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1. 发明公开

CN101437602A 离子平衡监视器有权
公开(公告)号：CN101437602A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200580037197.5
申请日：2005-10-28
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人： B·T·威廉姆斯 , J·基尔斯 , M·A·诺拉斯
IPC分类号： B01D59/44
CPC分类号： H05F3/06
摘要：一种离子平衡监视器，用于通过测量因由例如空气(气体)离子发生器产生的空气离子的出现所产生的电流来同时监视正负离子产生速率以及由此的离子浓度。另外，它通过比较前述电流来检查离子平衡。通过这种方法获得的信息可被用来实时监视离子发生器。不管是哪种类型的离子发生器，两种极性的离子的离子平衡和产生速率都可通过离子监视器来记录。离子监视器可提供使离子发生器系统保持平衡所需的反馈信号。

2. 发明公开

CN1285915A 用于静电力显微镜的带悬臂梁静电力检测器失效
公开(公告)号：CN1285915A
公开(公告)日：2001-02-28
申请号：CN98812846.2
申请日：1998-10-30
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人：伊藤彰义 , 中川活二 , 谷掌 , 上原利夫 , B·T·威廉姆斯
IPC分类号： G01N27/60
CPC分类号： G01Q40/00 , G01Q60/30 , G01Q60/40 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要：一种利用悬臂梁传感器(12)的原子力显微镜,它受到测试单元(40)内电荷的静电力影响。悬臂梁检测器比较好是由镍箔制成。在三维图中可以绘出电荷分布和样品厚度。

3. 发明公开

CN1575420A 用于非接触静电探测器的传感器失效
公开(公告)号：CN1575420A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN02821263.0
申请日：2002-08-23
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人： J·基里斯 , 上原利男 , B·T·维廉姆斯
IPC分类号： G01R5/28
CPC分类号： G01R29/12
摘要：一种静电探测器的传感器包括一个以悬臂梁的形式支撑在一端的机械节点上的延长的振动元件，一个在靠近另一端的该振动元件上，适合于被设置成朝向被测量的电荷，电场或电势的灵敏电极，以及一个在振动元件上用于在改变该电极和被测量的电荷，电场或电势之间的电容耦合的方向上振动该元件的驱动变换器。驱动变换器在沿该悬臂梁的位置并在一个振动频率下工作，这样沿该悬臂梁显示一个虚机械节点。这反过来防止机械节点的振动，因此机械节点的刚硬度不会影响工作频率和/或悬臂梁的自由端的位移。悬臂梁的振动的幅度以及在梁的该端的探测器的运动幅度独立于传感器/探头的质量和/或用于将传感器/探头置于其相关于试验表面或区域的测量位置的诸如夹持/保持夹具的质量。因此使电气性能稳定，独立于所使用的具体夹持/保持结构。一个放大器和灵敏电极被结合在振动元件上的一个组合件内，从而提供一个低阻抗的放大器输出，这样反过来又使振动元件周围的间隔更小，防止污染物的进入。振动元件可以配备一种允许以各种空间分辨率性能进行测量的结构。该振动元件的振动的强度被基本在机械安装节点处检测，并被一个电路利用来控制振动的幅度。

4. 发明公开

CN109073674A 具有改进的屏蔽的静电力检测器以及使用静电力检测器的方法无效
公开(公告)号：CN109073674A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780020458.5
申请日：2017-04-10
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人：上原利夫 , 东尾順平
IPC分类号： G01Q60/30 , G01N27/60 , G01R29/12 , G01Q60/24 , G01Q60/32 , G01R29/24
摘要：一种用于测量被测表面(“SUT”)的静电力的静电力检测器(“EFD”)包括：包含悬臂和探针的力检测器。EFD具有屏蔽件，该屏蔽件具有探针延伸穿过的孔并被定位成防止来自SUT的静电到达悬臂以及探针的大部分，并且防止光到达SUT。一种用于为测量SUT上的电荷的EFD选择电压范围的方法包括：利用EFD在估计的电压范围端点处或估计的电压范围端点附近对两个电压进行测量，以及随后对极性进行对比。如果极性不同，选择估计的电压范围。但是，如果极性相同，则调整估计的电压范围以提供新的估计的电压范围，出于确定SUT上的电荷是否在该范围内的目的，该新的估计的电压范围随后将被测试。

5. 发明公开

CN106165039A 用于夹紧工件的系统和方法有权
公开(公告)号：CN106165039A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580007757.6
申请日：2015-02-09
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人：上原利夫 , P·麦凯恩 , D·赫曼
IPC分类号： H01G7/02
CPC分类号： H01L21/6833 , H01G7/02
摘要：公开了夹紧系统和夹紧工件的方法。夹紧系统具有静电夹件和高阻抗伏特计(“HIV”)。静电夹件可以包括台板和嵌入台板的多个电极。在使用中，嵌入电极中的至少一些提供电容的一侧，并且工件提供电容的另一侧，以便当嵌入电极中的至少一些通电时相对于台板固持工件。HIV电连接至嵌入电极中的至少一些。

6. 发明授权

CN102081362B 用于控制静电夹钳的系统及方法有权
公开(公告)号：CN102081362B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201010510604.2
申请日：2010-08-09
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人： P·麦卡恩 , 上原利夫
IPC分类号： G05B19/04
CPC分类号： H01L21/6833 , G05B2219/35011
摘要：本发明公开了一种用于控制、监测和优化静电夹钳的系统。在本发明的一个实施例中，有计算机、控制电路和至少一个放大器。同样，可包括信号评价电路并且用于提供感测信号至控制电路的输出信号。该信号评价电路可以提供能够用于监测静电夹钳的电容的感测信号。另外，信号评价电路可以包括监测静电夹钳性能的线路并且提供性能信息给控制电路。

7. 发明授权

CN100354632C 用于非接触静电探测器的传感器失效
公开(公告)号：CN100354632C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN02821263.0
申请日：2002-08-23
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人： J·基里斯 , 上原利男 , B·T·维廉姆斯
IPC分类号： G01R5/28
CPC分类号： G01R29/12
摘要：一种静电探测器的传感器包括一个以悬臂梁的形式支撑在一端的机械节点上的延长的振动元件，一个在靠近另一端的该振动元件上，适合于被设置成朝向被测量的电荷，电场或电势的灵敏电极，以及一个在振动元件上用于在改变该电极和被测量的电荷，电场或电势之间的电容耦合的方向上振动该元件的驱动变换器。驱动变换器在沿该悬臂梁的位置并在一个振动频率下工作，这样沿该悬臂梁显示一个虚机械节点。这反过来防止机械节点的振动，因此机械节点的刚硬度不会影响工作频率和/或悬臂梁的自由端的位移。悬臂梁的振动的幅度以及在梁的该端的探测器的运动幅度独立于传感器/探头的质量和/或用于将传感器/探头置于其相关于试验表面或区域的测量位置的诸如夹持/保持夹具的质量。因此使电气性能稳定，独立于所使用的具体夹持/保持结构。一个放大器和灵敏电极被结合在振动元件上的一个组合件内，从而提供一个低阻抗的放大器输出，这样反过来又使振动元件周围的间隔更小，防止污染物的进入。振动元件可以配备一种允许以各种空间分辨率性能进行测量的结构。该振动元件的振动的强度被基本在机械安装节点处检测，并被一个电路利用来控制振动的幅度。

8. 发明授权

CN1244817C 带悬臂与屏蔽的静电力显微镜以及确定静电力、膜厚度的方法失效
公开(公告)号：CN1244817C
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN99815447.4
申请日：1999-11-05
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人：上原利男 , B·T·威廉姆斯 , 伊藤秋吉 , 中川克二 , 谷万武
IPC分类号： G01R29/12 , G01B7/06
CPC分类号： G01Q60/30 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要：一种测量被测样品(40)的静电力的静电力显微镜，包括：检测器(10)，其悬臂(12)在一端有一尖头形状(14)，且定位成在尖头上由被测样品上的静电电荷感应出静电力；光学系统(20)，用于将头头上感应的静电力造成的悬臂弯曲转换成电信号，且含有尖头上感应的静电力的频率分量；向检测器加偏压的源(92)；检测器电路(30)，用于检测检测器尖头感应的静电力的频率分量，中测量被测样品上的静电力；以及在操作上与悬臂相关联的静电屏蔽。

9. 发明授权

CN1138980C 用于静电力显微镜的带悬臂梁静电力检测器及其检测方法失效
公开(公告)号：CN1138980C
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：CN98812846.2
申请日：1998-10-30
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人：伊藤彰义 , 中川活二 , 谷掌 , 上原利夫 , B·T·威廉姆斯
IPC分类号： G01N27/60
CPC分类号： G01Q40/00 , G01Q60/30 , G01Q60/40 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要：一种静电力显微镜，其中通过获得几种不同形状检测器上的电场分布确定施加在检测器上的静电力，与此同时利用有限元方法计算检测器附近的电压分布以指导测试时表面绝对电荷量的测量，从而可以从平行平板模型确定分析与结果的差异。感兴趣的是测试介电材料厚度变化引起的电荷检测误差有多大。提供的检测器用于静电力显微镜的带有空间分辨率为10微米的合适形状的悬臂梁，它由镍箔制成，并且计算了其上的静电力。

10. 发明公开

CN1333875A 带悬臂与屏蔽的静电力检测器失效
公开(公告)号：CN1333875A
公开(公告)日：2002-01-30
申请号：CN99815447.4
申请日：1999-11-05
申请人：特瑞克股份有限公司
发明人：上原利男 , B·T·威廉姆斯 , 伊藤秋吉 , 中川克二 , 谷万武
IPC分类号： G01R29/12 , G01B7/06
CPC分类号： G01Q60/30 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要：一种测量被测样品(40)的静电力的静电力显微镜,包括:检测器(10),其悬臂(12)在一端有一尖头形状(14),且定位成在尖头上由被测样品上的静电电荷感应出静电力;光学系统(20),用于将尖头上感应的静电力造成的悬臂弯曲转换成电信号,且含有尖头上感应的静电力的频率分量;向检测器加偏压的源(92);检测器电路(30),用于检测检测器尖头感应的静电力的频率分量,中测量被测样品上的静电力;以及在操作上与悬臂相关联的静电屏蔽。

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