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41. 发明授权

CN111164401B 微机械设备和用于制造微机械设备的方法有权
公开(公告)号：CN111164401B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201880062680.6
申请日：2018-07-16
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： V·森兹 , T·弗里德里希 , F·霍伊克 , M·施瓦茨
IPC分类号： G01L9/12 , B81C1/00 , G01L9/00 , G01L19/06
摘要：本发明涉及一种微机械设备(1a；1b；1c)，该微机械设备具有载体衬底(2)；传感器装置(3)，该传感器装置与所述载体衬底(2)的表面区段(4)间隔开地借助于弹簧元件(9)布置在所述载体衬底(2)处，使得所述传感器装置(3)能够相对于所述表面区段(4)振动；和至少一个布置在所述传感器装置(3)和/或所述载体衬底(2)的所述表面区段(4)处的停止器元件(51、52)，该停止器元件限制所述传感器装置(3)朝着所述表面区段(4)的方向的偏移。

42. 发明公开

CN113683050A 用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件审中-实审
公开(公告)号：CN113683050A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110538506.8
申请日：2021-05-18
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： H·韦伯 , A·朔伊尔勒 , J·弗里茨 , P·施莫尔格鲁贝尔 , S·马赫 , T·弗里德里希
IPC分类号： B81B7/02 , B81B7/00
摘要：本发明涉及一种用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件，其具有：衬底；框架结构，其布置在衬底表面和/或至少一个中间层上；膜片，其跨越由框架结构至少部分地围绕的内部体积，其中，内部体积以气密的方式如此密封，使得膜片能够借助存在于其膜片内侧上的内压(p1)与存在于其膜片外侧上的外压(p2)之间的压差而翘曲，其中，该微机械构件具有布置在内部空间中的弯曲梁结构，该弯曲梁结构具有固定在框架结构、衬底表面和/或至少一个中间层上的至少一个锚固区域且具有至少一个自承载区域，该至少一个自承载区域通过至少一个耦合结构如此连接在膜片的膜片内侧上，使得至少一个自承载区域能够借助膜片的翘曲而弯曲。

43. 发明公开

CN113661384A 传感器装置和用于制造传感器装置的方法审中-实审
公开(公告)号：CN113661384A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202080028172.3
申请日：2020-03-26
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： H·阿尔特曼 , V·森兹 , T·弗里德里希 , C·赫尔梅斯 , P·施莫尔林格鲁贝尔 , H·韦伯
IPC分类号： G01L9/00 , G01L19/06
摘要：本发明实现一种传感器装置(1)，包括：衬底(2)；在衬底上的至少一个电气绝缘层(30、31)；边缘结构(RS)，该边缘结构设置在该至少一个电气绝缘层(30、31)上且在衬底(2)之上限制内部区域(IB)；隔膜(3)，该隔膜锚定在边缘结构(RS)上且至少部分跨越内部区域(IB)，其中隔膜(3)在内部区域(IB)中包括通过压力(p)可动的区域(BB)；第一中间载体(ZT1)，该第一中间载体在可动的区域(BB)中在隔膜(3)之下延伸且与隔膜(3)通过接触部位(KS)电气和机械连接且包括至少一个间隔元件(3a)，该间隔元件由中间载体(ZT1)朝衬底(2)的方向延伸；以及在该至少一个电气绝缘层(30、31)上的第一对应电极(E1)，其中该第一对应电极(E1)在中间载体(ZT1)之下延伸，且其中在中间载体(ZT1)与第一对应电极(E1)之间的第一间隔(d12)通过到可动的区域(BB)上的压力(p)是可改变的；且其中第一对应电极(E1)在中间载体(ZT1)之下包括至少一个电气隔离的区域(EB)，该电气隔离的区域设置在间隔元件(3a)之下且具有间隔元件(3a)的至少一个横向扩展。

44. 发明公开

CN113226977A 具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法审中-实审
公开(公告)号：CN113226977A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085041.6
申请日：2019-12-17
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： T·弗里德里希 , K·德塞尔 , C·赫尔梅斯
IPC分类号： B81B7/04 , B81C1/00 , G01L9/00
摘要：本发明涉及一种具有膜片的EMS传感器，其中，所述膜片的基面借助于环绕的壁结构限界，其中，所述基面具有至少两个部分区域，其中，所述部分区域中的至少一个部分区域能偏移地布置，其中，所述至少两个部分区域借助于至少一个分隔结构相对彼此分开或者通过该分隔结构限界，其中，所述分隔结构具有用于使流体通过的至少一个流体通道。

45. 发明公开

CN111936413A 在MEMS元件和ASIC元件上的键合结构审中-公开
公开(公告)号：CN111936413A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201980022934.6
申请日：2019-03-07
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： V·森兹 , T·弗里德里希 , F·霍伊克 , P·施莫尔林格鲁贝尔 , M·施瓦茨 , J·托马斯科
IPC分类号： B81C1/00
摘要： MEMS元件(100)，具有：‑衬底(10)；‑布置在所述衬底(10)上的第一钝化层(20)；‑布置在所述第一钝化层(20)上的金属层(30)；‑在所述金属层(30)上并且在所述第一钝化层(20)上布置的第二钝化层(40)；和‑凸模元件(60)，其中，在所述凸模元件(60)上并且在所述第二钝化层(40)上布置有能导电的扩散阻隔层(50)，其中，在所述凸模元件(60)上布置有第一键合元件(70)。

46. 发明授权

CN102548805B 用于自适应地衰减碰撞能量的装置和方法失效
公开(公告)号：CN102548805B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201080042472.3
申请日：2010-07-27
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： T·弗里德里希 , W·纳格尔
IPC分类号： B60R19/34
CPC分类号： B60R19/34 , B60R2019/007 , B60R2019/262 , F16F7/125
摘要：本发明提出一种用于自适应地衰减碰撞能量的装置和方法，其中，设有变形元件，该变形元件为了衰减碰撞能量而沿一个方向执行第一运动并且同时变细。此外，还设有致动机构，该致动机构根据控制信号设定用于自适应衰减的变细程度。所述致动机构是为沿所述第一运动的方向的轴线的第二运动而设计的，以便设定所述变形元件的变细程度，其中，由于所述第二运动，所述致动机构能够固定带有相应孔的至少一个模板以设定变细程度，所述变形元件被驱使穿过所述相应孔。由所述致动机构固定的模板的数量取决于所述控制信号。各自被固定的模板引起所述变形元件变细。

47. 发明公开

CN102387983A 微机械结构以及用于调整微机械结构的工作间隙宽度的方法失效
公开(公告)号：CN102387983A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200980129796.8
申请日：2009-06-15
申请人：罗伯特.博世有限公司
发明人： T·弗里德里希 , D·C·迈泽尔 , C·劳德兹斯
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
摘要：本发明涉及一种微机械结构(1)，尤其是传感器或执行器，包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6，7，8，9)限制的工作间隙(4，5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定，该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6，7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8，9)进行调节来扩宽该工作间隙(4，5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。

48. 发明授权

CN112789240B 用于建立晶片连接的方法有权
公开(公告)号：CN112789240B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN201980065389.9
申请日：2019-09-24
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： V·森兹 , T·弗里德里希 , F·霍伊克 , P·施莫尔林格鲁贝尔 , F·罗尔夫林 , J·托马斯科
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/00
摘要：凸模结构至少部分被所述共晶合金包围。本发明涉及一种用于在第一晶片和第二晶片之间建立晶片连接的方法，所述方法包括以下步骤：‑提供第一材料和第二材料以形成共晶合金，‑提供第一晶片，该第一晶片具有用于凸模结构的接收结构，‑用所述第一材料填充所述接收结构，‑提供具有凸模结构的第二晶片，其中，在所述凸模结构上布置所述第二材料，‑提供在第一晶片和/或第二晶片上的止挡结构，使得在这两个晶片接合时提供限定的止挡，‑至少将所述第一材料和第二材料至少加热到所述共晶合金的共晶温度，‑将所述第一晶片和第二晶片接合，使得所述凸模结构至少部分地插入到所述接收结构中，其中，确定所述止挡结构、所述接收结构、所述凸模结构的尺寸以及第一材料和第二材

49. 发明授权

CN112055673B 用于高度自动化车辆或者自动驾驶车辆的多回路的液压开启的制动系统有权
公开(公告)号：CN112055673B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN201980026588.9
申请日：2019-04-05
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： T·弗里德里希 , D·德罗特勒夫 , R·克勒曼 , D·布伦德费尔 , B·欣茨
IPC分类号： B60T8/32
摘要：本发明涉及一种尤其用于高度自动化车辆或者自动驾驶车辆的、多回路的液压开启的制动系统(1)，其具有：至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)，其分别配属于带有减压路径(9.1、9.2)的制动回路(BK1、BK2)；两个压力发生器(12、22)，其液压并联连接在至少一个流体容器(17、27)与至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)之间；以及调制单元(16)，其用于将压力发生器(12、22)与至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)液压连接并且用于在至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)中进行个性化的制动压力调制，并且本发明涉及一种相应的用于多回路的液压开启的制动系统(1)的运行方法，其中第一压力发生器(12)配属于主系统(10)，其包括第一能量供给单元(EV1)和第一计算及控制单元(14)并且能够通过第一截止阀(V1)与第一制动回路(BK1)的至少一个车轮制动器(RB1、RB2)相连接并且能够通过第二截止阀(V2)与第二制动回路(BK2)的至少一个车轮制动器(RB3、RB4)相连接；其中第二压力发生器(22)配属于次级系统(20)，其包括独立于所述第一能量供给单元(EV1)的第二能量供给单元(EV2)以及第二计算及控制单元(24)并且能够通过第三截止阀(V3)与所述第一制动回路(BK1)的至少一个车轮制动器(RB1、RB2)相连接并且能够通过第四截止阀(V4)与所述第二制动回路(BK2)的至少一个车轮制动器(RB3、RB4)相连接；其中所述第二计算及控制单元(24)操控所述第二压力发生器(22)，并且其中用于进行个性化的制动压力调制的调制单元(16)的组件配属于主系统(10)，从而使得调制单元(16)的这些组件以及所述第一压力发生器(12)由所述第一计算及控制单元(14)操控并且由所述第一能量供给单元(EV1)供给能量。

50. 发明公开

CN114731123A 用于运行机动车辆的方法、用于机动车辆的设备、机动车辆审中-实审
公开(公告)号：CN114731123A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080083193.5
申请日：2020-11-17
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： T·弗里德里希 , P·福伊尔施塔克 , F·弗兰克
IPC分类号： H02P3/18
摘要：本发明涉及一种用于运行机动车辆（1）的方法，该机动车辆具有拥有至少三个相位的电机（7）、电能量存储器（13）和拥有多个切换元件的功率电子器件（12），其中，功率电子器件（12）的切换元件被操控用于将相位与能量存储器（13）电连接起来，以用于产生发电机式的减速力矩。设置的是，求取机动车辆（1）的行驶状况，其中，根据所求取的行驶状况从至少两种可行的操控方法的组类中挑选操控方法，并且其中，根据所挑选的操控方法来操控切换元件。

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