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    • 93. 发明公开
    • 紧凑型振动传感器
    • CN118451303A
    • 2024-08-06
    • CN202380015551.2
    • 2023-01-30
    • 声扬荷兰有限公司
    • R·莫格林
    • G01H11/06H04R1/10G01H11/08H04R1/28H04R17/02H04R19/00H04R31/00
    • 本发明涉及一种振动传感器,包括用于检测所产生的压力变化的压力检测装置,其中压力检测装置包括MEMS管芯和信号处理器,其中MEMS管芯包括前体积和MEMS盒,并且其中MEMS管芯包括相对布置的第一表面和第二表面;压力产生装置,用于响应于振动传感器的振动在耦接体积中产生压力变化,其中压力产生装置包括框架结构,该框架结构包括凹槽、包括第一表面和第二表面的悬架构件以及固定到悬架构件的第一表面或第二表面的至少一部分的可移动质量块;以及包括第一表面的PCB,和使用粘合剂固定到PCB的第一表面的壳体,其中壳体与PCB的第一表面组合地界定了压力检测装置和压力产生装置布置在其内的体积,其中耦接体积由框架结构的凹槽以及悬架构件的第二表面的至少一部分界定,并且其中所述耦接体积经由在框架结构中的声学开口与MEMS管芯的MEMS盒声学连接,并且其中MEMS管芯的第一表面固定到框架结构的至少一部分,并且其中MEMS管芯的第二表面的至少一部分固定到PCB的第一表面。本发明还涉及到一种包括这种振动传感器的听力设备,以及用于检测听力设备的使用者的头骨中的由声音引起的振动的这种振动传感器的用途。