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91. 发明授权

CN108449950B 微机械的转速传感器和用于制造该微机械的转速传感器的方法有权
公开(公告)号：CN108449950B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201680067979.1
申请日：2016-11-10
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： R.诺伊尔 , T.奥姆斯 , R.莫尔 , M.哈塔斯 , C.赫普纳 , O-A.普吕茨 , B.施密特 , R.舍本 , F.霍伊克
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5747
摘要：本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。

92. 发明授权

CN110779510B 一种三轴MEMS陀螺仪有权
公开(公告)号：CN110779510B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201911112353.X
申请日：2019-11-14
申请人：无锡莱斯能特科技有限公司
发明人：王辉
IPC分类号： G01C19/5712
摘要：本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底；第一质量块，被配置为能够被驱动以绕结构中心在X方向和Y方向组成的平面内旋转；第一检测装置组，用于检测绕X方向和绕Y方向的角速度；四边形联动结构，设置在第一质量块内部；第二质量块组，包括至少两个第二质量块，对称设置；第二检测装置组，用于检测绕Z方向的角速度；至少两组驱动装置组，每一组驱动装置组包括对称设置的两个驱动方向相反的驱动装置；驱动装置，设置在四边形联动结构内部，被配置为驱动第二质量块组沿X方向移动。本发明的三轴MEMS陀螺仪结构简单、能有效减弱双倍频、非线性问题，输出信号强。

93. 发明公开

CN111578922A 平衡多轴陀螺仪有权
公开(公告)号：CN111578922A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010095127.1
申请日：2020-02-14
申请人：株式会社村田制作所
发明人：安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC分类号： G01C19/5712
摘要：微机电陀螺仪包括围绕第一四个块的组的中心点定中心的第一四个基准质量块的组和围绕第二四个块的组的中心点定中心的第二四个基准质量块的组。陀螺仪包括悬架装置，该悬架装置构造成适应第一四个基准质量块的组和第二四个基准质量块的组的初级振荡运动和次级振荡运动。悬架装置包括第一同步框架和第二同步框架。每个同步框架包围相应的四个基准质量块的组，并且每个基准质量块通过一个或更多个框架悬架弹簧联接至周围的同步框架。陀螺仪还包括侧向同步弹簧，该侧向同步弹簧从第一四个基准质量块的组延伸至第二四个基准质量块的组。

94. 发明公开

CN111522400A 经由HMI扩展来增强可穿戴设备用户体验的回转感测系统有权
公开(公告)号：CN111522400A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010309411.4
申请日：2016-05-16
申请人：英特尔公司
发明人： K·C·杨 , W·C·宋 , H·L·赫克 , S·S·F·方
IPC分类号： G06F1/16 , G06F3/0346 , G01C19/5712
摘要：可为回转感测系统(GSS)提供用于扩展电子设备(特别是小形状因素的可穿戴设备)的人机接口(HMI)的方法和系统。回转感测系统可包括回转传感器以及用来接合回转传感器的可旋转元件。可旋转元件可被设定大小并被配置成用手来轻松操纵以扩展电子设备的HMI，使得HMI的各功能更易于访问。可旋转元件可包括一个或多个可旋转组件(诸如智能手表的主体、边缘或表面)，该一个或多个可旋转组件各自均可被配置成在旋转之际执行诸如复位、选择和/或激活菜单项之类的功能。

95. 发明公开

CN111512118A 检测质块偏移量补偿有权
公开(公告)号：CN111512118A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201880084368.7
申请日：2018-10-24
申请人：应美盛股份有限公司
发明人： M·汤普森
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5719 , G01C19/5733 , G01C19/574 , G01P15/125
摘要：一种微机电(MEMS)传感器包括位于MEMS层内并且相对于一个或多个电极定位的MEMS部件。多个检测质块位于MEMS层内并且在MEMS层内不彼此电耦合。第一检测质块和第二检测质块均相对于所述一个或多个电极中的至少一个公共电极而移动，使得可以感测每个检测质块相对于电极的相对位置。可以基于感测到的相对位置来确定感测到的参数。

96. 发明授权

CN107561304B 角速度取得装置有权
公开(公告)号：CN107561304B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201710120474.3
申请日：2017-03-02
申请人：株式会社东芝
发明人：富泽泰 , 山本悠 , 池桥民雄
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01C19/56 , G01C19/5719 , G01C19/5762
摘要：实施方式提供一种加工偏差不易给动作带来影响的角速度取得装置。实施方式的角速度取得装置具备：可动体，该可动体在第1方向及基于科里奥利力的第2方向上振动，具有在上述第2方向上延伸的可动电极部；保持电极，具有在上述第2方向上延伸、并隔开间隙地与上述可动电极部对置的固定电极部；以及挡块，配置在上述固定电极部与上述可动电极部之间，具有位于比上述固定电极部的与上述可动电极部对置的面更靠上述可动电极部侧的端部。

97. 发明公开

CN109716143A 将惯性传感器的旋转运动转换为其检验质量块的线性运动审中-实审
公开(公告)号：CN109716143A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780041650.2
申请日：2017-07-26
申请人：卢米达因科技公司
发明人：黄小浚 , 厄赞·阿纳克 , 理查德·李·沃特斯
IPC分类号： G01P15/097 , B81B5/00 , G01C19/5712 , G01P15/125 , G01P15/08
摘要：本文公开了用于将旋转运动转换为线性运动的系统和方法。包括旋转驱动的系统可以通过包括联接弹簧的第一结构连接到检验质量块。锚可以通过包括驱动弹簧的第二结构连接到检验质量块。联接弹簧和驱动弹簧可以被配置为当旋转驱动绕第二轴旋转时使检验质量块基本上沿第一轴移动。

98. 发明授权

CN105122002B 转速传感器有权
公开(公告)号：CN105122002B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201480020356.X
申请日：2014-04-07
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： J·赖因穆特
IPC分类号： G01C19/5712
摘要：一种微机械结构、尤其转速传感器，其具有衬底，所述衬底具有主延伸面，具有第一克里奥利元件、第二克里奥利元件、至少一个用于使所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件从静止位置偏转的驱动装置和至少一个探测装置，其特征在于，所述第一克里奥利元件相对于平行于所述主延伸面延伸的第一轴线相对于所述第二克里奥利元件质量对称地构造，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件具有一个共同的主延伸面，其中，所述共同的主延伸面在静止位置中与所述衬底的主延伸面平行地延伸，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件相对于垂直于所述第一轴线延伸的第二轴线分别质量对称地构造，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件能够通过所述驱动装置驱动成围绕所述第一轴线的旋转振动，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件在平行于所述第二轴线在所述主延伸面上的投影作用的转速的情形中为了克里奥利力的力作用能够在围绕垂直于所述主延伸面延伸的并且经过所述第一轴线和所述第二轴线的交点延伸的第三轴线的旋转振动的意义上偏转，其中，所述微机械结构具有至少一个第一偏转元件和至少一个第二偏转元件，其中，所述第一偏转元件和所述第二偏转元件相对于所述第一轴线并且相对于所述第二轴线质量对称地构造，其中，所述第一偏转元件至少与所述第一克里奥利元件而所述第二偏转元件至少与所述第二克里奥利元件如此耦合，使得所述克里奥利力在所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件上的力作用能够在所述第一偏转元件和所述第二偏转元件围绕所述第三轴线的旋转振动的意义上通过所述探测装置探测。

99. 发明公开

CN108027241A 用于微机电装置的电极有权
公开(公告)号：CN108027241A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680052573.6
申请日：2016-09-08
申请人：株式会社村田制作所
发明人：马库斯·林基奥
IPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/00
CPC分类号： H03B5/30 , B81B3/0045 , G01C19/5712 , H03B2201/0208
摘要：一种微机电装置结构包括支承结构晶片(310)。在支承结构晶片中的腔内形成腔电极(130)。腔电极形成从腔的基部朝向功能层(300)的突出结构，并且腔电极连接至限定电位。腔电极包括在支承结构晶片中的腔内的硅柱，该硅柱部分地或完全地被腔包围。可以使用一个或多个腔电极来调节在功能层内发生的振荡的频率。

100. 发明授权

CN103712612B 加速度和角速度谐振检测集成结构及相关MEMS传感器设备有权
公开(公告)号：CN103712612B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201310463706.7
申请日：2013-09-27
申请人：意法半导体股份有限公司
发明人： C·科米 , A·科里利亚诺 , L·巴尔达萨雷
IPC分类号： G01C19/5712 , G01P15/125
CPC分类号： G01C19/574 , G01C19/56 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P2015/0831
摘要：一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。

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