专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

81. 发明授权

KR102224612B1 진공 환경에서 사용하기 위한 고휘도 붕소 함유 전자 빔 에미터 有权
公开(公告)号：KR102224612B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020197002786
申请日：2017-06-20
申请人： 케이엘에이 코포레이션
发明人： 슐츠윌리엄쥐. , 델가도길다르도 , 힐프란시스 , 가르시아베리오스에드가르도 , 가르시아루디
IPC分类号： H01J33/04 , G21K5/02
摘要： 금속붕화물물질을함유한에미터는반경이 1㎛이하인적어도부분적으로둥글게된 팁을갖는다. 전계가에미터에인가되고전자빔이에미터로부터생성된다. 에미터를형성하기위해, 반경이 1㎛이하인둥근팁을가진금속붕화물물질을함유한에미터를형성하도록물질이단결정봉으로부터제거된다.

82. 发明授权

KR101828864B1 광음극 고주파 전자총 공동 장치 有权
标题翻译：光阴极高频电子枪组装装置
公开(公告)号：KR101828864B1
公开(公告)日：2018-02-14
申请号：KR1020137007450
申请日：2011-09-26
申请人： 인터 유니버시티 리서치 인스티튜트 코포레이션 하이 에너지 엑셀레이터 리서치 오거나이제이션
发明人： 우라카와쥰지 , 테루누마노부히로 , 타카토미토시카즈
IPC分类号： H01J37/073 , G21K1/00 , H05H7/08 , G21K5/02
CPC分类号： H01J29/481 , H01J3/021 , H01J3/36 , H01J23/06 , H01J25/04 , H01J2237/0432 , H01J2237/04735 , H01J2237/062 , H01J2237/06333 , H05G2/00 , H05H7/08 , H05H2007/084
摘要： 본발명의광음극고주파전자총공동장치는, 고주파가속공동(1), 광음극(8;15), 레이저입사포트(9), 고주파전력입력커플러포트(10), 및고주파공진튜너(16)를구비하며, 방전방지·고주파전계의고강도화·고주파의공진안정성의향상을위해서, 그내면에있어서예각부를가지지않으면서평활한곡면만으로형성된공동(空洞) 셀을내부에가지는초소형의고주파가속공동을이용하는것을특징으로한다. 또한, 광음극면에서의전계(電界) 강도를최대로하기위해서광음극을고주파가속공동의하프셀(5)의단부에마련하고, 쇼트번치광전자의품질을최선으로하기위해서레이저입사포트를고주파가속공동의전자빔출구의후방에있어서광음극과대향되는위치에마련하여레이저수직입사를확보하고, 고주파의전계강도를높이기위해서고주파전력입력커플러포트를고주파가속공동의셀의측부에마련하였다. 이에의해, 대강도고품질의전자빔을발생할수 있는소형의광음극고주파전자총공동장치가제공가능해졌다.
摘要翻译：它光电阴极在本发明的高频电子枪腔装置，高频加速腔（1），光学阴极（8; 15），所述激光入射口9，高频功率输入耦合器端口10，和一个高频谐振器的调谐器16 提供和排出阻止，为了提高高强度，高频电场的高频共振稳定性，不必在使用高频加速腔的内面书评锐角的部分具有腔（空洞）形成仅具有一个活性表面内的非常小的小区和被表征。此外，光学阴极侧eseoui字段（电界）极光阳极到强度的半电池的最大高频加速腔（5）高频加速激光入射端口建立一个uidan部分和短束光电子最好的质量在阴极中提供的模腔的电子束出口和相对位置，以确保激光垂直入射，这是在为了提高高频电场强度设置在单元的高频加速腔的侧面上的高频功率输入耦合器端口的光的后方。结果，可以提供一种能够产生高度粗糙度的电子束的小尺寸光电阴极高频电子枪腔装置。

83. 发明公开

KR1020100116294A 소프트 엑스레이를 이용한 단극 입자 하전 장치 失效
标题翻译：装载使用软X射线的单核颗粒的装置
公开(公告)号：KR1020100116294A
公开(公告)日：2010-11-01
申请号：KR1020090034930
申请日：2009-04-22
申请人： (주)에이치시티 , 안강호
发明人： 권용택 , 최정석 , 김대성 , 안강호 , 윤진욱
IPC分类号： G21K5/02 , G21K5/10 , G01N27/64
CPC分类号： H05F3/06 , B01J19/125 , G21K5/02
摘要： PURPOSE: An apparatus for charging a unipolar particle using soft x-ray is provided to help a user to simply a unipolar charged particle by applying a similar polarity to a target particle to a collecting pin. CONSTITUTION: The chamber(112) of a housing(110) forms the passage of aerosol including particles. An inlet tube(114) is formed on one side of the outer surface of the housing to guide particles inside a chamber. An exhaust pipe(116) is formed on the other side of the outer surface of the hosing to discharge particles from the chamber. A soft x-ray projection unit generates a positive ion and a negative ion through projecting the soft X-ray inside chamber. The collection unit generates a unipolar charged particles by collecting an opposite polarity to a target. A power supply unit applies power to having similar polarity to the target.
摘要翻译：目的：提供使用软x射线对单极粒子进行充电的装置，以通过向收集销施加与目标颗粒相似的极性来简化单极带电粒子。构成：壳体（110）的室（112）形成包括颗粒的气溶胶的通道。入口管（114）形成在外壳的外表面的一侧上以引导腔内的颗粒。排气管（116）形成在弹簧的外表面的另一侧上以从腔室排出颗粒。软X射线投影单元通过在室内投射软X射线产生正离子和负离子。收集单元通过收集与目标相反的极性来产生单极带电粒子。电源单元对目标进行与极性相似的电源。

84. 发明公开

KR870009611A X-선 석판인쇄 시스템 失效
公开(公告)号：KR870009611A
公开(公告)日：1987-10-27
申请号：KR870002389
申请日：1987-03-17
IPC分类号： G01N23/00 , G03F7/20 , G21K1/06 , G21K5/00 , G21K5/02 , H01J35/00 , H01L21/027 , H05G1/00
摘要： 내용없음

85. 发明授权

KR102348995B1 X선 검사 장치, X선 박막 검사 방법 및 로킹 커브 측정 방법 有权
公开(公告)号：KR102348995B1
公开(公告)日：2022-01-10
申请号：KR1020197002613
申请日：2017-07-12
IPC分类号： G01N23/207 , G21K1/06 , G21K5/02
摘要： 본발명의 X선검사장치는, X선조사유닛(40)이, 특성 X선을세로방향으로집광하는제1 X선광학소자(42)와, 특성 X선을가로방향으로집광하는제2 X선광학소자(43)를포함한다. 제1 X선광학소자(42)는, 높은결정성을가지는결정재료로구성되어있다. 또, 제2 X선광학소자(43)는, 다층막미러로구성되어있다.

86. 发明授权

KR101610243B1 X선관 有权
标题翻译： XX射线管
公开(公告)号：KR101610243B1
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020147024079
申请日：2013-03-01
申请人： 후타바 코포레이션 , 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 아키라마츠모토 , 키요유키데구치 , 유이치코구레 , 카즈히토나카무라 , 토모유키오카다 , 토루후지타 , 타츠야나카무라
IPC分类号： H01J35/18 , H01J35/06 , H01J35/08 , G21K5/02 , G21K5/04
CPC分类号： H01J35/045 , H01J35/04 , H01J35/06 , H01J35/16 , H01J35/18 , H01J2235/087 , H01J2235/186
摘要： 정해진방향으로확대된조사영역에서원하는조건에서안정된 X선조사를할 수있는 X선관을제공한다. 개구부(6)를구비하고 426 합금으로만들어진기판(4)과, 기판(4)의개구부(6)를막도록설치된티탄박으로만들어진 X선투과창(5)과, 기판(4)에장착되어내부가진공상태로되어있는편평상자형용기부(3)와, 용기부(3)의내부에있어서개구부(6)에설치된 X선타깃(7)과, 용기부(3)의내부에서 X선타킷(7)에전자를입사시키는전자원을포함한다. 또한, 전자원은직선모양음극(9)과, 음극(9)에서전자를인출하는제1제어전극(10)과, 인출된전자의조사범위를제한하는제2제어전극(11)을포함한다. 이때, X선투과창(5)에서출사되는 X선은, 개구부(6)의개구형상으로부터방사상으로퍼진다.

87. 发明公开

KR1020150129750A 극자외 광원용 타겟 审中-实审
标题翻译：极光超紫外光源的目标
公开(公告)号：KR1020150129750A
公开(公告)日：2015-11-20
申请号：KR1020157026388
申请日：2014-02-20
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 타오예젱 , 라팍로버트제이. , 포메코프이고르브이. , 브라운다니엘제이.더블유. , 골리치다니엘제이.
IPC分类号： G21K5/02 , H05G2/00 , H01S3/10
CPC分类号： H05G2/008 , G21K5/02 , H01S3/10 , H05G2/005
摘要： 타겟을형성하고극자외(extreme ultraviolet, EUV) 광을발생하는기술은, 플라즈마로변환된때에극자외광을방출하는재료를포함하는초기타겟재료를타겟지점쪽으로방출하는단계와, 초기타겟재료로부터타겟재료의조각의집합체를형성하기에충분한에너지를갖는제1 증폭광빔을초기타겟재료쪽으로지향시키는단계로서, 각각의조각이초기타겟재료보다작고, 반구형상체적부전반에공간적으로분포되어있는, 지향시키는단계와, 타겟재료의조각을 EUV 광을방출하는플라즈마로변환하기위해조각의집합체쪽으로제2 증폭광빔을지향시키는단계를포함한다.

88. 发明授权

KR101559298B1 비상 상황에서 방사능 소스 회수가 가능한 비파괴 검사용 배관 내부 이송장치 有权
标题翻译：在紧急情况下检测放射源的管道中可移动的非结构性检查装置
公开(公告)号：KR101559298B1
公开(公告)日：2015-11-03
申请号：KR20150079076
申请日：2015-06-04
申请人： KUMSUNGGTC CO LTD
发明人： JUNG HYUN JIN , KIM HYUNG SIK , SEO YEONG BEOM
IPC分类号： G01N23/04 , F16L55/26 , G21F1/08 , G21K1/02 , G21K5/02
摘要： 본발명은배관내부로진입하여배관의용접부등을검사할수 있는비상상황에서방사능소스회수가가능한비파괴검사용배관내부이송장치에관한것이다. 상기비파괴검사용배관내부이송장치는, 부품들이장착되는본체; 상기본체의후방에위치되어모터에의해구동되는후방좌측바퀴및 후방우측바퀴; 상기본체의전방에좌우방향으로회전가능하게연결되는회전플레이트; 상기회전플레이트에고정되어상기본체의외부로돌출되는전방좌측바퀴및 전방우측바퀴; 방사선원이내장된방사선캡슐; 상기방사선캡슐을차폐상태로보관하는컨테이너; 상기컨테이너와연결되어상기방사선캡슐을이송하기위한전송관; 상기전송관의전방단부와연결되는콜리미터; 상기전송관을통해상기컨테이너와상기콜리미터사이에서상기방사선캡슐을이송하기위한방사선원이송부; 를포함한다. 이러한구성에따르면, 회전플레이트와결합되는전방좌측바퀴및 전방우측바퀴가좌우방향으로회전가능하게구성되어굴곡있는배관에서도자연스럽게중심을맞출수 있는비상상황에서방사능소스회수가가능한비파괴검사용배관내부이송장치를제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于非破坏性检查的管道中的运输装置，其能够在紧急情况下检索放射源。用于非破坏性检查的管道中的运输装置包括：主体，其上安装有部件; 后左轮和后右轮，其设置在主体的后部并由电动机驱动; 旋转板，连接到主体的前部，以沿左/右方向旋转; 前左轮和前右轮，其固定在旋转板上并从主体的外侧突出; 其中嵌入放射源的放射性胶囊; 用于将放射性胶囊储存在屏蔽状态的容器; 连接到容器以传输放射性胶囊的传输管; 连接到所述传输管的前端的碰撞器; 以及放射源输送单元，用于经由输送管在容器和冲击仪之间输送放射性胶囊。因此，安装在旋转板上的前左轮和前右轮可以在左右方向上旋转，即使在弯曲管中也能自然地与中心对准。

89. 发明公开

KR1020140138663A X선관 有权
标题翻译： X射线管
公开(公告)号：KR1020140138663A
公开(公告)日：2014-12-04
申请号：KR1020147024079
申请日：2013-03-01
申请人： 후타바 코포레이션 , 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 아키라마츠모토 , 키요유키데구치 , 유이치코구레 , 카즈히토나카무라 , 토모유키오카다 , 토루후지타 , 타츠야나카무라
IPC分类号： H01J35/18 , H01J35/06 , H01J35/08 , G21K5/02 , G21K5/04
CPC分类号： H01J35/045 , H01J35/04 , H01J35/06 , H01J35/16 , H01J35/18 , H01J2235/087 , H01J2235/186
摘要： 정해진 방향으로 확대된 조사영역에서 원하는 조건에서 안정된 X선 조사를 할 수 있는 X선관을 제공한다.
개구부(6)를 구비하고 426 합금으로 만들어진 기판(4)과, 기판(4)의 개구부(6)를 막도록 설치된 티탄박으로 만들어진 X선 투과창(5)과, 기판(4)에 장착되어 내부가 진공상태로 되어 있는 편평상자형 용기부(3)와, 용기부(3)의 내부에 있어서 개구부(6)에 설치된 X선 타깃(7)과, 용기부(3)의 내부에서 X선 타킷(7)에 전자를 입사시키는 전자원을 포함한다. 또한, 전자원은 직선모양 음극(9)과, 음극(9)에서 전자를 인출하는 제1제어전극(10)과, 인출된 전자의 조사범위를 제한하는 제2제어전극(11)을 포함한다. 이때, X선 투과창(5)에서 출사되는 X선은, 개구부(6)의 개구형상으로부터 방사상으로 퍼진다.

90. 发明公开

KR1020050003392A 노광장치 및 이것을 이용한 디바이스의 제조방법 失效
标题翻译：曝光装置及使用该装置制造装置的方法
公开(公告)号：KR1020050003392A
公开(公告)日：2005-01-10
申请号：KR1020047017241
申请日：2003-04-11
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 히우라미츠루 , 츠지토시히코
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G21K5/02 , G21K1/06
CPC分类号： G03F7/70916 , B82Y10/00 , G02B17/0663 , G03F7/70033 , G03F7/70175 , G03F7/70941 , H05G2/001 , G03F1/24 , H05H1/24
摘要： 표적상에 여기 레이저를 조사하고, 생성된 플라즈마로부터, 극자외선 영역 또는 X선 영역의 조명광을 생성하기 위한 광원을 생성시키는 노광장치에 있어서, 상기 조명광을 이용해서, 전사될 패턴을 형성하는 반사형 레티클을 조명하고, 상기 광원에 인접한 제 1미러를 포함하는 조명광학계와, 상기 조명광학계의 제 1미러의 앞쪽에서 조명광을 집광하는 타원형 미러와, 상기 레티클상에 반사된 패턴을 피노광체상에 축소투영하는 투영광학계를 구비하고, 상기 여기 레이저의 광축방향이 해당 여기 레이저에 의해 플라즈마를 생성하는 위치를 넘어서 진행하는 광은, 상기 조명광학계, 상기 투영광학계 및 상기 타원형 미러를 포함하는 해당 노광장치의 구성소자와 간섭하지 않는 것을 특징으로 한다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式