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81. 发明公开

CN109119314A 等离子体源有权
公开(公告)号：CN109119314A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810036200.0
申请日：2018-01-15
申请人：日新离子机器株式会社
发明人：藤田秀树 , 糸井骏
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/317
摘要：本发明提供一种离子或电子的引出效率高的等离子体源。等离子体源(1)包括：室(11)，具有用于将在内侧生成的离子或电子向外辐射的开口部(11a)；气体导入部(31)，向室(11)内导入气体；真空连接器(14)，设置在周壁(111)的与开口部(11a)相对的位置上；天线(15)，基端部(15a)与真空连接器(14)连接，在室(11)内朝向开口部(11a)延伸；第一绝缘体部(21)，覆盖天线(15)的位于室(11)内的前端部(15b)一侧的第一部位(P1)；第二绝缘体部(13)，覆盖天线(15)的位于室(11)内的基端部(15a)一侧的第二部位(P2)；以及导体部(16)，覆盖第二绝缘体部(13)。

82. 发明公开

CN108735565A 离子束装置有权
公开(公告)号：CN108735565A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810237376.2
申请日：2018-03-22
申请人：日本株式会社日立高新技术科学
发明人：松原信一 , 川浪义实 , 志知广康
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/28 , H01J37/305
摘要：提供一种离子束装置，能够减轻对试样造成的损伤，并且在短时间内切换观察和加工。本发明所涉及的离子束装置切换照射将H3+离子包含得最多的离子束的动作模式和照射将比H3+重的离子包含得最多的离子束的动作模式。

83. 发明授权

CN105374655B 离子布植方法与离子布植机有权
公开(公告)号：CN105374655B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201510493080.3
申请日：2015-08-12
申请人：汉辰科技股份有限公司
发明人：苏科缙 , 张国忠 , 吴铭伟 , 黄伟铨 , 杨学人 , 陈智谦
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/317
摘要：本发明提出离子布植方法与离子布植机。布植气体与稀释气体被传输至离子源的流量的比例被控制在3:1到20:1之间。布植气体可以是磷化氢、三氟化硼、二氧化碳、四氟化锗、砷化氢、一氧化碳、四氟化碳、氮、四氟化硅或其组合，而稀释气体可以是氢、氦或其组合。当稀释气体同时有氦与氢时，氦与氢的体积比例被控制在1:99到3:17之间。藉由使用这样特定的程序，离子源的使用期限得以延长。

84. 发明公开

CN108475609A 温控离子源有权
公开(公告)号：CN108475609A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680074896.5
申请日：2016-12-05
申请人：瓦里安半导体设备公司
发明人：史考特·C·后登 , 具本雄 , 布兰特·S·宾斯 , 理查尔·M·怀特 , 肯尼士·L·斯塔克斯 , 艾利克·R·科步
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/08
摘要：本发明公开了一种具有经改善的温度控制的离子源。离子源的一部分位于散热器中的凹腔内，其中离子源的一部分以及凹腔分别塑形以使得离子源的膨胀导致与散热器发生高压热接触。举例来说，离子源可具有锥形的柱体端，锥形的柱体端适配于散热器中的凹腔内。离子源的热膨胀导致锥形的柱体端压靠在散热器的凹腔内。通过恰当地选择散热器的温度、经过散热器的冷却剂流体的温度及流量、以及散热器与离子源之间的间隙的尺寸，离子源的温度可得到控制。

85. 发明公开

CN108376636A 用于离子束产生的新颖的源组装件有权
公开(公告)号：CN108376636A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201711392093.7
申请日：2017-12-21
申请人： FEI , 公司
发明人： L.范考文 , G.N.A.范维恩
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/21
摘要：一种用于产生离子束并且包括碰撞离子化离子源的源组装件，该碰撞离子化离子源具有：一对堆叠板，其夹在介于中间的缝隙周围；在所述板之间的、连接到气体供应导管的离子化空间；输入区，其被提供在所述板中的第一个中，以容许带电粒子的输入射束进入到所述离子化空间；输出孔，位于所述输入区的对面并且提供在所述板中的第二个中，以允许发射由所述输入射束在所述离子化空间中产生的离子流，该源组装件包括：载体，其被提供有多个不同的碰撞离子化离子源，所述多个不同的碰撞离子化离子源关于所述板之间的缝隙高度d而互相不同；选择设备，其允许单独地选择所述离子源中的给定一个用于产生所述离子束。所述多个源中的各源优选地具有在1-500的范围中、优选地在1-200的范围中的值的散射商QS=d/li，其中li是所述离子化空间中的离子平均自由路径长度。

86. 发明公开

CN108352229A 用于离子注入系统的低传导性自屏蔽绝缘体无效
公开(公告)号：CN108352229A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680059373.3
申请日：2016-11-10
申请人：艾克塞利斯科技公司
发明人：尼尔·K·科尔文 , 约翰·F·巴格特
IPC分类号： H01B17/00 , H01B17/42 , H01J27/02 , H01J37/08
CPC分类号： H01J27/022 , H01J37/08 , H01J2237/022 , H01J2237/038
摘要：本发明涉及一种细长绝缘体(302)。该绝缘体可以定位于离子源的开孔接地电极(308)与开孔抑制电极(306)之间。该绝缘体包含具有第一端(316)和第二端(316)的细长本体，其中一个或多个特征(312)界定于该细长本体中并增长沿该细长本体的表面从第一端到第二端的气体传导路径。这些特征(312)中的一个或多个是大体上沿轴向或者与细长本体的轴线成非零角度延伸到细长本体中的切槽(314)。这些特征(312)中的一个能够包括自细长本体的半径延伸出的肋部。

87. 发明授权

CN103189956B 延长离子源寿命的方法有权复审申请
公开(公告)号：CN103189956B
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201180054242.3
申请日：2011-09-12
申请人：普莱克斯技术有限公司
发明人： A.辛哈 , L.A.布朗
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/317 , C23C14/48
CPC分类号： H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/022
摘要：本发明部分地涉及防止或减少在半导体及微电子制造中使用的离子注入机的离子源组件中形成及/或积聚沉积物的方法。所述离子源组件包括电离室及一个或一个以上含于所述电离室内的组件。所述方法涉及将掺杂剂气体引入所述电离室中，其中，所述掺杂剂气体具有足以防止或减少在电离期间形成氟离子/氟自由基的组成。随后在足以防止或减少在所述电离室的内部及/或在所述一个或一个以上含于所述电离室内的组件上形成及/或积聚沉积物的条件下使所述掺杂剂气体电离。所述沉积物不利地影响所述离子注入机的正常操作，从而造成频繁停工时间且减少工具利用。

88. 发明公开

CN108172490A 多用途灯丝气体离子源装置有权
公开(公告)号：CN108172490A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711455918.5
申请日：2017-12-26
申请人：广州今泰科技股份有限公司 , 华南理工大学
发明人：苏东艺 , 彭继华
IPC分类号： H01J37/08
摘要：本发明涉及离子源设备技术领域，具体涉及了一种多用途灯丝气体离子源装置，包括第一离化腔室，第一离化腔室的一端设有第一进气口且第一离化腔室的另一端上设有第一逸出口，第一离化腔室的外侧壁上缠绕有第一线圈，第一离化腔室内设有灯丝组件，灯丝组件包括相对设置的灯丝和反射极板，反射极板位于灯丝和第一逸出口的中心线之间，灯丝和反射极之间为并联连接。本发明通过缠绕在第一离化腔室外的第一线圈以及与灯丝相对设置的反射极板，提高了气体离化效率，同时从灯丝发射出来的杂质原子会被反射极板和第一离化腔室捕获，避免杂质原子污染被加工工件。

89. 发明公开

CN107949899A 离子铣削装置有权
公开(公告)号：CN107949899A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201580082721.4
申请日：2015-09-25
申请人：株式会社日立高新技术
发明人：浅井健吾 , 岩谷彻 , 高须久幸 , 志知广康
IPC分类号： H01J37/305 , H01J27/04 , H01J37/08
摘要：为了提供能抑制从电子显微镜镜筒放出的观察用电子束的轨道移位的离子铣削装置，离子铣削装置具备：包含永久磁铁(114)并产生加工样品的离子的潘宁放电方式的离子枪(100)；和用于观察样品的扫描电子显微镜，在该离子铣削装置中设置用于减少从永久磁铁(114)向电子显微镜镜筒的泄漏磁场的磁屏蔽(172)。

90. 发明公开

CN107924798A 凸轮致动丝极夹钳有权
公开(公告)号：CN107924798A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048302.3
申请日：2016-07-29
申请人：艾克塞利斯科技公司
发明人：约翰·巴格特 , 杰森·贝灵哲
IPC分类号： H01J37/08
摘要：一种离子源丝极夹钳(100)具有夹钳构件(102)，其具有第一端部(104)及第二端部(106)。第一端部具有凸轮表面(132)以及凸轮从动件(134)中的一个并且具有彼此相对且由开槽(114)分隔开的第一部分(110)及第二部分(112)，该开槽具有界定于其中的引线开口(116)，用以容置离子源丝极的引线。致动器销(120)沿致动器销轴线(126)延伸并且具有第一区段(122)及第二区段。第一区段(122)被耦接至夹钳构件的第一部分(110)。致动器销延伸贯穿夹钳构件的第二部分中的通孔(128)并且与其滑动啮合。凸轮构件(108)操作式耦接至致动器销(120)的第二区段(124)。凸轮构件具有握柄(13)以及凸轮表面及凸轮从动件中的另一个并且被配置成在夹紧位置与松开位置之间旋转。凸轮从动件(134)滑动接触凸轮表面(132)。在夹紧位置中，凸轮从动件以第一预定方式啮合凸轮表面，因此选择性将夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)压向彼此并且在引线开口内的引线上施加夹持压力，同时引发夹钳构件的第一部分与第二部分之间的弹性张力。在松开位置中，凸轮从动件以第二预定方式啮合凸轮表面，其中，弹性张力使夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)彼此分开地扩张，其中释放引线开口内的引线上的夹持压力。

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