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    • 35. 发明公开
    • 在接合焊盘下的低电容静电放电保护结构
    • CN1922739A
    • 2007-02-28
    • CN200580005213.2
    • 2005-02-24
    • 密克罗奇普技术公司
    • 兰迪·L·亚克
    • H01L29/87H01L27/02
    • H01L27/0259Y10S257/917
    • 本发明揭示一种大体上位于一集成电路接合焊盘下的静电放电保护结构。通过将一正向二极管插入所述接合焊盘与所述静电放电箝位电路之间,来将此静电放电保护结构形成为一低电容结构。将所述静电放电保护结构放置在所述接合焊盘下可消除寄生衬底电容,且利用由所述插入的正向偏压二极管所形成的一寄生PNP晶体管。所述静电放电保护结构包含大体上位于一要受静电放电保护的接合焊盘下的相邻交替的P+和N+扩散。使用金属通孔将所述P+扩散连接到所述接合焊盘金属,所述金属通孔穿过一位于所述接合焊盘与所述P+和N+扩散之间的绝缘层。所述N+扩散邻近所述P+扩散。一N+扩散围绕所述N+和P+扩散,并将所述N+扩散连接在一起,以便形成一完全围绕所述P+扩散中每一者的连续的N+扩散。一N-阱大体上位于所述N+和P+扩散下。所述围绕的N+扩散部分地与其下的所述N-阱的边缘重叠。所述N+扩散的外侧部分(即与所述N-阱重叠的部分)位于一P-阱内。所述P-阱可为所述集成电路的衬底。另一N+扩散将围绕所述P+扩散的N+扩散包围起来。所述另一N+扩散位于所述P-阱中,且一场氧化物可位于所述N+扩散与所述另一N+扩散之间。形成一NPN场效晶体管,其中以所述N+扩散为晶体管集极,以所述P-阱为晶体管基极,且以所述另一N+扩散为射极。可通过一例如金属或低电阻半导体材料的导电连接件将所述另一N+扩散(射极)接地。