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    • 4. 发明专利
    • 供由非鄰接面罩區中寫入鄰接結構的相移透明式石版印刷面罩
    • 供由非邻接面罩区中写入邻接结构的相移透明式石版印刷面罩
    • TW265509B
    • 1995-12-11
    • TW083104297
    • 1994-05-12
    • 萬國商業機器公司
    • 吉恩蔡法蘭克林.馬克.希萊伯格菲立浦.喬.布魯克賈桂琳.安.法蘭克林
    • H05KH01L
    • G03F1/34G03F7/70283
    • 多個非鄰接之多邊形相移材料區,所具各邊相互間之距離設在使該等邊之影像不致分離的範圍內。位於一非相移材料上之眾相移材料區其各邊各具有任意可選擇的角方位(平行及不平行)。諸非鄰接相移區可用含平行之行、列之矩陣方式安排,以利於製造及利於諸非鄰接相移區以任意樣式寫入一影像平面。諸相移區中至少一區構成一具連結作用之相移區,該相移區各邊與諸鄰近相移區各邊隔開,以在面罩曝光時,產生一對應於諸相移區、具連續光阻劑覆蓋面實體之樣式。諸相移區傳輸係數可互不相同,以提供不同程度之穿透性或不同程度之相移,進而提供不同程度之影像強度。
    • 多个非邻接之多边形相移材料区,所具各边相互间之距离设在使该等边之影像不致分离的范围内。位于一非相移材料上之众相移材料区其各边各具有任意可选择的角方位(平行及不平行)。诸非邻接相移区可用含平行之行、列之矩阵方式安排,以利于制造及利于诸非邻接相移区以任意样式写入一影像平面。诸相移区中至少一区构成一具链接作用之相移区,该相移区各边与诸邻近相移区各边隔开,以在面罩曝光时,产生一对应于诸相移区、具连续光阻剂覆盖面实体之样式。诸相移区传输系数可互不相同,以提供不同程度之穿透性或不同程度之相移,进而提供不同程度之影像强度。