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61. 发明专利

JP2004281644A Drive mechanism, aligner employing it, and process for fabricating device 审中-公开
公开(公告)号：JP2004281644A
公开(公告)日：2004-10-07
申请号：JP2003069948
申请日：2003-03-14
申请人： Canon Inc , キヤノン株式会社
发明人： MIZUNO MAKOTO
IPC分类号： G02B7/198 , G02B7/02 , G02B7/182 , G03F7/20 , H01L21/027 , H02N2/00
CPC分类号： G03F7/70825 , G02B7/023 , G02B7/182 , G02B7/1824 , Y10T74/20006 , Y10T74/20564
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drive mechanism having high rigidity capable of inching regulation of a mirror or a member supporting the mirror in six axial directions in an EUV aligner, or the like. SOLUTION: In the drive mechanism, three integrated planar three joint or four joint link mechanisms are disposed between a movable section and a fixed section through bearings each having a degree of freedom in rotation. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

62. 实用新型

JPS5717375Y2 JPS5717375Y2 - 失效
公开(公告)号：JPS5717375Y2
公开(公告)日：1982-04-12
申请号：JP8345877
申请日：1977-06-24
IPC分类号： F02D11/02 , G05G11/00
CPC分类号： F02D11/02 , G05G11/00 , Y10T74/20006 , Y10T74/20226

63. 发明专利

JP6331479B2 ロッキングレバー及び車両用ドア開閉装置有权
公开(公告)号：JP6331479B2
公开(公告)日：2018-05-30
申请号：JP2014039752
申请日：2014-02-28
申请人：アイシン精機株式会社
发明人：山根涼平 , 牧野禎之
IPC分类号： E05B81/32 , B60J5/00 , B60J5/04 , B60J5/06 , E05B81/30
CPC分类号： E05B79/10 , E05B77/32 , E05B79/08 , E05B83/40 , Y10T74/20006

64. 发明专利

JP2015163756A ロッキングレバー及び車両用ドア開閉装置有权
标题翻译：锁定杆和门开启/关闭车辆装置
公开(公告)号：JP2015163756A
公开(公告)日：2015-09-10
申请号：JP2014039752
申请日：2014-02-28
申请人：アイシン精機株式会社
发明人：山根涼平 , 牧野禎之
IPC分类号： E05B81/32 , B60J5/00 , B60J5/04 , B60J5/06 , E05B81/30
CPC分类号： E05B79/10 , E05B79/08 , E05B77/32 , E05B83/40 , Y10T74/20006
摘要：【課題】組付容易なロッキングレバーを提供すること。【解決手段】ロッキングレバー30は、相対回動可能に連結された一対のレバー片としての第1レバー31及び第2レバー32と、これらの第1レバー31及び第2レバー32に両バネ端部33a,33bが係合することにより当該第1レバー31及び第2レバー32を互いに相反する方向に向かって回動付勢するバネ部材33と、を備える。また、これら第1レバー31及び第2レバー32には、それぞれ、互いに当接することにより、当該第1レバー31及び第2レバー32の相対的な回動位置を保持可能な当接部35,36が設けられる。更に、バネ部材33は、その回動軸M1の径方向に延在するバネ端部33bを有する。そして、第2レバー32には、周方向からバネ端部33bが当接する係合面54sが設けられる。【選択図】図9
摘要翻译：要解决的问题：提供一种容易组装的锁定杆。解锁方案：锁定杆30包括：第一杆31和第二杆32，它们彼此相连，以便作为一对杆件相对转动 ; 以及弹簧构件33，其通过两个弹簧端部33a，33b与第一杆31和第二杆32的接合而在第一杆31和第二杆32的相反方向上旋转并通电。 36分别设置在第一杆31和第二杆32上，第三杠杆31与第二杠杆32相互抵接。此外，弹簧构件33具有沿弹簧构件的转动轴线M1的径向延伸的弹簧端部33b。然后，将弹簧端部33b从圆周方向抵接的卡合面54s设置在第二杆32上。

65. 发明专利

JP2014115827A Position holding device for rotary lever 有权
标题翻译：旋转杆位置保持装置
公开(公告)号：JP2014115827A
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：JP2012269435
申请日：2012-12-10
申请人： Aisin Seiki Co Ltd , アイシン精機株式会社
发明人： SUZUMURA ATSUSHI , NISHIO TAKASHI , SONO YASUHIKO , KOJIMA KAZUNORI , IWATA MASANARI , FUKUCHI SATOSHI , YAMADA YUSUKE
IPC分类号： G05G5/06
CPC分类号： G05G5/06 , E05B15/0053 , E05B81/16 , E05B2015/0493 , Y10T74/20006
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce abutting noise when a rotary lever abuts a stopper member.SOLUTION: A position holding device for a rotary lever includes a rotary lever (25) and a torsion spring (26). The rotary lever (25) is elastically held in two positions which are a first position (position (a)) and a second position (position (c)). The torsion spring (26) has a wound portion (26a) and a first arm portion (26b) and a second arm portion (26c) which extend from the wound portion. A crest unit (26b1) is formed on the first arm portion (26b) and a reverse direction energizing unit (26c1) is formed on the second arm portion (26c). Energizing force by the reverse direction energizing unit (26c1) is made to work as braking force against the energizing force by the crest unit (26b1) on the rotary lever (25). In addition, a restriction member (96) abutting to the first arm portion when the rotary lever (25) is rotated to a first position side by going over a neutral position is formed on a base member (90).
摘要翻译：要解决的问题：当旋转杆与止动构件抵接时减小邻接噪声。解决方案：一种用于旋转杆的位置保持装置包括旋转杆（25）和扭转弹簧（26）。旋转杆25被弹性地保持在作为第一位置（位置（a））和第二位置（位置（c））的两个位置。扭簧（26）具有从卷绕部分延伸的卷绕部分（26a）和第一臂部分（26b）和第二臂部分（26c）。在第一臂部（26b）上形成有波峰单元（26b1），在第二臂部（26c）上形成有反向供能单元（26c1）。通过反向通电单元（26c1）的通电力作为抵抗由旋转杆（25）上的波峰单元（26b1）施力的制动力起作用。此外，在基座部件（90）上形成有当旋转杆（25）通过中立位置而旋转到第一位置侧时与第一臂部抵接的限制部件（96）。

66. 发明专利

JP4856717B2 Screw-rod fixation assembly and element 有权
公开(公告)号：JP4856717B2
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：JP2008545690
申请日：2006-12-12
申请人：アエスクラップインプラントシステムズ,リミティドライアビリティカンパニー
发明人：リケルソフマーク , エムクルーズロバート
IPC分类号： A61B17/58 , F16B35/00 , F16B35/06
CPC分类号： A61B17/7037 , A61B17/7032 , A61B2090/037 , Y10T74/20006

67. 发明专利

JP4751258B2 Biasing device of the movable lever 有权
公开(公告)号：JP4751258B2
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：JP2006188772
申请日：2006-07-10
申请人：三井金属アクト株式会社
发明人：勇二依田
IPC分类号： E05B15/04 , B60J5/00 , E05B79/22 , E05B83/36
CPC分类号： E05B83/36 , E05B2015/0493 , Y10T74/20 , Y10T74/20006 , Y10T292/1047 , Y10T292/1082

68. 发明专利

JP2008014094A Movable lever energizing device 有权
标题翻译：可移动的杠杆能量装置
公开(公告)号：JP2008014094A
公开(公告)日：2008-01-24
申请号：JP2006188772
申请日：2006-07-10
申请人： Mitsui Mining & Smelting Co Ltd , 三井金属鉱業株式会社
发明人： YODA YUJI
IPC分类号： E05B15/04 , B60J5/00 , E05B79/22 , E05B83/36
CPC分类号： E05B83/36 , E05B2015/0493 , Y10T74/20 , Y10T74/20006 , Y10T292/1047 , Y10T292/1082
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To invert an energizing direction applied to a movable lever in a stable state. SOLUTION: A fixed support part 21 is provided near the movable lever 8 in a base member. The movable lever 8 is provided with a movable support part 82 displaced to cross the fixed support part 21 following its movement. A coil part 101 of a torsion coil spring 10 is supported to the fixed support part 21 turnably along the surface of the base member. The movable support part 82 is clamped between both arm parts 102, 102 of the torsion coil spring 10 so as to be pushed outward from between both arm parts 102, 102. The energizing direction applied to the movable lever 8 is thereby inverted in an approximately intermediate position of a moving section of the movable lever 8 as a border. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：在稳定状态下反转施加在可动杆上的通电方向。解决方案：固定支撑部分21设置在可移动杆8附近的基部构件中。可移动杆8设置有可移动的支撑部分82，移动支撑部分82在其移动之后与固定支撑部分21相交叉。扭转螺旋弹簧10的线圈部101沿着基体的表面可转动地支撑在固定支撑部21上。可动支撑部82被夹紧在扭力螺旋弹簧10的两个臂部102,102之间，以便从两个臂部102,102之间向外推动。因此施加到可动杆8的激励方向大致相反地反转可动杆8的移动部分的中间位置为边界。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

69. 发明专利

JP2007294930A Z stage equipped with stage mirror and chuck assembly which are driven dynamically 有权
标题翻译： Z级装备有动态动画的舞台镜头
公开(公告)号：JP2007294930A
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：JP2007084660
申请日：2007-03-28
申请人： Kla-Tencor Technologies Corp , ケーエルエー−テンカーテクノロジィースコーポレイション
发明人： HARB SALAM , DOUGLAS KENT , ZWYNO MAREK , HASLIM JAMES , HAMILTON JOHN
IPC分类号： H01L21/68 , G12B5/00 , H01J37/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70758 , H01L21/68 , H01L21/6831 , Y10T74/20006 , Y10T279/21 , Y10T279/23 , Y10T279/27
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an equipment and method for a base support which do not cause an error in defect detection or loss of inspection sensitivity. SOLUTION: A movement of a base chuck to a stage mirror is compensated dynamically, by sensing a displacement of the base chuck 106 to the stage mirror 110, and by combining a signal proportional to the displacement in one or more feed back loops having one or both among Z stage actuator 126 and XY stage actuators 146,148 combined with the stage mirror. Replacing with above, the base support equipment includes a Z stage plate 112, the stage mirror 110, one or more actuators attached to the Z stage plate and the base chuck attached to the stage mirror. The base chuck has a restriction to six movement flexibility of the base chuck. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种不会引起缺陷检测错误或检查灵敏度损失的基座支架的设备和方法。解决方案：通过感测基座卡盘106到台式反射镜110的位移，并通过组合与一个或多个反馈回路中的位移成比例的信号来动态地补偿基座卡盘到平台反射镜的移动具有Z级致动器126和与舞台镜组合的XY舞台致动器146,148之一或两者。基座支撑设备可替换为Z平台112，平台镜110，附接到Z台板的一个或多个致动器以及安装在舞台镜上的基座卡盘。基座卡盘限制了卡盘的六个运动灵活性。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

70. 发明专利

JP3743224B2 The clutch mechanism of the outboard motor 有权
公开(公告)号：JP3743224B2
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：JP28075399
申请日：1999-09-30
申请人：スズキ株式会社
发明人：卓弥佐藤
IPC分类号： B63H20/14 , B63H23/08 , B63H23/30 , F02B61/04 , F16D23/12 , F16H63/30
CPC分类号： B63H20/20 , B63H23/30 , Y10T74/19493 , Y10T74/20006

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