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    • 21. 发明申请
    • Grinding and polishing machines
    • 研磨抛光机
    • US20010000502A1
    • 2001-04-26
    • US09729384
    • 2000-12-04
    • Mark Andrew StockerDermot Robert FalknerPaul Martin Howard MorantzMichael George Pierse
    • B24B007/30
    • B24B53/07B23Q3/186B23Q17/24B24B5/04B24B5/06B24B5/065B24B9/065B24B17/04B24B17/06B24B41/02B24B41/04B24B49/02B24B49/12H01L21/02013H01L21/02021H01L21/67242H01L22/12H01L2924/0002H01L2924/00
    • A method of grinding the edge of a disc uses a grinding machine having mounted thereon a grooved grinding wheel, in which the groove is formed in situ using a forming wheel also mounted on the grinding machine. After a workpiece has been ground or after a succession of workpieces have been ground, re-engaging the grinding wheel and the forming wheel with the grinding wheel remaining in situ, to re-form the groove in the grinding wheel to correct for wear. A grinding machine comprises a grinding wheel, drive means therefor, a workhead and workpiece spindle and drive means therefor, a forming wheel and drive means therefor, means for moving the grinding wheel so as to plunge grind the edge of the grinding wheel to form a groove therein of precise cross-section and means for effecting relative movement between the grinding wheel and the forming wheel to enable the grinding wheel to engage with the edge of a circular workpiece component mounted on the workpiece spindle to edge grind the component and wherein the forming wheel is also mounted on the workpiece spindle for rotation therewith, and the grinding wheel is a resin bonded wheel.
    • 一种研磨圆盘边缘的方法是使用已经安装有凹槽的研磨轮的研磨机,其中使用也安装在研磨机上的成型轮在原地形成凹槽。 在工件被研磨或在一连串的工件已被磨削之后,再次磨削砂轮和成型轮,砂轮保留在原位,以重新形成砂轮中的凹槽以校正磨损。 研磨机包括砂轮,其驱动装置,工作头和工件主轴及其驱动装置,成形轮及其驱动装置,用于移动砂轮的装置,以便磨削研磨轮的边缘以形成 在其中具有精确横截面的凹槽和用于实现砂轮和成型轮之间的相对运动的装置,以使得砂轮能够与安装在工件主轴上的圆形工件部件的边缘接合,从而边缘磨削部件,并且其中成形 轮也安装在工件主轴上以与其一起旋转,并且砂轮是树脂粘合轮。
    • 22. 发明授权
    • Grinding apparatus for wafer edge
    • 晶圆边缘研磨装置
    • US5658189A
    • 1997-08-19
    • US527348
    • 1995-09-12
    • Takeshi Kagamida
    • Takeshi Kagamida
    • B24B9/00B24B9/06B24B41/02B24B7/04
    • B24B9/065B24B41/02
    • A slide table is slidably supported on the slide stage which is moved by a guide screw. The slide table is connected with the slide stage by means of pressurization means. A rotatable wafer table is provided on the slide table. A grinding wheel for chamfering is used. The pressurization means is locked, so that the slide table is kept locked to the slide stage. A wafer set on the slide table is moved toward the grinding wheel, and an edge of the wafer is chamfered. A grinding wheel for polishing is used. The pressurization means is not locked, so that the slide table can be slide on the slide stage. A wafer set on the slide table is moved toward the grinding wheel, and an edge of the wafer is polished.
    • 滑动台可滑动地支撑在由导向螺钉移动的滑台上。 滑台通过加压装置与滑台连接。 可旋转晶片台设置在滑台上。 使用用于倒角的砂轮。 加压装置被锁定,使得滑动台保持锁定到滑动台。 将载置在滑台上的晶片移向砂轮,并且将晶片的边缘倒角。 使用用于抛光的砂轮。 加压装置未被锁定,使得滑动台可以在滑动台上滑动。 将载置在滑台上的晶片移向砂轮,抛光晶片的边缘。
    • 30. 发明申请
    • SCHLEIFMASCHINENGEHÄUSEVORRICHTUNG
    • 研磨装置HOUSING
    • WO2015032564A1
    • 2015-03-12
    • PCT/EP2014/066793
    • 2014-08-05
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • TAN, AikHuanLEE, Siew Yuen
    • B24B23/00B25F5/02
    • B24B41/02B24B23/005B25F5/02
    • Die Erfindung geht aus von einer Schleifmaschinengehäusevorrichtung mit zumindest einem Gehäuseelement (12), das zumindest teilweise eine An- und Abtriebsachsenebene (14) vorgibt, und mit zumindest einer an dem Gehäuseelement (12) angeordneten Energiespeicheraufnahmeschnittstelle (16) zu einer lösbaren Aufnahme zumindest einer Energiespeichervorrichtung (18), wobei die Energiespeicheraufnahmeschnittstelle (16) zumindest ein Aufnahmeführungselement (20) umfasst. Es wird vorgeschlagen, dass das Aufnahmeführungselement (20) eine zumindest im Wesentlichen quer zur An- und Abtriebsachsenebene (14) verlaufende Hauptführungsachse (22) aufweist.
    • 本发明涉及一种研磨机的外壳装置具有限定至少部分地由驱动器和输出轴平面(14),和与所述壳体构件中的至少一个(12),其设置能量存储记录接口(16)到一可移除地容纳至少一个能量存储装置的至少一个壳体元件(12) (18),其中所述能量存储记录接口(16)包括至少一个接收导引元件(20)。 本发明提出,在接收的引导元件(20)具有至少基本上横向于延伸主引导轴(22)的输入和输出轴的平面(14)。