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    • 86. 发明公开
    • 半导体器件
    • CN102714181A
    • 2012-10-03
    • CN201080055574.9
    • 2010-12-07
    • 新加坡优尼山帝斯电子私人有限公司
    • 舛冈富士雄中村広记
    • H01L21/8244H01L27/11
    • H01L21/823487H01L27/1108
    • 本发明的半导体存储器件由在衬底上排列有6个MOS晶体管的静态型存储单元所构成。所述6个MOS晶体管分别由用以存取存储器的第1及第2NMOS存取晶体管、用以驱动用来保持存储单元的数据的存储节点的第3及第4NMOS驱动晶体管、及供给用以保持存储单元的数据的电荷的第1及第2PMOS负载晶体管所构成。用以存取存储器的第1及第2NMOS存取晶体管,在与衬底垂直的方向阶层地配置有第1扩散层、柱状半导体层及第2扩散层;所述柱状半导体层配置在所述第1扩散层与所述第2扩散层之间,且在所述柱状半导体层的侧壁形成有栅极。用以保持存储单元的数据而驱动存储节点的第3及第4NMOS驱动晶体管,在与衬底垂直的方向阶层地配置有第3扩散层、柱状半导体层及第4扩散层,所述柱状半导体层配置在所述第3扩散层与所述第4扩散层之间,且在所述柱状半导体层的侧壁形成有栅极;用以保持存储单元的数据而供给电荷的第1及第2PMOS负载晶体管分别在与衬底垂直的方向阶层地配置有第5扩散层、柱状半导体层及第6扩散层,所述柱状半导体层配置在所述第5扩散层与所述第6扩散层之间,且在所述柱状半导体层的侧壁形成有栅极。再者,形成第3及第4NMOS驱动晶体管的第3扩散层的上端与第4扩散层的下端之间的长度,比形成第1及第2NMOS存取晶体管的第1扩散层的上端与第2扩散层的下端之间的长度为短。