的延迟控制的时间； [0032] 预调装置，控制所述新通道截止阀在所述第一预设时间截止时打开，控制所述旧通道截止阀在所述第二预设时间截止时关闭；并用于时间调节装置调整所述第一预设时间或所述第二预设时间后，控制所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀转换开闭状态； [0033] 压差检测装置，用于获取反应室内的压力并与预设压力进行比较得到压力波动值；其中所述反应室为与所述新通道截止阀和所述旧通道截止阀连通的腔体结构； [0034] 存储装置，与所述压差检测装置连接，用于当所述压力波动值小于压差阈值时，记录当前的所述第二预设时间和所述第一预设时间的差值； [0035] 时间调节装置，与所述压差检测装置连接，用于当所述压力波动值大于或等于压差阈值时，根据所述反应室的压力和所述预设压力的大小关系调整所述第一预设时间或所述第二预设时间。 [0036] 本发明提供的保持工艺制程切换过程压力稳定的方法首先获取基准阀与各个调整阀转换所需时间的差值，然后在第一时间后控制基准阀转换开闭状态，同时控制各调整阀在其对应的第二时间后转换开关状态。其中基准阀为若干个截止阀中的任意一个，其余截止阀均为调整阀，第二时间和第一时间的时间差为各个调整阀对应的差值。 [0037] 受到控制后各个截止阀由于转换开闭状态所需要的时间存在差异，同时控制全部截止阀开始转换开闭状态，则会导致各个截止阀转换不同步的问题。因此本申请首先获得各个调整阀和基准阀之间的差值，然后在第一时间控制基准阀工作，当调整阀转换时间比基准阀短时，在第一时间的基础上增加该调整阀对应的差值后，控制该调整阀工作；当调整阀转换时间比基准阀长时，在第一时间的基础上提前控制该调整阀工作，提前的时间为该调整法对应的差值时长。 [0038] 本发明对各个截止阀开始控制的时间存在差异，以抵消截止阀自身结构造成的转换时间的差异，从而使各个截止阀可同步转换开闭状态。 [0039] 本发明还提供了一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，该装置采用了上述方法，在切换阀门过程中反应室压力稳定，产品质量较高。附图说明 [0040] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。 [0041] 图1为现有技术中的设计方案示意图； [0042] 图2为本发明所提供方法的一种流程图； [0043] 图3为本发明所提供装置的一种结构示意图； [0044] 图4为本发明所提供一种具体实施例的设计方案示意图。 [0045] 图1-4中： [0046] 1为气体箱、2为截止阀、3为泄放阀、4为工艺机台、5为排废系统； [0047] 01为获取装置、02为控制装置。具体实施方式 [0048] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。 [0049] 本发明的核心是提供一种减小工艺制程切换过程压力波动的方法，在不同支路切换工艺气体时仍能保持工艺机台压力的稳定性，避免切换过程中压力波动较大造成的产品缺陷，提高产品质量。本发明的另一核心是提供一种保持切换工艺制程过程压力稳定的装置，该装置在截止阀转换开闭状态的过程中反应室压力稳定，产品质量较高。 [0050] 请参考图2-4，图2为本发明所提供方法的一种流程图；图3为本发明所提供装置的一种结构示意图；图4为本发明所提供一种具体实施例的设计方案示意图。 [0051] 参考图2，本发明提供一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，包括以下步骤： [0052] 步骤S1、确定若干个截止阀2中的任意一个为基准阀，其余均为调整阀，并获取基准阀与各个调整阀转换所需时间的差值。 [0053] 具体的，工艺切换制成中需要关闭旧通道对应的截止阀2同时打开新通道对应的截止阀2，本申请利用可编程逻辑控制器(PLC)或其他控制系统控制截止阀2的开启或关闭。首先在新通道和旧通道的全部截止阀2中选择任意一个作为基准阀，其他截止阀2则作为调整阀，即调整阀为以基准阀的转换时间为对照标准，在切换状态过程中进行延迟或提前控制的阀门。 [0054] 本申请中利用软件方式获得基准阀和调整阀转换开闭状态所需时间的差值，并将各个时间差值作为对应的调整阀延迟控制的时间差值，需要说明的是，截止阀2转换开闭状态所需时间指，控制系统下达开启或关闭指令到截止阀2开始转换之间的实际用时，为方便说明，下文以“转换时间”进行叙述。 [0055] 步骤S2、启动计时，控制基准阀在第一时间截止时转换开闭状态，控制各调整阀在其对应的第二时间后转换开闭状态，其中第二时间和第一时间的时间差为差值。 [0056] 具体的，由于基准阀为若干个截止阀2中的任意一个，可能存在基准阀的转换时间少于部分调整阀转换时间的情况。因此当调整阀转换时间长于基准阀时，时间差值为负值，即第二时间小于第一时间，调整阀先于基准阀启动，若第二时间小于或等于0，则将第一时间和第二时间同时增大相同的时间长度，直至第二时间为正值；调整阀转换时间较短时，时间差值为正值，即调整阀迟于基准阀启动。为了避免转换时间长的调整阀无法与基准阀实现同步转换，设置第一时间，并在第一时间截止时控制基准阀工作。 [0057] 在对各个截止阀2进行控制的过程中，对转换时间少于基准阀的调整阀进行延迟控制，即在第一时间控制基准阀工作后，等待该调整阀对应的差值的时间长度后，控制该调整阀工作。对转换时间比基准阀转换时间长的调整阀则进行提前控制，即先控制调整阀工作，在该调整阀对应的差值的时间长度后，控制基准阀工作。 [0058] 可选的，由于基准阀和调整阀之间的转换时间的差异较小，因此为了避免对截止阀2延迟控制的时间过长影响生产的连续性，第一时间和第二时间可以设定较小的范围，例如第一时间的调节范围为100ms至1000ms。 [0059] 在工艺制程切换过程中，由于各个调整阀延迟或提前控制的时间恰好为该调整阀与基准阀之间的时间差，因此控制系统在不同时间对各个截止阀2控制后，各个截止阀2可在同一时间转换开闭状态。 [0060] 本发明对在第一时间控制基准阀工作，在各个第二时间分别控制对应的调整阀工作，通过对各个截止阀2采用不同的启动控制的时间，新通道截止阀2的开启和旧通道截止阀2的关闭可实现同步切换的效果。各个截止阀2同步转换可使工艺机台4上的气体流量稳定，加工时压力波动小，产品质量较高。 [0061] 另外，在实际生产过程中还可能对漂浮于反应室的颗粒物进行表面的薄膜镀层工艺，采用本申请提供的方法可使颗粒物在反应室内始终保持稳定，提高最终产品的质量。 [0062] 进一步的，为了提高新通道的流量的稳定性，本申请提供的一个具体实施例中，步骤S2之前还包括：对新通道的截止阀2的上游进行预设泄放时间的泄放。 [0063] 由于MFC的固有特性，在实际加工过程中，控制系统预先设定有工艺制程需要的气体流量，截止阀2开启的瞬间MFC的实际流量会在短时间内远高于设定的流量值，并迅速在设定值上下震荡调整，整个过程可能持续3秒甚至更长时间，造成工艺制程中工艺气体各组分的摩尔比无法满足加工需求，影响产品的质量。 [0064] 由于截止阀2打开后工艺气体即进入反应室，反应室也称工艺机台4，为与新通道截止阀2和旧通道截止阀2连通的结构。截止阀2打开即对工艺机台4上的产品进行加工，因此需要切换工艺制程时在先对新通道截止阀2的上游进行泄放，其中泄放的时间称为预设泄放时间。由于提前对新通道进行了泄放，在打开新通道截止阀2时该支路的气体流量已经处于稳定状态，从而减少反应室内流量波动造成的不良影响。 [0065] 可以理解的，在打开新通道截止阀2的同时应关闭新通道的泄放阀3，使支路的工艺气体进入反应室。 [0066] 可选的，由于截止阀2打开瞬间支路气体质量流量较高且上下波动，短时间内即可恢复稳定，因此预设泄放时间无需过长，例如采用1秒至30秒的预设泄放时间。 [0067] 可选的，本申请的一个具体实施例中，基准阀为转换用时最长的截止阀2，步骤S2为：控制基准阀转换开闭状态，控制各调整阀在其对应的第二时间后转换开关状态。 [0068] 具体的，由于基准阀转换时间最长，因此在切换工艺制成时全部调整阀均采用延迟控制的方法，即，可正常控制基准阀转换开闭状态，无需等待第一时间后再进行控制仍可保障各个截止阀2的同步转换。 [0069] 例如基准阀转换时间为5秒、调整阀转换时间为3秒时，控制基准阀工作后，等待2秒再开始控制调整阀工作，控制过程中无需设置基准阀延迟控制的时间，仍可实现同步效果。 [0070] 可选的，参考图4，本申请提供的一个具体实施例中，当基准阀和调整阀均为一个时，步骤S1包括： [0071] 步骤S101、设置第一预设时间和第二预设时间，其中第一预设时间为新通道截止阀2预估的延迟控制的时间，第二预设时间为旧通道截止阀2预估的延迟控制的时间。 [0072] 另外，考虑到实际调整过程中并不清楚截止阀2转换时间的长短关系，因此对各个截止阀2均设置一个延迟控制的时间，并在该时间的基础上对截止阀2进行推迟或提前控制的处理，为截止阀2提供可调整的余地，从而方便调节过程。 [0073] 步骤S102、启动计时，在第一预设时间截止时，控制新通道截止阀2打开，在第二预设时间截止时，控制旧通道截止阀2关闭。 [0074] 步骤S103、获得反应室的压力并将获得的压力与预设压力进行比较得到压力波动值，其中，预设压力指理想状态下新通道的工作压力。 [0075] 若压力波动值小于压差阈值，则确定当前的第一预设时间和第二预设时间差为差值； [0076] 若压力波动值大于或等于压差阈值，且反应室的压力大于预设压力，则控制第一预设时间增加一个延时步长，或第二预设时间减少一个延时步长，并控制新通道截止阀2和旧通道截止阀2转换开闭状态，返回S102；其中延时步长为每次调整的最小时间长度，例如延时步长为10ms时，第一预设时间或第二预设时间均以10ms为一个单位进行逐步调整。 [0077] 若压力波动值大于或等于压差阈值，且反应室的压力小于预设压力，则控制第一预设时间减少一个延时步长，或第二预设时间增加一个延时步长，并控制新通道截止阀2和旧通道截止阀2转换开闭状态，返回S102。 [0078] 另外，当有多个截止阀2时可利用上述方法得到其中两个截止阀2的转换时间差值，并选取两个中的一个截止阀2与其他截止阀2进行重复实验，最终得到全部截止阀2转换时间的相互关系。或者利用软件进行多步迭代的方式一次性确定各个截止阀2转换时间的差值关系。 [0079] 可选的，延时步长小于或等于10ms。在每次调整第一预设时间和第二预设时间的过程中，应设置适当的延时步长，延时步长过大则可能降低调整的准确性，延时步长过小则会导致调整次数过多，增加控制系统的工作量。 [0080] 可选的，本申请的一个具体实施例中压差阈值小于或等于2％。压差阈值体现工艺制程切换过程中的反应室压力波动变化与理想的工作压力的比值，压差阈值越小，各个截止阀2同步度越高，压差阈值的具体范围以实际工作需求为准。 [0081] 参考图3，本发明提供一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，包括： [0082] 获取装置01，用于获取全部调整阀与基准阀转换所需时间的各个差值，其中若干个截止阀2中转换时间最长的一个为基准阀，其余均为调整阀。 [0083] 控制装置02，与获取装置01连接，用于接收预设时间，其中预设时间为差值；且控制装置02与全部调整阀连接，用于控制基准阀转换开闭状态并控制各调整阀在其所对应的预设时间后转换开闭状态。 [0084] 该装置的工作原理可参考上述方法的步骤，本文不在赘述。 [0085] 可选的，为了进一步提高反应室压力的稳定性，本申请提供的装置还包括用于对新通道截止阀2的上游进行预泄放的泄放阀3，泄放阀3与新通道截止阀2和排废系统5均连接。 [0086] 具体的，泄放阀3设置在新通道截止阀2的上游，在工艺切换前提前打开泄放阀3，在新通道截止阀2打开时该支路的气体流量已趋于稳定，从而消除MFC开启瞬间造成气体流量波动较大的问题，提高反应室的稳定性。另外，泄放过程中流经MFC的工艺气体可通入排废系统5中，该部分工艺气体的具体处理方式以不进入反应室为准。 [0087] 可选的，本申请提供的一个具体实施例中，当调整阀和基准阀的数量均为一个，且基准阀转换时间较长时，获取装置01包括： [0088] 时间输入装置，用于设置第一预设时间和第二预设时间，其中第一预设时间为新通道截止阀2预估的延迟控制的时间，第二预设时间为旧通道截止阀2预估的延迟控制的时间。 [0089] 预调装置，控制新通道截止阀2在第一预设时间截止时打开，控制旧通道截止阀2在第二预设时间截止时关闭；并用于时间调节装置调整第一预设时间或第二预设时间后，控制新通道截止阀2和旧通道截止阀2转换开闭状态；可选的，在实际控制过程中，预调装置可以为控制装置02的一个内置功能性模块，即利用控制装置02实现预调装置的相关功能。 [0090] 压差检测装置，用于获取反应室内的压力并与预设压力进行比较得到压力波动值；其中反应室为与新通道截止阀2和旧通道截止阀2连通的腔体结构。 [0091] 存储装置，与压差检测装置连接，用于当压力波动值小于压差阈值时，记录当前的第一预设时间和第二预设时间的差值。 [0092] 时间调节装置，与压差检测装置连接，用于当压力波动值大于或等于压差阈值时，根据反应室的压力和预设压力的大小关系调整第一预设时间或第二预设时间。 [0093] 本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。 [0094] 以上对本发明所提供的保持工艺制程切换过程压力稳定的方法及装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。