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1. 发明公开

CN116134577A 离子枪和真空处理设备审中-实审
公开(公告)号：CN116134577A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202180059511.9
申请日：2021-07-08
申请人：佳能安内华股份有限公司
发明人：广石勉 , 坂本怜士 , 药师神弘士
IPC分类号： H01J37/08
摘要：一种离子枪，具有：阳极；面对阳极的具有第一部分和第二部分的阴极；在第一部分和第二部分之间形成空间磁场的磁体。在阴极的第一部分和第二部分之间设置包括曲线部的环状间隙。在曲线部的第一部分和第二部分之间，磁体形成磁力线，该磁力线具有比间隙的截面中心线靠近内侧的底部。

2. 发明公开

CN115989578A 层叠体和层叠体制造方法审中-实审
公开(公告)号：CN115989578A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202180052501.2
申请日：2021-05-18
申请人：佳能安内华股份有限公司
发明人：药师神弘士 , 坂本怜士 , 芝本雅弘
IPC分类号： H01L23/12
摘要：本发明提出：可以改善树脂层和籽晶层之间的粘合性的层叠体；以及用于制造该层叠体的方法。层叠体依次具有基板、第一布线层、树脂层和第二布线层。第二布线层依次具有至少粘合层和籽晶层。

3. 发明授权

CN114008733B X射线产生管、X射线产生装置以及X射线成像装置有权
公开(公告)号：CN114008733B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN201980097775.6
申请日：2019-06-24
申请人：佳能安内华股份有限公司
发明人：辻野和哉
IPC分类号： H01J35/14 , H01J35/08
摘要： X射线产生装置设置有：电子枪；以及阳极，所述阳极具有靶材，所述靶材当与来自所述电子枪的电子碰撞时产生X射线。所述电子枪包括具有电子发射部的阴极、引出从所述电子发射部发射的电子的引出电极、和对由所述引出电极引出的电子进行聚焦的聚焦电极。所述聚焦电极包括具有管形状的第1部分和配置于所述第1部分的内侧的第2部分。所述第1部分具有与所述阳极面对的前端部，所述第2部分具有与所述阳极相对的相对表面，所述相对表面具有使来自所述电子发射部的电子通过的电子通过孔。所述前端部与所述阳极之间的距离比所述相对表面与所述阳极之间的距离小。所述前端部的热导率比所述第2部分的热导率低。

4. 发明授权

CN113272931B X射线产生管、X射线产生装置及X射线成像装置有权
公开(公告)号：CN113272931B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN201880100495.1
申请日：2018-12-28
申请人：佳能安内华股份有限公司
发明人：安藤洋一
IPC分类号： H01J35/16 , H01J35/08
摘要： X射线产生管具备：绝缘管，具有第1开口端及第2开口端；阴极，包括电子发射源，并且被配置为关闭所述绝缘管的所述第1开口端；阳极，包括通过与来自所述电子发射源的电子碰撞而产生X射线的靶，并且被配置为关闭所述绝缘管的所述第2开口端；以及管状导电构件，在所述绝缘管的内部空间中从所述阳极延伸。所述绝缘管在远离所述第1开口端并且远离所述第2开口端的位置处包括管状肋。所述管状肋当从所述管状导电构件的在所述阴极侧的端部观看时被配置于径向方向。

5. 发明授权

CN113316833B 电子枪、X射线产生装置以及X射线成像装置有权
公开(公告)号：CN113316833B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201880100506.6
申请日：2018-12-28
申请人：佳能安内华股份有限公司
发明人：辻野和哉 , 野村一郎
IPC分类号： H01J1/46 , H01J35/14
摘要：电子枪可以设置有具有电子发射部的阴极、引出从所述电子发射部发射的电子的引出电极以及使由所述引出电极引出的电子聚焦的聚焦电极。所述聚焦电极包括具有管形状的外侧电极以及被配置在所述外侧电极的内侧的内侧电极，所述内侧电极定义柱状的第1空间，并且具有在所述阴极侧的第1表面以及与所述第1表面相对的第2表面，所述外侧电极的内侧表面和所述内侧电极的所述第2表面定义第2空间。所述内侧电极具有使电子通过的电子通过孔以及使所述第1空间与所述第2空间连通的连通部。

6. 发明公开

CN114799164A 结构体及其制造方法审中-实审
公开(公告)号：CN114799164A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210453282.5
申请日：2017-11-06
申请人：佳能安内华股份有限公司 , 佳能株式会社
发明人：池本学 , 德永博之
IPC分类号： B22F3/00 , B22F7/08 , C22C1/04 , C23C14/08 , C23C14/16 , C23C14/22 , C23C14/34 , C01B3/00 , B01J20/02 , B01J20/28 , B01J20/30
摘要：本发明提供结构体及其制造方法。一种结构体，其中各自包含吸氢金属元素的多个粒子被配置在固定构件中，使得多个粒子相互隔离。所述多个粒子各自的表面的全体被所述固定构件包围。

7. 发明公开

CN114666965A 等离子体处理装置审中-实审
公开(公告)号：CN114666965A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210269625.2
申请日：2017-06-27
申请人：佳能安内华股份有限公司
发明人：井上忠 , 田名部正治 , 关谷一成 , 笹本浩 , 佐藤辰宪 , 土屋信昭
IPC分类号： H05H1/46 , C23C16/505 , H01J37/34 , H05H1/34 , H05H1/36
摘要：等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配置为经由阻抗匹配电路和巴伦向第一电极供给高频；低通滤波器；以及第二电源，被配置为经由低通滤波器向第一电极供给电压。

8. 发明授权

CN114341607B 电离真空计和匣盒有权
公开(公告)号：CN114341607B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201980099766.0
申请日：2019-09-13
申请人：佳能安内华股份有限公司
发明人：川崎洋補
IPC分类号： G01L21/34
摘要：该电离真空计包括阳极、阴极和电磁波源。阴极包括第一阴极板，该第一阴极板包括：阳极通过的贯通孔；和储存电磁波源的储存部。第一阴极板在储存部和贯通孔之间包括允许由电磁波源产生的电磁波通过的通路。

9. 发明公开

CN114303221A X射线产生装置以及X射线摄像装置审中-实审
公开(公告)号：CN114303221A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN201980099849.X
申请日：2019-09-03
申请人：佳能安内华股份有限公司
发明人：川濑顺也
IPC分类号： H01J35/16 , H01J35/08
摘要： X射线产生装置具备X射线产生管、电压供给部、收纳容器和绝缘构件，所述X射线产生管具有阴极以及阳极，所述阴极包含沿第1方向发射电子的电子发射部，所述阳极包含通过与自所述电子发射部放射的电子碰撞而产生X射线的靶，所述电压供给部借助导电线向所述X射线产生管供给电压，所述收纳容器具有第1部分、第2部分以及连结部，所述第1部分形成用于收纳所述电压供给部的第1空间，所述第2部分形成第2空间，所述第2空间收纳所述X射线产生管，并且与所述第1方向正交的第2方向上的宽度比所述第1空间小，所述连结部以形成使所述第1空间与所述第2空间连通而成的内部空间的方式使所述第1部分以及所述第2部分相互连结，所述连结部具有朝向所述内部空间变尖的凸部，所述绝缘构件以环绕所述导电线以及所述阴极中的至少一者的至少一部分的方式配置于所述内部空间。所述绝缘构件配置为将所述导电线与所述凸部之间的至少最短路径阻断，所述绝缘构件配置为具有使至少两个构件利用粘接材料结合而成的构造，将所述粘接材料与所述导电线之间的直线路径以及所述粘接材料与所述阴极之间的直线路径阻断。

10. 发明公开

CN114127332A 负载锁定装置有权
公开(公告)号：CN114127332A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202080051147.7
申请日：2020-09-02
申请人：佳能安内华股份有限公司
发明人：三浦顺 , 福田直哉 , 熊谷修二 , 高城信二 , 户田哲郎 , 下川英利 , 根岸智 , 野村聪志 , 添田纯也
IPC分类号： C23C14/56 , C23C16/44 , H01J37/32
摘要：负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。

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