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    • 20. 发明授权
    • Method and apparatus for machining material with a liquid-guided laser
beam
    • 用液体引导激光束加工材料的方法和装置
    • US5902499A
    • 1999-05-11
    • US750130
    • 1997-02-28
    • Bernold Richerzhagen
    • Bernold Richerzhagen
    • B26F3/00B23K26/06B23K26/064B23K26/14B23K26/146G02B1/06G02B6/032B23K26/00
    • G02B6/032B23K26/06B23K26/064B23K26/0648B23K26/0665B23K26/1423B23K26/146G02B1/06Y10T83/0591Y10T83/364
    • An arrangement for processing material with a liquid jet comprising a laser for emitting a laser beam. The arrangement includes a processing module having a nozzle duct connected to a liquid supply line for forming a liquid jet. The nozzle duct has an intake opening lying in an intake opening plane. An optical element couples the laser beam into the liquid jet, and the optical element of the laser beam is focused in a focusing point range and into the intake opening plane of the nozzle duct. The liquid supply line for the nozzle duct defines an area formed above the nozzle intake opening having a height dimensioned relative to the cross-sectional area of the intake opening such that the area above the nozzle intake opening does not include a liquid retaining chamber. The absence of the liquid retaining chamber producing a flow speed for the liquid in a focusing cone point range sufficiently high that, for a predetermined low radiation absorption coefficient for the liquid, the formation of a thermal lens in the liquid in the focusing cone point range is suppressed enough so that no portion of the radiation damages walls of the nozzle duct.
    • PCT No.PCT / IB95 / 00390 Sec。 371日期1997年2月28日 102(e)日期1997年2月28日PCT提交1995年5月22日PCT公布。 第WO95 / 32834号公报 日期1995年12月7日。一种用于处理具有用于发射激光束的激光的液体射流的材料的布置。 该装置包括具有连接到用于形成液体射流的液体供应管线的喷嘴管道的处理模块。 喷嘴管道具有位于进气开口平面内的进气口。 光学元件将激光束耦合到液体射流中,并且激光束的光学元件聚焦在聚焦点范围内并进入喷嘴导管的进气开口平面。 用于喷嘴管道的液体供应管线限定了形成在喷嘴入口开口上方的区域,其具有相对于进气口的横截面面积尺寸的高度,使得喷嘴进气口上方的区域不包括液体保持室。 液体保持室不存在,使得聚焦锥形点中的液体的流速足够高,使得对于液体的预定的低辐射吸收系数,在聚焦锥形点范围内的液体中形成热透镜 被抑制得足以使得辐射的部分不会损坏喷嘴管道的壁。