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21. 发明专利

TW201823741A 工具內ESD事件的選擇性監控方法及裝置审中-公开
简体标题：工具内ESD事件的选择性监控方法及设备
公开(公告)号：TW201823741A
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW106129092
申请日：2017-08-28
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：海曼史蒂芬B , HEYMANN, STEVEN B. , 霍塞特馬克E , HOGSETT, MARK E. , 馬隆尼提姆菲J , MALONEY, TIMOTHY J.
IPC分类号： G01R31/00 , G01R35/00
摘要：本發明的一實施例提供了一種用於偵測靜電放電（ESD）事件的裝置，該裝置包括：ESD偵測器，被配置為判定至少一個製程窗，該至少一個製程窗將容許該ESD偵測器偵測ESD事件；至少一個天線，耦接到所述ESD偵測器；及所述ESD偵測器針對至少一個放電能量而被校準。本發明的另一實施例提供：一種用於偵測靜電放電（ESD）事件的方法，該方法包括以下步驟：判定將容許ESD偵測器偵測ESD事件的至少一個製程窗；及針對至少一個放電能量校準該ESD偵測器。
简体摘要：本发明的一实施例提供了一种用于侦测静电放电（ESD）事件的设备，该设备包括：ESD侦测器，被配置为判定至少一个制程窗，该至少一个制程窗将容许该ESD侦测器侦测ESD事件；至少一个天线，耦接到所述ESD侦测器；及所述ESD侦测器针对至少一个放电能量而被校准。本发明的另一实施例提供：一种用于侦测静电放电（ESD）事件的方法，该方法包括以下步骤：判定将容许ESD侦测器侦测ESD事件的至少一个制程窗；及针对至少一个放电能量校准该ESD侦测器。

22. 发明专利

TWI695152B 烘箱、用於將氣體分佈於烘箱的排出噴嘴板、及操作烘箱的方法有权
简体标题：烘箱、用于将气体分布于烘箱的排出喷嘴板、及操作烘箱的方法
公开(公告)号：TWI695152B
公开(公告)日：2020-06-01
申请号：TW106138584
申请日：2017-11-08
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：梅爾高漢斯L , MELGAARD, HANS L. , 羅夫丹尼爾M , RUF, DANIEL M. , 班森馬修 , BENSON, MATTHEW , 萬菲力浦 , VU, PHILLIP , 葛雷姆傑拉德羅伯特 , GRAHAM, GERALD ROBERT , 克拉爵斯羅爾夫道格拉斯 , KRAGSETH, ROLF DOUGLAS
IPC分类号： F27B9/28 , D01F9/32 , F27D7/02

23. 发明专利

TW202007621A 從同步分配過渡到異步分配的系統及方法审中-公开
简体标题：从同步分配过渡到异步分配的系统及方法
公开(公告)号：TW202007621A
公开(公告)日：2020-02-16
申请号：TW108125572
申请日：2019-07-19
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：瑞德史考特A , REID, SCOTT A. , 李奧納多馬茲奇 , LEONARDO, MARZUKI , 瑞德修R , READ, HUGH R. , 亞嘉瓦爾桑尼 , AGARWAL, SUNNY
IPC分类号： B65G49/07 , G01R31/01
摘要：本案提供一種在多個圖案或多個基板上分配材料的方法，此方法包括以下步驟：將此些圖案或基板遞送到分配位置；獲取與此些圖案或基板相關的資料；及決定此些圖案或基板是否相當適於同時分配。若相當適於同時分配，則方法包括以下步驟：在同步操作模式下基於所獲取的資料在此些圖案或基板上執行同時分配操作。若不相當適於同時分配，則方法包括以下步驟：異步地執行以下步驟中的一者：(1)在至少兩個圖案的第一圖案上執行第一分配操作，及在至少兩個圖案的第二圖案上執行第二分配操作；(2)在第一圖案及第二圖案中的一者上執行單個分配操作；及(3)不執行分配操作。
简体摘要：本案提供一种在多个图案或多个基板上分配材料的方法，此方法包括以下步骤：将此些图案或基板递送到分配位置；获取与此些图案或基板相关的数据；及决定此些图案或基板是否相当适于同时分配。若相当适于同时分配，则方法包括以下步骤：在同步操作模式下基于所获取的数据在此些图案或基板上运行同时分配操作。若不相当适于同时分配，则方法包括以下步骤：异步地运行以下步骤中的一者：(1)在至少两个图案的第一图案上运行第一分配操作，及在至少两个图案的第二图案上运行第二分配操作；(2)在第一图案及第二图案中的一者上运行单个分配操作；及(3)不运行分配操作。

24. 发明专利

TW201921557A 混合材料化學機械研磨後刷具及其形成方法审中-公开
简体标题：混合材料化学机械研磨后刷具及其形成方法
公开(公告)号：TW201921557A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107133395
申请日：2018-09-21
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：維斯爾布蘭迪史考特 , WITHERS, BRADLEY SCOTT , 羅煜焱 , LUO, YUYAN , 尼爾森艾瑞克史考特 , NELSON, ERIK SCOTT , 貝斯特布倫特亞倫 , BEST, BRENT ALLAN
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/304 , B08B1/04 , C09K3/14
摘要：本發明提供混合材料CMP後刷具及其形成方法之揭示內容。一種混合材料CMP後刷具之具體實例可包含至少兩個層，其中該混合刷具用來清潔各種表面，諸如半導體基板之表面。用於清潔一表面之一實例混合刷具包括：一心軸；一模製第一層，其繞著該心軸形成，其中該模製第一層包含一第一材料；以及一模製第二層，其圍繞該模製第一層，其中該模製第二層包含一第二材料。
简体摘要：本发明提供混合材料CMP后刷具及其形成方法之揭示内容。一种混合材料CMP后刷具之具体实例可包含至少两个层，其中该混合刷具用来清洁各种表面，诸如半导体基板之表面。用于清洁一表面之一实例混合刷具包括：一心轴；一模制第一层，其绕着该心轴形成，其中该模制第一层包含一第一材料；以及一模制第二层，其围绕该模制第一层，其中该模制第二层包含一第二材料。

25. 发明专利

TWI644604B 波焊噴嘴系統與波焊的方法有权
简体标题：波焊喷嘴系统与波焊的方法
公开(公告)号：TWI644604B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：TW104123239
申请日：2015-07-17
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：胡士特格雷戈里李奧 , HUESTE, GREGORY LEO
IPC分类号： H05K3/34 , B23K3/00

26. 发明专利

TW201838730A 自動發射器端點清潔器审中-公开
简体标题：自动发射器端点清洁器
公开(公告)号：TW201838730A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW107110047
申请日：2018-03-23
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：海曼史蒂芬班諾德 , HEYMANN, STEVEN BERNARD , 克羅契可夫亞力斯 , KLOCHKOV, ALEKSEY , 葛雷洛祖安 , GUERRERO, JUAN , 歐德尼斯基愛德華安東尼 , OLDYNSKI, EDWARD ANTHONY , 鍾吉權 , CHONG, GEE KUEN
IPC分类号： B08B6/00 , H05F3/00
摘要：在此揭示了自動發射器端點清潔器。自動發射器端點清潔系統包括：風扇，該風扇經配置以引導氣流通過空氣路徑；端點發射器，該端點發射器經配置以在空氣路徑內或空氣路徑附近產生正離子或負離子的至少一者；刷子；第一齒輪，該第一齒輪耦合到該刷子並且經配置以移動該刷子，以使該刷子接觸該端點發射器；第二齒輪，其與該第一齒輪接合；以及馬達，該馬達用以致動該第二齒輪，使得該第二齒輪致動該第一齒輪，以使該刷子移動經過該端點發射器。
简体摘要：在此揭示了自动发射器端点清洁器。自动发射器端点清洁系统包括：风扇，该风扇经配置以引导气流通过空气路径；端点发射器，该端点发射器经配置以在空气路径内或空气路径附近产生正离子或负离子的至少一者；刷子；第一齿轮，该第一齿轮耦合到该刷子并且经配置以移动该刷子，以使该刷子接触该端点发射器；第二齿轮，其与该第一齿轮接合；以及马达，该马达用以致动该第二齿轮，使得该第二齿轮致动该第一齿轮，以使该刷子移动经过该端点发射器。

27. 发明专利

TW201833504A 烘箱、用於將氣體分佈於烘箱的排出噴嘴板、及操作烘箱的方法审中-公开
简体标题：烘箱、用于将气体分布于烘箱的排出喷嘴板、及操作烘箱的方法
公开(公告)号：TW201833504A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106138584
申请日：2017-11-08
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：梅爾高漢斯L , MELGAARD, HANS L. , 羅夫丹尼爾M , RUF, DANIEL M. , 班森馬修 , BENSON, MATTHEW , 萬菲力浦 , VU, PHILLIP , 葛雷姆傑拉德羅伯特 , GRAHAM, GERALD ROBERT , 克拉爵斯羅爾夫道格拉斯 , KRAGSETH, ROLF DOUGLAS
IPC分类号： F27B9/28 , D01F9/32 , F27D7/02
摘要：揭示了烘箱、用於將氣體分佈於烘箱的排出噴嘴板及操作烘箱的方法。示例性烘箱包括：用於加熱氣體的加熱系統、基板加熱容積和充氣部，該充氣部包含：側壁，該側壁具有形成在該側壁中的複數個通道，該充氣部經配置以將經加熱氣體從該等複數個通道引導至該基板加熱容積中，形成在該充氣部中的該等複數個通道中的每一者具有各自的漸縮橫截面形狀。
简体摘要：揭示了烘箱、用于将气体分布于烘箱的排出喷嘴板及操作烘箱的方法。示例性烘箱包括：用于加热气体的加热系统、基板加热容积和充气部，该充气部包含：侧壁，该侧壁具有形成在该侧壁中的复数个信道，该充气部经配置以将经加热气体从该等复数个信道引导至该基板加热容积中，形成在该充气部中的该等复数个信道中的每一者具有各自的渐缩横截面形状。

28. 发明专利

TW202026788A 質量流控制器及控制器演算法审中-公开
简体标题：质量流控制器及控制器算法
公开(公告)号：TW202026788A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108130159
申请日：2019-08-23
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：洛約翰 , LULL, JOHN , 貝納斯柏溫 , BANARES, BERWIN , 懷特利傑佛瑞 , WHITELEY, JEFFREY
IPC分类号： G05D7/06
摘要：一種質量流控制器，其包括一線性化系統以控制一閥之線性回應以控制該質量流控制器之增益。該線性化系統包括一流量模型化系統以用於處理與該流體經由一流徑之流量有關的一流體類型、一流動速率、一壓力及一溫度值信號中之至少一者，及判定流體性質。該線性化系統亦包括一閥模型化系統，以根據閥規格、一所要的流動速率及該等判定之流體性質判定該閥之所需操作特性。該線性化系統判定一增益以控制該閥之升程，以便獲取一所要的流體流動速率。該增益係藉由計算預測之升程關於流體流量之導數及驅動關於預測之升程之導數來判定。
简体摘要：一种质量流控制器，其包括一线性化系统以控制一阀之线性回应以控制该质量流控制器之增益。该线性化系统包括一流量模型化系统以用于处理与该流体经由一流径之流量有关的一流体类型、一流动速率、一压力及一温度值信号中之至少一者，及判定流体性质。该线性化系统亦包括一阀模型化系统，以根据阀规格、一所要的流动速率及该等判定之流体性质判定该阀之所需操作特性。该线性化系统判定一增益以控制该阀之升程，以便获取一所要的流体流动速率。该增益系借由计算预测之升程关于流体流量之导数及驱动关于预测之升程之导数来判定。

29. 发明专利

TW202026168A 真空擦拭器及具有真空擦拭器的模板印刷機审中-公开
简体标题：真空擦拭器及具有真空擦拭器的模板印刷机
公开(公告)号：TW202026168A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108143374
申请日：2019-11-28
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：周然杰 , ZHOU, RANJIE
IPC分类号： B41F15/08 , B41F15/12
摘要：一種真空擦拭器，包括殼體、連介面、數個開孔和開孔調節裝置，殼體內具有空腔，連介面設置在殼體上並與所述空腔連通，數個開孔沿著殼體的長度方向設置在殼體上，使得真空擦拭器殼體的空腔能夠通過數個開孔與外界流體連通。當數個開孔全部與外界連通時，真空擦拭器具有最大的抽真空長度。開孔調節裝置被配置為能夠從真空擦拭器的數個開孔排列的長度方向上的兩端順序地遮擋數個開孔中的一或多個開孔，從而真空擦拭器能夠調節抽真空長度。開孔調節裝置的設置使得真空擦拭裝置具有可調節的抽真空長度，以匹配不同長度規格的模板擦拭，有效提高了真空擦拭裝置的抽真空效率，節約了生產成本。
简体摘要：一种真空擦拭器，包括壳体、连界面、数个开孔和开孔调节设备，壳体内具有空腔，连界面设置在壳体上并与所述空腔连通，数个开孔沿着壳体的长度方向设置在壳体上，使得真空擦拭器壳体的空腔能够通过数个开孔与外界流体连通。当数个开孔全部与外界连通时，真空擦拭器具有最大的抽真空长度。开孔调节设备被配置为能够从真空擦拭器的数个开孔排列的长度方向上的两端顺序地遮挡数个开孔中的一或多个开孔，从而真空擦拭器能够调节抽真空长度。开孔调节设备的设置使得真空擦拭设备具有可调节的抽真空长度，以匹配不同长度规格的模板擦拭，有效提高了真空擦拭设备的抽真空效率，节约了生产成本。

30. 发明专利

TW202022268A 質量流控制器、控制器演算法及設定點濾器审中-公开
简体标题：质量流控制器、控制器算法及设置点滤器
公开(公告)号：TW202022268A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108129979
申请日：2019-08-22
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：洛約翰 , LULL, JOHN , 貝納斯柏溫 , BANARES, BERWIN , 懷特利傑佛瑞 , WHITELEY, JEFFREY
IPC分类号： F16K31/00 , G05B17/02 , G05D7/06
摘要：一種閥控制系統，其包括用於控制一閥之線性回應之一增益控制器。該系統包括：一線性化控制系統，其耦接至該增益控制器以判定一增益值以控制該閥之線性回應時間；及一設定點濾器，其耦接至該線性化控制系統以濾波一設定點值。該線性化控制系統自該經濾波設定點值、至少一個即時流體參數值、閥模型資料、一致動器增益及一閥模型增益判定該增益值。
简体摘要：一种阀控制系统，其包括用于控制一阀之线性回应之一增益控制器。该系统包括：一线性化控制系统，其耦接至该增益控制器以判定一增益值以控制该阀之线性回应时间；及一设置点滤器，其耦接至该线性化控制系统以滤波一设置点值。该线性化控制系统自该经滤波设置点值、至少一个实时流体参数值、阀模型数据、一致动器增益及一阀模型增益判定该增益值。

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