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    • 91. 发明授权
    • XY工作台、对准装置及蒸镀装置
    • CN105637115B
    • 2018-02-06
    • CN201580001967.4
    • 2015-09-14
    • 株式会社爱发科
    • 佐藤诚一
    • C23C14/50H01L51/50H05B33/10
    • C23C14/50H01L51/50H05B33/10
    • 本发明的XY工作台具有:底座(11);框状的工作台(12,12);和支撑驱动部(13,14,15,16),位于底座(11)与工作台(12)之间,并将工作台(12)沿XY方向驱动。支撑驱动部(13,14,15,16)具备多个支撑部,所述支撑部具备:直线状的第一导向部件,被配设在底座(11)上;第一板部件,被载置于第一导向部件并在工作台(12)的面内方向上能够沿第一引导方向移动,所述第一引导方向为第一导向部件所延伸的方向;第二导向部件,被载置于第一板部件上并沿第二引导方向延伸,所述第二引导方向为工作台(12)的与第一引导方向正交的面内方向;和第二连接部,被载置于第二导向部件并被固定设置成与工作台(12)一体,从而能够沿第二引导方向移动。在多个支撑部中,一对第一支撑部(13,14)以在作为第一导向方向的X方向上相对的方式放置并被设置于工作台(12)的边缘部,一对第二支撑部(15,16)以在作为第一导向方向的Y方向上相对的方式放置并被设置于工作台(12)的边缘部。支撑驱动部(13,14,15,16)具备驱动装置(13f,15f),该驱动装置(13f,15f)被设置于一对第一支撑部(13,14)中的至少一个支撑部以及一对第二支撑部(15,16)中的至少一个支撑部,驱动装置(13f,15f)与第一板部件和第二板部件连接,并能将第一板部件和第二板部件沿第二引导方向相对驱动。