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71. 发明专利

JP2014500952A Measurement device and method for measuring the layer thickness and defects in the wafer stack 有权
公开(公告)号：JP2014500952A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：JP2013538076
申请日：2010-11-12
申请人：エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー
发明人：マルクス・ヴィンプリンガー
IPC分类号： G01B21/08 , G01B11/00 , G01B11/06 , G01B15/02 , G01B17/02 , G01N21/956
CPC分类号： H01L22/20 , G01B7/06 , G01B11/0625 , G01B17/02 , G01B17/025 , G01N21/9501 , G01N21/9505 , G01N29/043 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N29/275 , G01N2291/0231 , G01N2291/02854 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , G01N2291/2697 , H01L21/67253 , H01L21/67288 , H01L22/12
摘要：本発明は、ウェーハスタックの1つ又は複数の層内の層厚さ及び/又は欠陥を、前記ウェーハスタック上に分散された複数の測定点で測定及び/又は検出する測定手段及び方法、ならびに対応するウェーハ処理デバイスに関する。

72. 发明专利

JP2013537309A Inspection device of a moving metal strip 有权
公开(公告)号：JP2013537309A
公开(公告)日：2013-09-30
申请号：JP2013528526
申请日：2010-10-12
申请人：シーメンスヴェメタルステクノロジーズエスアーエスSiemens VAI Metals Technologies SAS
发明人：ミショーマルク , デシャンオリヴィエ
IPC分类号： G01N29/04
CPC分类号： G01N29/14 , G01N29/043 , G01N29/2412 , G01N29/27 , G01N29/30 , G01N2291/0234 , G01N2291/0427 , G01N2291/2632
摘要：移動する金属ストリップの検査装置が提供され、該検査装置は、超音波送信器を有する第１のＥＭＡＴ（電磁超音波トランスデューサ）（２）と、なお、送信器から超音波がストリップの表面の一方の端部に入射するように送信され、送信器はストリップと接しておらず、超音波受信器を有する第２のＥＭＡＴ（３ａ）と、なお、ストリップの表面の領域から受信器に向かって生じる超音波が受信され、受信器はストリップと接しておらず、第２のＥＭＡＴで測定された超音波の少なくとも１つの特性を用いて少なくとも１つの検査基準を供給するための、第２のＥＭＡＴに接続された処理部と、を備え、ストリップの一方の端部と領域との間の超音波経路が、ストリップの移動方向に対して実質的に横の直線方向に配列されるように、領域はストリップに位置している。

73. 发明专利

JP2010530528A Automatic non-destructive inspection method and apparatus of the tubular axle inside and outside diameter shape changes 有权
公开(公告)号：JP2010530528A
公开(公告)日：2010-09-09
申请号：JP2010512734
申请日：2008-06-16
申请人：ヴイ・アンド・エム・フランスV & M France
发明人：ノエル・アレクサンドル , ノゲーラ・ドゥ・ポーラ・レナト , ルサージュ・フレデリック
IPC分类号： G01N29/04
CPC分类号： G01N29/262 , G01N29/0609 , G01N29/225 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N2291/106 , G01N2291/2626 , G01N2291/2634 , G01N2291/2636
摘要： An apparatus testing axle shafts includes i) a test bench to receive a tubular axle shaft including a wall exhibiting variable known external and internal radius profiles, ii) at least one ultrasonic probe to analyze at least one selected portion of the wall in a selected angular sector and thus acquire analysis data, iii) a controller to control the test bench to place each probe on the wall external or internal surface in at least one first site selected as a function of its profiles and a possible loading of the shaft such that it analyses the first and second selected wall portions respectively in at least one first and at least one second selected angular sector oriented in first and second opposing longitudinal or transverse directions, to thus acquire analysis data for various relative angular positions of the shaft in relation to the probe, and iv) a processor to create from these acquired analysis data maps representing the transverse or longitudinal orientations and positions of indications of echoes within the wall.

74. 发明申请

WO2017099284A1 높이 조절형 초음파 센서를 이용한 강판의 내부 결함 탐상 장치 및 방법 审中-公开
标题翻译：使用高度可调的超声波传感器进行钢板内部缺陷检测的装置和方法
公开(公告)号：WO2017099284A1
公开(公告)日：2017-06-15
申请号：PCT/KR2015/014093
申请日：2015-12-22
申请人： 주식회사 포스코
发明人： 임충수 , 허형준 , 박현철 , 이상진
IPC分类号： G01N29/24 , G01N29/27 , G01N29/22 , G01N29/06
CPC分类号： G01N29/06 , G01N29/22 , G01N29/24 , G01N29/27
摘要： 본 발명의 일 실시예에 따른 높이 조절형 초음파 센서를 이용한 강판의 내부 결함 탐상 장치는, 강판의 하부에 일정 거리 이격된 채 설치되며, 강판을 향해 매질을 분사하여 매질 기둥을 형성하는 분사 노즐과, 분사 노즐 내부에 설치되며, 매질 기둥을 통해 강판의 결함 검출을 위한 초음파를 송수신하는 초음파 센서와, 송수신된 초음파에 기초하여 강판의 내부 결함의 존재를 검출하는 결함 검출부와, 분사 노즐 내부에 설치되며, 강판의 두께에 따라 초음파 센서와 강판 간의 거리를 조절하는 구동부를 포함할 수 있다.
摘要翻译：
使用根据本检查装置的一个实施例的超声波传感器至今内部缺陷如高度可调型钢板，同时从钢板的底部，并朝向板的恒定距离喷射介质安装和安装在注射喷嘴和注射喷嘴，其形成，与通过介质柱用于故障检测钢板的发送和接收超声波的超声波传感器内部的介质柱，缺陷检测发射和接收超声波的基础上，钢板的内部缺陷的存在驱动单元安装在喷嘴中，并根据钢板的厚度调节超声波传感器和钢板之间的距离。

75. 发明申请

WO2015050061A1 密封パック製品の検査装置及び検査方法审中-公开
标题翻译：密封包装产品的检验装置和检验方法
公开(公告)号：WO2015050061A1
公开(公告)日：2015-04-09
申请号：PCT/JP2014/075679
申请日：2014-09-26
申请人：ヤマハファインテック株式会社
发明人：奈良　晃寛
IPC分类号： G01N29/032 , G01N29/27
CPC分类号： G01N29/032 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N2291/048 , G01N2291/102
摘要：真空パック製品２０の内部の気体又は異物の有無を検査する検査装置１０に、超音波センサ１１と、主制御部１８ａを設けた。超音波センサ１１は、発信探触子１１ａと受信探触子１１ｂを備え、真空パック製品２０を発信探触子１１ａと受信探触子１１ｂの間に位置させて、発信探触子１１ａが発信する超音波を受信探触子１１ｂが受信することにより真空パック製品２０を検出する。主制御部１８ａは、超音波センサ１１が真空パック製品２０を検出するときの超音波の透過率により真空パック製品２０内に設定値以上の気体又は異物があるか否かを判定する。また、真空パック製品２０に対して超音波センサ１１を移動させる移動装置１２を設けた。
摘要翻译：超声波传感器（11）和主控制单元（18a）设置在检查装置（10）中，用于检查真空包装产品（20）内是否存在气体或异物。超声波传感器（11）设置有透射探针（11a）和接收探头（11b），并且通过将真空包装物（20）定位在透射探针（11a）之间来检测真空包装物（20）和接收探头（11b），并且由接收探头（11b）接收由发送探针（11a）发送的超声波。主控制单元（18a）根据超声波传感器（11）检测到真空包装物（20）时的超声波的透射率，判定是否具有大于或等于1的量的气体或异物设定值存在于真空包装产品（20）中。此外，提供了用于使超声波传感器（11）相对于真空包装产品（20）移动的移动单元（12）。

76. 发明申请

WO2015007708A3 METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING ROLLING ELEMENTS BY MEANS OF ULTRASOUND 审中-公开
标题翻译：方法和设备测试滚动使用超声
公开(公告)号：WO2015007708A3
公开(公告)日：2015-03-19
申请号：PCT/EP2014065088
申请日：2014-07-15
申请人： THYSSENKRUPP ROTHE ERDE GMBH , ALTHAUS ENGINEERING
发明人： ECKEY MARTIN , ALTHAUS HEIKO , BURTCHEN MARCO
IPC分类号： G01M13/04 , G01N29/04 , G01N29/22 , G01N29/27 , G01N29/44
CPC分类号： G01M13/045 , G01N29/041 , G01N29/225 , G01N29/27 , G01N29/28 , G01N2291/105 , G01N2291/2696
摘要： The invention relates to a method for inspecting rolling elements (W) by means of ultrasound, wherein the rolling elements (W) are individually fed to an ultrasonic measuring apparatus (4), wherein the rolling elements (W) are moved and subjected to an ultrasonic measurement in the ultrasonic measuring apparatus (4) and wherein the individual rolling elements (W) are classified as faulty or not faulty in dependence on a result of the ultrasonic measurement. The invention further relates to a rolling-element inspecting assembly for performing the method, which comprises: at least one ultrasonic measuring apparatus (4) having a receptacle for the individual rolling elements (W); at least one ultrasonic head (10); and a drive for the movement of the individual rolling elements (W).
摘要翻译：本发明涉及一种用于滚动元件（W）借助于超声波，其中，所述滚动体（W）一个由一个超声波测量装置（4）被供给，其中，所述滚动元件（W）中的超声波测量装置（4）的移动，和一个超声波测量经受并且其中的测试根据超声波测定的结果，各个滚动体（W）为故障或不正确分类。本发明也可用于执行该方法的Wälzkörperprüfanordnung，具有至少一个超声波测量装置（4）与用于各个滚动元件（W），至少一个超声头（10）和用于各个滚动元件的运动的驱动器的插座（W）。

77. 发明申请

WO2015017076A1 NON DESTRUCTIVE EVALUATION SCANNING PROBE WITH SELFCONTAINED MULTI-AXIS POSITION ENCODER 审中-公开
标题翻译：具有自动多轴位置编码器的非破坏性评估扫描探头
公开(公告)号：WO2015017076A1
公开(公告)日：2015-02-05
申请号：PCT/US2014/045351
申请日：2014-07-03
申请人： SIEMENS ENERGY, INC.
发明人： LOMBARDO, Erik A. , SEGLETES, David S. , ABU-JABER, Timor
IPC分类号： G01N27/90 , G01N29/22 , G01N29/265 , G01N29/27
CPC分类号： G01N27/902 , G01N27/9013 , G01N27/908 , G01N29/04 , G01N29/225 , G01N29/226 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N29/34 , G01N29/44
摘要： A scanning probe for an industrial nondestructive evaluation (NDE) ultrasound or eddy current scanning system. The scanning probe gathers reflected waveform data indicative of internal characteristics of the test object. The scanning probe also includes a self-contained multi-axis position encoder that correlates both multi-dimensional probe underside translation and rotation motion across the test sample surface with the multi-dimensional spatial location on the test object surface. The position encoder compensates for probe rotation that would otherwise negatively impact probe position determination accuracy. A data acquisition system combines sets of positional and waveform data for processing by an NDE analyzer.
摘要翻译：用于工业无损评估（NDE）超声或涡流扫描系统的扫描探头。扫描探针收集表示测试对象的内部特性的反射波形数据。扫描探针还包括独立的多轴位置编码器，其将多维探针下侧平移和穿过测试样品表面的旋转运动与测试对象表面上的多维空间位置相关联。位置编码器补偿探针旋转，否则会对探头位置确定精度产生负面影响。数据采集系统组合了由NDE分析仪进行处理的位置和波形数据。

78. 发明申请

WO2012010487A1 FEEDING DEVICE FOR AN ULTRASOUND INSPECTION SYSTEM 审中-公开
标题翻译：用于超声波检查系统的送料装置
公开(公告)号：WO2012010487A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：PCT/EP2011/062030
申请日：2011-07-14
申请人： GE SENSING & INSPECTION TECHNOLOGIES GMBH , MEINERT, Damian , SCHMITZ, Stephan
发明人： MEINERT, Damian , SCHMITZ, Stephan
IPC分类号： G01N29/22 , G01N29/27
CPC分类号： G01N29/225 , G01N29/27 , G01N2291/2634
摘要： The invention relates to a feeding device for an ultrasound inspection system, with means for transporting a test object (7), in particular a pipe, into an ultrasound inspection chamber of the ultrasound inspection system, comprising at least one guiding unit (1) for the test object with at least one, preferably three, still more preferably six elastically biased counter bearings (2) resting against a jacket surface (8) of the test object (7) via a contact part (4) in order to guide the test object during transport.
摘要翻译：本发明涉及一种用于超声检查系统的进给装置，具有用于将测试对象（7）特别是管道输送到超声波检查系统的超声检查室中的装置，该至少一个引导单元（1）用于具有至少一个，优选三个，更优选六个弹性偏置的反向轴承（2）的测试对象经由接触部分（4）抵靠被测物体（7）的护套表面（8），以引导测试对象在运输过程中。

79. 发明申请

WO2011123256A1 APPARATUS FOR CLASSIFYING DOCUMENTS USING ACOUSTIC EMISSION 审中-公开
标题翻译：使用声发射分类文件的装置
公开(公告)号：WO2011123256A1
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：PCT/US2011/028914
申请日：2011-03-18
申请人： EASTMAN KODAK COMPANY , SCHAERTEL, David M. , PHINNEY, Daniel P. , SAKHARSHETE, Swapnil
发明人： SCHAERTEL, David M. , PHINNEY, Daniel P. , SAKHARSHETE, Swapnil
IPC分类号： G01N29/14 , G01N29/27 , G01N29/44 , G01B17/02 , B65H7/12 , G01N33/34
CPC分类号： G01N29/14 , B65H5/062 , B65H7/125 , B65H2511/416 , B65H2511/524 , B65H2515/50 , B65H2515/82 , B65H2553/30 , B65H2801/39 , G01B17/02 , G01N29/27 , G01N29/4454 , G01N33/346 , G01N2291/0237 , G01N2291/02854 , B65H2220/01 , B65H2220/03 , B65H2220/02
摘要： An apparatus for classifying documents (5) based on sound includes a document transport (30) for transporting a document; an audio transducer (20) for detecting a sonic profile produced by the document as it is transported; and a controller for determining document characteristics based on the sonic profile.
摘要翻译：基于声音对文件（5）进行分类的装置包括用于传送文件的文件传送装置（30）一个音频传感器（20），用于检测文档在被传输时产生的声音轮廓; 以及用于基于声音简档确定文档特征的控制器。

80. 发明申请

WO2009010653A3 METHOD AND APPARATUS FOR THE AUTOMATIC NON-DESTRUCTIVE INSPECTION OF TUBULAR AXLE PINS HAVING VARIABLE INSIDE AND OUTSIDE RADIUS PROFILES 审中-公开
标题翻译：用于自动非破坏性检查具有可变内部和外部RADIUS配置文件的管状引线的方法和装置
公开(公告)号：WO2009010653A3
公开(公告)日：2009-03-19
申请号：PCT/FR2008000836
申请日：2008-06-16
申请人： V & M FRANCE , LESAGE FREDERIC , NOEL ALEXANDRE , NOGUEIRA DE PAULA RENATO
发明人： LESAGE FREDERIC , NOEL ALEXANDRE , NOGUEIRA DE PAULA RENATO
IPC分类号： G01N29/06 , G01N29/22 , G01N29/26 , G01N29/265 , G01N29/27
CPC分类号： G01N29/262 , G01N29/0609 , G01N29/225 , G01N29/265 , G01N29/27 , G01N2291/106 , G01N2291/2626 , G01N2291/2634 , G01N2291/2636
摘要： The invention relates to an axle pin inspection apparatus consisting of: (i) an inspection bench (BC) for receiving a tubular axle pin (AE) including a wall (PA) having known variable outside and inside radius profiles; (ii) at least one ultrasound probe (SU) for analysing at least one selected portion of the wall (PA) in a selected angular sector and, thereby, acquiring analysis data; (iii) inspection means (MC) for controlling the inspection bench (BC) in order to position each probe (SU) on the outer surface (SE) or the inner surface (SI) of the wall (PA) at at least a first location selected as a function of the profiles thereof and optionally the loading of the pin (AE), so that the probe analyses the first and second selected portions of the wall (PA) respectively in at least a first and at least a second selected angular sector oriented along first and second opposing longitudinal or transverse directions, and so that the probe acquires analysis data for different relative angular positions of the pin in relation to the probe; and (iv) processing means (MT) for producing charts on the basis of said analysis data, which charts are represent the transverse or longitudinal orientations and the echo indication positions inside the wall (PA).
摘要翻译：本发明涉及一种轴销检查装置，包括：（i）用于接收管状轴销（AE）的检查台（BC），其包括具有已知可变的外部和内部半径轮廓的壁（PA）; （ii）至少一个用于在选定的角度扇区中分析所述壁（PA）的至少一个选定部分的超声波探头（SU），从而获取分析数据; （iii）用于控制检查台（BC）的检查装置（MC），以便在至少第一个位置处将每个探针（SU）定位在壁（PA）的外表面（SE）或内壁表面（SI）上根据其轮廓和可选地加载针（AE）来选择位置，使得探针分别在至少第一和至少第二选定角度中分析壁（PA）的第一和第二选定部分沿着第一和第二相对的纵向或横向方向定向，并且使得探针获取与针头相对于销的不同相对角度位置的分析数据; 以及（iv）用于根据所述分析数据生成图表的处理装置（MT），哪些图表示墙壁（PA）内的横向或纵向取向和回波指示位置。

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