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    • 7. 发明专利
    • 静電式セルフパワー変位グリッドセンサ
    • JP2021516345A
    • 2021-07-01
    • JP2020551342
    • 2019-07-25
    • 浙江大学ZHEJIANG UNIVERSITY
    • ▲張▼ ▲鶴▼汪 ▲華▼▲鋼▼▲張▼ 治成全 力威
    • G01B7/00
    • 【課題】本発明は、被測定部材の変位を測定するための静電式セルフパワー変位グリッドセンサを提供する。 【解決手段】その構造はスライド溝及びスライドシートを含み、前記スライド溝が固定端に固定され、スライド溝の内側底部にセンシングアレイが配置され、前記スライドシートが被測定部材に固定して接続され、スライドシートの下端部がスライド溝の内側底部に接触する。スライドシートがセンシングアレイを通過すると、1つの対応する電気信号を出力し、該信号で示されるセンシングアレイ中のセンシングユニットの番号及び出力電流の大きさによって、スライドシートが通過するセクション数及び単一のセンシングアレイ上のセンシングユニットを通過する距離を取得し、さらに構造の変位を算出する。ほかの変位測定装置に比べて、セクション式変位計は、構成が簡単で、適用範囲が広く、測定精度が高く、電源を別途供給する必要がない等の利点を有し、電気信号による変位較正の結果が不安定である課題を独創的に解決する。 【選択図】図1
    • 10. 发明专利
    • 静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく3次元標準振動台
    • JP2018504580A
    • 2018-02-15
    • JP2017525104
    • 2015-08-18
    • 浙江大学Zhejiang University
    • 何 聞張 旭飛賈 叔仕周 杰
    • G01M7/06B06B1/02F16C32/06
    • G01M7/06
    • 静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく3次元標準振動台であって、ベース(1)を含み、ベース(1)にはX軸方向の振動台(2)及びX軸方向の復帰装置(6)と、Y軸方向の振動台(3)及びY軸方向の復帰装置(7)と、Z軸方向の振動台(4)と、三次元の振動プラットフォーム(5)とが設けられている。X軸方向の振動台(2)は、三次元の振動プラットフォーム(5)を介してX軸方向の復帰装置(6)に対向し、Y軸方向の振動台(3)は、三次元の振動プラットフォーム(5)を介してY軸方向の復帰装置(7)に対向する。X軸方向の振動台(2)とY軸方向の振動台(3)とは、それぞれの振動台側静圧型ガスフローティング板(21)にそれぞれ固定し、振動台側静圧型ガスフローティング板(21)と三次元の振動プラットフォーム(5)との間にはガス膜を形成することができる隙間を有する。X軸方向の復帰装置(6)とY軸方向の復帰装置(7)とは、それぞれの復帰ばね(61)とばね側静圧型ガスフローティング板(62)からなる。Z軸方向の振動台(4)とZ軸方向のガスフローティングデカップリング装置(41)とは、固定し、Z軸方向のガスフローティングデカップリング装置(41)と三次元の振動プラットフォーム(5)との間にはガス膜を形成することができる隙間を有する。【選択図】図1