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    • 14. 发明公开
    • 包括微图案并使用部分固化以粘附管芯的电路
    • CN114746988A
    • 2022-07-12
    • CN202080082293.6
    • 2020-11-30
    • 3M创新有限公司
    • 特雷莎·M·格代尔安基特·马哈詹米哈伊尔·L·佩库罗夫斯基撒格尔·A·沙卡拉·A·迈耶斯克里斯托弗·G·瓦尔克
    • H01L21/60H01L21/58H01L23/488H05K3/36
    • 本发明提供了一种方法,该方法包括:在基底(2)上提供可固化粘合剂材料层(4);在该可固化粘合剂材料层(4)上形成微结构(321)的图案;以第一水平固化该可固化粘合剂材料层(4)的第一区域(42),以大于该第一水平的第二水平固化该可固化粘合剂材料层(4)的第二区域(44);提供固体电路管芯(6)以直接附接到该可固化粘合剂材料层(4)的该第一区域(42)的主表面;以及进一步固化该可固化粘合剂材料层(4)的该第一区域(42),以通过在两者间形成粘合剂结合来将该固体电路管芯(6)锚固在该第一区域(42)上。该微结构(321)的图案可包括一个或多个微通道(321),该方法还包括在该微通道(321)中形成一个或多个导电迹线,特别是通过毛细力和任选地在压力下使含有传导性颗粒的液体(8)流动。该至少一个微通道(321)可从该第二区域(44)延伸到该第一区域(42),并且具有位于该固体电路管芯(6)下方的部分。该固体电路管芯(6)可具有设置在该第一区域(42)的周边内的至少一个边缘,在其之间具有间隙。固体电路管芯(6)可在其底表面上具有至少一个接触垫(72),其中该至少一个接触垫(72)可与该微通道(321)中的导电迹线中的至少一个导电迹线直接接触。形成该微结构(321)的图案可包括使印模(3)的主表面与该可固化粘合剂材料层(4)接触,该主表面在其上具有凸起特征(32)的图案。该可固化粘合剂材料(4)可通过诸如紫外(UV)光源(7,7’)等ac光化光源固化,其中可提供掩模,以至少部分地阻挡该可固化粘合剂材料层(4)的该第一区域(42)固化。该印模(3)可定位成与该可固化粘合剂材料(4)接触,以复制该凸起特征(32)的图案,从而形成该微结构(321),同时该可固化粘合剂材料(4)被诸如该紫外(UV)光源(7)等该光化光源选择性地固化。该可固化粘合剂材料层(4)的该第一区域(42)可以该第一水平固化,以允许该固体电路管芯(6)的底表面被该第一区域(42)的该主表面流体密封。该可固化粘合剂材料层(4)的该第二区域可以该第二水平固化,使得该第二区域(44)完全固化。该进一步固化可为任何合适的固化,诸如热固化、辐射固化(例如,通过光化辐射,诸如紫外(UV)辐射)或在室温下不使用热固化源或辐射固化源的自固化。