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    • 95. 发明专利
    • 超音波流量測量裝置
    • 超音波流量测量设备
    • TW504568B
    • 2002-10-01
    • TW089104974
    • 2000-03-17
    • 松下電器產業股份有限公司
    • 岩永茂梅景 康裕
    • G01F
    • G01F1/662G01F1/667G01F1/72G01F15/02
    • 本發明之超音波流量測量裝置具有:測量流路6,被測量流體從中流過;超音波送收信器8、9,設置於上述測量流路6的上游側及下游側;上游側及下游側之開口孔11、12,使上述超音波送收信器8、9面向上述測量流路6;第一流入抑制體15,至少設置於下游側的開口孔12的附近,抑制被測量流體流入開口孔12;第二流入抑制體16,設置於上述測量流路6的上游側,抑制被測量流體流入上述開口孔11、12;測量控制部19,測量上述超音波送收信器間8、9的超音波的傳播時間;及演算部20,根據該測量控制部19的信號算出流量。下游側的開口孔12上所設置的第一流入抑制體15具有一開口孔密封部21,其具有至少一個超音波穿透過孔22。藉此,可使超音波送收信器間的流動安定化,提高超音波的收信位準,提高測量精確度及可測量流量的上限值,降低超音波送收信器的驅動輸入。
    • 本发明之超音波流量测量设备具有:测量流路6,被测量流体从中流过;超音波送收信器8、9,设置于上述测量流路6的上游侧及下游侧;上游侧及下游侧之开口孔11、12,使上述超音波送收信器8、9面向上述测量流路6;第一流入抑制体15,至少设置于下游侧的开口孔12的附近,抑制被测量流体流入开口孔12;第二流入抑制体16,设置于上述测量流路6的上游侧,抑制被测量流体流入上述开口孔11、12;测量控制部19,测量上述超音波送收信器间8、9的超音波的传播时间;及演算部20,根据该测量控制部19的信号算出流量。下游侧的开口孔12上所设置的第一流入抑制体15具有一开口孔密封部21,其具有至少一个超音波穿透过孔22。借此,可使超音波送收信器间的流动安定化,提高超音波的收信位准,提高测量精确度及可测量流量的上限值,降低超音波送收信器的驱动输入。
    • 96. 发明专利
    • 流量測定之方法與裝置 METHOD AND APPARATUS FOR FLOW MEASUREMENT
    • 流量测定之方法与设备 METHOD AND APPARATUS FOR FLOW MEASUREMENT
    • TW200900665A
    • 2009-01-01
    • TW096150913
    • 2007-12-28
    • 巴特斯微科技公司 BARTELS MIKROTECHNIK GMBH
    • 法蘭克 巴特斯 BARTELS, FRANK馬克斯 羅威特 RAWERT, MARKUS
    • G01F
    • G01F1/72G01F3/20G01F3/225
    • 本發明揭示一種用於計量較佳係液體,但亦計量氣態流體之體積流量的裝置及方法。測定設備之基本組件係一可活動式支撐膜,其可在一側上與遞送媒介之壓力以流體連通。尤其係在脈動遞送構件(例如膜幫浦)中遭遇之壓力波動導致在測定室及在測定膜處之週期性壓力波動。若脈動係由於非脈動遞送構件之使用而不出現,則該脈動可藉由一額外脈動器件產生。藉由一適合感測器,尤其係當彎曲時產生電壓的壓電材料,可確定測定膜之週期性改變偏轉,及例如轉移至一評估電子器件。在一特別較佳具體實施例中,分別用於遞送或脈動及測定之器件,係由幾乎相同元件組成且係整合至一共同外罩中。
    • 本发明揭示一种用于计量较佳系液体,但亦计量气态流体之体积流量的设备及方法。测定设备之基本组件系一可活动式支撑膜,其可在一侧上与递送媒介之压力以流体连通。尤其系在脉动递送构件(例如膜帮浦)中遭遇之压力波动导致在测定室及在测定膜处之周期性压力波动。若脉动系由于非脉动递送构件之使用而不出现,则该脉动可借由一额外脉动器件产生。借由一适合传感器,尤其系当弯曲时产生电压的压电材料,可确定测定膜之周期性改变偏转,及例如转移至一评估电子器件。在一特别较佳具体实施例中,分别用于递送或脉动及测定之器件,系由几乎相同组件组成且系集成至一共同外罩中。
    • 97. 发明专利
    • 脈衝質流測量系統及方法 PULSED MASS FLOW MEASUREMENT SYSTEM AND METHOD
    • 脉冲质流测量系统及方法 PULSED MASS FLOW MEASUREMENT SYSTEM AND METHOD
    • TW200634289A
    • 2006-10-01
    • TW094144763
    • 2005-12-16
    • MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
    • 克拉克 CLARK, WILLIAM R.
    • G01FC23C
    • G01F1/363G01F1/72G01F1/88
    • 一種系統,其係用於測量由一上游氣體源通過該氣體源之一開關式閥而傳送至一下游處理室的氣體之脈衝質流率。該系統包含:一用於連接該氣體源至該處理室的通道,一使該通道分成上游部份與下游部份的限流器(flow restrictor)裝置,一提供該通道上游部份內之壓力測量值的壓力傳感器(transducer),一提供該通道上游部份內之溫度測量值的溫度探測器,以及一連接至該壓力傳感器以及該溫度探測器的CPU。該CPU係經程式化成可由該壓力傳感器接收壓力測量值、由該溫度探測器接收溫度測量值、且使用該等壓力測量值與該等溫度測量值計算通過該通道的質流率。
    • 一种系统,其系用于测量由一上游气体源通过该气体源之一开关式阀而发送至一下游处理室的气体之脉冲质流率。该系统包含:一用于连接该气体源至该处理室的信道,一使该信道分成上游部份与下游部份的限流器(flow restrictor)设备,一提供该信道上游部份内之压力测量值的压力传感器(transducer),一提供该信道上游部份内之温度测量值的温度探测器,以及一连接至该压力传感器以及该温度探测器的CPU。该CPU系经进程化成可由该压力传感器接收压力测量值、由该温度探测器接收温度测量值、且使用该等压力测量值与该等温度测量值计算通过该信道的质流率。