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    • 14. 发明专利
    • Seal structure
    • AU2017414095A1
    • 2019-11-14
    • AU2017414095
    • 2017-05-11
    • VALQUA LTD
    • YAMAMOTO TAKAHIROJING CHAOMINAMI MITSURUUEDA AKIRANORIDUKI YUKI
    • F16J15/18E21B10/22
    • Provided is a seal structure capable of improving the service life of a seal material. This seal structure (1) is provided with an annular seal material (10). The seal material (10) is disposed, in a sliding clearance between a shaft (20) and a case (30), in a seal groove (31) formed in the case (30). The case (30) has a low pressure-side surface part (32) in a seal structure (1) cross section on a virtual plane which is parallel with an axial direction (DR1) of the shaft (20) and passes through the center line (C1) of the shaft (20). The seal material (10) includes a first protrusion part (11). The first protrusion part (11) protrudes from the main body part (12) having a bottom surface (13) contacting the low-pressure side surface part (32), and has a shape extending so as to approach the shaft (20) when extending toward the low-pressure side. The first protrusion part has a tip part (14). The first protrusion part has a contact region (S) contacting the shaft (20). The tip part (14) is provided at a position closer to the low-pressure side than the contact region (S).
    • 15. 发明专利
    • Dichtungsteil und Substrat-bearbeitende Vorrichtung mit einem Dichtungsteil
    • DE102006029425B4
    • 2019-09-19
    • DE102006029425
    • 2006-06-27
    • VALQUA LTD
    • HAYASHI DAISUKEMURAMATSU AKIRA
    • F16J15/02B01J3/03C23F4/00F16J15/00F16J15/06H01L21/3065
    • Dichtungsteil (46) in einer Substrat-bearbeitenden Vorrichtung (10), die ein druckreduziertes Gefäß (11) aufweist, in dem eine hochelastische polymerische materialerodierende Erodiersubstanz vorhanden ist, und die eine vorbestimmte Bearbeitung an einem Substrat (W) ausführt, das in dem druckreduzierten Gefäß (11) aufgenommen ist, wobei das Dichtungsteil (46) eine Innenseite des druckreduzierten Gefäßes (11) gegenüber der Außenseite abdichtet, wobei das Dichtungsteil (46) umfasstein erstes Element (47), das auf einer Innenseite des druckreduzierten Gefäßes (11) angeordnet ist und gegenüber der Erodiersubstanz beständig ist,ein zweites Element (48), das aus dem hochelastischen polymerischen Material gefertigt ist und auf einer Außenseite des druckreduzierten Gefäßes (11) angeordnet ist, undmindestens einen Raum (48f, 48g), der durch mindestens einen Teil des ersten Elements (47) und mindestens einen Teil des zweiten Elements (48), die voneinander getrennt sind, ausgebildet ist,wobei das erste Element (47) und das zweite Element (48) zusammengefügt sind,dadurch gekennzeichnet, dassder mindestens eine Raum (48f, 48g) ein umschlossener Raum (48f, 48g)) ist, der durch den Kontakt des ersten Elements (47) und des zweiten Elements (48) miteinander an wenigstens zwei Abschnitten ausgebildet wird, wobei der umschlossene Raum (48f, 48g) innerhalb des ersten Elements (47) vorgesehen ist.