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71. 发明公开

CN1433513A 物理量检测装置、物理量检测装置的制造方法、及使用物理量检测装置的车辆控制系统失效
公开(公告)号：CN1433513A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN00818668.5
申请日：2000-05-02
申请人：株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
发明人：渡边泉 , 中田圭一 , 山田雅通
IPC分类号： G01F1/692 , G01N27/18 , G01N25/18 , F02D35/00
CPC分类号： G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
摘要：本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计20具有形成于半导体基板11的发热电阻12H和测温电阻12C。发热电阻12H形成于薄壁部11A。发热电阻12H的两端部分别通过第1引出导体13H1、13H2连接到电极14H1、14H2。连接于电极14H1的第2引出导体15H1延伸到空气流量传感器10的外周部。连接于电极14H2的第2引出导体15H2、15H3也延伸到空气流量传感器10的外周部，但在途中设置断线部16，成为电非导通的状态。

72. 发明公开

CN1318147A 流速探测器失效
公开(公告)号：CN1318147A
公开(公告)日：2001-10-17
申请号：CN00801406.X
申请日：2000-06-14
申请人：株式会社山武
发明人：图师信彦 , 上运天昭司
IPC分类号： G01F1/692 , G01P5/12
CPC分类号： G01F1/6845 , G01F1/692
摘要：将上游温度传感器3U1与下游温度传感器3D1设于加热器2－1的两侧，将加热器2－1的梳齿形的凹凸方向布置成与被测流体的流向A大致平行。此时，加热器2－1的热首先加热或梳齿形的、各温度传感器3U1、3D1的曲柄状连接部J，然后沿此曲柄形朝大致平行于被测流体的流向传递给直线部S。

73. 发明公开

CN116358653A 一种热式柔性流量传感器及其制备方法审中-实审
公开(公告)号：CN116358653A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310310876.5
申请日：2023-03-22
申请人：浙江大学
发明人：徐凯臣 , 李奇澳 , 蔡子墨 , 杨赓 , 李铁风 , 杨华勇
IPC分类号： G01F1/69 , G01F1/692
摘要：本发明公开了一种热式柔性流量传感器及其制备方法，包括柔性基底、导电电路、敏感层以及隔热器件，所述导电电路、敏感层均处于柔性基底的一面上，所述的敏感层为金属材料或半导体材料，所述隔热器件盖在柔性基底面上用于减少外界对所述导电电路和敏感层的影响，与现有技术相比，本发明装置基于的激光一体化技术适用于加工多种材料，可针对性地选择材料作为装置的敏感层与导电电路，且能精确的加工所需图案，以获取最佳性能和结构，此外，本发明装置不仅将热线与热温差的检测原理联用，大幅拓宽测量范围，也可柔性贴附复杂弯曲表面测量流速的方向，拓宽了流量传感器的使用范围。

74. 发明公开

CN116337165A 一种二维可测的柔性热式流量传感器、其制备方法及系统和应用审中-实审
公开(公告)号：CN116337165A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310289165.4
申请日：2023-03-22
申请人：浙江大学
发明人：徐凯臣 , 李奇澳 , 杨赓 , 李铁风 , 杨华勇
IPC分类号： G01F1/69 , A61B5/087 , H05K3/12 , G01F1/692 , B25J19/02
摘要：本发明公开了一种二维可测的柔性热式流量传感器、其制备方法及系统和应用，该系统用于实时检测流场的速度和方向，包括传感器主体、数据采集硬件和上位机可视化软件，所述的传感器主体包括柔性基底，热源，温度传感器，导电电路，隔热件，所述热源处于柔性基底中心，所述热源周向上均匀分布有若干个温度传感器，所述数据采集硬件可以实现15通道24位ADC转换、内置变压与无线数据传输，所述上位机软件可二维实时显示流场分布状态与数据处理，与现有技术相比，本发明的装置可二维测量并实时显示流速方向，且以柔性材料为基底，能够适应复杂的安装曲面，薄膜式结构对流场干扰小，同时自制软硬件方便了数据的收集与实时可视化，拓宽了传感器的应用范围。

75. 发明公开

CN114440997A 流量感测装置审中-实审
公开(公告)号：CN114440997A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202111300492.2
申请日：2021-11-04
申请人：霍尼韦尔国际公司
发明人：斯科特·爱德华·贝克 , 杰米·W·斯皮尔德里奇 , B·D·斯皮尔德里奇 , 菲利普·C·福斯特
IPC分类号： G01F1/688 , G01F1/692
摘要：本发明提供了与流量感测装置相关联的方法和设备。示例性流量感测装置包括流动顶盖部件和传感器部件。该流动顶盖部件或该传感器部件可包括加热元件。该流动顶盖部件可至少部分地限定流动通道，该流动通道被构造成用于介质流过其中。该加热器元件可正交于或垂直于该流动通道。该传感器部件可包括设置在该加热器元件上游的至少一个热感测元件和设置在该加热器元件下游的至少一个热感测元件。该传感器部件可包括设置在该加热器元件的该上游方向或该下游方向上的两个或更多个热感测元件。热感测元件可与该加热器元件间隔开不同距离，以增加在低流量下的流量测量的准确度和精度。

76. 发明公开

CN113811744A 热式传感器装置有权
公开(公告)号：CN113811744A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202080034643.1
申请日：2020-06-09
申请人：日立安斯泰莫株式会社
发明人：中野洋 , 松本昌大 , 小野瀬保夫 , 太田和宏
IPC分类号： G01F1/692 , G01K7/16 , G01K17/00 , G01N27/04 , G01N27/14 , G01N25/20
摘要：本发明提供能够通过抑制发热电阻体的热膨胀引起的塑性变形而减小发热电阻体的电阻变化，维持长期测定精度的热式传感器装置。在包括形成有开口部(2a)的基片(2)和具有以桥接开口部(2a)的方式层叠下层层叠膜(3a)、发热电阻体(5)和上层层叠膜(3b)的结构的膜片(4)的热式传感器装置(1)中，下层层叠膜(3a)的膜厚大于上层层叠膜(3b)的膜厚，下层层叠膜(3a)的平均热膨胀系数大于上层层叠膜(3b)的平均热膨胀系数，下层层叠膜(3a)由热膨胀系数不同的多个膜构成，所述多个膜中的热膨胀系数最大的膜形成在与下层层叠膜(3a)的厚度中心相比的下侧。

77. 发明公开

CN113175963A 一种MEMS流量传感器及制备方法有权
公开(公告)号：CN113175963A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110457870.1
申请日：2021-04-27
申请人：华东师范大学
发明人：蔡春华 , 毕恒昌 , 吴幸 , 王超伦
IPC分类号： G01F1/688 , G01F1/692
摘要：本发明涉及一种MEMS流量传感器及制备方法，该传感器的硅衬底内部设有密闭空腔，硅衬底上铺设有氧化硅绝缘层，氧化硅绝缘层上设有热电堆、第一加热电阻和第二加热电阻；第一加热电阻和第二加热电阻分别位于热电堆的两侧，且以热电堆的中心线为对称轴对称设置，第一加热电阻的两端分别设置有第一压焊块，第二加热电阻的两端分别设置有第二压焊块，热电堆的两端分别设置有第三压焊块；热电堆、第一加热电阻和第二加热电阻的上方覆盖氧化硅绝缘层，氧化硅绝缘层上方覆盖氮化硅保护层；热电堆、第一加热电阻和第二加热电阻构成的整体结构的外围设有隔热槽；隔热槽的槽底上依次铺设有氧化硅保护层和氮化硅保护层。本发明提高了测量精度。

78. 发明授权

CN107209043B 具有诊断功能的热式流量测量设备有权
公开(公告)号：CN107209043B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201580069657.6
申请日：2015-12-07
申请人：恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司
发明人：马丁·阿诺尔德 , 阿克塞尔·普福
IPC分类号： G01F25/00 , G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/696
摘要：一种热式流量测量设备(1)，所述热式流量测量设备(1)尤其用于确定和/或监测通过管道(2)的能流动介质(3)的质量流(ΦM)和/或流速(vD)，包括：至少三个传感器元件(4a、4b、4c)和电子单元(9)，其中，所述至少三个传感器元件(4a、4b、4c)中的每个至少部分地和/或有时与所述介质(3)热接触，并且包括能被加热温度传感器(5a、5b、5c)，以及其中，所述电子单元(9)被实施成用加热功率(P1、P2、P3)加热所述三个传感器元件(4a、4b、4c)中的每个，记录它们的温度(T1、T2、T3)，同时加热所述至少三个传感器元件(4a、4b、4c)中的至少两个，确认所述介质(3)的所述质量流(ΦM)和/或所述流速(vD)，根据所述至少三个传感器元件(4a、4b、4c)的所述温度(T1、T2、T3)和/或所述加热功率(P1、P2、P3)和/或由所述温度(T1、T2、T3)和/或所述加热功率(P1、P2、P3)中的至少一个推导出的至少一个变量的成对比较，提供与所述至少三个传感器元件(4a、4b、4c)中的至少一个的热阻改变有关的信息，根据对供应到所述至少三个传感器元件中的至少一个的所述加热功率的突变ΔP的响应，提供与所述至少一个传感器元件的内部热阻改变有关的信息，以及在所述至少三个传感器元件(4a、4b、4c)中的至少一个的情况下发生内部和/或外部热阻改变的情况下，对所述质量流(ΦM)和/或所述流速(vD)的测量值执行校正和/或生成并输出与所述至少一个传感器元件的所述质量流(ΦM)和/或所述流速(vD)的状态有关的报告。

79. 发明公开

CN112313481A 流量传感器有权
公开(公告)号：CN112313481A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201980042201.9
申请日：2019-06-20
申请人：日立汽车系统株式会社
发明人：中土裕树 , 小野瀬保夫 , 余语孝之 , 岛田辽太郎
IPC分类号： G01F1/684 , G01F1/692
摘要：流量传感器包括：引线框；半导体芯片，其配置在所述引线框的一个面上，在所述半导体芯片形成了在所述引线框一侧具有空腔部的膜片；流量检测部，其形成在所述半导体芯片的包含所述膜片上的所述一个面上；和树脂，其具有使形成在所述膜片上的所述流量检测部的至少一部分露出的流路用开口部，覆盖所述引线框和所述半导体芯片，所述树脂的、覆盖在所述引线框的与所述一个面一侧为相反侧的另一个面一侧的下部侧树脂部，在与所述膜片的周缘部相对的区域具有比周围薄的薄壁部。

80. 发明公开

CN110715697A 一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件有权
公开(公告)号：CN110715697A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201910913154.2
申请日：2019-09-25
申请人：北京控制工程研究所
发明人：付新菊 , 张恒 , 吕泰增 , 关威 , 刘旭辉 , 汪旭东 , 龙军 , 李秀堂 , 石召新 , 杨灵芝 , 王平 , 蒋庆华 , 李恒建 , 王宇
IPC分类号： G01F1/692 , G01F15/00 , G01F15/14
摘要：本发明提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，包括测量元件、陶瓷电连接器、流道组件。测量元件用于感受被测流体流量，将流量信号转化为变化的电阻阻值信号，进而转化为电压模拟量的变化；陶瓷电连接器用于承载测量元件，通过陶瓷材料上的导电薄膜将测量元件所测信号输出，同时与流道组件配合，起到承压与密封作用；流道组件承载被测流体，形成层流换热通道，同时跟陶瓷电连接器配合。本发明结构简单、可靠性高、尺寸小、重量轻，适合于微克级气体的高精度测量。

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