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71. 发明公开

EP2994733A1 AN IMPROVED PRESSURE SENSOR 有权
标题翻译： EINER VERBESSERTE DRUCKSENSOR
公开(公告)号：EP2994733A1
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：EP14727070.6
申请日：2014-05-08
申请人： Murata Manufacturing Co., Ltd.
发明人： KUISMA, Heikki
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0072 , B81B3/007 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , G01L7/082 , G01L9/0042 , G01L9/0048 , G01L9/0054 , G01L9/0073
摘要： A microelectromechanical pressure sensor structure wherein the length of the diaphragm is at least three times the width of the diaphragm. The oblong diaphragm experiences a minimized difference between lateral bending of the wafer and of the diaphragm along the width of the diaphragm. In a perpendicular direction, the diaphragm is at least three times longer due to which it accurately aligns with the bending form of the wafer. Due to this, the total error caused by bending of the structure is significantly reduced and a more robust structure is achieved. At the same time, the longer diaphragm provides mode deflected area for detection and thus significantly improves sensitivity of the device.
摘要翻译：一种微机电压力传感器结构，其中隔膜的长度至少是隔膜宽度的三倍。长圆形隔膜在隔膜的宽度上经历了晶片和隔膜的横向弯曲之间的最小化差异。在垂直方向上，隔膜的长度至少是三倍，由此可以精确地对准晶片的弯曲形状。由此，结构弯曲引起的总误差大大降低，结构更加坚固。同时，较长的隔膜提供了用于检测的模式偏转区域，从而显着提高了设备的灵敏度。

72. 发明公开

EP2796846A3 Sensor with isolated diaphragm 有权
标题翻译：传感器分离器膜
公开(公告)号：EP2796846A3
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：EP14161850.4
申请日：2014-03-26
申请人： Honeywell International Inc.
发明人： Stewart, Carl , Beck, Scott E. , Davis, Richard A. , Morales, Gilberto
IPC分类号： G01L9/00 , B81B3/00 , B81B7/00 , G01L7/08
CPC分类号： B81B3/0081 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/033 , G01L7/082 , G01L9/0042 , G01L9/0048 , G01L9/0054
摘要： A sensor assembly includes a first wafer having a cavity formed therein and a second wafer bonded relative to the first wafer to form a diaphragm over the cavity. A trench is formed in the second wafer in or around the diaphragm and the trench may be filled with an isolating material to help thermally and/or electrically isolate the diaphragm. The diaphragm may support one or more sense elements. The sensor assembly may be used a flow sensor, a pressure sensor, a temperature sensor, and/or any other suitable sensor, as desired.
摘要翻译：传感器组件包括其中形成有腔的第一晶片和相对于第一晶片结合的第二晶片，以在空腔上形成隔膜。在隔膜中或周围的第二晶片中形成沟槽，并且沟槽可以填充有隔离材料以帮助热隔离和/或电隔离隔膜。隔膜可以支撑一个或多个感测元件。传感器组件可以根据需要用于流量传感器，压力传感器，温度传感器和/或任何其它合适的传感器。

73. 发明公开

EP2796846A2 Sensor with isolated diaphragm 有权
标题翻译：传感器与隔离膜
公开(公告)号：EP2796846A2
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：EP14161850.4
申请日：2014-03-26
申请人： Honeywell International Inc.
发明人： Stewart, Carl , Beck, Scott E. , Davis, Richard A. , Morales, Gilberto
IPC分类号： G01L9/00 , B81B3/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81B3/0081 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/033 , G01L7/082 , G01L9/0042 , G01L9/0048 , G01L9/0054
摘要： A sensor assembly includes a first wafer having a cavity formed therein and a second wafer bonded relative to the first wafer to form a diaphragm over the cavity. A trench is formed in the second wafer in or around the diaphragm and the trench may be filled with an isolating material to help thermally and/or electrically isolate the diaphragm. The diaphragm may support one or more sense elements. The sensor assembly may be used a flow sensor, a pressure sensor, a temperature sensor, and/or any other suitable sensor, as desired.

74. 发明授权

EP1096242B1 Drucksensor 有权
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：EP1096242B1
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：EP00122340.3
申请日：2000-10-23
申请人： TRW Automotive Electronics & Components GmbH
发明人： Altmann, Markus , Skofljanec, Robert , Müller, Clemens
IPC分类号： G01L9/02 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0051 , G01L9/0048

75. 发明公开

EP1129328A1 INTEGRAL STRESS ISOLATION APPARATUS AND TECHNIQUE FOR SEMICONDUCTOR DEVICES 审中-公开
标题翻译：力学高压绝缘器械及相关半导体技术
公开(公告)号：EP1129328A1
公开(公告)日：2001-09-05
申请号：EP99956705.0
申请日：1999-10-27
申请人： Maxim Integrated Products, Inc.
发明人： BRYZEK, Janusz , BURNS, David, W. , NASIRI, Steven, S.
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0235 , B81B2201/0264 , B81B2203/0109 , B81B2203/019 , G01L9/0042 , G01L9/0048
摘要： A semiconductor device die comprising one or more stress-isolated regions is described. In one embodiment, stress isolation is achieved by providing a nominally rigid rim region which form part of the stress isolated region. The rim region is attached to a nominally rigid periphery or frame region by a flexible, spring-like stress-isolation region such that displacements and twisting of the frame region due to mounting and packaging stresses are mitigated, do not propagate to the stress-isolated region, and do not effect the output signal. The stress isolation flexible region includes first and second members etched from the semiconductor device material to mechanically isolate the diaphragm from its periphery. The first member is formed by etching a first deep trench. The combination of the first deep trench etch and a second deep trench etch define the second member.

76. 发明授权

EP0212942B1 Deflecting-diaphragm pressure sensors 失效
标题翻译：压差式压力传感器
公开(公告)号：EP0212942B1
公开(公告)日：1991-07-03
申请号：EP86306258.4
申请日：1986-08-13
申请人： ROSEMOUNT INC.
发明人： Broden, David A.
IPC分类号： G01L7/08 , G01L19/06 , G01L9/12 , G01L13/02
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L9/0048 , G01L19/0046 , G01L19/0618

77. 发明公开

EP0393141A1 SILICON-BASED MASS AIRFLOW SENSOR 无效
标题翻译：基于硅的空气质量流量传感器。
公开(公告)号：EP0393141A1
公开(公告)日：1990-10-24
申请号：EP89901425.0
申请日：1988-12-16
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Berlin und München
发明人： LEE, Ki, W. , CHOI, Il-Hyun
IPC分类号： G01F1 , G01L9 , G01P5
CPC分类号： G01L9/0048 , G01F1/6845
摘要： Un capteur d'écoulement massique d'air est produit sur un substrat semi-conducteur (18) et comprend un diaphragme diélectrique (1), un rebord en silicium (2) à canal p dopé avec un agent anti-décapant, des éléments de chauffage (3) à pellicules minces, des éléments (4-7) de détection de la température et des puces à bords inclinés (18). Le diaphragme diélectrique (1) est formé de minces couches intercalées (32) d'oxyde de silicium et de nitrure de silicium et assure une excellente isolation thermique des éléments de détection (4-7) et de chauffage (3) du capteur. Les dimensions du diaphragme (1), y compris son épaisseur, sont déterminées avec précision grâce à l'utilisation des rebords (2) en silicium à canal p fortement dopé qui aident à assurer une performance uniforme et reproductible du capteur.

78. 发明申请

WO2018162228A1 MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2018162228A1
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：PCT/EP2018/054196
申请日：2018-02-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： FRIEDRICH, Thomas , DANNENBERG, Arne
IPC分类号： G01L19/06 , G01L9/00 , G01L19/14
CPC分类号： G01L9/0045 , G01L9/0048 , G01L9/0052 , G01L9/0073 , G01L19/0618 , G01L19/146
摘要： Mikromechanischer Drucksensor (100), aufweisend: - einen Drucksensorrahmen (20); - einen an den Drucksensorrahmen (20) mittels eines Federelements (15) angebundenen Drucksensorkern (10); - ein im Drucksensorrahmen (20) ausgebildetes Rückseitengitter (21); und - wenigstens ein zwischen dem Rückseitengitter (21) und dem Drucksensorkern (10) ausgebildetes Anbindungselement (19) zur Anbindung des Drucksensorkerns (10) an den Drucksensorrahmen (20).

79. 发明申请

WO2017123693A1 COMPOUND LOADING ELEMENT FOR USE WITH ELECTRONIC ADJUSTMENT 审中-公开
标题翻译：用于电子调整的复合加载元件
公开(公告)号：WO2017123693A1
公开(公告)日：2017-07-20
申请号：PCT/US2017/013098
申请日：2017-01-12
申请人： TESCOM CORPORATION
发明人： MASIAS, Justin, L. , BURGETT, Eric, J.
IPC分类号： G05D16/06
CPC分类号： G05D16/2093 , F16K31/00 , G01L9/0048 , G05D16/06 , G05D16/10
摘要： A system for providing a force on a main valve member includes a first sensing element adapted to couple to a portion of the main valve member. A first loading element may be directly or indirectly coupled to the first sensing element such that the first loading element provides a first force on the first sensing element. The first loading element is adapted to transfer the first force to the first sensing element and the main valve member. The system also includes a second sensing element to the first sensing element. A second loading element is coupled to the second sensing element and the first sensing element. The second loading element is adapted to provide a second force on the second sensing element to transfer the second force to the main valve member.
摘要翻译：用于在主阀构件上提供力的系统包括适于联接到主阀构件的一部分的第一感测元件。第一加载元件可以直接或间接地联接到第一感测元件，使得第一加载元件在第一感测元件上提供第一力。第一加载元件适于将第一力传递到第一感测元件和主阀构件。该系统还包括到第一感测元件的第二感测元件。第二加载元件联接到第二感测元件和第一感测元件。第二加载元件适于在第二传感元件上提供第二力以将第二力传递至主阀构件。

80. 发明申请

WO2016150619A1 DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO2016150619A1
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：PCT/EP2016/053129
申请日：2016-02-15
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas
IPC分类号： G01L19/14 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L9/0048 , G01L19/146
摘要： Es ist ein vielseitig einsetzbarer Drucksensor beschrieben, der eine im Drucksensor unter Zwischenfügung einer einen Innenraum des Drucksensors nach außen abdichtenden Dichtung (1) eingespannte, über eine Öffnung (3) des Drucksensor mit einem zu messenden Druck (p) beaufschlagbare keramische Druckmesszelle (5) aufweist, und dessen Dichtung (1) eine zwischen einer formsteifen, planaren Dichtfläche (25) der Druckmesszelle (5) und einer formsteifen Dichtfläche (27, 27') eines die Öffnung (3) außenseitlich umgebenden Gegenkörpers (19, 19') in axialer, senkrecht zu den Ebenen der Dichtflächen (25, 27) verlaufender Richtung eingespannte Folie (21) aus einem thermoplastischen Werkstoff, insb. aus Polytetrafluorethylen (PTFE), umfasst, der sich dadurch auszeichnet, dass die Folie (21) ein erstes Foliensegment (23) umfasst, das zwischen der Dichtfläche (25) der Druckmesszelle (5) und der Dichtfläche (27, 27') des Gegenkörpers (19) eingespannt ist, und die Folie (21) ein zweites Foliensegment (29) umfasst, das sich über eine von der Dichtfläche (27, 27') verschiedene Mantelfläche (31) des Gegenkörpers (19, 19') erstreckt, und das auf der Mantelfläche (31) über eine auf der Mantelfläche (31) angeordnete Verbindungsschicht (33) aus einem als Haftvermittler für den Werkstoff der Folie (21) dienenden Werkstoff, insb. aus Perfluoralkoxy-Polymer (PFA), mit dem Gegenkörper (19, 19') verbunden ist.
摘要翻译：它是描述一个通用的压力传感器，可加载一个（1）通过一个开口夹持在与压力传感器的向外部密封垫圈的内部空间的插入压力传感器（3）的压力的压力传感器的被测量（p）的陶瓷压力测量单元（5）包含的，其密封件（1）（5）之间的压力测量单元和尺寸稳定的密封面（27，27“）的尺寸稳定的，平坦的密封表面（25）的计数器机构，所述开口（3）außenseitlich周边（19，19”）在轴向，聚四氟乙烯（PTFE），其，其特征在于，所述箔片（21）具有的膜的第一区段的延伸垂直于密封表面的朝向由热塑性材料制成的，尤指夹持的薄膜（21）的平面（25，27）。（23 ），其被夹持（（密封面25之间）的主体（19的压力测量单元（5）和密封表面27，27“）的）和膜（21）的第二FOL 包括iensegment“不同的身体侧表面（31）的（19，19通过密封面中的一个延伸（29）（27，27）”）延伸，并且经由一个外表面上的侧表面（31）（31）设置的连接层（33）用作结合剂箔片（21）材料的材料，尤指全氟烷氧基聚合物（PFA）的，与所述计数器体（19，19“）连接。

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