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    • 76. 发明专利
    • 基板支持裝置
    • 基板支持设备
    • TW201436095A
    • 2014-09-16
    • TW103107950
    • 2014-03-07
    • 日本發條股份有限公司NHK SPRING CO., LTD.
    • 花待年彥HANAMACHI, TOSHIHIKO橋本大輔HASHIMOTO, DAISUKE石岡泰明ISHIOKA, YASUAKI
    • H01L21/683
    • C23C16/4586B05C21/00C23C16/463H01L21/67109H01L21/68785H01L21/68792
    • 提供基板支持裝置,對晶圓加熱時能均溫加熱板,防止加熱板發生因熱應變所導致之變形,提升晶圓均溫性。本發明之基板支持裝置具有板部及軸部。板部包括於內部具有發熱體之加熱板、具有配置於加熱板下面之第一流道之第一冷卻板及具有配置於加熱板上面之第二流道之第二冷卻板。軸部支持板部且於內部具有接續至發熱體以對其供給電流之配線及對第一及第二流道供給冷媒之配管。第一流道含有從第一冷卻板之中央部朝向外緣部以第一方向環繞之旋渦狀流道。第二流道含有從第二冷卻板之中央部朝向外緣部以相反於第一方向之第二方向環繞之旋渦狀流道。
    • 提供基板支持设备,对晶圆加热时能均温加热板,防止加热板发生因热应变所导致之变形,提升晶圆均温性。本发明之基板支持设备具有板部及轴部。板部包括于内部具有发热体之加热板、具有配置于加热板下面之第一流道之第一冷却板及具有配置于加热板上面之第二流道之第二冷却板。轴部支持板部且于内部具有接续至发热体以对其供给电流之配线及对第一及第二流道供给冷媒之配管。第一流道含有从第一冷却板之中央部朝向外缘部以第一方向环绕之旋涡状流道。第二流道含有从第二冷却板之中央部朝向外缘部以相反于第一方向之第二方向环绕之旋涡状流道。
    • 79. 发明专利
    • 探針單元
    • 探针单元
    • TW201312124A
    • 2013-03-16
    • TW101128191
    • 2012-08-01
    • 日本發條股份有限公司NHK SPRING CO., LTD.
    • 山田佳男YAMADA, YOSHIO弓野誠YUMINO, MAKOTO近藤充博KONDO, MITSUHIRO莊司哲SHOJI, SATOSHI
    • G01R1/073
    • G01R1/06722G01R1/06738G01R31/2886
    • 本發明提供一種在與接觸對象之間可獲得確實之導通的探針單元。該探針單元是具有:包括數量在兩個以上的接觸探針(2a)的複數個探針群(2),各接觸探針(2a)是在長邊方向的一方端部側與被接觸體之一個電極接觸,在另一方端部側與基板之不同的電極分別接觸的探針單元,其中:接觸探針(2a)具有:設在長邊方向的一方端部側,具有複數個形成尖細的前端形狀的爪部(21b),並藉由爪部(21b)與被接觸體之電極接觸的前端部(21a);設在長邊方向的另一方端部側,並且與基板之對應的電極接觸的第2接觸部;以及設在前端部(21a)與第2接觸部之間,用來彈推前端部(21a)及第2接觸部的螺旋彈簧(23)。
    • 本发明提供一种在与接触对象之间可获得确实之导通的探针单元。该探针单元是具有:包括数量在两个以上的接触探针(2a)的复数个探针群(2),各接触探针(2a)是在长边方向的一方端部侧与被接触体之一个电极接触,在另一方端部侧与基板之不同的电极分别接触的探针单元,其中:接触探针(2a)具有:设在长边方向的一方端部侧,具有复数个形成尖细的前端形状的爪部(21b),并借由爪部(21b)与被接触体之电极接触的前端部(21a);设在长边方向的另一方端部侧,并且与基板之对应的电极接触的第2接触部;以及设在前端部(21a)与第2接触部之间,用来弹推前端部(21a)及第2接触部的螺旋弹簧(23)。