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    • 9. 发明公开
    • 即烧结型银膜
    • CN113767470A
    • 2021-12-07
    • CN202080031579.1
    • 2020-05-05
    • 阿尔法装配解决方案公司
    • 奥斯卡·卡塞列夫M·J·西本胡纳M·布尔格达M·马尔兹C·比尔格林
    • H01L23/488H01L21/60H01L21/98
    • 一种制备组合的即烧结型银膜和载体(1)的方法,该方法包括以下步骤:a)形成包括设计开口(5)的载体(2);b)将银膜层(7)浇铸到该设计开口(5)中;例如浇铸银浆;以及c)干燥该载体(2)和该银膜层(7)以形成该组合的即烧结型银膜和载体(1)。该载体(2)可包括塑料载体,该塑料载体可通过使用等离子体粘结方法或使用温度稳定的胶永久性地粘结两个塑料薄膜来形成。该载体(2)可包括模版层(3)和背衬层(4)。该模板层(3)可限定该设计开口(5)。该背衬层(4)可被构造成用于密封该设计开口(5)的底部,其中在步骤b)开始时,该设计开口(5)的顶部可打开,用于接收该浇铸的银膜层(7)。将该即烧结型银与衬底(10)组合包括以下步骤:a)将组合的即烧结型银膜和载体(1)定位在该衬底(10)的顶部上,该组合的即烧结型银膜和载体包括具有设计开口(5)的载体(2)和浇铸到该设计开口(5)中的银膜层(7),使得该银膜层(7)面朝下;b)通过层压将该银膜层(7)转印到该衬底(10)上;c)移除该组合的即烧结型银膜和载体(1)的该载体(2);d)将该部件(22)放置到该衬底(10)上,使其与该转印的银膜层(7)接触以形成组件;以及e)烧结该组件以在该部件(22)和该衬底(10)之间产生银接点。在将部件(22)组装到衬底(10)的该方法的步骤b)中,该层压在3MPa至8MPa、任选地3MPa至6MPa、任选地8MPa的压力和130℃至150℃、任选地130℃的温度下使用层压机(11+12)。在该方法的步骤e)中,该烧结在10MPa的压力和250℃的温度下进行。