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41. 发明公开

CN114279577A 一种高精度套刻测量量值溯源方法及散射仪有权
公开(公告)号：CN114279577A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111558740.3
申请日：2021-12-20
申请人：清华大学深圳国际研究生院
发明人：李星辉 , 李一鸣 , 王晓浩
IPC分类号： G01J9/00 , G01B11/26
摘要：本发明公开了一种高精度套刻测量量值溯源方法及散射仪，该方法包括如下步骤：S1：流片加工裸硅片得到晶圆样片，切割分离晶圆样片得到套刻精度芯片；S2：用计量型标准散射仪定值溯源套刻精度标准样片，将套刻精度标准样片安装在不同尺寸的载体晶圆上；S3：将多组不同尺寸的套刻精度标准样片经过套刻对准测量设备进行溯源。本发明提出一种光刻套刻精度的高效溯源方法，通过采用单波长稳频激光和高精度测角转台构造标准散射仪，研究制备套刻测量晶圆标准片，实现衍射型套刻对准测量精度向波长和角度的量值溯源。

42. 发明公开

CN113218539A 一种微结构、柔性压力传感器及其制备方法无效
公开(公告)号：CN113218539A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110437999.6
申请日：2021-04-22
申请人：清华大学深圳国际研究生院
发明人：董瑛 , 潘律名 , 王晓浩
IPC分类号： G01L1/00
摘要：一种微结构、柔性压力传感器及其制备方法，该微结构包括柔性材料的基底和微柱体阵列，所述微柱体阵列以与竖直方向成倾斜角度的方式一体地形成在所述基底上，所述微结构的中心轴在三维空间内与沿竖直方向的竖直轴不重合，或者说所述微结构的中心轴在三维空间内仅存在一个竖直对称面，可以看成在三维空间内仅存在多个竖直对称面的微结构相对于竖直方向偏移一定角度形成。与传统微结构相比，本发明的微结构使具有该微结构的柔性压力传感器具有更高的灵敏度和压力范围。本发明制备具有该微结构的柔性压力传感器的方法，相比于传统柔性压力传感器制备方法，制备工艺简单，易于进行批量生产，制备的柔性压力传感器灵敏度高。

43. 发明公开

CN113184799A 一种带硅基压阻式传感器的MEMS器件有权
公开(公告)号：CN113184799A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110380700.8
申请日：2021-04-09
申请人：清华大学深圳国际研究生院
发明人：薛高鹏 , 李星辉 , 王晓浩
IPC分类号： B81B7/02 , G02B26/08
摘要：一种带硅基压阻式传感器的MEMS器件，包括MEMS振镜和硅基压阻式传感器，所述MEMS振镜包括反射镜、两个扭转杆和MEMS驱动器，所述反射镜通过所述两个扭转杆固定在所述MEMS驱动器上，所述硅基压阻式传感器基于惠斯通桥结构布局，用于感测所述反射镜的扭转角度，所述硅基压阻式传感器为正方形或者长方形结构，放置在所述扭转杆的固定端位置附近，所述硅基压阻式传感器在所述反射镜扭转的剪切应力作用下产生的电势能梯度方向与应力梯度方向相一致。该MEMS器件能够降低微纳工艺中光刻对准高精度需求，使MEMS振镜整体结构尺寸小型集成化，降低整体器件成本。

44. 发明公开

CN112129869A 基于数据驱动的现场质谱仪稳定输出控制系统及方法有权
公开(公告)号：CN112129869A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202011010399.3
申请日：2020-09-23
申请人：清华大学深圳国际研究生院 , 深圳至秦仪器有限公司
发明人：钱翔 , 徐向春 , 霍新明 , 鲁信琼 , 余泉 , 倪凯 , 王晓浩
IPC分类号： G01N30/72
摘要：一种基于数据驱动的现场质谱仪稳定输出控制系统及方法，该系统包括仪器控制参数设定与环境参数采集模块、多组分类器分类模块、反馈调参模块以及输出模块；仪器控制参数设定与环境参数采集模块在测试进样前设定仪器控制参数和采集当前仪器工作环境参数；多组分类器分类模块的每个分类器负责分类不同类型的故障信号或正常信号；反馈调节模块根据多组分类器分类模块分类出的故障信号类型选择对应的参数调整方案，反馈到仪器控制参数设定与环境参数采集模块，重新设定参数后由系统控制质谱仪进行重新采样；输出模块输出正常信号。本发明适应性强，能够有效地实现质谱仪输出正常信号以及学习记录最优控制参数。

45. 发明公开

CN111812344A 用于气体检测的膜进样装置和进样方法有权
公开(公告)号：CN111812344A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010647793.1
申请日：2020-07-07
申请人：清华大学深圳国际研究生院
发明人：王晓浩 , 石文艳 , 余泉
IPC分类号： G01N35/10 , G01N1/24 , G01N1/40 , G01N27/62
摘要：一种用于气体检测的膜进样装置和进样方法，该装置包括腔体、进气通路、出气通路、第一气室、第二气室、膜以及连接检测仪器通路，第一气室和第二气室形成在腔体内并由膜隔开，第一气室与进气通路和出气通路分别连通，第二气室与连接检测仪器通路连通，待检测的气体样品通过进气通路进入第一气室中，并选择性透过膜进入到第二气室中，剩余气体通过出气通路排出，连接检测仪器通路连接检测仪器，使第二气室中处于低压环境，膜在第一气室和第二气室的气压差作用下向第二气室内侧发生凹陷形变，减小膜的厚度，增大膜的面积，提高进样效率，进而提高检测灵敏度，降低检测限，还可以通过设置气压差实时精确调控膜的状态，选择不同的进样效果，满足不同的检测需求。

46. 发明授权

CN113764257B 一种基于3D打印的解吸电喷雾离子化装置有权
公开(公告)号：CN113764257B
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202110982659.1
申请日：2021-08-25
申请人：清华大学深圳国际研究生院
发明人：钱翔 , 刘继琳 , 霍新明 , 余泉 , 倪凯 , 王晓浩
IPC分类号： H01J49/16 , H01J49/04
摘要：一种基于3D打印的解吸电喷雾离子化装置，包括3D打印成型的解吸电喷雾离子化一体结构，所述解吸电喷雾离子化一体结构内部形成有电喷雾入射流道、解吸离子收集流道以及样片插入槽，所述样片插入槽与所述电喷雾入射流道和所述解吸离子收集流道相连通，所述电喷雾入射流道用于接入电喷雾源，所述解吸离子收集流道用于连接到质谱仪进样口，所述样片插入槽用于插入载有待测样品的样片。该解吸电喷雾离子化装置能够减少搭建时的空间参数调整，使用方便快捷，提高质谱分析效率和信号质量。

47. 发明公开

CN117234336A 一种柔性静电触觉反馈执行器及制作方法审中-实审
公开(公告)号：CN117234336A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311194503.2
申请日：2023-09-15
申请人：清华大学深圳国际研究生院
发明人：钱翔 , 柳雨含 , 吕思琪 , 王晓浩
IPC分类号： G06F3/01
摘要：本发明公开了一种柔性静电触觉反馈执行器，所述反馈执行器包括层叠设置的第一电极层、电介质薄膜和第二电极层，所述第一电极层包括两层以上复合刚度的弹性体，所述两层以上复合刚度的弹性体中的至少两层具有刚度差异。其制作方法包括将第一电极层、电介质薄膜和第二电极层层叠设置的步骤，以及制作第一电极层弹性体的步骤。该执行器具有需求电压低、输出力高、频率响应带宽大、触觉反馈可编程等优势。

48. 发明授权

CN113758989B 基于碎片树的现场质谱目标物识别以及衍生物预测方法有权
公开(公告)号：CN113758989B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202110986213.6
申请日：2021-08-26
申请人：清华大学深圳国际研究生院
发明人：钱翔 , 杨淑媛 , 霍新明 , 余泉 , 倪凯 , 王晓浩
IPC分类号： G01N27/62
摘要：一种基于碎片树的现场质谱目标物识别以及衍生物预测方法，包括如下步骤：S1、对目标物的多级电压碎裂谱图进行峰形校准；S2、合并处理后的多张谱图，生成一张包含母离子和所有碎片的谱图；S3、对每个碎片峰进行候选分子式预测，通过非带电分子分子式过滤黄金规则、质谱精度排序和碎片树的形成三层筛选，得到最终的候选分子式，再根据中性丢失和峰值相似度对节点和边赋值权重，生成候选分子碎片图；S4、计算最大得分的彩色碎片树；S5、通过碎片树对齐来进行聚类。该方法能够提取衍生物的一级二级质谱特征，训练出分类模型，进而实现对衍生物的鉴定归类。该方法大大弥补了传统现场质谱技术在质谱信号预测上的不足，尤其适于小质谱平台(56)对比文件US 2015340216 A1,2015.11.26Sebastoan bocker.fragmentation treesreloaded《.Journal of Cheminformatics》.2016,正文，附图3.Sebastoan bocker.fragmentation treesreloaded《.Journal of Cheminformatics》.2016,正文，附图3.Sebastian Böcker.Towards de novoidentification of metabolites byanalyzing tandem mass spectra.《BIOINFORMATICS》.2008,第5部分.雷　珊.基于分子式数据库策略的ＦＭ－ｓｅａｒｃｈｅｒ软件在危害物非目标筛查分子式预测中的应用《.质谱学报》.2020,全文.徐英卓.基于树结构的本体概念相似度计算方法《.计算机系统应用》.2017,全文.Tobias Kind.Seven Golden Rules forheuristic filtering of molecular formulasobtained by accurate mass spectrometry.《BMC Bioinformatics》.2007,全文.Florian Rasche.Identifying theUnknowns by Aligning Fragmentation Trees.《American Chemical Society》.2012,全文.

49. 发明授权

CN114279577B 一种高精度套刻测量量值溯源方法及散射仪有权
公开(公告)号：CN114279577B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202111558740.3
申请日：2021-12-20
申请人：清华大学深圳国际研究生院
发明人：李星辉 , 李一鸣 , 王晓浩
IPC分类号： G01J9/00 , G01B11/26
摘要：本发明公开了一种高精度套刻测量量值溯源方法及散射仪，该方法包括如下步骤：S1：流片加工裸硅片得到晶圆样片，切割分离晶圆样片得到套刻精度芯片；S2：用计量型标准散射仪定值溯源套刻精度标准样片，将套刻精度标准样片安装在不同尺寸的载体晶圆上；S3：将多组不同尺寸的套刻精度标准样片经过套刻对准测量设备进行溯源。本发明提出一种光刻套刻精度的高效溯源方法，通过采用单波长稳频激光和高精度测角转台构造标准散射仪，研究制备套刻测量晶圆标准片，实现衍射型套刻对准测量精度向波长和角度的量值溯源。

50. 发明公开

CN116013763A 一种氢气辅助紫外灯光电离装置、方法及质谱仪审中-实审
公开(公告)号：CN116013763A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310052099.9
申请日：2023-02-02
申请人：清华大学深圳国际研究生院
发明人：余泉 , 朱艳平 , 叶铃敏 , 王晓浩
IPC分类号： H01J49/16 , H01J49/26
摘要：本发明公开了一种氢气辅助紫外灯光电离装置、方法及质谱仪，该装置包括紫外灯、载气通路、氢气供应单元、真空腔体、离子阱以及样品供应单元，离子阱设置在真空腔体内，氢气供应单元与样品供应单元通过载气通路连接真空腔体，以分别向真空腔体内引入氢气和挥发的气体样品，紫外灯安装于真空腔体内，紫外灯照射紫外光以将样品分子光电离成离子，且氢气吸收紫外光的能量，断开化学键并形成氢原子，氢原子吸收紫外光形成激发态H*，激发态H*撞击样品分子而产生潘宁效应，使得样品分子离子化，由此同时实现紫外灯光电离和氢气辅助电离，产生的离子存储在离子阱内以进行样品分析。本发明使得信号灵敏度提升两个数量级，并有利于提高质谱仪的分辨率。

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