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    • 37. 发明授权
    • 一种多通道气体传感器
    • CN114791447B
    • 2024-01-12
    • CN202210480848.3
    • 2022-05-05
    • 杭州汇健科技有限公司杭州汇馨传感技术有限公司
    • 邬建敏陈巧芬马辉陈轩晗张文娟叶小刚
    • G01N27/12
    • 本发明公开了一种多通道气体传感器,包括:绝缘外壳、至少两个检测芯片及导电端子,绝缘外壳的内部设置通气腔体,所有检测芯片设置于通气腔体内,检测芯片的一侧面设置电极和检测材料,设置电极和检测材料的检测芯片的侧面与通气腔体的内壁设置预设间距,绝缘外壳设置进气口和出气口,进气口和出气口均与通气腔体通气,绝缘外壳设置通孔,导电端子沿通孔插入绝缘外壳内与电极连接。通过在绝缘壳体内设置通气腔体,再在通气腔体内设置检测芯片,当气流流经通气腔体时,气体流过每一个检测芯片的表面,通过设置多种不同检测芯片形成多通道阵列,可以检测识别单一或混合气体的不同组成。此外,该多通道气体传感器体积较小、生产成本低。(56)对比文件焦磊涛.基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作《. 微纳电子技术》.2018,第55卷(第7期),493-497.姚晓栋.数控机床热误差测试中的温度传感器研究《.世界制造技术与装备市场》.2014,(第2期),82-86.焦磊涛.基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作《.微纳电子技术》.2018,第55卷(第7期),493-497.Liang Tao.Remarkable piezoresistanceeffect on the flexible strain sensorbased on a single ultralong telluriummicrometre wire《.JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS》.2014,第47卷(第50期),1-6.Ryu Syukyo Gando.First PerformanceEvaluation of an X-Ray SOI Pixel Sensorfor Imaging Spectroscopy and Intra-PixelTrigger《.IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEARSCIENCE》.2011,第58卷(第5期),2528-2536.